JPH08243889A - 遊星歯車式研磨装置 - Google Patents
遊星歯車式研磨装置Info
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- JPH08243889A JPH08243889A JP7821795A JP7821795A JPH08243889A JP H08243889 A JPH08243889 A JP H08243889A JP 7821795 A JP7821795 A JP 7821795A JP 7821795 A JP7821795 A JP 7821795A JP H08243889 A JPH08243889 A JP H08243889A
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- work
- shaft
- gear
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワークを安定的且つ確実に自転及び公転させ
ることができる遊星歯車式研磨装置を得る。 【構成】 第１シャフト１０ａの下端に取り付けたヘッ
ド支持部材１１に、ワーク４を保持する複数のワークヘ
ッド６を円周状の配列で回転自在に支持させ、各ワーク
ヘッド６のヘッド軸６ａに取り付けたヘッドギア１２
を、上記第１シャフト１０ａに固定のセンターギア１３
に噛合させる。また、第１シャフト１０ａに外嵌する第
２シャフト１０ｂの下端に公転用ギア１７を回転自在に
取り付け、該公転用ギア１７を駆動用のドライブギア１
８に噛合させると共に、連結棒２７で上記ヘッド支持部
材１１に連結し、公転用ギア１７の回転によりヘッド支
持部材１１が回転すると、各ワークヘッド６が、第１シ
ャフト１０ａの回りを公転すると同時に、ヘッド軸６ａ
を中心にして自転するように構成する。
ることができる遊星歯車式研磨装置を得る。 【構成】 第１シャフト１０ａの下端に取り付けたヘッ
ド支持部材１１に、ワーク４を保持する複数のワークヘ
ッド６を円周状の配列で回転自在に支持させ、各ワーク
ヘッド６のヘッド軸６ａに取り付けたヘッドギア１２
を、上記第１シャフト１０ａに固定のセンターギア１３
に噛合させる。また、第１シャフト１０ａに外嵌する第
２シャフト１０ｂの下端に公転用ギア１７を回転自在に
取り付け、該公転用ギア１７を駆動用のドライブギア１
８に噛合させると共に、連結棒２７で上記ヘッド支持部
材１１に連結し、公転用ギア１７の回転によりヘッド支
持部材１１が回転すると、各ワークヘッド６が、第１シ
ャフト１０ａの回りを公転すると同時に、ヘッド軸６ａ
を中心にして自転するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ、アルミ
やセラミック等からなる磁気ディスク基板、ガラスから
なる光ディスク基板のような、円板形又はそれに類似す
る形状を持ったワークの片面を鏡面研磨するための研磨
装置に関するものであり、更に詳しくは、上述のワーク
を遊星歯車式に自転及び公転させながら鏡面研磨する遊
星歯車式研磨装置に関するものである。
やセラミック等からなる磁気ディスク基板、ガラスから
なる光ディスク基板のような、円板形又はそれに類似す
る形状を持ったワークの片面を鏡面研磨するための研磨
装置に関するものであり、更に詳しくは、上述のワーク
を遊星歯車式に自転及び公転させながら鏡面研磨する遊
星歯車式研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワークを自転及び公転させながら研磨す
るこの種の研磨装置として、従来、特開平５−２３４９
６９号公報に開示されたものが知られている。これは、
図７に示すように、円盤状のプレート４０の中心部に、
上下端に大小一対の歯車４１ａ及び４１ｂを有する伝達
歯車４１を有していて、該伝達歯車４１の上側の歯車４
１ａを駆動用の歯車４２に噛合させると共に、伝達歯車
４１の下側の歯車４１ｂを、プレート４０の底部に形成
された凹部内において該凹部内に配設されたウエハホル
ダ４３の上端の歯車４４と噛合させたもので、駆動用歯
車４２により上記伝達歯車４１を介してウエハホルダ４
３を回転させながら、加圧シリンダ４５で上記伝達歯車
４１を介してプレート４０を下向きに押圧することによ
り、ウエハホルダ４３に保持されたウエハ４６を定盤４
７に押し付けて鏡面研磨するものである。そして、これ
により上記ウエハ４６には、ウエハホルダ４３の回転に
よる自転運動と、プレート４０の回転による公転運動と
が与えられるようになっている。
るこの種の研磨装置として、従来、特開平５−２３４９
６９号公報に開示されたものが知られている。これは、
図７に示すように、円盤状のプレート４０の中心部に、
上下端に大小一対の歯車４１ａ及び４１ｂを有する伝達
歯車４１を有していて、該伝達歯車４１の上側の歯車４
１ａを駆動用の歯車４２に噛合させると共に、伝達歯車
４１の下側の歯車４１ｂを、プレート４０の底部に形成
された凹部内において該凹部内に配設されたウエハホル
ダ４３の上端の歯車４４と噛合させたもので、駆動用歯
車４２により上記伝達歯車４１を介してウエハホルダ４
３を回転させながら、加圧シリンダ４５で上記伝達歯車
４１を介してプレート４０を下向きに押圧することによ
り、ウエハホルダ４３に保持されたウエハ４６を定盤４
７に押し付けて鏡面研磨するものである。そして、これ
により上記ウエハ４６には、ウエハホルダ４３の回転に
よる自転運動と、プレート４０の回転による公転運動と
が与えられるようになっている。
【０００３】しかしながら、上記従来の研磨装置は、伝
達歯車４１とプレート４０とを相対回転自在として、ウ
エハホルダ４３の回転力は、上記伝達歯車４１のプレー
ト４０に対する相対回転によって得、プレート４０の回
転力は、定盤４７の内外周に位置する複数のウエハ４６
に作用する作用力の差、即ち該定盤４７の周速差に基づ
く作用力の差によって得るようにしているため、ウエハ
４６の自転及び公転を常に一定の速度で安定的且つ確実
に生じさせることは殆ど不可能に近く、回転むらによる
研磨精度の低下が避けられなかった。
達歯車４１とプレート４０とを相対回転自在として、ウ
エハホルダ４３の回転力は、上記伝達歯車４１のプレー
ト４０に対する相対回転によって得、プレート４０の回
転力は、定盤４７の内外周に位置する複数のウエハ４６
に作用する作用力の差、即ち該定盤４７の周速差に基づ
く作用力の差によって得るようにしているため、ウエハ
４６の自転及び公転を常に一定の速度で安定的且つ確実
に生じさせることは殆ど不可能に近く、回転むらによる
研磨精度の低下が避けられなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、ワークを安定的且つ確実に自転及び公転させること
ができる遊星歯車式研磨装置を提供することにある。
は、ワークを安定的且つ確実に自転及び公転させること
ができる遊星歯車式研磨装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の遊星歯車式研磨装置は、モータにより駆動
回転自在の定盤と、該定盤にワークを所要の力で押し付
ける加圧ユニットとを備え、上記加圧ユニットが、ワー
クを保持するための円周状に配設された複数のワークヘ
ッドと、これらのワークヘッドの昇降と各ワークヘッド
に対する加工圧の付与とを司る昇降手段と、上記各ワー
クヘッドを配列中心の回りに強制的に公転させる公転手
段と、各ワークヘッドを強制的に自転させる自転手段
と、を有することを特徴とするものである。
め、本発明の遊星歯車式研磨装置は、モータにより駆動
回転自在の定盤と、該定盤にワークを所要の力で押し付
ける加圧ユニットとを備え、上記加圧ユニットが、ワー
クを保持するための円周状に配設された複数のワークヘ
ッドと、これらのワークヘッドの昇降と各ワークヘッド
に対する加工圧の付与とを司る昇降手段と、上記各ワー
クヘッドを配列中心の回りに強制的に公転させる公転手
段と、各ワークヘッドを強制的に自転させる自転手段
と、を有することを特徴とするものである。
【０００６】本発明の具体的な構成態様によれば、上記
昇降手段が、ワークヘッドの配列中心において機体に昇
降自在に支持されたシャフト手段と、該シャフト手段に
取り付けられて上記各ワークヘッドを支持するヘッド支
持部材と、上記シャフト手段を昇降させる駆動手段とを
有し、上記公転手段が、上記シャフト手段に回転自在に
取り付けられて駆動用のドライブギアと噛合する公転用
ギアと、該公転用ギアと上記ヘッド支持部材とを回転方
向に連結する連結手段とを有し、上記自転手段が、上記
シャフト手段に取り付けられたセンターギアと、各ワー
クヘッドに取り付けられて該センターギアに噛合するヘ
ッドギアとを有している。本発明の別の構成態様によれ
ば、上記加圧ユニットが、ワークヘッドと同数且つ同配
列のヘッド嵌合穴を備えたブロックガイドを有し、該ブ
ロックガイドが上記ワークヘッドの配列中心と同心位置
に設けられていて、加圧ユニットが非加工位置にあると
きは各ワークヘッドがブロックガイドのヘッド嵌合穴か
ら抜け出した位置を占め、加圧ユニットが加工位置にあ
るときは各ワークヘッドが上記ヘッド嵌合穴内に嵌合す
る位置を占めるようになっている。上記ブロックガイド
の回転を安定的に支持させるため、適宜の支持手段を設
けることが望ましく、具体的な例としては、上記支持手
段が少なくとも１つのガイドローラからなっていて、該
ガイドローラが、ブロックガイドに当接する支持位置と
ブロックガイドから離間する待機位置との間を変移可能
となっていることが望ましい。本発明において上記加圧
ユニットは、定盤の中心の回りに所要の間隔をおいて複
数配設することができる。
昇降手段が、ワークヘッドの配列中心において機体に昇
降自在に支持されたシャフト手段と、該シャフト手段に
取り付けられて上記各ワークヘッドを支持するヘッド支
持部材と、上記シャフト手段を昇降させる駆動手段とを
有し、上記公転手段が、上記シャフト手段に回転自在に
取り付けられて駆動用のドライブギアと噛合する公転用
ギアと、該公転用ギアと上記ヘッド支持部材とを回転方
向に連結する連結手段とを有し、上記自転手段が、上記
シャフト手段に取り付けられたセンターギアと、各ワー
クヘッドに取り付けられて該センターギアに噛合するヘ
ッドギアとを有している。本発明の別の構成態様によれ
ば、上記加圧ユニットが、ワークヘッドと同数且つ同配
列のヘッド嵌合穴を備えたブロックガイドを有し、該ブ
ロックガイドが上記ワークヘッドの配列中心と同心位置
に設けられていて、加圧ユニットが非加工位置にあると
きは各ワークヘッドがブロックガイドのヘッド嵌合穴か
ら抜け出した位置を占め、加圧ユニットが加工位置にあ
るときは各ワークヘッドが上記ヘッド嵌合穴内に嵌合す
る位置を占めるようになっている。上記ブロックガイド
の回転を安定的に支持させるため、適宜の支持手段を設
けることが望ましく、具体的な例としては、上記支持手
段が少なくとも１つのガイドローラからなっていて、該
ガイドローラが、ブロックガイドに当接する支持位置と
ブロックガイドから離間する待機位置との間を変移可能
となっていることが望ましい。本発明において上記加圧
ユニットは、定盤の中心の回りに所要の間隔をおいて複
数配設することができる。
【０００７】
【作用】上記構成を有する遊星歯車式研磨装置は、加圧
ユニットの各ワークヘッドに保持されたワークを、昇降
手段によって所要の加圧力を加えながら回転する定盤に
押し付け、研磨加工するものである。このとき、上記各
ワークヘッドは、公転手段によって強制的に公転させら
れると共に、自転手段によって強制的に自転させられる
ため、ワークの自転及び公転は常に安定的且つ確実にな
り、研磨むらを生じることがない。
ユニットの各ワークヘッドに保持されたワークを、昇降
手段によって所要の加圧力を加えながら回転する定盤に
押し付け、研磨加工するものである。このとき、上記各
ワークヘッドは、公転手段によって強制的に公転させら
れると共に、自転手段によって強制的に自転させられる
ため、ワークの自転及び公転は常に安定的且つ確実にな
り、研磨むらを生じることがない。
【０００８】
【実施例】以下、本発明に係る遊星歯車式研磨装置の一
実施例を図面に基づいて詳細に説明する。図１におい
て、１は機体、２は該機体１に回転自在に支持されて図
示しない電動モータに連結された定盤、３は上記機体１
に支持されて、保持した複数のワーク４を上記定盤２に
所要の加工圧で押し付ける加圧ユニットを示し、複数組
の加圧ユニット３が定盤２の回転中心の回りに所要の間
隔をおいて配設されている。しかし、該加圧ユニット３
は１組だけでも良い。
実施例を図面に基づいて詳細に説明する。図１におい
て、１は機体、２は該機体１に回転自在に支持されて図
示しない電動モータに連結された定盤、３は上記機体１
に支持されて、保持した複数のワーク４を上記定盤２に
所要の加工圧で押し付ける加圧ユニットを示し、複数組
の加圧ユニット３が定盤２の回転中心の回りに所要の間
隔をおいて配設されている。しかし、該加圧ユニット３
は１組だけでも良い。
【０００９】上記加圧ユニット３は、図２乃至図４に詳
細に示すように、ワーク４を保持するための円周状に配
設された複数のワークヘッド６と、これらのワークヘッ
ド６の昇降と各ワークヘッド６に対する加工圧の付与と
を司る昇降手段７と、上記各ワークヘッド６をそれらの
配列中心の回りに強制的に公転させる公転手段８と、各
ワークヘッド６を強制的に自転させる自転手段９とを有
している。
細に示すように、ワーク４を保持するための円周状に配
設された複数のワークヘッド６と、これらのワークヘッ
ド６の昇降と各ワークヘッド６に対する加工圧の付与と
を司る昇降手段７と、上記各ワークヘッド６をそれらの
配列中心の回りに強制的に公転させる公転手段８と、各
ワークヘッド６を強制的に自転させる自転手段９とを有
している。
【００１０】上記ワークヘッド６は、ワーク４をワック
スによる接着や真空吸着等の適宜保持手段によって保持
するもので、昇降手段７における第１シャフト１０ａの
下端に回転自在に取り付けられた円板形のヘッド支持部
材１１に、上記第１シャフト１０ａを中心とする円周に
沿って一定の間隔で取り付けられ、それぞれの位置で回
転自在となっている。各ワークヘッド６のヘッド軸６ａ
はヘッド支持部材１１の上面に突出し、該ヘッド軸６ａ
の頂部にヘッドギア１２が固定されており、これらのヘ
ッドギア１２は、上記第１シャフト１０ａに固定された
センターギア１３にそれぞれ噛合し、上記ヘッド支持部
材１１が回転して各ワークヘッド６が第１シャフト１０
ａを中心に公転すると、センターギア１３の回りを噛合
状態で周回する上記ヘッドギア１２の回転により、ワー
クヘッド６がヘッド軸６ａを中心にして強制的に自転さ
せられるようになっており、上記ヘッドギア１２とセン
ターギア１３とで上記自転手段９が構成されている。
スによる接着や真空吸着等の適宜保持手段によって保持
するもので、昇降手段７における第１シャフト１０ａの
下端に回転自在に取り付けられた円板形のヘッド支持部
材１１に、上記第１シャフト１０ａを中心とする円周に
沿って一定の間隔で取り付けられ、それぞれの位置で回
転自在となっている。各ワークヘッド６のヘッド軸６ａ
はヘッド支持部材１１の上面に突出し、該ヘッド軸６ａ
の頂部にヘッドギア１２が固定されており、これらのヘ
ッドギア１２は、上記第１シャフト１０ａに固定された
センターギア１３にそれぞれ噛合し、上記ヘッド支持部
材１１が回転して各ワークヘッド６が第１シャフト１０
ａを中心に公転すると、センターギア１３の回りを噛合
状態で周回する上記ヘッドギア１２の回転により、ワー
クヘッド６がヘッド軸６ａを中心にして強制的に自転さ
せられるようになっており、上記ヘッドギア１２とセン
ターギア１３とで上記自転手段９が構成されている。
【００１１】上記昇降手段７は、伸縮自在に嵌合し合う
小径の上記第１シャフト１０ａと大径の第２シャフト１
０ｂとからなるシャフト手段１０を有している。大径の
第２シャフト１０ｂは、機体１に設けられたガイド筒１
６内に昇降自在に嵌合し、該第２シャフト１０ｂの上端
には、下限位置においてガイド筒１６の上端に係止する
フランジ状の係止部１５が形成され、一方下端部には、
公転用ギア１７が回転自在なるように取り付けられてい
る。該公転用ギア１７は、機体１における定盤２の回転
中心上に取り付けられたドライブギア１８と噛合し、図
示しない駆動源に接続されたこのドライブギア１８によ
って駆動回転されるようになっている。このドライブギ
ア１８は、後述の如く公転用ギア１７が非加工位置（図
２）と加工位置（図６）との間を上下動しても両者の噛
合関係が崩れないように、必要な軸方向長さを持ってい
る。
小径の上記第１シャフト１０ａと大径の第２シャフト１
０ｂとからなるシャフト手段１０を有している。大径の
第２シャフト１０ｂは、機体１に設けられたガイド筒１
６内に昇降自在に嵌合し、該第２シャフト１０ｂの上端
には、下限位置においてガイド筒１６の上端に係止する
フランジ状の係止部１５が形成され、一方下端部には、
公転用ギア１７が回転自在なるように取り付けられてい
る。該公転用ギア１７は、機体１における定盤２の回転
中心上に取り付けられたドライブギア１８と噛合し、図
示しない駆動源に接続されたこのドライブギア１８によ
って駆動回転されるようになっている。このドライブギ
ア１８は、後述の如く公転用ギア１７が非加工位置（図
２）と加工位置（図６）との間を上下動しても両者の噛
合関係が崩れないように、必要な軸方向長さを持ってい
る。
【００１２】一方、小径の第１シャフト１０ａは、その
下端部に上記の如くヘッド支持部材１１とセンターギア
１３とが取り付けられており、その上端部は支持プレー
ト２０に固定され、該支持プレート２０に昇降用駆動手
段である２つの流体圧シリンダ２１のロッド２１ａが連
結され、これらのシリンダ２１によってシャフト手段１
０が昇降されるようになっている。また、該第１シャフ
ト１０ａの下端部からは、加工時に研磨材を供給するた
めの研磨材供給ノズル２２が突出している。上記シリン
ダ２１は、１次及び２次の二つのシリンダ機構を内蔵す
ることにより２段階にわたって昇降動作できるようにし
たもので、機体１に固定されたブラケット２３に取り付
けられている。
下端部に上記の如くヘッド支持部材１１とセンターギア
１３とが取り付けられており、その上端部は支持プレー
ト２０に固定され、該支持プレート２０に昇降用駆動手
段である２つの流体圧シリンダ２１のロッド２１ａが連
結され、これらのシリンダ２１によってシャフト手段１
０が昇降されるようになっている。また、該第１シャフ
ト１０ａの下端部からは、加工時に研磨材を供給するた
めの研磨材供給ノズル２２が突出している。上記シリン
ダ２１は、１次及び２次の二つのシリンダ機構を内蔵す
ることにより２段階にわたって昇降動作できるようにし
たもので、機体１に固定されたブラケット２３に取り付
けられている。
【００１３】上記公転用ギア１７とヘッド支持部材１１
とは、公転用ギア１７の複数か所から下方に延びてヘッ
ド支持部材１１を摺動自在に貫通する複数の連結棒２７
により、回転方向には相互に連結されており、公転用ギ
ア１７が回転すると上記連結棒２７を介してヘッド支持
部材１１が一緒に回転し、該ヘッド支持部材１１に支持
された各ワークヘッド６が第１シャフト１０ａを中心に
公転するようになっており、上記公転用ギア１７と連結
棒２７とによって上記公転手段８が構成されている。
とは、公転用ギア１７の複数か所から下方に延びてヘッ
ド支持部材１１を摺動自在に貫通する複数の連結棒２７
により、回転方向には相互に連結されており、公転用ギ
ア１７が回転すると上記連結棒２７を介してヘッド支持
部材１１が一緒に回転し、該ヘッド支持部材１１に支持
された各ワークヘッド６が第１シャフト１０ａを中心に
公転するようになっており、上記公転用ギア１７と連結
棒２７とによって上記公転手段８が構成されている。
【００１４】上記連結棒２７の下端には、円板状のブロ
ックガイド２９がヘッド支持部材１１と同心位置を占め
るように取り付けられている。該ブロックガイド２９
は、ワークヘッド６と同数且つ同配列のヘッド嵌合穴３
０と、中心部に位置する研磨材供給用のポケット部３１
とを有するもので、ワーク４の研磨加工時に、上記ヘッ
ド嵌合穴３０内にワークヘッド６とそれに保持されたワ
ーク４とが嵌合すると共に、ポケット部３１に上記研磨
材供給ノズル２２が嵌合した状態で、公転用ギア１７及
びヘッド支持部材１１と一緒に回転するようになってい
る。
ックガイド２９がヘッド支持部材１１と同心位置を占め
るように取り付けられている。該ブロックガイド２９
は、ワークヘッド６と同数且つ同配列のヘッド嵌合穴３
０と、中心部に位置する研磨材供給用のポケット部３１
とを有するもので、ワーク４の研磨加工時に、上記ヘッ
ド嵌合穴３０内にワークヘッド６とそれに保持されたワ
ーク４とが嵌合すると共に、ポケット部３１に上記研磨
材供給ノズル２２が嵌合した状態で、公転用ギア１７及
びヘッド支持部材１１と一緒に回転するようになってい
る。
【００１５】そして、上記シャフト手段１０を構成する
２つのシャフト１０ａ，１０ｂは、ワーク４の非加工時
に第１シャフト１０ａがシリンダ２１により上昇（図
２）すると、該第１シャフト１０ａに設けた係止部材３
３が第２シャフト１０ｂの下端部に係止して、両シャフ
ト１０ａ，１０ｂが図２の位置まで一緒に上昇し、この
とき各ワークヘッド６が、ブロックガイド２９のヘッド
嵌合穴３０から上方に抜け出した位置を占めるようにな
っており、また、ワーク４の加工時に両シャフト１０
ａ，１０ｂは、ブロックガイド２９及びワーク４がそれ
ぞれ定盤２に当接する位置まで下降（図６）し、このと
き、ワークヘッド６及びワーク４がブロックガイド２９
のヘッド嵌合穴３０内に嵌合するようになっている。
２つのシャフト１０ａ，１０ｂは、ワーク４の非加工時
に第１シャフト１０ａがシリンダ２１により上昇（図
２）すると、該第１シャフト１０ａに設けた係止部材３
３が第２シャフト１０ｂの下端部に係止して、両シャフ
ト１０ａ，１０ｂが図２の位置まで一緒に上昇し、この
とき各ワークヘッド６が、ブロックガイド２９のヘッド
嵌合穴３０から上方に抜け出した位置を占めるようにな
っており、また、ワーク４の加工時に両シャフト１０
ａ，１０ｂは、ブロックガイド２９及びワーク４がそれ
ぞれ定盤２に当接する位置まで下降（図６）し、このと
き、ワークヘッド６及びワーク４がブロックガイド２９
のヘッド嵌合穴３０内に嵌合するようになっている。
【００１６】図３に示すように、加工時に上記ブロック
ガイド２９が安定的且つ円滑に回転できるようにするた
め、機体１には該ブロックガイド２９の回転を支持する
支持手段３４が設けられている。この支持手段３４は、
ガイドローラ３５からなっていて、このガイドローラ３
５が、基端部を機体１に回転自在に枢支された支持アー
ム３６の先端に回転自在に取り付けられ、ブロックガイ
ド２９の側面に当接することによって該ブロックガイド
２９を支持するようになっており、上記支持アーム３６
には流体圧シリンダ３７のロッド３７ａが連結され、該
シリンダ３７によってガイドローラ３５が、ブロックガ
イド２９当接する支持位置とブロックガイド２９から離
間する待機位置との間を変移可能となっている。図示の
実施例では上記ガイドローラ３５が２組設けられている
が、１組であっても良い。
ガイド２９が安定的且つ円滑に回転できるようにするた
め、機体１には該ブロックガイド２９の回転を支持する
支持手段３４が設けられている。この支持手段３４は、
ガイドローラ３５からなっていて、このガイドローラ３
５が、基端部を機体１に回転自在に枢支された支持アー
ム３６の先端に回転自在に取り付けられ、ブロックガイ
ド２９の側面に当接することによって該ブロックガイド
２９を支持するようになっており、上記支持アーム３６
には流体圧シリンダ３７のロッド３７ａが連結され、該
シリンダ３７によってガイドローラ３５が、ブロックガ
イド２９当接する支持位置とブロックガイド２９から離
間する待機位置との間を変移可能となっている。図示の
実施例では上記ガイドローラ３５が２組設けられている
が、１組であっても良い。
【００１７】上記構成を有する研磨装置によってワーク
４を研磨加工するときは、図２に示すように装置が非加
工状態にあるときに各ワークヘッド６にワーク４を保持
させたあと、昇降手段７におけるシリンダ２１のロッド
２１ａを短縮させることにより、ワークヘッド６及びブ
ロックガイド２９を下降させる。この場合、下降の第１
次段階ではシャフト手段１０における２つのシャフト１
０ａ，１０ｂが一緒に下降し、図５に示すようにブロッ
クガイド２９が定盤２に当接すると、第２シャフト１０
ｂがその位置に停止する。次に、第２次段階として第１
シャフト１０ａのみが更に下降し、図６に示すように、
各ワークヘッド６に保持されたワーク４がブロックガイ
ド２９のヘッド嵌合穴３０内に嵌合し、定盤２に所定の
加圧力で当接すると、下降が停止する。
４を研磨加工するときは、図２に示すように装置が非加
工状態にあるときに各ワークヘッド６にワーク４を保持
させたあと、昇降手段７におけるシリンダ２１のロッド
２１ａを短縮させることにより、ワークヘッド６及びブ
ロックガイド２９を下降させる。この場合、下降の第１
次段階ではシャフト手段１０における２つのシャフト１
０ａ，１０ｂが一緒に下降し、図５に示すようにブロッ
クガイド２９が定盤２に当接すると、第２シャフト１０
ｂがその位置に停止する。次に、第２次段階として第１
シャフト１０ａのみが更に下降し、図６に示すように、
各ワークヘッド６に保持されたワーク４がブロックガイ
ド２９のヘッド嵌合穴３０内に嵌合し、定盤２に所定の
加圧力で当接すると、下降が停止する。
【００１８】続いて、研磨剤供給ノズル２２からの研磨
剤の供給が開始されると共に、定盤２及びドライブギア
１８の回転が開始され、ワーク４の研磨加工が所要の時
間行われる。このとき、上記ドライブギア１８により公
転用ギア１７が回転され、連結棒２７でこの公転用ギア
１７に連結されたヘッド支持部材１１及びブロックガイ
ド２９も一緒に回転するため、ヘッド支持部材１１に取
り付けられた各ワークヘッド６及びワーク４は、ブロッ
クガイド２９のヘッド嵌合穴３０内に嵌合した状態で第
２シャフト１０ｂの回りを公転する。それと同時に、各
ワークヘッド６のヘッドギア１２が、センターギア１３
の回りを噛合状態で周回することにより回転するため、
各ワークヘッド６はワーク４と共にヘッド軸６ａを中心
にして自転する。例えば、図４に矢印で示すように、ド
ライブギア１８が時計方向に回転すると、公転用ギア１
７は反時計方向に回転し、ヘッドギア１２及び各ワーク
ヘッド６も反時計方向に回転する。
剤の供給が開始されると共に、定盤２及びドライブギア
１８の回転が開始され、ワーク４の研磨加工が所要の時
間行われる。このとき、上記ドライブギア１８により公
転用ギア１７が回転され、連結棒２７でこの公転用ギア
１７に連結されたヘッド支持部材１１及びブロックガイ
ド２９も一緒に回転するため、ヘッド支持部材１１に取
り付けられた各ワークヘッド６及びワーク４は、ブロッ
クガイド２９のヘッド嵌合穴３０内に嵌合した状態で第
２シャフト１０ｂの回りを公転する。それと同時に、各
ワークヘッド６のヘッドギア１２が、センターギア１３
の回りを噛合状態で周回することにより回転するため、
各ワークヘッド６はワーク４と共にヘッド軸６ａを中心
にして自転する。例えば、図４に矢印で示すように、ド
ライブギア１８が時計方向に回転すると、公転用ギア１
７は反時計方向に回転し、ヘッドギア１２及び各ワーク
ヘッド６も反時計方向に回転する。
【００１９】この結果、ワーク４の自転及び公転は、定
盤２の内外周の周速差やワークに作用する作用力差等に
関係なく常に安定的且つ確実に行われ、回転むらによる
研磨精度の低下を来すことがない。ワーク４の研磨加工
が終了すると、研磨材の供給が停止されると共に、定盤
２及びドライブギア１８の回転が停止され、シリンダ２
１のロッド２１ａが伸長してワークヘッド６及びブロッ
クガイド２９が持上げられる。この場合、先ず第１シャ
フト１０ａが上昇し、図５に示すように係止部材３３が
第２シャフト１０ｂの下端に当接係止すると、その後は
両シャフト１０ａ，１０ｂが一体となって上昇し、図２
に示す上限位置に達すると上昇が停止する。そして、各
ワークヘッド６に保持されている加工済ワークを取り出
し、続けて加工を行う場合は、新たな未加工ワークを各
ワークヘッド６に保持させて上記工程を繰り返す。
盤２の内外周の周速差やワークに作用する作用力差等に
関係なく常に安定的且つ確実に行われ、回転むらによる
研磨精度の低下を来すことがない。ワーク４の研磨加工
が終了すると、研磨材の供給が停止されると共に、定盤
２及びドライブギア１８の回転が停止され、シリンダ２
１のロッド２１ａが伸長してワークヘッド６及びブロッ
クガイド２９が持上げられる。この場合、先ず第１シャ
フト１０ａが上昇し、図５に示すように係止部材３３が
第２シャフト１０ｂの下端に当接係止すると、その後は
両シャフト１０ａ，１０ｂが一体となって上昇し、図２
に示す上限位置に達すると上昇が停止する。そして、各
ワークヘッド６に保持されている加工済ワークを取り出
し、続けて加工を行う場合は、新たな未加工ワークを各
ワークヘッド６に保持させて上記工程を繰り返す。
【００２０】
【発明の効果】このように本発明によれば、ワークヘッ
ドを公転手段によって強制的に公転させると共に、自転
手段によって強制的に自転させるようにしているため、
ワークの自転及び公転を常に安定的且つ確実に行わせる
ことができ、この結果、回転むらによる研磨精度の低下
を防いでワークの高平坦化を容易に実現することができ
る。
ドを公転手段によって強制的に公転させると共に、自転
手段によって強制的に自転させるようにしているため、
ワークの自転及び公転を常に安定的且つ確実に行わせる
ことができ、この結果、回転むらによる研磨精度の低下
を防いでワークの高平坦化を容易に実現することができ
る。
【図１】本発明の遊星歯車研磨装置の一実施例を示す正
面図である。
面図である。
【図２】図１の要部拡大断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線での拡大断面図である。
【図４】ワークに公転と自転とを生じさせるギアの噛合
関係を示す平面図である。
関係を示す平面図である。
【図５】本発明の遊星歯車研磨装置の異なる動作状態を
示す図２と同様位置での拡大断面図である。
示す図２と同様位置での拡大断面図である。
【図６】本発明の遊星歯車研磨装置の更に異なる動作状
態を示す図２と同様位置での拡大断面図である。
態を示す図２と同様位置での拡大断面図である。
【図７】従来の研磨装置の要部断面図である。
１ 機体 ２ 定盤 ３ 加圧ユニット ６ ワークヘッド ７ 昇降手段 ８ 公転手段 ９ 自転手段 １０ シャフト手段 １１ ヘッド支持部材 １２ ヘッドギア １３ センターギア １７ 公転用ギア １８ ドライブギア ２１ シリンダ ２７ 連結棒 ２９ ブロックガイ
ド ３０ ヘッド嵌合穴 ３５ ガイドローラ
ド ３０ ヘッド嵌合穴 ３５ ガイドローラ
Claims (6)
- 【請求項１】モータにより駆動回転自在の定盤と、該定
盤にワークを所要の力で押し付ける加圧ユニットとを備
え、 上記加圧ユニットが、ワークを保持するための円周状に
配設された複数のワークヘッドと、これらのワークヘッ
ドの昇降と各ワークヘッドに対する加工圧の付与とを司
る昇降手段と、上記各ワークヘッドを配列中心の回りに
強制的に公転させる公転手段と、各ワークヘッドを強制
的に自転させる自転手段と、を有することを特徴とする
遊星歯車式研磨装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の遊星歯車式研磨装置にお
いて、 昇降手段が、ワークヘッドの配列中心において機体に昇
降自在に支持されたシャフト手段と、該シャフト手段に
取り付けられて上記各ワークヘッドを支持するヘッド支
持部材と、上記シャフト手段を昇降させる駆動手段とを
有し、 公転手段が、上記シャフト手段に回転自在に取り付けら
れて駆動用のドライブギアと噛合する公転用ギアと、該
公転用ギアと上記ヘッド支持部材とを回転方向に連結す
る連結手段とを有し、 自転手段が、上記シャフト手段に取り付けられたセンタ
ーギアと、各ワークヘッドに取り付けられて該センター
ギアに噛合するヘッドギアとを有する、ことを特徴とす
るもの。 - 【請求項３】請求項１又は２に記載の遊星歯車式研磨装
置において、 加圧ユニットが、ワークヘッドと同数且つ同配列のヘッ
ド嵌合穴を備えたブロックガイドを有し、該ブロックガ
イドが上記ワークヘッドの配列中心と同心位置に設けら
れていて、加圧ユニットが非加工位置にあるときは各ワ
ークヘッドがブロックガイドのヘッド嵌合穴から抜け出
した位置を占め、加圧ユニットが加工位置にあるときは
各ワークヘッドが上記ヘッド嵌合穴内に嵌合する位置を
占めるように構成されているもの。 - 【請求項４】請求項３に記載の遊星歯車式研磨装置にお
いて、 ブロックガイドの回転を支持する支持手段を備えたも
の。 - 【請求項５】請求項４に記載の遊星歯車式研磨装置にお
いて、 上記支持手段が少なくとも１つのガイドローラからなっ
ていて、該ガイドローラが、ブロックガイドに当接する
支持位置とブロックガイドから離間する待機位置との間
を変移可能であるもの。 - 【請求項６】請求項１乃至５のいずれかに記載の遊星歯
車式研磨装置において、 複数の加圧ユニットが定盤の中心の回りに所要の間隔を
おいて配設されていることを特徴とするもの。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7821795A JPH08243889A (ja) | 1995-03-09 | 1995-03-09 | 遊星歯車式研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7821795A JPH08243889A (ja) | 1995-03-09 | 1995-03-09 | 遊星歯車式研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08243889A true JPH08243889A (ja) | 1996-09-24 |
Family
ID=13655887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7821795A Pending JPH08243889A (ja) | 1995-03-09 | 1995-03-09 | 遊星歯車式研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08243889A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100931641B1 (ko) * | 2009-07-28 | 2009-12-14 | (주)성심 | 폴리싱 머신용 기어툴 박스 구조 |
| CN104029117A (zh) * | 2014-07-01 | 2014-09-10 | 中州大学 | 一种转角离合式永磁体吸盘 |
| JP2015196224A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨方法、及び保持具 |
| CN106064345A (zh) * | 2016-07-28 | 2016-11-02 | 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 | 一种用于单面研磨机或抛光机的上抛头机架 |
| CN110757326A (zh) * | 2019-10-18 | 2020-02-07 | 天津布莱德尔机床有限公司 | 一种钝化抛光装置 |
-
1995
- 1995-03-09 JP JP7821795A patent/JPH08243889A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100931641B1 (ko) * | 2009-07-28 | 2009-12-14 | (주)성심 | 폴리싱 머신용 기어툴 박스 구조 |
| JP2015196224A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨方法、及び保持具 |
| CN104029117A (zh) * | 2014-07-01 | 2014-09-10 | 中州大学 | 一种转角离合式永磁体吸盘 |
| CN104029117B (zh) * | 2014-07-01 | 2015-04-29 | 中州大学 | 一种转角离合式永磁体吸盘 |
| CN106064345A (zh) * | 2016-07-28 | 2016-11-02 | 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 | 一种用于单面研磨机或抛光机的上抛头机架 |
| CN110757326A (zh) * | 2019-10-18 | 2020-02-07 | 天津布莱德尔机床有限公司 | 一种钝化抛光装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040629 |