JPH077369A

JPH077369A - 弾性表面波フィルタ

Info

Publication number: JPH077369A
Application number: JP14459493A
Authority: JP
Inventors: Eiji Hirota; 英司広田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1993-06-16
Filing date: 1993-06-16
Publication date: 1995-01-10

Abstract

(57)【要約】【目的】小型化できるうえ特性の向上も図れる弾性表面
波フィルタの提供。【構成】圧電基板２上に、ＩＤＴ電極部４を備えた複数
の多重モードフィルタ３，３を形成するとともに、これ
ら多重モードフィルタ３，３を入出力間に多段接続し、
圧電基板２上に、入出力間、または入出力信号ラインと
アース電位との間に静電容量を形成する容量電極部９を
設け、容量電極部９を互い違いに交差し合う少なくとも
一対の櫛歯状電極１０ａ，１０ｂから構成するとともに
容量電極部１０ａ，１０ｂを隣接する多重モードフィル
タ３，３の間に配設し、かつ、容量電極部９上に誘電体
部１１を設けた弾性表面波フィルタ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、バンドパスフ
ィルタとして用いられる弾性表面波フィルタに関する。

【０００２】

【従来の技術】バンドパスフィルタ等に用いられる弾性
表面波フィルタとして、複数の多重モードフィルタを多
段接続して構成されたものがある。従来から、このよう
な弾性表面波フィルタにおいては、Ｑ値の劣化の防止
や、多重モードフィルタを多段接続することによって起
こる通過帯域幅の狭幅化の緩和といった目的から、橋絡
容量や結合容量を付与することが行われている。

【０００３】図４に結合容量が付与された弾性表面波フ
ィルタの従来例を示す。この弾性表面波フィルタ５０は
水晶基板５１上に多重モードフィルタ５２を複数（この
例では２重モードフィルタを一対）形成して構成されて
いる。これら多重モードフィルタ５２は、ＩＤＴ電極部
５３と、ＩＤＴ電極部５３の外側に配設されたリフレク
タ５４，５４とを備えており、これら多重モードフィル
タ５２，５２は配線ライン５５によって多段（２段）接
続されている。また、この弾性表面波フィルタ５０は結
合容量電極部５６を備えている。結合容量電極部５６は
互い違いに交差し合う一対の櫛歯状電極５７ａ，５７ｂ
から構成されており、一方の櫛歯状電極５７ａは配線ラ
イン５５に、また、他方の櫛歯状電極５７ｂはリフレク
タ５４を介してアース電位に接続されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
弾性表面波フィルタ５０には、次のような問題があっ
た。すなわち、フィルタ性能を向上させるために結合容
量電極部５６で得られる容量値を大きくする場合がある
が、容量値を大きくするためには櫛歯状電極５７ａ，５
７ｂの交差幅を広くするか、交差する電極対数を多くし
なればならない。しかしながら、このような構造にする
と、デバイスサイズが大型化し、昨今のチップ小型化の
要求に応えることができなくなる。

【０００５】また、フィルタ性能を向上させるために
は、多重モードフィルタ５２，５２間に発生する不要な
相互干渉を抑える必要がある。従来の弾性表面波フィル
タ５０はこのような相互干渉を抑えるために多重モード
フィルタ５２，５２間の間隔を十分に広く取っており、
その分でもデバイスサイズの小型化が困難である。

【０００６】なお、上記した相互干渉を防止したうえに
小型化を達成するには、多重モードフィルタ５２，５２
間の水晶基板５１上に、多重モードフィルタ５２，５２
に沿って干渉吸収用の溝（図示省略）を形成することが
考えられる。しかしながら、水晶基板５１にこのような
溝を形成するのは作業に手間を要するうえ、このような
溝を形成すると各多重モードフィルタ５２，５２間を配
線ライン５５で接続することができなくなる。そのた
め、ボンディングワイヤ（図示省略）で多重モードフィ
ルタ５２，５２間を接続しなければならず、このような
ワイヤボンディング工程にさらなる手間が必要になるう
え、ボンディングされたワイヤは弾性表面波フィルタ５
０の電気特性を悪化させる原因となるといったような新
たな問題を引き起こすので都合が悪かった。

【０００７】したがって、本発明においては、小型化で
きるうえ特性向上も図れる弾性表面波フィルタの提供を
目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明においては、圧電基板上に、入出力
間、または入出力信号ラインとアース電位との間に静電
容量を形成する容量電極部を設けており、該容量電極部
を互い違いに交差し合う少なくとも一対の櫛歯状電極か
ら構成するとともに該容量電極部を隣接する多重モード
フィルタの間に配設し、かつ、該容量電極部上に誘電体
部を設けており、以上のものから弾性表面波フィルタを
構成した。

【０００９】

【作用】上記構成によれば、誘電体部で容量電極部を覆
うので容量電極部を構成する櫛歯状電極部の間に誘電体
部が介在することになり、容量電極部の容量値は大きく
なる。また、隣接する多重モードフィルタの間に誘電体
部が介在することになるので、この誘電体部が吸音材と
なって多重モードフィルタ間に生じる相互干渉を吸収す
ることになる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。図１は本発明の一実施例の弾性表面波フィ
ルタの平面図である。この弾性表面波フィルタ１は従来
例と同様、結合容量が付与された弾性表面波フィルタで
あって、水晶基板２上に多重モードフィルタ３を複数
（本実施例では従来例と同様２重モードフィルタを一
対）並設して構成されている。これら多重モードフィル
タ３は、ＩＤＴ電極部４と、ＩＤＴ電極部４の外側に配
設されたリフレクタ５，５とを備えている。これら多重
モードフィルタ３，３は配線ライン６によって多段に接
続（横結合）されている一方、ＩＤＴ電極部４，４には
信号線パッド７が、また、リフレクタ５にはアースパッ
ド８が接続されている。

【００１１】また、この弾性表面波フィルタ１は結合容
量電極部９を備えている。結合容量電極部７は互い違い
に交差し合う一対の櫛歯状電極１０ａ，１０ｂから構成
されており、一方の櫛歯状電極１０ａは配線ライン６
に、他方の櫛歯状電極１０ｂはリフレクタ５を介してア
ース電位に接続されている。このように構成された結合
容量電極部９が多重モードフィルタ３，３の間に、その
長手方向が多重モードフィルタ３の長手方向と同一にな
るようにして配設されている。

【００１２】この弾性表面波フィルタ１は結合容量電極
部９の構造に特徴がある。すなわち、この結合容量電極
部９上には誘電体部１１が設けられている。誘電体部１
１は例えば膜状のシリコン樹脂からなっており、結合容
量電極部９の表面全面を覆って配設されている。また、
誘電体部１１は結合容量電極部９上だけではなく、多重
モードフィルタ３の端から端まで帯状に配設されてお
り、そのため、多重モードフィルタ３，３間にはほぼ全
幅にわたって誘電体部１１が介在している。

【００１３】このようにして配設された誘電体部１１は
それ自身、所定の誘電率を有しており、そのため、結合
容量電極部９に発生する容量値を高める働きをする。し
たがって、面積の小さい結合容量電極部９でもって大き
な容量を得ることができ、その分、弾性表面波フィルタ
１全体が小型化している。

【００１４】また、誘電体部１１は多重モードフィルタ
３，３の間に設けられ、さらには誘電体部１１は多重モ
ードフィルタ３，３間全幅にわたって配設されている。
そして、シリコン樹脂等で構成された誘電体部１１は水
晶基板２上に発生する不要波にとって吸音材としての働
きする。そのため、多重モードフィルタ３，３の間は全
幅、吸音材である誘電体部１１によって遮られることに
なり、多重モードフィルタ３，３間に発生する相互干渉
は誘電体部１１によって吸収されて確実に抑えられるこ
とになる。

【００１５】次に上記実施例の弾性表面波フィルタであ
るＣＴ−２（デジタルコードレス電話の一システム）の
１ｓｔＩＦ用に用いられる１５０ＭＨｚ帯水晶ＳＡＷ２
重モードフィルタと、同様の従来例品とを周波数特性、
スプリアスレスポンス（帯域外減衰量）、チップサイ
ズ、およびパッケージサイズのうえで比較した結果を図
２、図３、および表１に基づいて説明する。なお、図２
は本実施例品の周波数特性を示し、図３は従来例品の周
波数特性を示し、表１は実施例品、および従来例品にお
けるスプリアスレスポンス、チップサイズ、およびパッ
ケージサイズの各値を示している。

【００１６】これら図より明らかなように、実施例品で
は、１５１．０００ＭＨｚ〜１５２．０００ＭＨｚ付近
における周波数特性が従来例品に比べて向上し、急峻な
選択度特性が得られていることがわかる。これは、結合
容量として適切な容量を付与したことが主因となってい
る。また、表１より明らかなように、従来例品では４９
ｄＢであったスプリアスレスポンスが実施例品では５５
ｄＢと向上している。これは誘電体部１１による吸音作
用によって不要な干渉が抑えられたことが主因となって
いる。さらには、このような良好な特性を有する実施例
品を、従来例品に比べて、チップサイズ、パッケージサ
イズとも小型化したうえで作成していることがわかる。

【００１７】

【表１】

【００１８】上記実施例では、誘電体部１１を結合容量
電極部９上だけではなく多重モードフィルタ３，３の間
の全幅にわたって配設したが、本発明は、これに限るわ
けではなく、図４に示すように、誘電体部２０を結合容
量電極部９上にだけ形成してもよいのはいうまでもな
い。この場合、誘電体部１１による吸音効果は前記実施
例に比べて若干低下するものの誘電体部１１形成による
高容量化は達成できる。なお、図４に示した弾性表面波
フィルタは基本的には図１のものと同様であり、同一な
いし同様の部分には同一の符号を付している。

【００１９】上記実施例では、水晶基板２を有する弾性
表面波フィルタ１において、本発明を実施していたが、
本発明は、水晶基板２に限らず、タンタル酸リチウム、
ニオブ酸リチウムといったような他の圧電基板において
も実施できるのはいうまでもない。また、上記実施例の
ような横結合型の多重モードフィルタだけではなく、縦
結合型の多重モードフィルタにおいても実施でき、さら
には、上記実施例のような２段接続以外の多段接続型の
弾性表面波フィルタにおいても実施できるのもいうまで
もない。さらにまた、上記実施例は、入出力信号ライン
とアース電位の間に結合容量を形成する結合容量電極部
９を備えた弾性表面波フィルタ１において本発明を実施
していたが、例えば入出力間に橋絡容量を形成する橋絡
容量電極部といったように、他の部位に容量を配設した
弾性表面波フィルタにおいても本発明を実施できるのも
いうまでもない。

【００２０】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、誘電体部
を配設することにより容量電極部の容量値を大きくする
ことができるようになった。そのため、誘電体部で容量
値を大きくできる分、容量電極部の大きさを小さくする
ことができ、その分、弾性表面波フィルタを小型化する
ことが可能になった。

【００２１】また、誘電体部が吸音材となって多重モー
ドフィルタ間に生じる相互干渉を吸収するので、良好な
帯域外減衰量が得られるようになった。さらには、多重
モードフィルタ間に相互干渉が生じにくくなったので、
その分、多重モードフィルタを近接配置することが可能
になり、その分で小型化が可能になった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る弾性表面波フィルタの
構成を示す平面図である。

【図２】実施例の弾性表面波フィルタの周波数特性を示
す線図である。

【図３】従来例の弾性表面波フィルタの周波数特性を示
す線図である。

【図４】他の実施例の弾性表面波フィルタの構成を示す
平面図である。

【図５】従来例の弾性表面波フィルタの構成を示す平面
図である。

【符号の説明】

２水晶基板３多重モードフィルタ４ＩＤＴ電極部９結合容量電極部１０ａ櫛歯状電極１０ｂ櫛歯状電極１１誘電体部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電基板（２）上に、ＩＤＴ電極部（４）
を備えた複数の多重モードフィルタ（３，３）を形成す
るとともに、これら多重モードフィルタ（３，３）を入
出力間に多段接続した弾性表面波フィルタであって、前記圧電基板（２）上に、入出力間、または入出力信号
ラインとアース電位との間に静電容量を形成する容量電
極部（９）を設けており、該容量電極部（９）を互い違
いに交差し合う少なくとも一対の櫛歯状電極（１０ａ，
１０ｂ）から構成するとともに該容量電極部（１０ａ，
１０ｂ）を隣接する多重モードフィルタ（３，３）の間
に配設し、かつ、該容量電極部（９）上に誘電体部（１
１）を設けたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。