JP3192963B2 - 研磨装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属の平板状の被
研磨物を研磨する際に用いられる研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の研磨装置としては図９，
図10に示すように、本体81内に保持された回転軸82の先
端に研磨工具83が取付けられたものがある。本体81に
は、回転軸82を回転駆動させるモータ84が設けられてお
り、研磨工具83の先端面には、研磨材や研磨パットが貼
付されている。

【０００３】これによると、モータ84を駆動させること
によって、回転軸82が回転するとともに研磨工具83が回
転する。そして、作業者は、本体81を持って研磨工具83
を被研磨物85の上面に押圧するとともに、図10に示すよ
うに、中心点Ａを中心にして本体81を回動させることに
より、中心点Ａの周りに研磨工具83を公転させて研磨し
ていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来形式では、作業者が手動で研磨工具83を公転させる
ため、研磨精度が低いといった問題や労力を要するとい
った問題があった。

【０００５】そこで本発明のうち請求項１記載の発明
は、研磨工具を機械的に自転させながら公転させること
により、高精度の研磨を行うとともに、労力の低減を図
ることを目的としたものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明のうちで請求項１記載の発明は、被研磨
物を支持する支持部の上方に、この支持部にセットされ
た被研磨物の上面に押圧されて被研磨物を研磨する研磨
工具が設けられ、この研磨工具は第１の鉛直軸心周りに
自転自在な回転軸の下端に設けられ、この回転軸を保持
しかつ上記支持部に対して昇降自在な保持体に、上記回
転軸を自転させる自転機構と、この自転機構を回転駆動
させる自転用駆動装置と、上記回転軸を上記第１の鉛直
軸心に平行な第２の鉛直軸心周りに公転させる公転機構
と、この公転機構を回転駆動させる公転用駆動装置とが
設けられ、上記研磨工具は自在継手を介して回転軸の下
端に取付けられ、上記自在継手は、回転軸と研磨工具と
の間に設けられた環状体と、回転軸の下端側に設けられ
て上記環状体の外周方に位置する一対の第１連結片と、
研磨工具側に設けられて上記環状体の外周方に位置する
一対の第２連結片と、環状体と各第１連結片とを回動自
在に連結する第１連結ピンと、環状体と各第２連結片と
を回動自在に連結する第２連結ピンとで構成され、上記
両第１連結片と第１連結ピンとは上記第１の鉛直軸心に
直交する第１の水平軸心上に配設され、上記両第２連結
片と第２連結ピンとは上記第１の鉛直軸心と第１の水平
軸心とに直交する第２の水平軸心上に配設されているも
のである。

【０００７】これによると、自転用駆動装置を作動させ
て自転機構を回転駆動させることにより、回転軸ととも
に研磨工具を第１の鉛直軸心周りに自転させ、さらに、
公転用駆動装置を作動させて公転機構を回転駆動させる
ことにより、回転軸とともに研磨工具を第２の鉛直軸心
周りに公転させる。そして、保持体を下降させて研磨工
具を支持部にセットされた被研磨物の上面に押圧するこ
とにより、研磨工具が自転しながら公転して被研磨物を
研磨する。

【０００８】このように、研磨工具を機械的に自転させ
ながら公転させて被研磨物の研磨を行うことが可能にな
るため、高精度の研磨が実施でき、さらに作業者の労力
を低減し得る。

【０００９】また、研磨中に、研磨工具と被研磨物との
間に異物が介入した場合、研磨工具が自在継手の第１の
水平軸心または第２の水平軸心を中心にして揺動するこ
とによって、上記異物が研磨工具と被研磨物との間から
容易に排除される。また、被研磨物の上面が微妙に傾斜
している場合でも、研磨工具は揺動することによって被
研磨物の上面の傾斜に追従して傾斜する。このため、被
研磨物の上面が微妙に傾斜していても、高精度の研磨が
行える。

【００１０】さらに、請求項２記載の発明は、自転機構
は、自転用駆動装置によって第２の鉛直軸心周りに回動
自在な自転軸と、この自転軸の下部に設けられた太陽歯
車と、回転軸の上部に設けられて上記太陽歯車に噛合す
る遊星歯車とで構成され、研磨工具に研磨液を供給する
供給流路が上記自転軸内と回転軸内とにそれぞれ形成さ
れ、上記自転軸の下端に設けられた下部ロータリージョ
イントの出口と回転軸の上端に設けられたロータリージ
ョイントの入口とが接続ホースで接続され、上記自転軸
の上端に設けられた上部ロータリージョイントの入口
に、研磨液を供給する供給ホースが接続されているもの
である。

【００１１】これによると、供給ホースから上部ロータ
リージョイントに供給された研磨液は、自転軸内の供給
流路を流れ、下部ロータリージョイントから回転軸のロ
ータリージョイントへ流れ、さらに回転軸内の供給流路
を流れ、研磨工具へ供給される。これにより、研磨工具
で被研磨物を研磨している際、被研磨物の上面の塵埃や
加工屑が研磨液で排除され、研磨工具の目詰りの防止や
研磨工具と被研磨物との間に異物がかみ込むことを防止
できる。また、回転軸内と自転軸内とにそれぞれ研磨液
の供給流路を形成したことにより、研磨装置を小型化す
ることができる。

【００１２】さらに、請求項３記載の発明は、回転軸の
下端に、上下方向へ移動自在でかつ押圧手段の押圧力に
より下動方向へ押圧されている可動体が設けられ、この
可動体に、自在継手を介して取付基板が設けられ、研磨
工具は、第１の鉛直軸心に対して偏心可能に上記取付基
板に取付けられているものである。

【００１３】これによると、研磨工具で被研磨物の上面
を研磨している際、研磨工具は、可動体を介して、押圧
手段の押圧力により下方へ押圧されている。このため、
被研磨物の上面に微妙な高低差がある場合でも、研磨工
具は、可動体を介して、被研磨物の上面の高低差に追従
して上下移動するため、研磨工具は常に被研磨物の上面
に押圧され、研磨工具の被研磨物に対する押圧力をほぼ
一定に保つことができる。したがって、被研磨物の上面
に高低差がある場合でも、スクラッチや研磨むらの発生
を防止することができ、高精度の研磨が行える。さら
に、研磨工具を第１の鉛直軸心に対して偏心させて、研
磨を行うことにより、未研磨部分を無くすことができ
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図１
〜図８に基づいて説明する。図２，図３に示すように、
１は金属の平板状の被研磨物２を支持する支持台１（支
持部の一例）である。この支持台１の上方には、支持台
１にセットされた被研磨物２の上面へ押圧されて被研磨
物２を研磨する３個の研磨工具３が設けられている。こ
れら各研磨工具３はそれぞれ、第１の鉛直軸心４周りに
自転自在な３本の回転軸５の下端に設けられており、こ
れら回転軸５は保持体６により保持されている。

【００１５】上記保持体６は箱形状に形成されており、
上記回転軸５の下部は保持体６の底壁７に形成された開
口部８から下方へ突出している。上記保持体６には、上
記各回転軸５を自転させる自転機構９と、この自転機構
９を回転駆動させる自転用モータ10（自転用駆動装置の
一例）と、上記各回転軸５を上記第１の鉛直軸心４に平
行な第２の鉛直軸心11周りに公転させる公転機構12と、
この公転機構12を回転駆動させる公転用モータ13（公転
用駆動装置の一例）とが設けられている。尚、上記３本
の回転軸５は、第２の鉛直軸心11を中心にして、径方向
へ一定距離離れており、周方向で１２０°置きに振り分
けられている。

【００１６】上記自転機構９は、上記第２の鉛直軸心11
周りに回動自在な１本の自転軸15と、上記自転用モータ
10の駆動軸に設けられた駆動プーリー16と上記自転軸15
の上端に設けられた従動プーリー17との間に巻回された
駆動ベルト18と、自転軸15の下部に設けられた太陽歯車
19と、各回転軸５の上部に設けられて上記太陽歯車19に
噛合する遊星歯車20とから構成されている。上記自転軸
15は、保持体６の上壁41に設けられたスリーブ体21に挿
通されて、ベアリング22を介してスリーブ体21に回動自
在に保持されている。

【００１７】上記公転機構12は、上記３本の回転軸５の
上端部同士を一体的に連結する上部回転体23と、中間部
同士を一体的に連結する中間部回転体24と、下部同士を
一体的に連結する下部回転体25と、上記第２の鉛直軸心
11に平行な第３の鉛直軸心26周りに回動自在な公転軸27
と、上記公転用モータ13の駆動軸に設けられた駆動プー
リー28と上記公転軸27の上端に設けられた従動プーリー
29との間に巻回された駆動ベルト30と、上記公転軸27の
下部に設けられた歯車31と、この歯車31に噛合しかつ上
記中間部回転体24の外周に設けられた歯車32とから構成
されている。

【００１８】このうち、上記公転軸27は、保持体６の内
部に設けられた上下一対の軸受装置33で保持されてい
る。また、図２，図４に示すように、上記上部回転体23
はリング状に形成され、各回転軸５の上端部は、上部回
転体23に挿通され、ベアリング34を介して回動自在に保
持されている。

【００１９】また、図２，図３に示すように、上記中間
部回転体24は、円筒部24ａとこの円筒部24ａの上端に設
けられた円板部24ｂとから形成され、上記円筒部24ａに
外嵌されたベアリング35を介して保持体６の内部に保持
されて、上記第２の鉛直軸心11周りに回動自在となって
いる。さらに、各回転軸５の中間部は、中間部回転体24
の円板部24ｂに挿通され、ベアリング36を介して回動自
在に保持されている。

【００２０】また、図１，図２に示すように、上記下部
回転体25は、円板状に形成され、外周面に外嵌されたベ
アリング37を介して保持体６の内部に保持され、上記第
２の鉛直軸心11周りに回動自在となっている。さらに、
各回転軸５の下部は、下部回転体25に挿通され、ベアリ
ング38を介して回動自在に保持されている。

【００２１】さらに、上記第２の鉛直軸心11上には、上
記中間部回転体24と下部回転体25とに挿通されかつ中間
部回転体24と下部回転体25と共に第２の鉛直軸心11周り
に回動自在な連結軸39が設けられている。この連結軸39
の下端には、保持体６の底壁７の開口部８を覆う円板状
の覆い板40が取付けられている。上記自転用モータ10と
公転用モータ13とはそれぞれ、保持体６の上壁41に設置
され、インバータ制御により個別に回転速度を調節可能
である。

【００２２】図１，図２に示すように、上記各回転軸５
の下端には円筒状の保持部材42が設けられ、これら各保
持部材42には、上下方向へ摺動自在な円筒状の可動体43
が嵌入されている。これら各可動体43と保持部材42との
内部には、上記各可動体43を下動方向へ押圧する圧縮コ
イルスプリング44（押圧手段の一例）が設けられてい
る。

【００２３】上記各可動体43の下部にはフランジ部43ａ
が形成され、これら各フランジ部43ａには自在継手46を
介して取付基板47が設けられている。そして、上記各研
磨工具３は、円盤状に形成され、上記第１の鉛直軸心４
に対して偏心可能に各取付基板47に取付けられている。
尚、各研磨工具３には、研磨材や研磨パットが貼付され
ている。

【００２４】図１，図５および図６に示すように、上記
自在継手46は、可動体43と取付基板47との間に設けられ
た環状体46ａと、可動体43のフランジ部43ａに設けられ
て環状体46ａの外周方に位置する一対の第１連結片46ｂ
と、取付基板47に設けられて環状体46ａの外周方に位置
する一対の第２連結片46ｃと、環状体46ａと各第１連結
片46ｂとを回動自在に連結する第１連結ピン46ｄと、環
状体46ａと各第２連結片46ｃとを回動自在に連結する第
２連結ピン46ｅとから構成されている。すなわち、上記
両第１連結片46ｂと第１連結ピン46ｄとは、上記第１の
鉛直軸心４に直交する第１の水平軸心48上に配設されて
おり、上記両第２連結片46ｃと第２連結ピン46ｅとは、
上記第１の鉛直軸心４と第１の水平軸心48とに直交する
第２の水平軸心49上に配設されている。これにより、図
６に示すように、各取付基板47は、平面視で十字に交差
した上記第１の水平軸心48と第２の水平軸心49とを中心
にして揺動可能となっている。

【００２５】図２，図３に示すように、上記各回転軸５
は、研磨工具３に研磨液を供給する供給流路50が内部に
形成された中空軸である。上記供給流路50は、回転軸５
の上下両端にわたって形成され、図１で示すように保持
部材42に形成された上部供給孔51に連通している。ま
た、上記各取付基板47には、研磨工具３に形成された研
磨液の供給口52に連通する下部供給孔53が形成され、上
記上部供給孔51と下部供給孔53とは、上記可動体43の内
部に挿通されたフレキシブルチューブ54で連通されてい
る。尚、フレキシブルチューブ54の下部は上記下部供給
孔53に嵌入されており、取付基板47は、上記可動体43と
一体的に上下移動するため、フレキシブルチューブ54に
対して上下方向へ摺動自在となっている。

【００２６】また、図２に示すように、上記回転軸５と
同様に、自転軸15も研磨液を供給する供給流路55が上下
両端にわたり内部に形成された中空軸である。この自転
軸15の上下両端と上記回転軸５の上端にはそれぞれロー
タリージョイント56，57，58が設けられている。このう
ち、自転軸15の下端に設けられた下部ロータリージョイ
ント57の出口は各回転軸５に対応して３つに分岐してお
り、下部ロータリージョイント57の出口と上記回転軸５
のロータリージョイント58の入口とが接続ホース59（図
４参照）で接続されている。また、自転軸15の上端に設
けられた上部ロータリージョイント56の入口には、タン
クからポンプで圧送された研磨液を供給する供給ホース
60が接続されている。

【００２７】また、図２に示すように、上記保持体６
は、ガイドレール61に案内されて支持台１に対して昇降
自在となっており、複数の昇降用シリンダ装置62により
昇降駆動される。

【００２８】以下、上記構成における作用を説明する。
図２に示すように、自転用モータ10を駆動することによ
り、両プーリー16，17と駆動ベルト18とを介して自転軸
15が回転し、太陽歯車19と遊星歯車20とを介して３本の
回転軸５がそれぞれ第１の鉛直軸心４周りに自転するこ
とにより、上記各回転軸５と一体的に３つの研磨工具３
が第１の鉛直軸心４周りに自転する。

【００２９】さらに、公転用モータ13を駆動することに
より、両プーリー28，29と駆動ベルト30とを介して公転
軸27が回転し、両歯車31，32を介して中間部回転体24が
第２の鉛直軸心11周りに回転することにより、３本の回
転軸５が第２の鉛直軸心11周りに公転する。この際、上
記中間部回転体24と共に上部回転体23と下部回転体25と
連結軸39と覆い板40も上記各回転軸５と一体的に第２の
鉛直軸心11周りに回転する。

【００３０】そして、昇降用シリンダ装置62のピストン
ロッド62ａを伸長させることにより、保持体６が下降し
て、各研磨工具３は、支持台１にセットされた被研磨物
２の上面に押圧される。これにより、各研磨工具３が各
第１の鉛直軸心４周りに自転しながら第２の鉛直軸心11
周りに公転して被研磨物２を研磨する。

【００３１】このように、各研磨工具３を機械的に自転
させながら公転させて被研磨物２の研磨を行うことが可
能になるため、高精度の研磨が実施でき、さらに作業者
の労力を低減し得る。

【００３２】この際、上記自転用モータ10の回転速度と
公転用モータ13の回転速度とをそれぞれインバータ制御
により調節することで、各研磨工具３の自転速度と公転
速度とを個別に変えることが可能となり、図７に示され
たような被研磨物２の上面に形成される研磨条痕（研磨
目）が自由に選定できるため、被研磨物２の材質に対し
て最適な研磨条痕を選定することができる。さらに、研
磨工具３の自転速度と公転速度とを個別に変えることに
より、被研磨物２の中央部と周辺部あるいは研磨条痕の
重なり部等に対しても均一な研磨が可能となる。

【００３３】また、各研磨工具３で被研磨物２の上面を
研磨している際、図１に示すように、各研磨工具３はそ
れぞれ、可動体43を介して、圧縮コイルスプリング44の
押圧力により下方へ押圧されている。このため、被研磨
物２の上面に微妙な高低差がある場合でも、各研磨工具
３は、可動体43の上下移動とともに、被研磨物２の上面
の高低差に追従して上下移動するため、各研磨工具３は
常に被研磨物２の上面に押圧され、各研磨工具３の被研
磨物２に対する押圧力をほぼ一定に保つことができる。
したがって、被研磨物２の上面に微妙な高低差がある場
合でも、スクラッチや研磨むらの発生を防止することが
でき、高精度の研磨が行える。

【００３４】さらに、図２に示すように、供給ホース60
から上部ロータリージョイント56に供給された研磨液
は、自転軸15内の供給流路55を流れ、下部ロータリージ
ョイント57から各回転軸５のロータリージョイント58へ
流れ、さらに各回転軸５内の供給流路50を流れ、図１に
示すように、各供給流路50から上部供給孔51を経てフレ
キシブルチューブ54内を通り、下部供給孔53を経て供給
口52から各研磨工具３の研磨面63へ供給される。これに
より、各研磨工具３で被研磨物２を研磨している際、被
研磨物２の上面の塵埃や加工屑が研磨液で排除され、各
研磨工具３の目詰りの防止や各研磨工具３と被研磨物２
との間に異物がかみ込むことを防止できる。

【００３５】さらに、研磨中に、研磨工具３と被研磨物
２との間に異物が介入した場合、図５，図６に示すよう
に、研磨工具３が取付基板47と一体的に自在継手46の第
１の水平軸心48または第２の水平軸心49を中心にして揺
動することによって、上記異物が研磨工具３と被研磨物
２との間から容易に排除される。また、被研磨物２の上
面が微妙に傾斜している場合でも、各研磨工具３は揺動
することによって被研磨物２の上面の傾斜に追従して傾
斜する。このため、被研磨物２の上面が微妙に傾斜して
いても、高精度の研磨が行える。

【００３６】上記のような研磨においては、図２に示す
ように各研磨工具３は第１の鉛直軸心４に対して偏心し
ていないため、図７に示すように、被研磨物２の上面の
中心部に、研磨工具３が接触せず研磨されない未研磨部
分64がわずかに発生する。このような場合には、図１に
示すように、各研磨工具３をそれぞれ第１の鉛直軸心４
に対して同方向へ所定量Ｌだけ偏心させた後、研磨を行
うことにより、図８に示すように、上記未研磨部分64を
無くすことができる。

【００３７】上記実施の形態では、各回転軸５内と自転
軸15内とにそれぞれ研磨液の供給流路50，55を形成した
ことにより、研磨装置を小型化することができる。上記
実施の形態では、図３に示すように、研磨工具３を３個
設けたが、３個以外の複数個または１個であってもよ
い。

【００３８】上記実施の形態では、図１に示すように、
上部供給孔51と下部供給孔53とをフレキシブルチューブ
54で連通しているが、鋼管等の剛体のチューブを用いて
もよい。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のうち請求
項１記載の発明によると、自転用駆動装置を作動させて
自転機構を回転駆動させることにより、回転軸とともに
研磨工具を第１の鉛直軸心周りに自転させ、さらに、公
転用駆動装置を作動させて公転機構を回転駆動させるこ
とにより、回転軸とともに研磨工具を第２の鉛直軸心周
りに公転させる。そして、保持体を下降させて研磨工具
を支持部にセットされた被研磨物の上面に押圧すること
により、研磨工具が自転しながら公転して被研磨物を研
磨する。

【００４０】このように、研磨工具を機械的に自転させ
ながら公転させて被研磨物の研磨を行うことが可能にな
るため、高精度の研磨が実施でき、さらに作業者の労力
を低減し得る。

【００４１】また、研磨中に、研磨工具と被研磨物との
間に異物が介入した場合、研磨工具が自在継手の第１の
水平軸心または第２の水平軸心を中心にして揺動するこ
とによって、上記異物が研磨工具と被研磨物との間から
容易に排除される。また、被研磨物の上面が微妙に傾斜
している場合でも、研磨工具は揺動することによって被
研磨物の上面の傾斜に追従して傾斜する。このため、被
研磨物の上面が微妙に傾斜していても、高精度の研磨が
行える。

【００４２】さらに、請求項２記載の発明によると、供
給ホースから上部ロータリージョイントに供給された研
磨液は、自転軸内の供給流路を流れ、下部ロータリージ
ョイントから回転軸のロータリージョイントへ流れ、さ
らに回転軸内の供給流路を流れ、研磨工具へ供給され
る。これにより、研磨工具で被研磨物を研磨している
際、被研磨物の上面の塵埃や加工屑が研磨液で排除さ
れ、研磨工具の目詰りの防止や研磨工具と被研磨物との
間に異物がかみ込むことを防止できる。また、回転軸内
と自転軸内とにそれぞれ研磨液の供給流路を形成したこ
とにより、研磨装置を小型化することができる。

【００４３】さらに、請求項３記載の発明によると、研
磨工具で被研磨物の上面を研磨している際、研磨工具
は、可動体を介して、押圧手段の押圧力により下方へ押
圧されている。このため、被研磨物の上面に微妙な高低
差がある場合でも、研磨工具は、可動体を介して、被研
磨物の上面の高低差に追従して上下移動するため、研磨
工具は常に被研磨物の上面に押圧され、研磨工具の被研
磨物に対する押圧力をほぼ一定に保つことができる。し
たがって、被研磨物の上面に高低差がある場合でも、ス
クラッチや研磨むらの発生を防止することができ、高精
度の研磨が行える。さらに、研磨工具を第１の鉛直軸心
に対して偏心させて、研磨を行うことにより、未研磨部
分を無くすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態における研磨装置の研磨工
具の取付部の縦断面図である。

【図２】研磨装置の内部構成を示す側面図である。

【図３】図２におけるＡ−Ａ矢視図である。

【図４】回転軸の上端部の詳細図である。

【図５】自在継手の一部切欠き側面図である。

【図６】図５におけるＡ−Ａ矢視図である。

【図７】各研磨工具を第１の鉛直軸心に対して偏心させ
ていない場合の研磨条痕を示した平面図である。

【図８】各研磨工具を第１の鉛直軸心に対して偏心させ
た場合の研磨条痕を示した平面図である。

【図９】従来の研磨装置の側面図である。

【図１０】従来の研磨装置を用いた研磨方法を示す平面
図である。

【符号の説明】 １ 支持台（支持部） ２ 被研磨物 ３ 研磨工具 ４ 第１の鉛直軸心 ５ 回転軸 ６ 保持体 ９ 自転機構 10 自転用モータ（自転用駆動装置） 11 第２の鉛直軸心 12 公転機構 13 公転用モータ（公転用駆動装置） 43 可動体 44 圧縮コイルスプリング（押圧手段） 46 自在継手 50 供給流路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−318296（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−206159（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−1404（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−40349（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−161555（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 7/04 B24B 47/10

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被研磨物を支持する支持部の上方に、こ
   の支持部にセットされた被研磨物の上面に押圧されて被
   研磨物を研磨する研磨工具が設けられ、この研磨工具は
   第１の鉛直軸心周りに自転自在な回転軸の下端に設けら
   れ、この回転軸を保持しかつ上記支持部に対して昇降自
   在な保持体に、上記回転軸を自転させる自転機構と、こ
   の自転機構を回転駆動させる自転用駆動装置と、上記回
   転軸を上記第１の鉛直軸心に平行な第２の鉛直軸心周り
   に公転させる公転機構と、この公転機構を回転駆動させ
   る公転用駆動装置とが設けられ、 上記研磨工具は自在継手を介して回転軸の下端に取付け
   られ、 上記自在継手は、回転軸と研磨工具との間に設けられた
   環状体と、回転軸の下端側に設けられて上記環状体の外
   周方に位置する一対の第１連結片と、研磨工具側に設け
   られて上記環状体の外周方に位置する一対の第２連結片
   と、環状体と各第１連結片とを回動自在に連結する第１
   連結ピンと、環状体と各第２連結片とを回動自在に連結
   する第２連結ピンとで構成され、 上記両第１連結片と第１連結ピンとは上記第１の鉛直軸
   心に直交する第１の水平軸心上に配設され、 上記両第２連結片と第２連結ピンとは上記第１の鉛直軸
   心と第１の水平軸心とに直交する第２の水平軸心上に配
   設されている ことを特徴とする研磨装置。
2. 【請求項２】 自転機構は、自転用駆動装置によって第
   ２の鉛直軸心周りに回動自在な自転軸と、この自転軸の
   下部に設けられた太陽歯車と、回転軸の上部に設けられ
   て上記太陽歯車に噛合する遊星歯車とで構成され、 研磨工具に研磨液を供給する供給流路が上記自転軸内と
   回転軸内とにそれぞれ形成され、 上記自転軸の下端に設けられた下部ロータリージョイン
   トの出口と回転軸の上端に設けられたロータリージョイ
   ントの入口とが接続ホースで接続され、 上記自転軸の上端に設けられた上部ロータリージョイン
   トの入口に、研磨液を供給する供給ホースが接続されて
   いる ことを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
3. 【請求項３】 回転軸の下端に、上下方向へ移動自在で
   かつ押圧手段の押圧力により下動方向へ押圧されている
   可動体が設けられ、この可動体に、自在継手を介して取付基板が設けられ、 研磨工具は、第１の鉛直軸心に対して偏心可能に上記取
   付基板に取付けられている ことを特徴とする請求項１ま
   たは請求項２に記載の研磨装置。