JPH09122962A - レーザ加工ヘッド - Google Patents
レーザ加工ヘッドInfo
- Publication number
- JPH09122962A JPH09122962A JP7281898A JP28189895A JPH09122962A JP H09122962 A JPH09122962 A JP H09122962A JP 7281898 A JP7281898 A JP 7281898A JP 28189895 A JP28189895 A JP 28189895A JP H09122962 A JPH09122962 A JP H09122962A
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- Japan
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- protective glass
- laser
- processing head
- laser beam
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 加工不良を起こさないように、また高価な集
光レンズにダメージを与えないようにする。 【解決手段】 加工ヘッド本体３の内部に備えた集光レ
ンズ５でレーザビームＬＢを集光せしめると共に、集光
されたレーザビームＬＢを、加工ヘッド本体３の先端に
備えたレーザノズル７から加工すべきワークＷへ向けて
照射せしめるレーザ加工ヘッド１であって、前記集光レ
ンズ５とレーザノズル７との間における加工ヘッド本体
３の内部に、前記レーザビームＬＢの光軸Ｃに対してほ
ぼ直交した水平状態に保護ガラス９を設け、この保護ガ
ラス９が損傷したことを検出する損傷検出センサ２３，
２５を設けてなることを特徴とする。
光レンズにダメージを与えないようにする。 【解決手段】 加工ヘッド本体３の内部に備えた集光レ
ンズ５でレーザビームＬＢを集光せしめると共に、集光
されたレーザビームＬＢを、加工ヘッド本体３の先端に
備えたレーザノズル７から加工すべきワークＷへ向けて
照射せしめるレーザ加工ヘッド１であって、前記集光レ
ンズ５とレーザノズル７との間における加工ヘッド本体
３の内部に、前記レーザビームＬＢの光軸Ｃに対してほ
ぼ直交した水平状態に保護ガラス９を設け、この保護ガ
ラス９が損傷したことを検出する損傷検出センサ２３，
２５を設けてなることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばワークに
溶接加工を行うのに用いられるレーザ加工ヘッドに関す
る。
溶接加工を行うのに用いられるレーザ加工ヘッドに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えばワークに溶接加工を行うＹ
ＡＧレーザ加工ヘッド１０１としては、図４に示されて
いるように、加工ヘッド本体１０３を備えており、この
加工ヘッド本体１０３の内部にはレーザビームＬＢを集
光せしめる集光レンズ１０５が備えられている。しか
も、前記加工ヘッド本体１０３の先端にはレーザノズル
１０７が着脱可能に備えられている。
ＡＧレーザ加工ヘッド１０１としては、図４に示されて
いるように、加工ヘッド本体１０３を備えており、この
加工ヘッド本体１０３の内部にはレーザビームＬＢを集
光せしめる集光レンズ１０５が備えられている。しか
も、前記加工ヘッド本体１０３の先端にはレーザノズル
１０７が着脱可能に備えられている。
【０００３】前記集光レンズ１０５の下方近傍における
加工ヘッド本体１０３の内部には集光レンズ１０５を保
護するための透明な保護ガラス１０９がレーザビームＬ
Ｂの光軸Ｃに対して直交した水平状態に固定して設けら
れている。この保護ガラス１０９の下方における加工ヘ
ッド１０３の一部（図４において右部）にはエア吹き出
しノズル装置１１１が設けられており、このエア吹き出
しノズル装置１１１の先端に設けられたエア吹き出しノ
ズル１１３からエアが吹き出されるようになっている。
加工ヘッド本体１０３の内部には集光レンズ１０５を保
護するための透明な保護ガラス１０９がレーザビームＬ
Ｂの光軸Ｃに対して直交した水平状態に固定して設けら
れている。この保護ガラス１０９の下方における加工ヘ
ッド１０３の一部（図４において右部）にはエア吹き出
しノズル装置１１１が設けられており、このエア吹き出
しノズル装置１１１の先端に設けられたエア吹き出しノ
ズル１１３からエアが吹き出されるようになっている。
【０００４】上記構成により、図示省略のレーザ発振器
から発振されたレーザビームＬＢは、加工ヘッド本体１
０３の内部に備えられた集光レンズ１０５で集光された
後、保護ガラス１０９を経てレーザノズル１０７からワ
ークＷへ向けて照射されてワークＷにレーザ溶接が行わ
れることになる。
から発振されたレーザビームＬＢは、加工ヘッド本体１
０３の内部に備えられた集光レンズ１０５で集光された
後、保護ガラス１０９を経てレーザノズル１０７からワ
ークＷへ向けて照射されてワークＷにレーザ溶接が行わ
れることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のＹＡＧレーザ加工ヘッド１０１で溶接加工を行う
と、スパッタがレーザノズル１０７内に返ってきて集光
レンズ１０５をいためるため、集光レンズ１０５の下方
における近傍位置に設けられている保護ガラス１０９で
高価な集光レンズ１０５が保護されている。しかも、こ
の保護ガラス１０９にスパッタがあまり付着しないよう
にエア吹き出しノズル装置１１１のエア吹きノズル１１
３からエアが吹き出されている。
来のＹＡＧレーザ加工ヘッド１０１で溶接加工を行う
と、スパッタがレーザノズル１０７内に返ってきて集光
レンズ１０５をいためるため、集光レンズ１０５の下方
における近傍位置に設けられている保護ガラス１０９で
高価な集光レンズ１０５が保護されている。しかも、こ
の保護ガラス１０９にスパッタがあまり付着しないよう
にエア吹き出しノズル装置１１１のエア吹きノズル１１
３からエアが吹き出されている。
【０００６】しかしながら、レーザ溶接加工を長時間続
けると、保護ガラス１０９にスパッタが付着してしま
う。その場で保護ガラス１０９からスパッタを除去する
ことができず交換しなければならない、そのため、保護
ガラス１０９は消耗品扱いとなっている。
けると、保護ガラス１０９にスパッタが付着してしま
う。その場で保護ガラス１０９からスパッタを除去する
ことができず交換しなければならない、そのため、保護
ガラス１０９は消耗品扱いとなっている。
【０００７】しかし、実際は保護ガラス１０９にスバッ
タがある程度付着すると、加工不良を起し、保護ガラス
１０９が割れるという状態が発生する。加工不良を起こ
してから作業者が異変に気づいたり、加工を開始する際
保護ガラス１０９の状態を確認したりしている。
タがある程度付着すると、加工不良を起し、保護ガラス
１０９が割れるという状態が発生する。加工不良を起こ
してから作業者が異変に気づいたり、加工を開始する際
保護ガラス１０９の状態を確認したりしている。
【０００８】また、作業者が気づかずに加工を続行した
場合、高価な集光レンズ１０５にダメージを与える場合
もある。
場合、高価な集光レンズ１０５にダメージを与える場合
もある。
【０００９】この発明の目的は、加工不良を起こさない
ように、また高価な集光レンズにダメージを与えないよ
うにしたレーザ加工ヘッドを提供することにある。
ように、また高価な集光レンズにダメージを与えないよ
うにしたレーザ加工ヘッドを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１によるこの発明のレーザ加工ヘッドは、加工
ヘッド本体の内部に備えた集光レンズでレーザビームを
集光せしめると共に、集光されたレーザビームを、加工
ヘッド本体の先端に備えたレーザノズルから加工すべき
ワークへ向けて照射せしめるレーザ加工ヘッドであっ
て、前記集光レンズとレーザノズルとの間における加工
ヘッド本体の内部に、前記レーザビームの光軸に対して
ほぼ直交した水平状態に保護ガラスを設け、この保護ガ
ラスが損傷したことを検出する損傷検出センサを設けて
なることを特徴とするものである。
に請求項１によるこの発明のレーザ加工ヘッドは、加工
ヘッド本体の内部に備えた集光レンズでレーザビームを
集光せしめると共に、集光されたレーザビームを、加工
ヘッド本体の先端に備えたレーザノズルから加工すべき
ワークへ向けて照射せしめるレーザ加工ヘッドであっ
て、前記集光レンズとレーザノズルとの間における加工
ヘッド本体の内部に、前記レーザビームの光軸に対して
ほぼ直交した水平状態に保護ガラスを設け、この保護ガ
ラスが損傷したことを検出する損傷検出センサを設けて
なることを特徴とするものである。
【００１１】したがって、レーザ発振器で発振されたレ
ーザビームは加工ヘッド本体に備えられた集光レンズで
集光された後、保護ガラスを経て加工ヘッド本体の先端
に備えられたレーザノズルからワークへ向けて照射され
てワークに例えばレーザ溶接が行われる。
ーザビームは加工ヘッド本体に備えられた集光レンズで
集光された後、保護ガラスを経て加工ヘッド本体の先端
に備えられたレーザノズルからワークへ向けて照射され
てワークに例えばレーザ溶接が行われる。
【００１２】ワークに例えばレーザ溶接を行っている
と、発生したスパッタがレーザノズル内に返ってきて集
光レンズを傷めるので保護ガラスで保護される。この保
護ガラスの損傷が損傷検出センサで検出されるから、集
光レンズを傷めることなく保護されると共に加工不良が
起こないで済む。
と、発生したスパッタがレーザノズル内に返ってきて集
光レンズを傷めるので保護ガラスで保護される。この保
護ガラスの損傷が損傷検出センサで検出されるから、集
光レンズを傷めることなく保護されると共に加工不良が
起こないで済む。
【００１３】請求項２によるこの発明のレーザ加工ヘッ
ドは、請求項１のレーザ加工ヘッドにおいて、前記損傷
検出センサが、前記集光レンズと前記保護ガラスとの間
における加工ヘッド本体内の圧力を検出する圧力センサ
であることを特徴とするものである。
ドは、請求項１のレーザ加工ヘッドにおいて、前記損傷
検出センサが、前記集光レンズと前記保護ガラスとの間
における加工ヘッド本体内の圧力を検出する圧力センサ
であることを特徴とするものである。
【００１４】したがって、保護ガラスの損傷は、圧力セ
ンサによって、集光レンズと保護ガラスとの間の加工ヘ
ッド本体内の圧力を検出することによって検出されるか
ら、集光レンズが保護されると共に加工不良を起こさな
いで済む。
ンサによって、集光レンズと保護ガラスとの間の加工ヘ
ッド本体内の圧力を検出することによって検出されるか
ら、集光レンズが保護されると共に加工不良を起こさな
いで済む。
【００１５】請求項３によるこの発明のレーザ加工ヘッ
ドは、請求項１のレーザ加工ヘッドにおいて、前記損傷
検出センサが、前記保護ガラスの側面における加工ヘッ
ド本体内に保護ガラスの有無を検出する有無検出センサ
であることを特徴とするものである。
ドは、請求項１のレーザ加工ヘッドにおいて、前記損傷
検出センサが、前記保護ガラスの側面における加工ヘッ
ド本体内に保護ガラスの有無を検出する有無検出センサ
であることを特徴とするものである。
【００１６】したがって、保護ガラスの損傷は、加工ヘ
ッド本体に設けられた有無検出センサによって保護ガラ
スの有無を検出することにより検出されるから、集光レ
ンズが保護されると共に加工不良を起こさなくて済む。
ッド本体に設けられた有無検出センサによって保護ガラ
スの有無を検出することにより検出されるから、集光レ
ンズが保護されると共に加工不良を起こさなくて済む。
【００１７】
【発明の実態の形態】以下、この発明の実施の形態の例
を図面に基いて詳細に説明する。
を図面に基いて詳細に説明する。
【００１８】図１を参照するに、レーザ加工ヘッドとし
ての例えばＹＡＧレーザ加工ヘッド１は加工ヘッド本体
３を備えている。この加工ヘッド本体３の内部にはレー
ザビームＬＢを集光せしめる集光レンズ５が備えられて
いる。しかも、前記加工ヘッド本体３の先端にはレーザ
ノズル７が着脱可能に備えられている。
ての例えばＹＡＧレーザ加工ヘッド１は加工ヘッド本体
３を備えている。この加工ヘッド本体３の内部にはレー
ザビームＬＢを集光せしめる集光レンズ５が備えられて
いる。しかも、前記加工ヘッド本体３の先端にはレーザ
ノズル７が着脱可能に備えられている。
【００１９】前記集光レンズ５の下方近傍における加工
ヘッド本体３の内部には透明な保護ガラス９がレーザビ
ームＬＢの光軸Ｃに対して直交した水平状態に固定して
設けられている。この保護ガラス９の下方における加工
ヘッド３の一部（図１において右部）にはエア吹き出し
ノズル装置１１が設けられており、このエア吹き出しノ
ズル装置１１の先端に設けられたエア吹き出しノズル１
３からエアが吹き出されるようになっている。
ヘッド本体３の内部には透明な保護ガラス９がレーザビ
ームＬＢの光軸Ｃに対して直交した水平状態に固定して
設けられている。この保護ガラス９の下方における加工
ヘッド３の一部（図１において右部）にはエア吹き出し
ノズル装置１１が設けられており、このエア吹き出しノ
ズル装置１１の先端に設けられたエア吹き出しノズル１
３からエアが吹き出されるようになっている。
【００２０】上記構成により、図示省略のレーザ発振器
から発振されたレーザビームＬＢは、加工ヘッド本体３
の内部に備えられた集光レンズ５で集光された後、保護
ガラス９を経てレーザノズル７からワークＷへ向けて照
射されてワークＷにレーザ溶接が行われることになる。
から発振されたレーザビームＬＢは、加工ヘッド本体３
の内部に備えられた集光レンズ５で集光された後、保護
ガラス９を経てレーザノズル７からワークＷへ向けて照
射されてワークＷにレーザ溶接が行われることになる。
【００２１】ワークＷにレーザ溶接が行われるとスパッ
タが発生し、このスパッタがレーザノズル７内に返って
きて保護ガラス９に付着しようとするが、保護ガラス９
がレーザビームＬＢの光軸Ｃに対して直交した水平状態
に固定されていると共に、エア吹き出しノズル装置１１
のエア吹き出しノズル１３からエアが吹き出されること
により、保護ガラス９に付着しないようにしている。
タが発生し、このスパッタがレーザノズル７内に返って
きて保護ガラス９に付着しようとするが、保護ガラス９
がレーザビームＬＢの光軸Ｃに対して直交した水平状態
に固定されていると共に、エア吹き出しノズル装置１１
のエア吹き出しノズル１３からエアが吹き出されること
により、保護ガラス９に付着しないようにしている。
【００２２】しかし、長時間レーザ溶接加工を行うと、
保護ガラス９にスパッタが付着していき、延いては保護
ガラス９が損傷して集光レンズ５を傷めてしまう恐れが
ある。そのために、保護ガラス９の損傷を防止するため
に、前記集光レンズ５と保護ガラス９との間の内部の圧
力を検出する損傷検出センサとしての圧力検出センサ１
５が、加工ヘッド本体３の図１において右側壁にジョイ
ント１７および配管１９を介して接続されている。しか
も圧力センサ１５には図示省略のエア源が配管２１を介
して接続されている。
保護ガラス９にスパッタが付着していき、延いては保護
ガラス９が損傷して集光レンズ５を傷めてしまう恐れが
ある。そのために、保護ガラス９の損傷を防止するため
に、前記集光レンズ５と保護ガラス９との間の内部の圧
力を検出する損傷検出センサとしての圧力検出センサ１
５が、加工ヘッド本体３の図１において右側壁にジョイ
ント１７および配管１９を介して接続されている。しか
も圧力センサ１５には図示省略のエア源が配管２１を介
して接続されている。
【００２３】上記構成により、図示省略のエア源よりエ
アを配管２１，１９およびジョイント１７を経て、集光
レンズ５と保護ガラス９との間の内部に供給すると、内
部のエア圧は圧力センサ１５で常時検出されている。し
たがって、常時検出されているエア圧が一定値より低下
することを圧力センサ１５で正確にかつ容易に検出でき
るから、このエア圧の低下により、保護ガラス９が損傷
していることを検出することができる。而して、集光レ
ンズ５を傷めることなく、集光レンズ５の保護を図るこ
とができる。また、加工不良を起さずに加工を行うこと
ができる。なお、エアの代りにアシストガスを使用して
もよい。
アを配管２１，１９およびジョイント１７を経て、集光
レンズ５と保護ガラス９との間の内部に供給すると、内
部のエア圧は圧力センサ１５で常時検出されている。し
たがって、常時検出されているエア圧が一定値より低下
することを圧力センサ１５で正確にかつ容易に検出でき
るから、このエア圧の低下により、保護ガラス９が損傷
していることを検出することができる。而して、集光レ
ンズ５を傷めることなく、集光レンズ５の保護を図るこ
とができる。また、加工不良を起さずに加工を行うこと
ができる。なお、エアの代りにアシストガスを使用して
もよい。
【００２４】図２および図３には図１に代る他の例が示
されている。図２および図３において、図１における部
品と同じ部品には同一の符号を符して重複する部分の説
明を省略する。
されている。図２および図３において、図１における部
品と同じ部品には同一の符号を符して重複する部分の説
明を省略する。
【００２５】図２において、前記保護ガラス９が設けら
れている加工ヘッド本体３の右側壁には、損傷検出セン
サとしての保護ガラス９の有無を検出する有無検出セン
サとしての例えばマイクロスイッチ２３が設けられてい
る。
れている加工ヘッド本体３の右側壁には、損傷検出セン
サとしての保護ガラス９の有無を検出する有無検出セン
サとしての例えばマイクロスイッチ２３が設けられてい
る。
【００２６】上記構成により、マイクロスイッチ２３が
例えばＯＮしていれば、保護ガラス９が有ることを常時
検出しているから、マイクロスイッチ２３がＯＦＦすれ
ば、保護ガラス９が無いことを検出することができる。
したがって、保護ガラス９が損傷していることを正確か
つ容易に検出することができる。延いては集光レンズを
傷めることなく、集光レンズ５の保護を図ることができ
る。また、加工不良を起こさずに加工を行うことができ
る。
例えばＯＮしていれば、保護ガラス９が有ることを常時
検出しているから、マイクロスイッチ２３がＯＦＦすれ
ば、保護ガラス９が無いことを検出することができる。
したがって、保護ガラス９が損傷していることを正確か
つ容易に検出することができる。延いては集光レンズを
傷めることなく、集光レンズ５の保護を図ることができ
る。また、加工不良を起こさずに加工を行うことができ
る。
【００２７】図３において、前記保護ガラス９が設けら
れている加工ヘッド本体３の右側上部には、保護ガラス
９の有無を検出する有無検出センサとしての光電センサ
２５が設けられていると共に、保護ガラス９が設けられ
ている加工ヘッド本体３の左側下部には反射板２７が設
けられている。
れている加工ヘッド本体３の右側上部には、保護ガラス
９の有無を検出する有無検出センサとしての光電センサ
２５が設けられていると共に、保護ガラス９が設けられ
ている加工ヘッド本体３の左側下部には反射板２７が設
けられている。
【００２８】上記構成により、保護ガラス９が有れば光
電センサ２５からの光は保護ガラス９を透過して反射板
２７で受けて、再度戻り光を光電センサ２５で受ける
が、保護ガラス９が無くなったり、損傷していれば、光
電センサ２５に戻ってくる戻り光の検出レベルが上昇す
るので、保護ガラス９の損傷を正確かつ容易に検出する
ことができる。延いては集光レンズ５を傷めることな
く、集光レンズ５の保護を図ることができる。また、加
工不良を起こすことなく加工を行うことができる。
電センサ２５からの光は保護ガラス９を透過して反射板
２７で受けて、再度戻り光を光電センサ２５で受ける
が、保護ガラス９が無くなったり、損傷していれば、光
電センサ２５に戻ってくる戻り光の検出レベルが上昇す
るので、保護ガラス９の損傷を正確かつ容易に検出する
ことができる。延いては集光レンズ５を傷めることな
く、集光レンズ５の保護を図ることができる。また、加
工不良を起こすことなく加工を行うことができる。
【００２９】なお、この発明は、前述した実施の形態の
例に限定されることなく、適宜な変更を行うことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。図３におい
て反射板２７の代りに受光装置を設けても構わない。ま
た、光電スイッチ２５以外で光が保護ガラス９を通す時
と通さない時で変化するセンサであればどれでも構わな
い。
例に限定されることなく、適宜な変更を行うことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。図３におい
て反射板２７の代りに受光装置を設けても構わない。ま
た、光電スイッチ２５以外で光が保護ガラス９を通す時
と通さない時で変化するセンサであればどれでも構わな
い。
【００３０】
【発明の効果】以上のごとき実施の形態の例から理解さ
れるように、請求項１，２，３の発明によれば、加工ヘ
ッド本体に損傷検出センサとして例えば圧力センサ、有
無検出センサが設けられているから、保護ガラスの損傷
を正確にかつ容易に検出することができるから、集光レ
ンズを傷めることなく保護することができると共に、加
工不良を起こさずに加工を行うことができる。
れるように、請求項１，２，３の発明によれば、加工ヘ
ッド本体に損傷検出センサとして例えば圧力センサ、有
無検出センサが設けられているから、保護ガラスの損傷
を正確にかつ容易に検出することができるから、集光レ
ンズを傷めることなく保護することができると共に、加
工不良を起こさずに加工を行うことができる。
【図１】この発明を実施する一実施の形態の例のレーザ
加工ヘッドの正面断面図である。
加工ヘッドの正面断面図である。
【図２】この発明の他の例を示すレーザ加工ヘッドの正
面断面図である。
面断面図である。
【図３】この発明の別の例を示すレーザ加工ヘッドの正
面断面図である。
面断面図である。
【図４】従来のレーザ加工ヘッドの正面断面図である。
１ ＹＡＧレーザ加工ヘッド（レーザ加工ヘッド） ３ 加工ヘッド本体 ５ 集光レンズ ７ レーザノズル ９ 保護ガラス １５ 圧力センサ（損傷検出センサ） ２３ マイクロセンサ（損傷検出センサ） ２５ 光電センサ（損傷検出センサ） ＬＢ レーザビーム
Claims (3)
- 【請求項１】 加工ヘッド本体の内部に備えた集光レン
ズでレーザビームを集光せしめると共に、集光されたレ
ーザビームを、加工ヘッド本体の先端に備えたレーザノ
ズルから加工すべきワークへ向けて照射せしめるレーザ
加工ヘッドであって、前記集光レンズとレーザノズルと
の間における加工ヘッド本体の内部に、前記レーザビー
ムの光軸に対して直交した水平状態に保護ガラスを設
け、この保護ガラスが損傷したことを検出する損傷検出
センサを設けてなることを特徴とするレーザ加工ヘッ
ド。 - 【請求項２】 前記損傷検出センサが、前記集光レンズ
と前記保護ガラスとの間における加工ヘッド本体内の圧
力を検出する圧力センサであることを特徴とする請求項
１記載のレーザ加工ヘッド。 - 【請求項３】 前記損傷検出センサが、前記保護ガラス
の側面における加工ヘッド本体に保護ガラスの有無を検
出する有無検出センサであることを特徴とする請求項１
記載のレーザ加工ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7281898A JPH09122962A (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | レーザ加工ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7281898A JPH09122962A (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | レーザ加工ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09122962A true JPH09122962A (ja) | 1997-05-13 |
Family
ID=17645503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7281898A Pending JPH09122962A (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | レーザ加工ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09122962A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015229195A (ja) * | 2014-06-06 | 2015-12-21 | トルンプフ レーザー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＴＲＵＭＰＦ Ｌａｓｅｒ ＧｍｂＨ | 入射光学装置、レーザ溶接ヘッド、真空チャンバを備えたレーザ溶接装置 |
| JP2016520994A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-07-14 | シンラッド，インコーポレイテッド | レーザの光学部品の保護 |
| KR20190128772A (ko) * | 2018-05-09 | 2019-11-19 | 정우진 | 레이저 가공 장치용 레이저 보호 유리 모니터링 유닛 |
| CN110948121A (zh) * | 2019-11-29 | 2020-04-03 | 苏州迅镭激光科技有限公司 | 一种高功率智能激光切割头 |
| KR20200047232A (ko) * | 2018-10-28 | 2020-05-07 | 네모엔지니어링 주식회사 | 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 시스템 |
-
1995
- 1995-10-30 JP JP7281898A patent/JPH09122962A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016520994A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-07-14 | シンラッド，インコーポレイテッド | レーザの光学部品の保護 |
| JP2015229195A (ja) * | 2014-06-06 | 2015-12-21 | トルンプフ レーザー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＴＲＵＭＰＦ Ｌａｓｅｒ ＧｍｂＨ | 入射光学装置、レーザ溶接ヘッド、真空チャンバを備えたレーザ溶接装置 |
| KR20190128772A (ko) * | 2018-05-09 | 2019-11-19 | 정우진 | 레이저 가공 장치용 레이저 보호 유리 모니터링 유닛 |
| KR20200047232A (ko) * | 2018-10-28 | 2020-05-07 | 네모엔지니어링 주식회사 | 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 시스템 |
| CN110948121A (zh) * | 2019-11-29 | 2020-04-03 | 苏州迅镭激光科技有限公司 | 一种高功率智能激光切割头 |
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