JPH05234029A - Magnetic head and its production - Google Patents
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- JPH05234029A JPH05234029A JP3986792A JP3986792A JPH05234029A JP H05234029 A JPH05234029 A JP H05234029A JP 3986792 A JP3986792 A JP 3986792A JP 3986792 A JP3986792 A JP 3986792A JP H05234029 A JPH05234029 A JP H05234029A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気回路の小型化をな
し得るとともに高周波対応性を高めた新規な構造の磁気
ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head having a novel structure capable of miniaturizing a magnetic circuit and improving high frequency compatibility.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気テープに磁気記録される信号が高密
度化されてくるに従い、高い残留磁束密度を有する優れ
た磁性層を備えたメタルテープなどの磁気テープが使用
されてきている。このメタルテープなどの高い抗磁力を
有する磁気テープに適用される磁気ヘッドは、その磁気
ギャップにより発生される磁界強度を高くする必要があ
る。また、記録される信号の高密度化に伴い、磁気ヘッ
ドのトラック幅をより狭くする必要がある。2. Description of the Related Art As the density of signals magnetically recorded on magnetic tapes has increased, magnetic tapes such as metal tapes having an excellent magnetic layer having a high residual magnetic flux density have been used. A magnetic head applied to a magnetic tape having a high coercive force such as this metal tape needs to increase the magnetic field strength generated by the magnetic gap. Further, as the density of recorded signals increases, it is necessary to further reduce the track width of the magnetic head.
【０００３】従来、このような要求を満たすために提供
されている磁気ヘッドの一従来例として、図１２に示す
構造の磁気ヘッドＡが知られている。この磁気ヘッドＡ
は、磁気コア半体１、１をガラスなどの接合材で溶着一
体化してなるもので、各磁気コア半体１は、メタル磁性
膜２を非磁性体からなる板状のサイドコア半体３、３で
挟んで一体化されている。前記メタル磁性膜２は、スパ
ッタなどの成膜法により高透磁率合金の金属磁性薄膜を
積層してなるもので、メタル磁性膜２の膜厚はトラック
幅に等しい値にされている。なお、前記磁気ヘッドＡの
媒体対向面４は磁気テープに摺動する際の抵抗などを考
慮して曲面状に研摩されている。Conventionally, a magnetic head A having a structure shown in FIG. 12 is known as a conventional example of a magnetic head provided to meet such requirements. This magnetic head A
Is a magnetic core half body 1, 1 welded and integrated with a bonding material such as glass. Each magnetic core half body 1 has a plate-shaped side core half body 3 made of a non-magnetic metal magnetic film 2. It is sandwiched by 3 and integrated. The metal magnetic film 2 is formed by laminating metal magnetic thin films of a high magnetic permeability alloy by a film forming method such as sputtering, and the film thickness of the metal magnetic film 2 is equal to the track width. The medium facing surface 4 of the magnetic head A is polished into a curved surface in consideration of resistance when sliding on the magnetic tape.
【０００４】また、媒体対向面４において、メタル磁性
膜２、２が接合された部分には、非磁性体からなるギャ
ップ層が介在されて磁気ギャップ５が形成されるととも
に、磁気コア半体１、１が接合された部分において、一
方の磁気コア半体１の側部には、巻線窓６が形成されて
いる。In the medium facing surface 4, a magnetic gap 5 is formed at a portion where the metal magnetic films 2 and 2 are joined with a gap layer made of a non-magnetic material interposed therebetween, and the magnetic core half body 1 is formed. A winding window 6 is formed at a side portion of one magnetic core half body 1 in a portion where 1 is joined.
【０００５】一方、前記要求を満たすために提供されて
いる磁気ヘッドの他の従来例として、図１３と図１４に
示す構造の磁気ヘッドＢが知られている。この磁気ヘッ
ドＢは、一対のフェライト製の磁気コア半体１１、１１
の側部に凸部１１ａを形成し、凸部１１ａを覆うように
メタル磁性膜１４とギャップ層１３を形成し、磁気コア
半体１１、１１をギャップ層１３を介して凸部１１ａど
うしで突き合わせ、磁気コア半体１１、１１をガラス層
１５、１５で接合してなる構造であり、ＭＩＧ（Ｍｅｔ
ａｌ Ｉｎ Ｇａｐ）型と称されている磁気ヘッドであ
る。On the other hand, a magnetic head B having a structure shown in FIGS. 13 and 14 is known as another conventional example of the magnetic head provided to meet the above-mentioned requirements. This magnetic head B comprises a pair of ferrite magnetic core halves 11, 11
A convex portion 11a is formed on the side of the metal magnetic film 14 and a gap layer 13 are formed so as to cover the convex portion 11a, and the magnetic core halves 11 and 11 are abutted to each other via the gap layer 13 between the convex portions 11a. , The magnetic core halves 11 and 11 are joined together by the glass layers 15 and 15, and the MIG (Met
This is a magnetic head called an "al In Gap" type.
【０００６】このＭＩＧ型の磁気ヘッドＢは、メタル磁
性膜１４を用いていない構成のフェライトヘッドに比較
すると、磁気ギャップから発生される磁界を強く急峻な
ものとすることができるので、磁気記録の高密度化に対
応することができる優れたものであり、ＶＴＲの映像記
録用の磁気ヘッド、あるいは、デジタルテープレコーダ
ー用の磁気ヘッドなどとして広く使用されている。In this MIG type magnetic head B, the magnetic field generated from the magnetic gap can be made strong and steep as compared with a ferrite head which does not use the metal magnetic film 14, so that the magnetic recording It is excellent in high density and is widely used as a magnetic head for video recording of a VTR, a magnetic head for a digital tape recorder, or the like.
【０００７】また、従来、前記構造の磁気ヘッドＢを製
造するには、まず、フェライトなどの磁性体からなる２
個のコアブロックを用意し、これらのコアブロックに溝
加工を施して複数の凹凸部を形成し、これらの凹凸部の
表面にスパッタなどの成膜法でメタル磁性膜を積層し、
次いでスパッタなどの成膜法でメタル磁性膜上にＳｉＯ
2 層などからなるギャップ層を形成する。Further, conventionally, in order to manufacture the magnetic head B having the above-mentioned structure, first, a magnetic material such as ferrite is used.
Prepare individual core blocks, perform groove processing on these core blocks to form a plurality of uneven portions, and stack a metal magnetic film on the surface of these uneven portions by a film forming method such as sputtering,
Then, SiO is formed on the metal magnetic film by a film forming method such as sputtering.
A gap layer including two layers is formed.
【０００８】次に、前記ギャップ層を形成したコアブロ
ックどうしをギャップ層どうしを介して突き合わせ、突
き合わせた部分の凹部を埋めるようにガラスを流し込ん
でコアブロックどうしを接合する。そして、接合したコ
アブロックを複数の磁気コアに切り出し、各磁気コアに
仕上加工を施して前記一対のコアブロックから複数の磁
気ヘッドを同時に製造している。Next, the core blocks having the gap layers are butted against each other via the gap layers, and glass is poured so as to fill the recesses of the butted parts to join the core blocks to each other. Then, the joined core blocks are cut into a plurality of magnetic cores, and finishing processing is performed on each magnetic core to simultaneously manufacture a plurality of magnetic heads from the pair of core blocks.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】図１２に示す従来の磁
気ヘッドＡにあっては、製造時において、磁気コア半体
１、１をガラスなどの接合材で接合する工程の他に、サ
イドコア半体３、３およびメタル磁性膜２を一体化する
ためにこれらを接着剤などで接合する工程を行なわなく
てはならず、製造工程が煩雑化する問題があった。ま
た、一般に磁気ヘッドを高周波対応とするためには、磁
気回路を小型化する必要があるが、図１２に示す構成の
磁気ヘッドＡにあっては、メタル磁性膜２がサイドコア
半体３、３の一面全部に形成されているのでこれ以上磁
気回路を小型化できない問題がある。In the conventional magnetic head A shown in FIG. 12, in addition to the step of joining the magnetic core halves 1 and 1 with a joining material such as glass at the time of manufacture, the side core half In order to integrate the bodies 3 and 3 and the metal magnetic film 2, it is necessary to perform a step of joining them with an adhesive or the like, which causes a problem of complicating the manufacturing process. Further, generally, in order to make the magnetic head compatible with high frequencies, it is necessary to miniaturize the magnetic circuit, but in the magnetic head A having the configuration shown in FIG. 12, the metal magnetic film 2 has the side core halves 3 and 3. Since it is formed on the entire surface, there is a problem that the magnetic circuit cannot be made smaller.
【００１０】一方、図１３と図１４に示す従来の磁気ヘ
ッドＢにあっては、フェライト製の磁気コア半体１１を
用いているがために、フェライト材自体の磁気特性の限
界がメタル磁性膜１４の磁気特性を抑制するので高周波
対応には限界があり、また、フェライト材が磁気コアの
大半を占めるために、結果的に磁気ヘッドコイルのイン
ダクタンスが大きくなる問題がある。On the other hand, in the conventional magnetic head B shown in FIGS. 13 and 14, since the magnetic core half body 11 made of ferrite is used, the limit of the magnetic characteristics of the ferrite material itself is the metal magnetic film. Since the magnetic characteristics of No. 14 are suppressed, there is a limit in supporting high frequencies, and since the ferrite material occupies most of the magnetic core, there is a problem that the inductance of the magnetic head coil becomes large as a result.
【００１１】本発明は前記事情に鑑みてなされたもので
あり、磁気コア半体を非磁性体で構成し、巻線窓の周囲
部分にメタル磁性膜を環状に配置して磁気回路を構成す
ることで、磁気回路を小型化して高周波対応を容易にす
るとともに、従来のメタルインギャップ型の磁気ヘッド
と同様の工程で製造することができて製造が容易な磁気
ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とす
る。The present invention has been made in view of the above circumstances, and the magnetic core half body is made of a non-magnetic material, and a metal magnetic film is annularly arranged around the winding window to form a magnetic circuit. Thus, the magnetic circuit can be downsized to easily cope with high frequencies, and a magnetic head that can be manufactured in the same process as a conventional metal-in-gap type magnetic head and is easy to manufacture, and a manufacturing method thereof. The purpose is to
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は前
記課題を解決するために、非磁性体からなる一対のハー
フコアを、それらの側部に形成されたメタル磁性膜をギ
ャップ層を介して突き合わせメタル磁性膜どうしの間に
磁気ギャップを形成して一体化してなり、前記ハーフコ
アの側面に隣接するハーフコアの一面を媒体対向面にし
てなる磁気ヘッドにおいて、ハーフコアの接合部分に巻
線窓を形成し、この巻線窓の周囲にこれを囲む環状のメ
タル磁性膜を形成し、メタル磁性膜の一部を媒体対向面
に露出させて磁気ギャップを形成してなるものである。In order to solve the above-mentioned problems, a pair of half cores made of a non-magnetic material is provided with a metal magnetic film formed on the sides thereof via a gap layer. In the magnetic head in which a magnetic gap is formed between the butted metal magnetic films by integrating them, and one surface of the half core adjacent to the side surface of the half core serves as the medium facing surface, a winding window is formed at the joint portion of the half core. An annular metal magnetic film is formed around the winding window, and a magnetic gap is formed by exposing a part of the metal magnetic film to the medium facing surface.
【００１３】請求項２記載の発明は前記課題を解決する
ために、非磁性体からなる一対のハーフコアを、それら
の側部に形成されたメタル磁性膜をギャップ層を介して
突き合わせメタル磁性膜どうしの間に磁気ギャップを形
成して一体化してなり、前記ハーフコアの側面に隣接す
るハーフコアの一面を媒体対向面にしてなる磁気ヘッド
において、各ハーフコアの側部の接合部分に溝部を形成
し、これらの溝部の内側面の一部を磁気ギャップに接近
するように傾斜して媒体対向面に到達させ、一対のハー
フコアの溝部により巻線窓を形成するとともに、前記溝
部の内面に前記巻線窓を囲んで媒体対向面に露出し媒体
対向面において磁気ギャップを形成するメタル磁性膜を
形成してなるものである。In order to solve the above-mentioned problems, a pair of half cores made of a non-magnetic material are abutted with a metal magnetic film formed on the side thereof via a gap layer. In a magnetic head formed by forming a magnetic gap between the half cores and integrally forming one surface of the half core adjacent to the side surface of the half core as a medium facing surface, a groove portion is formed at a joint portion on a side portion of each half core. A part of the inner side surface of the groove part is inclined to reach the medium facing surface so as to approach the magnetic gap, and a winding window is formed by the groove parts of the pair of half cores, and the winding window is formed on the inner surface of the groove part. A metal magnetic film is formed so as to be surrounded and exposed on the medium facing surface to form a magnetic gap on the medium facing surface.
【００１４】請求項３記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項１又は２記載の磁気ヘッドにおいて、メ
タル磁性膜を金属磁性薄膜の積層構造にしてなるもので
ある。According to a third aspect of the present invention, in order to solve the above problems, in the magnetic head according to the first or second aspect, the metal magnetic film has a laminated structure of metal magnetic thin films.
【００１５】請求項４記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項３記載の磁気ヘッドにおいて、各ハーフ
コアの１層の金属磁性薄膜のみで媒体対向面に露出され
るギャップ層を挟んでなるものである。According to a fourth aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, in the magnetic head according to the third aspect, the gap layer exposed on the medium facing surface is sandwiched by only one layer of metal magnetic thin film of each half core. It will be.
【００１６】請求項５記載の発明は前記課題を解決する
ために、非磁性体のブロックに、傾斜した内側面を有す
る溝部を形成し、この溝部の内側面と底面にメタル磁性
膜を被覆するとともに、前記メタル磁性膜を被覆したブ
ロックを一対、溝部どうしを突き合わせ、メタル磁性膜
どうしをギャップ層を介して突き合わせてガラスなどの
接合材により接合した後、溝部どうしを突き合わせた面
に隣接するブロックの一面に研摩加工を施して各ブロッ
クのメタル磁性膜を露出させ、この一面を媒体対向面と
するものである。In order to solve the above-mentioned problems, a non-magnetic block is formed with a groove portion having an inclined inner side surface, and the inner side surface and the bottom surface of the groove portion are covered with a metal magnetic film. At the same time, a pair of blocks coated with the metal magnetic film, the grooves are butted against each other, the metal magnetic films are butted against each other via the gap layer and joined by a bonding material such as glass, and the blocks adjacent to the surfaces where the trenches are butted One surface is subjected to polishing to expose the metal magnetic film of each block, and this one surface is used as the medium facing surface.
【００１７】[0017]
【作用】非磁性体のハーフコアの接合部に形成された巻
線窓を囲むようにメタル磁性膜による環状の磁気回路が
形成されているので、磁気回路が従来構造よりも小さく
なる。また、この小型化した磁気回路により記録再生が
できるので、高周波に対応した記録再生特性が得られ
る。更に、メタル磁性膜のみで記録再生ができるので、
フェライト部分の存在により高周波対応に限界を生じて
いた従来のＭＩＧ型の磁気ヘッドよりも有利になる。Since the annular magnetic circuit is formed by the metal magnetic film so as to surround the winding window formed at the joining portion of the non-magnetic half core, the magnetic circuit becomes smaller than the conventional structure. Also, since recording and reproduction can be performed by this miniaturized magnetic circuit, recording and reproduction characteristics compatible with high frequencies can be obtained. Furthermore, since recording and reproduction can be done only with the metal magnetic film,
This is more advantageous than the conventional MIG type magnetic head in which the high frequency response is limited due to the presence of the ferrite portion.
【００１８】本発明方法によれば、従来のＭＩＧ型の磁
気ヘッドと同様に、ブロックの切出加工工程と金属磁性
薄膜の形成工程とガラス溶着工程と切断工程を行なうこ
とで本発明構造の磁気ヘッドを大量に製造できるので、
従来と同様の製造設備で同様の手順で磁気ヘッドを製造
できる。また、本発明方法を実施して磁気ヘッドを製造
することで、２つのブロックから多数の磁気ヘッドを同
時に製造することもできる。なお、本発明方法では、ガ
ラスにより溶着する工程が一度で済むので溶着工程を２
回以上必要とする従来構造の磁気ヘッドよりも溶着工程
が少なくなり、製造しやすくなるので低コストで製造で
きるようになる。According to the method of the present invention, like the conventional MIG type magnetic head, the magnetic field having the structure of the present invention is formed by performing the block cutting process, the metal magnetic thin film forming process, the glass welding process and the cutting process. Since we can manufacture a large number of heads,
The magnetic head can be manufactured by the same procedure with the same manufacturing equipment as the conventional one. Further, by carrying out the method of the present invention to manufacture a magnetic head, a large number of magnetic heads can be manufactured simultaneously from two blocks. In addition, in the method of the present invention, since the step of welding with glass is completed once, the welding step is performed in two steps.
The number of welding steps is smaller than that of the magnetic head having the conventional structure, which is required more than once, and the manufacturing is easier, so that the manufacturing can be performed at low cost.
【００１９】[0019]
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図１ないし図３は本発明に係る磁気ヘッド
の第１実施例の断面構造を示すものであり、この実施例
の磁気ヘッドＣは、左右一対の磁気コア半体２０、２０
をそれらの側面部においてガラス部２１、２８により一
体に接合してなるもので、磁気コア半体２０、２０の図
１における上面側が媒体対向面２２とされている。前記
磁気コア半体２０は、結晶化ガラスあるいはセラミック
スなどの非磁性体からなる略長方形板状のハーフコア２
３と、このハーフコア２３の側部側に形成されたメタル
磁性膜２４とを主体として構成されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 3 show a sectional structure of a first embodiment of a magnetic head according to the present invention. A magnetic head C of this embodiment has a pair of left and right magnetic core halves 20, 20.
Of the magnetic core halves 20 and 20 are integrally joined to each other by the glass portions 21 and 28 on their side surfaces, and the upper surface side of the magnetic core halves 20 and 20 in FIG. The magnetic core half body 20 is a substantially rectangular plate-shaped half core 2 made of a non-magnetic material such as crystallized glass or ceramics.
3 and a metal magnetic film 24 formed on the side of the half core 23.
【００２０】前記ハーフコア２３がそれぞれ接合されて
いる側面部には、溝部２５が形成され、この溝部２５
は、ハーフコア２３の側面に平行な底面２５ａとこの底
面に対して傾斜された内側面２５ｂ、２５ｂとからな
り、２つの内側面２５ｂのうちの一方は、傾斜状態で媒
体対向面２２に到達されている。Grooves 25 are formed on the side surfaces to which the half cores 23 are joined, respectively.
Comprises a bottom surface 25a parallel to the side surface of the half core 23 and inner side surfaces 25b, 25b inclined with respect to the bottom surface. One of the two inner side surfaces 25b reaches the medium facing surface 22 in an inclined state. ing.
【００２１】前記溝部２５の底面２５ａ上と内側面２５
ｂ上には、高透磁率で飽和磁束密度の高い軟磁性合金薄
膜などからなる複数の金属磁性薄膜２４ａが、個々に層
間絶縁層２４ｂを介して積層され、金属磁性薄膜２４ａ
…と層間絶縁層２４ｂ…とによってメタル磁性膜２４が
形成されている。前記金属磁性薄膜２４ａを形成する軟
磁性材料は、飽和磁束密度が１００００Ｇ以上のＦｅ-
Ａｌ-Ｓｉ系合金のセンダスト、Ｆｅ-Ｔａ-Ｃ系などの
軟磁性合金、アモルファス合金など、通常 知られてい
るフェライトよりも飽和磁束密度の高い軟磁性材料を適
宜用いれば良い。また、磁気コア半体２０のメタル磁性
膜２４において、ハーフコア２３に最も近い金属磁性薄
膜２４ａは、媒体対向面２２に露出され、図３に示すよ
うに一対の磁気コア半体２３、２３のメタル磁性膜２
４、２４の間には、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、Ｃ
ｒＳｉＯ2などの非磁性層からなるギャップ層２７が形
成され、媒体対向面２２側にギャップＧが形成されてい
る。また、ハーフコア２３、２３が一体化されて、ハー
フコア２３、２３の接合部には６角形状の巻線窓２６が
形成されている。On the bottom surface 25a and the inner side surface 25 of the groove 25.
On b, a plurality of metal magnetic thin films 24a made of a soft magnetic alloy thin film having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density are individually laminated via an interlayer insulating layer 24b, and the metal magnetic thin film 24a is formed.
And the interlayer insulating layer 24b form a metal magnetic film 24. The soft magnetic material forming the metal magnetic thin film 24a is Fe-having a saturation magnetic flux density of 10,000 G or more.
A soft magnetic material having a saturation magnetic flux density higher than that of a commonly known ferrite, such as sendust of Al-Si alloy, soft magnetic alloy of Fe-Ta-C alloy, or amorphous alloy, may be appropriately used. Further, in the metal magnetic film 24 of the magnetic core half body 20, the metal magnetic thin film 24a closest to the half core 23 is exposed to the medium facing surface 22, and as shown in FIG. Magnetic film 2
Between 4, 24, SiO 2 , Al 2 O 3 , Al 2 O 3 , C
A gap layer 27 made of a non-magnetic layer such as rSiO 2 is formed, and a gap G is formed on the medium facing surface 22 side. Further, the half cores 23, 23 are integrated with each other, and a hexagonal winding window 26 is formed at a joint portion of the half cores 23, 23.
【００２２】一方、図２に示すように、ハーフコア２
３、２３の接合部における厚さ方向両端部には、ハーフ
コア２３、２３の端部側を切り欠いて形成した接合溝２
３ａが形成されていて、この接合溝２３ａにもガラスが
充填されてガラス部２８が形成されている。また、前記
接合溝２３ａ、２３ａの間であって、ハーフコア２３の
側面部には、接合溝２３ａ、２３ａに挟まれた凸部２３
ｂが形成され、各ハーフコア２３の凸部２３ｂと前記金
属磁性薄膜２４ａで図３に示すようにギャップ層２７を
挟んで磁気ギャップＧが形成されている。On the other hand, as shown in FIG.
The joining groove 2 formed by cutting out the end portions of the half cores 23, 23 at both ends in the thickness direction of the joining portions of 3, 23.
3a is formed, and the joining groove 23a is also filled with glass to form a glass portion 28. In addition, between the joining grooves 23a, 23a and on the side surface portion of the half core 23, the convex portion 23 sandwiched by the joining grooves 23a, 23a.
b, the magnetic gap G is formed by sandwiching the gap layer 27 between the convex portion 23b of each half core 23 and the metal magnetic thin film 24a as shown in FIG.
【００２３】なお、図１に示す磁気ヘッドＣの両側部に
は、前記巻線窓２６に対応する高さ位置に巻線溝２９が
形成され、一方の巻線溝２９と巻線窓２６の一端部側を
介して巻線コイルが設けられるように、また、他方の巻
線溝２９と巻線窓２６の他端部側を介して巻線コイルが
設けられるようになっている。A winding groove 29 is formed on both sides of the magnetic head C shown in FIG. 1 at a height position corresponding to the winding window 26. One winding groove 29 and one winding window 26 are formed. The winding coil is provided via the one end side, and the winding coil is provided via the other winding groove 29 and the other end side of the winding window 26.
【００２４】前記構造の磁気ヘッドＣにあっては、ギャ
ップ深さＧｄを３〜３０μｍ程度、層間絶縁層２４ｂの
厚さを０.０１〜０.１μｍ程度、金属磁性薄膜２４ａの
厚さを５〜３０μｍ程度、ギャップ層の厚さを０.１〜
０.５μｍ程度とすることができる。In the magnetic head C having the above structure, the gap depth Gd is about 3 to 30 μm, the thickness of the interlayer insulating layer 24b is about 0.01 to 0.1 μm, and the thickness of the metal magnetic thin film 24a is about 5 μm. ~ 30 μm, the thickness of the gap layer 0.1 ~
It can be about 0.5 μm.
【００２５】前記構成の磁気ヘッドＣは、従来の磁気ヘ
ッドと同様に、磁気テープなどの磁気記録媒体に対する
磁気記録と再生を行なうために使用する。それには、前
記磁気ヘッドＣに設けた巻線コイルに通電して磁気ギャ
ップＧの外方に磁束の勾配を形成してこれにより磁気記
録媒体の所用の箇所の磁化を行なえば良い。この場合、
高透磁率で飽和磁束密度の高い金属磁性薄膜２４ａが磁
気ギャップＧの外方に急峻な磁界を生成させるので、抗
磁力の高い磁性層を備えた磁気記録媒体であっても余裕
をもって磁気記録を行なうことができ、磁気記録の高密
度化に対応することができる。また、フェライト部分と
金属磁性薄膜を用いた従来のＭＩＧ型の磁気ヘッドに比
較すると、フェライト部分が無いだけ高周波磁気記録に
有利である。Like the conventional magnetic head, the magnetic head C having the above-described structure is used to perform magnetic recording and reproduction on a magnetic recording medium such as a magnetic tape. To this end, the winding coil provided in the magnetic head C may be energized to form a magnetic flux gradient outside the magnetic gap G, thereby magnetizing a desired portion of the magnetic recording medium. in this case,
Since the metal magnetic thin film 24a having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density generates a steep magnetic field outside the magnetic gap G, even a magnetic recording medium having a magnetic layer having a high coercive force can perform magnetic recording with a margin. It can be performed, and it is possible to cope with high density of magnetic recording. Further, as compared with the conventional MIG type magnetic head using the ferrite portion and the metal magnetic thin film, the absence of the ferrite portion is advantageous for high frequency magnetic recording.
【００２６】また、溝部２４に沿って形成されたメタル
磁性膜２４、２４が巻線窓２６の周囲を囲むような環状
の磁気回路を形成するので、図１２に示す従来構造の磁
気ヘッドＡ、あるいは、図１３と図１４に示す従来構造
のＭＩＧ型の磁気ヘッドＢと比較して磁気回路を小型化
することができる。従って従来の磁気ヘッドよりも高周
波対応に有利な特徴があり、磁気回路の小型化により磁
気記録媒体に記録された磁気情報を読み取り易くなり再
生時の効率も向上させることができる。更に、磁気ギャ
ップＧに向けてメタル磁性膜２４、２４が傾斜しつつ接
近しているので、磁気ギャップＧでの磁界発生に有利な
形状になっている。Further, since the metal magnetic films 24, 24 formed along the groove 24 form an annular magnetic circuit surrounding the winding window 26, the magnetic head A of the conventional structure shown in FIG. Alternatively, the magnetic circuit can be downsized as compared with the MIG type magnetic head B having the conventional structure shown in FIGS. Therefore, it has a characteristic that it is more suitable for high frequencies than the conventional magnetic head, and the miniaturization of the magnetic circuit makes it easier to read the magnetic information recorded on the magnetic recording medium, and the efficiency at the time of reproduction can be improved. Further, since the metal magnetic films 24, 24 approach each other while being inclined toward the magnetic gap G, the metal magnetic films 24, 24 have a shape advantageous for generating a magnetic field in the magnetic gap G.
【００２７】図４は本発明に係る磁気ヘッドの第２実施
例の概略構成を示すものである。図４に示す磁気ヘッド
Ｄは図１に示す磁気ヘッドＣとほぼ同等の構成である
が、メタル磁性膜２５、２５によって形成される環状の
磁気回路の背部側、即ち、図４の下部側におけるハーフ
コア２３の側面に、金属磁性薄膜３０が形成された例で
ある。その他の構成は前記実施例の磁気ヘッドＣと同等
である。FIG. 4 shows a schematic structure of a second embodiment of the magnetic head according to the present invention. The magnetic head D shown in FIG. 4 has almost the same structure as the magnetic head C shown in FIG. 1, but is on the back side of the annular magnetic circuit formed by the metal magnetic films 25, that is, on the lower side of FIG. This is an example in which the metal magnetic thin film 30 is formed on the side surface of the half core 23. Other configurations are the same as those of the magnetic head C of the above embodiment.
【００２８】この構造の磁気ヘッドＤにあっても前記実
施例の磁気ヘッドＣと同等の効果を得ることができる。
なお、この例の磁気ヘッドＤは、磁気回路の背部側にも
金属磁性薄膜３０を設けているので、磁気回路上のロス
となる後部ギャップを生じ難くなる。With the magnetic head D having this structure, the same effect as that of the magnetic head C of the above-described embodiment can be obtained.
Since the magnetic head D of this example is provided with the metal magnetic thin film 30 on the back side of the magnetic circuit, the rear gap which causes a loss on the magnetic circuit is less likely to occur.
【００２９】次に図１に示す構造の磁気ヘッドＣの製造
方法の一例について説明する。磁気ヘッドＣを製造する
には、まず、結晶化ガラスあるいはセラミックなどの非
磁性体からなる平面長方形状の板状のブロック４０を用
い、このブロック４０の上面にその長さ方向に沿って砥
石などを用いて研削加工を施して図６あるいは図７に示
すような溝部４１を形成する。この溝部４１は、ブロッ
ク４０の上面に対して平行に形成した底面４１ａと、こ
の底面４１ａの両側に、底面４１ａに対して斜めに形成
した内側面４１ｂとからなるものである。Next, an example of a method of manufacturing the magnetic head C having the structure shown in FIG. 1 will be described. In order to manufacture the magnetic head C, a flat rectangular plate-shaped block 40 made of a non-magnetic material such as crystallized glass or ceramic is used, and a grindstone or the like is provided on the upper surface of the block 40 along its length. Is used to form a groove 41 as shown in FIG. 6 or 7. The groove portion 41 is composed of a bottom surface 41a formed parallel to the top surface of the block 40, and inner side surfaces 41b formed on both sides of the bottom surface 41a and oblique to the bottom surface 41a.
【００３０】続いて図８に示すようにブロック４０の上
面全部に金属磁性薄膜４５を複数、層間絶縁層とともに
交互に積層する。次いで図９に示すように、ブロック４
０の前面４０ａに、正面から見て輪郭が半楕円型になる
ような凹部４２を複数、所定間隔毎に形成し、凹部４
２、４２の間には凸部４３を形成する。次に、図１０に
示すように溝部４１の外部の金属磁性薄膜４５を研摩加
工などにより取り除く。これによりブロック４０の溝部
４１には、メタル磁性膜４５’が形成される。Subsequently, as shown in FIG. 8, a plurality of metal magnetic thin films 45 are alternately laminated together with the interlayer insulating layer on the entire upper surface of the block 40. Then, as shown in FIG.
A plurality of concave portions 42 having a semielliptical shape when viewed from the front are formed at a predetermined interval on the front surface 40a of the concave portion 4
A convex portion 43 is formed between the two and 42. Next, as shown in FIG. 10, the metal magnetic thin film 45 outside the groove 41 is removed by polishing or the like. As a result, the metal magnetic film 45 ′ is formed in the groove 41 of the block 40.
【００３１】図１０に示す状態のブロック４０を一対形
成したならば、図１１に示すようにメタル磁性膜４
５’、４５’どうしを位置合わしてブロック４０、４０
をガラス部４２、４３により接合する。この接合には、
接合用のガラスを溶融してブロック４０、４０の凹凸部
に流し込むことによって行なえば良い。When a pair of blocks 40 in the state shown in FIG. 10 are formed, the metal magnetic film 4 is formed as shown in FIG.
Blocks 40 and 40 by aligning 5'and 45 '
Are joined by the glass portions 42 and 43. For this joining,
It may be performed by melting the glass for bonding and pouring it into the uneven portions of the blocks 40, 40.
【００３２】次に、図１１に示す状態に接合したブロッ
ク４０、４０の上面を砥石などを用いて研摩加工してゆ
くと、ブロック４０、４０の内部側に隠れていたメタル
磁性膜４５’が露出してくるので、所定のギャップ深さ
になったところで加工を停止する。また、ブロック４
０、４０を図１１に示す鎖線に沿って切断することで、
図１に示す構造の磁気ヘッドＣをブロック４０、４０か
ら多数同時に製造することができる。Next, when the upper surfaces of the blocks 40, 40 joined in the state shown in FIG. 11 are polished by using a grindstone or the like, the metal magnetic film 45 'hidden inside the blocks 40, 40 is removed. Since it is exposed, processing is stopped when the predetermined gap depth is reached. Also, block 4
By cutting 0 and 40 along the chain line shown in FIG.
A large number of magnetic heads C having the structure shown in FIG. 1 can be manufactured simultaneously from the blocks 40, 40.
【００３３】以上説明した方法を実施して磁気ヘッドＣ
を製造することで、２つのブロックから多数の磁気ヘッ
ドを同時に製造することができる。また、本発明方法に
よれば、図１３と図１４を基に先に説明したＭＩＧ型の
磁気ヘッドＢと同様に、ブロックの切出加工工程と金属
磁性薄膜の形成工程とガラス溶着工程と切断工程を行な
うことで磁気ヘッドＣを大量に製造できるので、従来と
同様の製造設備で同様の手順で磁気ヘッドＣを製造する
ことができる。従って新規な構造の高性能の磁気ヘッド
Ｃを従来の磁気ヘッドＢ用の製造設備で製造することが
できる。なお、本発明方法では、ガラスにより溶着する
工程が一度で済むので溶着工程を２回以上必要とする図
１２に示す構造の磁気ヘッドＡよりも溶着工程が少なく
なり、製造しやすくなるので低コストで製造できるよう
になる。The magnetic head C is implemented by carrying out the method described above.
By manufacturing, a large number of magnetic heads can be manufactured simultaneously from two blocks. Further, according to the method of the present invention, similar to the MIG type magnetic head B described above with reference to FIGS. 13 and 14, a block cutting process, a metal magnetic thin film forming process, a glass welding process and a cutting process are performed. Since the magnetic head C can be manufactured in a large amount by performing the steps, the magnetic head C can be manufactured by the same procedure using the same manufacturing equipment as the conventional one. Therefore, the high-performance magnetic head C having the novel structure can be manufactured by the conventional manufacturing equipment for the magnetic head B. In the method of the present invention, since the step of welding with glass is performed only once, the number of welding steps is smaller than that of the magnetic head A having the structure shown in FIG. Can be manufactured in.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、非
磁性体からなるハーフコアの接合部に形成された巻線窓
を囲むようにメタル磁性膜を形成し、このメタル磁性薄
膜により環状の磁気回路を形成しているので、磁気コア
半体の側面全部にメタル磁性薄膜を形成していた従来構
造の磁気ヘッドに比較して磁気回路を小さくすることが
でき、磁気ヘッドの小型化をなし得る。また、前記小型
化した磁気回路により記録再生ができるので、従来の磁
気ヘッドよりも高周波に対応した記録再生特性が得られ
る。更に、メタル磁性膜による磁気回路のみで磁気記録
再生ができるので、フェライト部分の存在により高周波
対応に限界を生じていた従来のＭＩＧ型の磁気ヘッドよ
りも有利になる。As described above, according to the present invention, the metal magnetic film is formed so as to surround the winding window formed in the joint portion of the half core made of a non-magnetic material, and the metal magnetic thin film forms an annular shape. Since the magnetic circuit is formed, the magnetic circuit can be made smaller than that of the conventional magnetic head in which the metal magnetic thin film is formed on the entire side surface of the magnetic core half body, and the magnetic head can be miniaturized. obtain. Moreover, since recording and reproducing can be performed by the miniaturized magnetic circuit, recording and reproducing characteristics corresponding to a higher frequency than the conventional magnetic head can be obtained. Further, since magnetic recording and reproduction can be performed only by the magnetic circuit using the metal magnetic film, it is more advantageous than the conventional MIG type magnetic head in which the presence of the ferrite portion limits the high frequency response.
【００３５】また、本発明方法を実施して磁気ヘッドを
製造することで、２つのブロックから多数の磁気ヘッド
を同時に製造することができる。更に本発明方法によれ
ば、従来のＭＩＧ型の磁気ヘッドと同様に、ブロックの
切出加工工程と金属磁性薄膜の形成工程とガラス溶着工
程と切断工程を行なうことで本発明構造の磁気ヘッドを
大量に製造できるので、従来と同様の製造設備で同様の
手順で安価に磁気ヘッドを製造することができる。な
お、本発明方法では、ガラスにより溶着する工程が一度
で済むので溶着工程を２回以上必要とする従来構造の磁
気ヘッドよりも溶着工程が少なくなり、製造しやすくな
るので低コストで製造できるようになる。By manufacturing the magnetic head by carrying out the method of the present invention, a large number of magnetic heads can be manufactured simultaneously from two blocks. Further, according to the method of the present invention, similarly to the conventional MIG type magnetic head, the magnetic head having the structure of the present invention can be obtained by performing the block cutting process, the metal magnetic thin film forming process, the glass welding process and the cutting process. Since a large amount can be manufactured, the magnetic head can be manufactured at low cost by the same procedure with the same manufacturing equipment as the conventional one. In the method of the present invention, since the step of welding with glass is performed only once, the number of welding steps is smaller than that of the magnetic head having the conventional structure which requires two or more welding steps, and the manufacturing is easier, so that it can be manufactured at low cost. become.
【図１】図１は本発明の第１実施例の磁気ヘッドの断面
図である。FIG. 1 is a sectional view of a magnetic head according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図２は図１に示す磁気ヘッドの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the magnetic head shown in FIG.
【図３】図３は図１に示す磁気ヘッドのギャップ部の内
部構造を示す断面図である。3 is a cross-sectional view showing an internal structure of a gap portion of the magnetic head shown in FIG.
【図４】図４は本発明の第２実施例の磁気ヘッドの断面
図である。FIG. 4 is a sectional view of a magnetic head according to a second embodiment of the present invention.
【図５】図５は本発明方法の実施に用いる非磁性体ブロ
ックの斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a non-magnetic material block used for carrying out the method of the present invention.
【図６】図６は図５に示すブロックに巻線溝を形成した
状態を示す側面図である。6 is a side view showing a state where winding grooves are formed in the block shown in FIG.
【図７】図７は同巻線溝を形成したブロックを示す斜視
図である。FIG. 7 is a perspective view showing a block in which the winding groove is formed.
【図８】図８は同ブロックにトラック加工を施した状態
を示す正面図である。FIG. 8 is a front view showing a state in which the block is subjected to track processing.
【図９】図９はトラック加工後にブロックに金属磁性薄
膜を成膜した状態を示す側面図である。FIG. 9 is a side view showing a state in which a metal magnetic thin film is formed on a block after track processing.
【図１０】図１０は金属磁性薄膜を形成した後のブロッ
クに研摩加工を施した状態を示す側面図である。FIG. 10 is a side view showing a state in which the block after the metal magnetic thin film is formed is subjected to polishing.
【図１１】図１１は研摩加工後のブロックを接合した状
態を示す側面図である。FIG. 11 is a side view showing a state in which the blocks after polishing have been joined.
【図１２】図１２は従来の磁気ヘッドの一構造例を示す
斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing one structural example of a conventional magnetic head.
【図１３】図１３は従来のＭＩＧ型の磁気ヘッドの一構
造例を示す斜視図である。FIG. 13 is a perspective view showing one structural example of a conventional MIG type magnetic head.
【図１４】図１４は図１３に示す磁気ヘッドの平面図で
ある。14 is a plan view of the magnetic head shown in FIG.
Ｃ、Ｄ 磁気ヘッド、 Ｇ ギャッ
プ、２０ 磁気コア半体、 ２１、２１ ガ
ラス部、２２ 媒体対向面、 ２３
ハーフコア、２４ メタル磁性膜、 ２４
ａ 金属磁性薄膜、２４ｂ 層間絶縁層、
２５ 溝部、２５ａ 底面、
２５ｂ 内側面、２６ 巻線窓、
２７ ギャップ層、３０ 金属磁性
薄膜、C, D magnetic head, G gap, 20 magnetic core half body, 21, 21 glass part, 22 medium facing surface, 23
Half core, 24 Metal magnetic film, 24
a metal magnetic thin film, 24b interlayer insulating layer,
25 groove portion, 25a bottom surface,
25b inner surface, 26 winding window,
27 gap layer, 30 metal magnetic thin film,
Claims (5)
それらの側部に形成されたメタル磁性膜をギャップ層を
介して突き合わせメタル磁性膜どうしの間に磁気ギャッ
プを形成して一体化されてなり、前記ハーフコアの側面
に隣接するハーフコアの一面が、媒体対向面にされてな
る磁気ヘッドにおいて、 ハーフコアの接合部分に巻線窓が形成され、この巻線窓
の周囲にこれを囲む環状のメタル磁性膜が形成され、メ
タル磁性膜の一部が媒体対向面に露出されて磁気ギャッ
プが形成されてなることを特徴とする磁気ヘッド。1. A pair of half cores made of a non-magnetic material,
The metal magnetic films formed on those sides are abutted via a gap layer to form a magnetic gap between the metal magnetic films, which are integrated, and one surface of the half core adjacent to the side surface of the half core is a medium. In the magnetic head that is made to face each other, a winding window is formed at the joint part of the half core, an annular metal magnetic film is formed around this winding window, and a part of the metal magnetic film faces the medium. A magnetic head having a magnetic gap formed by being exposed on a surface thereof.
それらの側部に形成されたメタル磁性膜をギャップ層を
介して突き合わせメタル磁性膜どうしの間に磁気ギャッ
プを形成して一体化されてなり、前記ハーフコアの側面
に隣接するハーフコアの一面が、媒体対向面にされてな
る磁気ヘッドにおいて、 各ハーフコアの側部の接合部分に溝部が形成され、これ
らの溝部の内側面の一部が磁気ギャップに接近するよう
に傾斜して媒体対向面に到達され、一対のハーフコアの
溝部により巻線窓が形成されるとともに、前記溝部の内
面に前記巻線窓を囲んで媒体対向面に露出し媒体対向面
において磁気ギャップを形成するメタル磁性膜が形成さ
れてなることを特徴とする磁気ヘッド。2. A pair of half cores made of a non-magnetic material,
The metal magnetic films formed on those sides are abutted via a gap layer to form a magnetic gap between the metal magnetic films, which are integrated, and one surface of the half core adjacent to the side surface of the half core is a medium. In the magnetic head having the opposed surfaces, grooves are formed at the joints of the side portions of each half core, and a part of the inner side surface of each groove is inclined so as to approach the magnetic gap and reaches the medium facing surface. A winding window is formed by the groove portions of the pair of half cores, and a metal magnetic film that surrounds the winding window and is exposed to the medium facing surface and forms a magnetic gap in the medium facing surface is formed on the inner surface of the groove portion. A magnetic head characterized in that
て、メタル磁性膜が金属磁性薄膜の積層構造にされてな
ることを特徴とする磁気ヘッド。3. The magnetic head according to claim 1, wherein the metal magnetic film has a laminated structure of metal magnetic thin films.
ハーフコアの１層の金属磁性薄膜のみが媒体対向面に露
出されて磁気ギャップを挟んでなることを特徴とする磁
気ヘッド。4. The magnetic head according to claim 3, wherein only one layer of the metal magnetic thin film of each half core is exposed on the medium facing surface to sandwich the magnetic gap.
を有する溝部を形成し、この溝部の内側面と底面にメタ
ル磁性膜を被覆するとともに、前記メタル磁性膜を被覆
したブロックを一対、溝部どうしを突き合わせ、メタル
磁性膜どうしをギャップ層を介して突き合わせてガラス
などの接合材により接合した後、溝部どうしを突き合わ
せた面に隣接するブロックの一面に研摩加工を施して各
ブロックのメタル磁性膜を露出させ、この一面を媒体対
向面とすることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。5. A non-magnetic block is formed with a groove having an inclined inner side surface, the inner side surface and the bottom surface of the groove are covered with a metal magnetic film, and a pair of blocks covered with the metal magnetic film are formed. After the grooves are abutted, the metal magnetic films are abutted via the gap layer and bonded with a bonding material such as glass, and one surface of the block adjacent to the surface where the grooves are abutted is subjected to polishing processing to achieve the metal magnetic property of each block. A method of manufacturing a magnetic head, characterized in that the film is exposed and one surface of the film is used as a medium facing surface.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3986792A JPH05234029A (en) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | Magnetic head and its production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3986792A JPH05234029A (en) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | Magnetic head and its production |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05234029A true JPH05234029A (en) | 1993-09-10 |
Family
ID=12564926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3986792A Pending JPH05234029A (en) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | Magnetic head and its production |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05234029A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19522494A1 (en) * | 1994-07-07 | 1996-01-18 | Siemens Ag | Process for rolling a metal strip |
-
1992
- 1992-02-26 JP JP3986792A patent/JPH05234029A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19522494A1 (en) * | 1994-07-07 | 1996-01-18 | Siemens Ag | Process for rolling a metal strip |
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