JPH0865089A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- JPH0865089A JPH0865089A JP19672894A JP19672894A JPH0865089A JP H0865089 A JPH0865089 A JP H0865089A JP 19672894 A JP19672894 A JP 19672894A JP 19672894 A JP19672894 A JP 19672894A JP H0865089 A JPH0865089 A JP H0865089A
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Abstract
タに関し、帯域幅によらず急峻なフィルタ特性を得た
り、帯域幅を狭くしたりする等のフィルタ特性を制御す
ることができる弾性表面波フィルタを提供する。 【構成】 圧電性基板10と、圧電基板上10に形成さ
れ、ラダー型に接続された複数の弾性表面波共振器S1
〜S4とを有する弾性表面波フィルタにおいて、圧電性
基板10上に形成され、弾性表面波共振器S1、S2に
直列又は並列に接続された付加容量Cd1′、Cd2′を有
するように構成する。これにより、通過帯域の挿入損失
の急峻度が大きくしたり、通過帯域幅を狭くしたりする
ことができる。
Description
いた弾性表面波フィルタに関する。
かつ軽量化が進み、急速に普及してきている。これら携
帯電話やコードレス電話の高周波回路として、小型、軽
量な弾性表面波共振器を用いた弾性表面波フィルタが採
用されている。携帯電話等の無線部に用いられるフィル
タの特性としては、帯域内において低損失であると共
に、帯域外減衰量が大きいことが要求される。このよう
な要求を満足するフィルタとして、図14に示す弾性表
面波フィルタが提案されている。
に示すように、弾性表面波共振器Aを直列素子として、
弾性表面波共振器Bを並列素子として、交互にラダー型
に反復接続されたものである。この弾性表面波フィルタ
のインピーダンスの周波数特性を図14(b)に示す、
挿入損失の周波数特性を図14(c)に示す。
性表面波共振器が、図14(b)で実線で示すように反
共振周波数f2の周波数特性を有し、並列素子Bである
弾性表面波共振器が、図14(b)で破線で示すように
共振周波数f1の周波数特性を有していると、弾性表面
波フィルタは、図14(c)に示すように、周波数f1
とf2間を通過帯域とする通過域特性を示す。
仕様としては、システムにより中心周波数や通過帯域が
異なるため、システム毎にフィルタ設計値を変更した
り、圧電性基板の結晶方位を変更したり、圧電性基板の
材料自体を変更したりして対応しようとしていた。
特性は、一般的に、通過帯域を広げようとすると、急峻
なフィルタ特性が得られなくなる傾向があり、携帯電話
の周波数帯同志が近接しているような場合には不都合で
ある。弾性表面波フィルタの帯域幅を決定する大きな要
因は、圧電性基板の基板材料の電気機械結合係数K2 で
ある。したがって、圧電性基板の基板材料が決定されれ
ば、帯域幅の上限もほぼ決定され、帯域幅の下限やフィ
ルタ特性の急峻度もほぼ決定されてしまい、様々な仕様
を満足するように弾性表面波フィルタの特性を自由にコ
ントロールすることは困難であった。
ィルタ特性を得たり、帯域幅を狭くしたりする等のフィ
ルタ特性を制御することができる弾性表面波フィルタを
提供することにある。
と、前記圧電基板上に形成され、ラダー型に接続された
複数の弾性表面波共振器とを有する弾性表面波フィルタ
において、前記圧電性基板上に形成され、前記弾性表面
波共振器に直列又は並列に接続された付加容量を有する
ことを特徴とする弾性表面波フィルタによって達成され
る。
記付加容量は、前記圧電性基板上に形成された第1の電
極層と、前記第1の電極層上に形成された誘電体層と、
前記誘電体層上に形成された第2の電極層とを有するこ
とが望ましい。上述した弾性表面波フィルタにおいて、
前記付加容量の前記第1の電極層は、前記弾性表面波共
振器の入出力電極又は接地電極に接続され、前記第2の
電極層は、前記弾性表面波共振器の接地電極又は入出力
電極に接続され、前記付加容量は、前記弾性表面波共振
器に並列に設けられていることが望ましい。
記付加容量の前記第1の電極層又は前記第2の電極層
は、前記弾性表面波共振器の入出力電極に接続され、前
記付加容量は、前記弾性表面波共振器に直列に設けられ
ていることが望ましい。上述した弾性表面波フィルタに
おいて、前記弾性表面波共振器は、前記圧電性基板上に
互いに対向する一組のくし型電極を有し、前記弾性表面
波共振器の前記一組のくし型電極上に形成された誘電体
層を有し、前記付加容量は、前記一組のくし型電極を電
極とし、前記誘電体層を誘電体とし、前記弾性表面波共
振器に並列に設けられていることが望ましい。
記誘電体層は、酸化シリコン層又は窒化シリコン層であ
ることが望ましい。上述した弾性表面波フィルタにおい
て、前記付加容量は、前記圧電性基板上に形成され、前
記弾性表面波共振器の入出力電極に接続された第1の電
極と、前記圧電性基板上に、前記第1の電極と所定間隔
を隔てて対向する第2の電極と、前記第1の電極と前記
第2の電極間の前記圧電性基板からなる誘電体とを有
し、前記付加容量は、前記弾性表面波共振器に直列に設
けられていることが望ましい。
形成され、ラダー型に接続された複数の弾性表面波共振
器とを有する弾性表面波フィルタにおいて、圧電性基板
上に形成され、弾性表面波共振器に直列又は並列に接続
された付加容量を有するので、帯域幅によらず急峻なフ
ィルタ特性を得たり、帯域幅を狭くしたりして、フィル
タ特性を制御することができる。
加容量を、圧電性基板上に形成された第1の電極層と、
第1の電極層上に形成された誘電体層と、誘電体層上に
形成された第2の電極層とで構成したので、圧電性基板
上に簡単に設けることができる。上述した弾性表面波フ
ィルタにおいて、付加容量の前記第1の電極層を弾性表
面波共振器の入出力電極又は接地電極に接続し、第2の
電極層を弾性表面波共振器の接地電極又は入出力電極に
接続することにより、付加容量を弾性表面波共振器に並
列に設けてもよいし、付加容量の第1の電極層又は第2
の電極層を弾性表面波共振器の入出力電極に接続するこ
とにより、付加容量を弾性表面波共振器に直列に設けて
もよい。
性表面波共振器は、圧電性基板上に互いに対向する一組
のくし型電極を有し、弾性表面波共振器の一組のくし型
電極上に形成された誘電体層を有し、付加容量を一組の
くし型電極を電極とし、誘電体層を誘電体とし、弾性表
面波共振器に並列に設けるようにすれば、素子面積を増
加することなく付加容量を設けることができる上述した
弾性表面波フィルタにおいて、誘電体層を酸化シリコン
層又は窒化シリコン層により形成すれば、絶縁耐性等信
頼性に優れ、良好な特性を得ることができる。
加容量は、圧電性基板上に形成され、弾性表面波共振器
の入出力電極に接続された第1の電極と、圧電性基板上
に、第1の電極と所定間隔を隔てて対向する第2の電極
と、第1の電極と第2の電極間の圧電性基板からなる誘
電体とを有するようにすれば、新たに誘電体層などを形
成することなく、付加容量を弾性表面波共振器に設ける
ことができる。
ルタを図1及び図2を用いて説明する。本実施例による
弾性表面波フィルタは、複数の弾性表面波共振器S1、
S2、S3、S4をラダー型に接続して構成されてい
る。直列素子及び並列素子の一部に付加容量を並列接続
することにより、フィルタ特性の急峻度が大きくなるよ
うにしている。
子A′は、弾性表面波共振器S1に付加容量Cd1′が並
列接続され、1段目の並列素子B′は、弾性表面波共振
器S2に付加容量Cd2′が並列接続され、2段目の直列
素子Aは、弾性表面波共振器S3だけにより構成され、
2段目の並列素子Bは、弾性表面波共振器S4だけによ
り構成されている。
回路を図1(b)に示す。1段目の直列素子A′の等価
回路は、弾性表面波共振器S1の等価容量C1、等価イ
ンダクタンスL1、端子間容量Cd1と、並列接続された
付加容量Cd1′からなり、1段目の並列素子B′の等価
回路は、弾性表面波共振器S2の等価容量C2、等価イ
ンダクタンスL2、端子間容量Cd2と、並列接続された
付加容量Cd2′からなり、2段目の直列素子Aの等価回
路は、弾性表面波共振器S3の等価容量C3、等価イン
ダクタンスL3、端子間容量Cd3からなり、2段目の並
列素子Bの等価回路は、弾性表面波共振器S4の等価容
量C4、等価インダクタンスL4からなる。
数特性を図2に示す。図2(a)はインピーダンスの周
波数特性であり、図2(b)は挿入損失の周波数特性で
ある。図2(a)、(b)において、実線は、容量を付
加しなかった場合の特性であり、破線は、付加容量Cd
1′と付加容量Cd2′を並列接続した場合の特性であ
る。
Co、等価インダクタンスをLo、端子間容量をCdと
すると、共振周波数fr、***振周波数faは次式によ
り示される。 fr=(1/2π){1/(Co・Lo)1/2 } fa=(1/2π){(1/Lo)(1/Co+1/C
d)}1/2 ここで、弾性表面波共振器Sの端子間に付加容量Cd′
が並列接続されると、***振周波数fa′が次式に示す
ように共振周波数側にシフトする。
(1/Co+1/(Cd+Cd′)}1/2 本実施例の場合、弾性表面波共振器S1に付加容量Cd
1′が並列接続され、弾性表面波共振器S2に付加容量
Cd2′が並列接続されており、図2(a)に破線で示す
ように、弾性表面波共振器S1、S2の***振周波数が
共振周波数側に変化し、見掛上の電気機械結合係数K2
が小さくなる。したがって、図2(b)に破線で示すよ
うに、通過帯域の挿入損失の急峻度が大きくなり、急峻
なフィルタ特性を得ることができる。また、図2(a)
において、弾性表面波共振器S1、S2は共振周波数f
1=f2になるように設計されている。
接続された弾性表面波共振器の一部に容量を付加するこ
とにより、急峻なフィルタ特性を得ることができる。本
発明の第2の実施例による弾性表面波フィルタを図3及
び図4を用いて説明する。本実施例による弾性表面波フ
ィルタは、2つの弾性表面波共振器S1、S2をラダー
型に接続して構成されている。全ての直列素子及び並列
素子に付加容量を並列接続することにより、帯域幅を狭
くするようにしている。
子A′は、弾性表面波共振器S1に付加容量Cd1′が並
列接続され、1段目の並列素子B′は、弾性表面波共振
器S2に付加容量Cd2′が並列接続されている。本実施
例による弾性表面波フィルタの等価回路を図3(b)に
示す。直列素子A′の等価回路は、弾性表面波共振器S
1の等価容量C1、等価インダクタンスL1、端子間容
量Cd1と、並列接続された付加容量Cd1′からなり、並
列素子B′の等価回路は、弾性表面波共振器S2の等価
容量C2、等価インダクタンスL2、端子間容量Cd2
と、並列接続された付加容量Cd2′からなっている。
数特性を図4に示す。図4(a)はインピーダンスの周
波数特性であり、図4(b)は挿入損失の周波数特性で
ある。図4(a)、(b)において、実線は、容量を付
加しなかった場合の特性であり、破線は、付加容量Cd
1′と付加容量Cd2′を並列接続した場合の特性であ
る。また、図4(a)において、弾性表面波共振器S
1、S2は共振周波数f1=f2になるように設計され
ている。
器の端子間に付加容量を並列接続すると、***振周波数
が共振周波数側にシフトする。本実施例の場合、弾性表
面波共振器S1に付加容量Cd1′が並列接続され、弾性
表面波共振器S2に付加容量Cd2′が並列接続されてお
り、図4(a)に破線で示すように、弾性表面波共振器
S1、S2の***振周波数が共振周波数側に大きく変化
する。したがって、図4(b)に破線で示すように、通
過帯域幅を狭くしたフィルタ特性を得ることができる。
接続された弾性表面波共振器に容量を付加することによ
り、圧電性基板を変えることなく、通過帯域幅をコント
ロールすることができる。本発明の第3の実施例による
弾性表面波フィルタを図5乃至図10を用いて説明す
る。
電性基板10として36°回転Y板LiTaO3 基板1
0上に、複数の弾性表面波共振器S1〜S10をラダー
型に接続して構成されている。直列素子及び並列素子の
一部に付加容量を並列接続することにより、フィルタ特
性の急峻度が大きくなるようにしている。図5に示すよ
うに、1段目の直列素子A′は、弾性表面波共振器S1
に付加容量Cd1′が並列接続され、1段目の並列素子
B′は、弾性表面波共振器S2に付加容量Cd2′が並列
接続され、2段目乃至4段目の直列素子Aは、弾性表面
波共振器S3、S5、S7だけにより構成され、2段目
乃至4段目の並列素子Bは、弾性表面波共振器S4、S
6、S8だけにより構成され、5段目の直列素子A′
は、弾性表面波共振器S9に付加容量Cd9′が並列接続
され、5段目の並列素子B′は、弾性表面波共振器S1
0に付加容量Cd10 ′が並列接続されている。
に、100対程度の櫛形の励起用電極12(図6
(c))を、50対程度の反射器14、16(図6
(b))により挟むようにして構成されている。直列素
子である弾性表面波共振器Sに付加容量Cdを付加した
構造の一例を図6に示す。図6(a)に示すように、励
起用電極12の入力電極12Aと出力電極12Bから、
それぞれ電極層18、20を図6(a)右方向に延ば
し、反射器16の右側で重ね合わせるようにする。すな
わち、図6(d)に示すように、圧電性基板10上に形
成された電極層18、20を、シリコン酸化膜22を挟
んで重ね合わせている。これにより、弾性表面波共振器
Sの入力電極12Aと出力電極12Bの間に付加容量C
dが並列接続される。
容量Cdを付加した構造の一例を図7に示す。並列素子
の場合、弾性表面波共振器Sの出力側は接地されるの
で、図7(a)に示すように、励起用電極12の出力電
極12Bは反射器14、16に共通接続されて接地され
る。また、入力側では、反射器14、16から電極層2
4が中央方向に延ばされ、図7(b)に示すように、そ
の上にシリコン酸化膜22を介して入力電極12Aが形
成される。これにより、弾性表面波共振器Sの入力電極
12Aと接地(出力電極12B)の間に付加容量Cdが
並列接続される。
22をP−CVDにより形成した場合、その誘電率は
4.3程度であるから、シリコン酸化膜22の膜厚を
0.8μmで、電極が重なりあった面積を0.2×0.
2mm程度にすると、付加容量Cdは2pF程度とな
る。なお、誘電体膜としてシリコン酸化膜22を利用す
ると、絶縁耐性等信頼性に優れ、良好な特性を得ること
ができる。また、P−CVDを使用する場合には、シリ
コン酸化膜を低温で製造することができるので、素子へ
のダメージを回避することができると共に、緻密で良好
な膜質の誘電体膜を得ることができる。
数特性を図8に示す。図8(a)はインピーダンスの周
波数特性であり、図8(b)は挿入損失の周波数特性で
ある。容量を付加しなかった弾性表面波共振器の場合、
図8(a)に実線で示すように、共振周波数と***振周
波数の差が約3%であるのに対し、付加容量を並列接続
した弾性表面波共振器の場合、図8(a)に破線で示す
ように、共振周波数と***振周波数の差が約1.7%で
ある。
振周波数と、容量を付加した場合の共振周波数とを所望
の周波数に一致させるために、弾性表面波共振器の電極
ピッチを変化させている。このようにして一部の弾性表
面波共振器に付加容量を並列接続し、共振周波数を一致
させて、図5に示すように構成した弾性表面波フィルタ
の周波数特性を図8(b)に示す。実線は、容量を付加
することなく構成した弾性表面波フィルタの特性であ
り、破線は、容量を付加した本実施例の弾性表面波フィ
ルタの特性である。図8(b)から明らかなように、容
量を付加することにより、フィルタ特性が急峻となる。
接続された弾性表面波共振器の一部に容量を付加するこ
とにより、急峻なフィルタ特性を得ることができる。上
記実施例では、弾性表面波共振器に付加容量を並列接続
したが、弾性表面波共振器に付加容量を直列接続するこ
とによっても、帯域幅によらず急峻なフィルタ特性を得
たり、帯域幅を狭くしたりして、フィルタ特性を制御す
ることが可能である。
接続した構造の一例を図9に示す。図9(a)に示すよ
うに、励起用電極12の入力電極12Aを、2つの電極
層12Aa、12Abに分割し、図9(b)、(c)に
示すように、これら電極層12Aaと電極層12Abを
シリコン酸化膜22を挟んで重ね合わせている。これに
より、弾性表面波共振器Sの入力電極12Aに付加容量
Cdが直列接続される。
接続した構造の他の例を図10に示す。図10(a)に
示すように、励起用電極12の入力電極12Aを、2つ
の電極層12Aa、12Abに分割し、圧電性基板10
上で所定距離を隔てて対向させる。電極層12Aaと電
極層12Abの間にはシリコン酸化膜等の誘電体を新た
に設けることはしていないが、図10(b)に示すよう
に、電極層12Aa、12Ab間に誘電体である圧電性
基板10が挟まれたコンデンサの構造となる。これによ
り、弾性表面波共振器Sの入力電極12Aに付加容量C
dが直列接続される。
TaO3 基板の比誘電率はε22(深さ方向)=42、ε
33(伝搬方向)=42であるので、電極層12Aa、1
2Abの長さが1mmで、0.1mmの間隔を隔てて対
向しているとすると、付加容量は0.02pFとなる。
なお、付加容量の容量値を大きくしたい場合には、図1
0(c)に示すように、電極層12Aa、12Abの櫛
形電極とし、対向する実効長さを長くすればよい。
ィルタを図11乃至図13を用いて説明する。本実施例
による弾性表面波フィルタは、圧電性基板10として3
6°回転Y板LiTaO3 基板10上に、複数の弾性表
面波共振器S1〜S6をラダー型に接続して構成されて
いる。全ての直列素子及び並列素子に付加容量を並列接
続することにより、帯域幅を狭くするようにしている。
A′は、弾性表面波共振器S1に付加容量Cd1′が並列
接続され、1段目の並列素子B′は、弾性表面波共振器
S2に付加容量Cd2′が並列接続され、2段目の直列素
子A′は、弾性表面波共振器S3に付加容量Cd3′が並
列接続され、2段目の並列素子B′は、弾性表面波共振
器S4に付加容量Cd4′が並列接続され、3段目の直列
素子A′は、弾性表面波共振器S5に付加容量Cd5′が
並列接続され、3段目の並列素子B′は、弾性表面波共
振器S6に付加容量Cd6′が並列接続されている。
弾性表面波共振器に付加容量を設けてもよいが、全ての
弾性表面波共振器に容量を付加するという特徴を考慮し
た構造例を図12に示す。図12(a)は弾性表面波共
振器の断面図であり、図12(b)は励起用電極12の
一部を拡大した平面図であり、図12(c)はF−F′
線断面図である。
に、弾性表面波共振器S1〜S6上全面にシリコン酸化
膜26を形成する。励起用電極12、反射器14、16
を全て覆うようにシリコン酸化膜26を形成すると、こ
のシリコン酸化膜26を誘電体とする付加容量が形成さ
れる。図12(b)に示すように、一組のくし型電極1
2、12′は互いに対向するように形成されているの
で、全面にシリコン酸化膜26が形成されると、図12
(c)に示すように、一組のくし型電極12、12′間
の圧電性基板10上にシリコン酸化膜26が存在するこ
とになる。したがって、一組のくし型電極12、12′
を対向する電極とし、シリコン酸化膜26を誘電体とす
る付加容量Cdが、弾性表面波共振器S1〜S6に並列
接続される。
り、その開口長Aを0.3mm、電極指のピッチLを1
0μm、電極層の厚さHを0.7μm、メタライズ比を
1:1、シリコン酸化膜26の誘電率を4.3程度とす
ると、付加容量Cdの容量値は0.1pF程度となる。
本実施例による弾性表面波フィルタの周波数特性を図1
3に示す。実線は、容量を付加しなかった場合の特性で
あり、破線は、付加容量を並列接続した場合の特性であ
る。
量を並列接続した場合、破線で示すように、通過帯域幅
が狭くなったフィルタ特性を得ることができる。このよ
うに本実施例によれば、ラダー型に接続された弾性表面
波共振器に容量を付加することにより、圧電性基板を変
えることなく、通過帯域幅をコントロールすることがで
きる。
可能である。例えば、上記実施例では誘電体膜としてシ
リコン酸化膜を用いたが、シリコン窒化膜などの他の誘
電体膜を用いてもよい。また、誘電体膜の形成方法とし
ては、P−CVD法の他に、他のCVD法や、スパッタ
法により形成してもよい。
よれば、圧電性基板と、圧電基板上に形成され、ラダー
型に接続された複数の弾性表面波共振器とを有する弾性
表面波フィルタにおいて、圧電性基板上に形成され、弾
性表面波共振器に直列又は並列に接続された付加容量を
有するので、帯域幅によらず急峻なフィルタ特性を得た
り、帯域幅を狭くしたりして、フィルタ特性を制御する
ことができる。
加容量を、圧電性基板上に形成された第1の電極層と、
第1の電極層上に形成された誘電体層と、誘電体層上に
形成された第2の電極層とで構成したので、圧電性基板
上に簡単に設けることができる。上述した弾性表面波フ
ィルタにおいて、付加容量の前記第1の電極層を弾性表
面波共振器の入出力電極又は接地電極に接続し、第2の
電極層を弾性表面波共振器の接地電極又は入出力電極に
接続することにより、付加容量を弾性表面波共振器に並
列に設けてもよいし、付加容量の第1の電極層又は第2
の電極層を弾性表面波共振器の入出力電極に接続するこ
とにより、付加容量を弾性表面波共振器に直列に設けて
もよい。
性表面波共振器は、圧電性基板上に互いに対向する一組
のくし型電極を有し、弾性表面波共振器の一組のくし型
電極上に形成された誘電体層を有し、付加容量を一組の
くし型電極を電極とし、誘電体層を誘電体とし、弾性表
面波共振器に並列に設けるようにすれば、素子面積を増
加することなく付加容量を設けることができる上述した
弾性表面波フィルタにおいて、誘電体層を酸化シリコン
層又は窒化シリコン層により形成すれば、絶縁耐性等信
頼性に優れ、良好な特性を得ることができる。
加容量は、圧電性基板上に形成され、弾性表面波共振器
の入出力電極に接続された第1の電極と、圧電性基板上
に、第1の電極と所定間隔を隔てて対向する第2の電極
と、第1の電極と第2の電極間の圧電性基板からなる誘
電体とを有するようにすれば、新たに誘電体層などを形
成することなく、付加容量を弾性表面波共振器に設ける
ことができる。
タを示す図である。
タの周波数特性を示すグラフである。
タを示す図である。
タの周波数特性を示すグラフである。
タを示す図である。
おける直列素子である弾性表面波共振器の構造の一例を
示す図である。
おける並列素子である弾性表面波共振器の構造の一例を
示す図である。
タの周波数特性を示すグラフである。
造の一例を示す図である。
構造の他の例を示す図である。
ルタを示す図である。
における弾性表面波共振器の構造の一例を示す図であ
る。
ルタの周波数特性を示すグラフである。
Claims (7)
- 【請求項1】 圧電性基板と、前記圧電基板上に形成さ
れ、ラダー型に接続された複数の弾性表面波共振器とを
有する弾性表面波フィルタにおいて、 前記圧電性基板上に形成され、前記弾性表面波共振器に
直列又は並列に接続された付加容量を有することを特徴
とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項2】 請求項1記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 前記付加容量は、 前記圧電性基板上に形成された第1の電極層と、 前記第1の電極層上に形成された誘電体層と、 前記誘電体層上に形成された第2の電極層とを有するこ
とを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項3】 請求項2記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 前記付加容量の前記第1の電極層は、前記弾性表面波共
振器の入出力電極又は接地電極に接続され、前記第2の
電極層は、前記弾性表面波共振器の接地電極又は入出力
電極に接続され、 前記付加容量は、前記弾性表面波共振器に並列に設けら
れていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項4】 請求項2記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 前記付加容量の前記第1の電極層又は前記第2の電極層
は、前記弾性表面波共振器の入出力電極に接続され、 前記付加容量は、前記弾性表面波共振器に直列に設けら
れていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項5】 請求項1記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 前記弾性表面波共振器は、前記圧電性基板上に互いに対
向する一組のくし型電極を有し、 前記弾性表面波共振器の前記一組のくし型電極上に形成
された誘電体層を有し、 前記付加容量は、前記一組のくし型電極を電極とし、前
記誘電体層を誘電体とし、前記弾性表面波共振器に並列
に設けられていることを特徴とする弾性表面波フィル
タ。 - 【請求項6】 請求項1乃至5のいずれかに記載の弾性
表面波フィルタにおいて、 前記誘電体層は、シリコン酸化膜又はシリコン窒化膜で
あることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項7】 請求項1記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 前記付加容量は、 前記圧電性基板上に形成され、前記弾性表面波共振器の
入出力電極に接続された第1の電極と、 前記圧電性基板上に、前記第1の電極と所定間隔を隔て
て対向する第2の電極と、 前記第1の電極と前記第2の電極間の前記圧電性基板か
らなる誘電体とを有し、 前記付加容量は、前記弾性表面波共振器に直列に設けら
れていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
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