JPH0981907A - Magnetic head - Google Patents
Magnetic headInfo
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- JPH0981907A JPH0981907A JP23296295A JP23296295A JPH0981907A JP H0981907 A JPH0981907 A JP H0981907A JP 23296295 A JP23296295 A JP 23296295A JP 23296295 A JP23296295 A JP 23296295A JP H0981907 A JPH0981907 A JP H0981907A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＶＴＲ（ビ
デオテープレコーダ）、デジタルデータレコーダ等の磁
気記録再生装置に用いて有用な磁気ヘッドに係わる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head useful for a magnetic recording / reproducing apparatus such as a VTR (video tape recorder) or a digital data recorder.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えばＶＴＲ（ビデオテープレコーダ）
などの磁気記録再生装置においては、高画質化などを目
的として情報信号の短波長記録化が進められており、こ
れに対応して磁性粉に強磁性粉末を用いたいわゆるメタ
ルテープや、ベースフィルム上に強磁性金属材料を直接
被着した蒸着テープ等の高抗磁力磁気記録媒体が使用さ
れるようになってきている。2. Description of the Related Art For example, a VTR (video tape recorder)
In magnetic recording / reproducing devices such as these, recording of information signals at shorter wavelengths has been promoted for the purpose of improving image quality, and in response to this, so-called metal tapes using ferromagnetic powders as magnetic powders, base films, and the like. High coercive force magnetic recording media such as a vapor-deposited tape on which a ferromagnetic metal material is directly adhered have been used.
【０００３】一方、これに対処するために磁気ヘッドの
分野においても研究が進められ、高抗磁力磁気記録媒体
を実現するために、コア材料に金属磁性材料を用いると
ともに、狭トラック化および狭ギャップ化を図った磁気
ヘッドが開発されている。On the other hand, research has been advanced in the field of magnetic heads to deal with this, and in order to realize a high coercive force magnetic recording medium, a metal magnetic material is used as a core material, and a narrow track and a narrow gap are used. Magnetic heads have been developed.
【０００４】このような磁気ヘッドとしては、非磁性材
料からなる基板に、高透磁率かつ高飽和磁束密度を有す
る金属磁性層を挟み込んだ構造の、いわゆるラミネート
タイプの磁気ヘッドが知られている。As such a magnetic head, there is known a so-called laminate type magnetic head having a structure in which a metal magnetic layer having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density is sandwiched between substrates made of a non-magnetic material.
【０００５】図１５Ａおよび図１５Ｂにこのラミネート
タイプの磁気ヘッドの例を示す。図１５Ａは磁気ヘッド
の斜視図、図１５Ｂは磁気ヘッドの磁気記録媒体と対接
ないしは対向させる面（以下摺動面という）の拡大正面
図である。FIGS. 15A and 15B show an example of this laminated type magnetic head. FIG. 15A is a perspective view of the magnetic head, and FIG. 15B is an enlarged front view of a surface of the magnetic head that is in contact with or faces the magnetic recording medium (hereinafter referred to as a sliding surface).
【０００６】この磁気ヘッドを構成する磁気コアは閉磁
路を構成する一対の磁気コア半体５１および５２が突き
合わされて接合一体化され、磁気記録媒体との摺動面５
３に臨んでコア半体５１および５２の前方の突き合わせ
面間に磁気ギャップｇを構成している。この磁気ギャッ
プｇは、例えば再生ヘッドの場合、そのギャップ長が記
録波長の１／２〜１／３の長さになるように形成され
る。In the magnetic core constituting this magnetic head, a pair of magnetic core halves 51 and 52 constituting a closed magnetic circuit are butted and joined together to form a sliding surface 5 with a magnetic recording medium.
A magnetic gap g is formed between the front abutting surfaces of the core halves 51 and 52 when facing the third magnetic field. In the case of a reproducing head, for example, the magnetic gap g is formed so that the gap length is 1/2 to 1/3 of the recording wavelength.
【０００７】磁気コア半体５１および５２は、金属磁性
層５４および５５が非磁性ガード材５７と５８、５９と
６０によってそれぞれ挟み込まれてなる。The magnetic core halves 51 and 52 are composed of metal magnetic layers 54 and 55 sandwiched by nonmagnetic guard materials 57 and 58, 59 and 60, respectively.
【０００８】そして、磁気コア半体５１および５２同士
の突き合わせ端面においては、図１５Ａおよび図１５Ｂ
に示すように、その金属磁性層５４および５５の端部が
突き合わされることによりその突き合わせ端面間に磁気
ギャップｇが構成されている。従って、この磁気ギャッ
プｇのトラック幅は、金属磁性層５４および５５の膜厚
によって設定される。Then, at the abutting end faces of the magnetic core halves 51 and 52, FIG. 15A and FIG.
As shown in FIG. 7, the magnetic gaps g are formed between the abutting end faces by abutting the ends of the metal magnetic layers 54 and 55. Therefore, the track width of the magnetic gap g is set by the film thickness of the metal magnetic layers 54 and 55.
【０００９】また、磁気コア半体５１および５２の突き
合わせ面には、磁気ギャップｇのデプスＤｐを規制する
とともにコイルを巻装するための巻線溝５６が形成さ
れ、巻線溝５６の摺動面５３側には補強ガラス７１が充
填されている。A winding groove 56 for restricting the depth Dp of the magnetic gap g and winding a coil is formed on the abutting surfaces of the magnetic core halves 51 and 52, and the winding groove 56 slides. The surface 53 side is filled with the reinforcing glass 71.
【００１０】この磁気ヘッドにおいては、金属磁性層５
４および５５の膜厚が磁気ギャップｇのトラック幅とな
るものであるため、金属磁性層の膜厚を制御することで
簡単に狭トラック化が図れること、また構造的に疑似ギ
ャップが発生しないことの利点があり、さらに図１５Ｂ
に示すように、この金属磁性層をＳｉＯ2 、Ａｌ
2 Ｏ 3 、Ｓｉ3 Ｎ4 等の酸化物や窒化物のような電気絶
縁膜５４´および５５´と交互に積層した積層膜構造と
することで渦電流損失を回避でき高周波帯域での高出力
化が望めること等、様々な利点を有するものである。In this magnetic head, the metal magnetic layer 5
The film thicknesses of 4 and 55 are the track width of the magnetic gap g.
Therefore, by controlling the film thickness of the metal magnetic layer
The track can be easily narrowed, and the structure is pseudo-guidance.
15B has the advantage that caps do not occur, and FIG.
As shown in FIG.2, Al
2O Three, SiThreeNFourElectricity loss such as oxides and nitrides
A laminated film structure in which the edge films 54 'and 55' are alternately laminated
By doing so, eddy current loss can be avoided and high output in high frequency band
It has various advantages such as being expected to be commercialized.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＶＴＲ等の
磁気記録再生装置に用いられる磁気ヘッドは、回転ドラ
ムに高精度にマウントされる。このマウントする際の位
置決めは、光学顕微鏡を用いて磁気ギャップｇの位置を
判別して行っている。具体的には、例えばギャップ材が
ＳｉＯ2 、ギャップ形成コアが金属であれば、ギャップ
では光が透過し、その周囲のコアでは光が反射するので
ギャップとその周囲とで光の反射率が異なり、これによ
り磁気ギャップの位置を判別する。A magnetic head used in a magnetic recording / reproducing apparatus such as a VTR is mounted on a rotating drum with high accuracy. The positioning at the time of mounting is performed by determining the position of the magnetic gap g using an optical microscope. Specifically, for example, when the gap material is SiO 2 and the gap forming core is metal, light is transmitted through the gap and reflected by the core around the gap, so the light reflectance differs between the gap and its surroundings. , Thereby determining the position of the magnetic gap.
【００１２】ところが、上述のラミネートタイプの磁気
ヘッドの場合は、狭ギャップ化によって顕微鏡での像が
小さくなり、磁気ギャップｇの位置が判別しにくくなっ
て来ている。特にギャップ材に金等の貴金属を用いた磁
気ヘッドにおいては、ギャップ材とコアとの反射率の差
が小さいために、さらにその判別が困難である。このよ
うに磁気ギャップｇの位置が判別しにくいことにより、
磁気ヘッドを回転ドラムにマウントする際の作業性が低
下するという問題があった。However, in the case of the above-mentioned laminate type magnetic head, the narrowing of the gap makes the image in the microscope smaller, making it difficult to determine the position of the magnetic gap g. In particular, in a magnetic head using a noble metal such as gold for the gap material, it is more difficult to discriminate it because the difference in reflectance between the gap material and the core is small. Since it is difficult to determine the position of the magnetic gap g,
There is a problem that workability when mounting the magnetic head on the rotating drum is reduced.
【００１３】上述した問題の解決のために、本発明にお
いては、磁気ヘッドの磁気ギャップの位置を認識しやす
くして、マウントの際の作業性を改善し、生産性を向上
させるものである。In order to solve the above-mentioned problem, the present invention makes it easy to recognize the position of the magnetic gap of the magnetic head, improves workability in mounting, and improves productivity.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
それぞれ第１および第２の非磁性基板により金属磁性層
を挟み込んで成る対の磁気コア半体が、金属磁性層の端
面同士を対向させて突き合わされ、これら金属磁性層の
突き合わせ端面間に磁気ギャップが形成され、磁気コア
半体の各金属磁性層は、第１の非磁性基板に非磁性下地
層を介して被着形成され、各磁気コア半体の第２の非磁
性基板が第１の非磁性基板上の金属磁性層上に接合層を
介して接合され、対の磁気コア半体が突き合わされた状
態で、一方の磁気コア半体の非磁性下地層ともう一方の
磁気コア半体の接合層とが相対向するように配置され、
非磁性下地層と接合層とが互いに異なる厚さに選定され
た構成とする。The magnetic head of the present invention comprises:
A pair of magnetic core halves, each of which has a metal magnetic layer sandwiched between a first nonmagnetic substrate and a second nonmagnetic substrate, are butted against each other with their end faces facing each other, and a magnetic gap is provided between the abutted end faces of these metal magnetic layers. And each metal magnetic layer of the magnetic core halves is deposited on the first non-magnetic substrate via the non-magnetic underlayer, and the second non-magnetic substrate of each magnetic core half is the first non-magnetic substrate. The nonmagnetic underlayer of one magnetic core half and the other magnetic core half are bonded to each other on the metal magnetic layer on the nonmagnetic substrate via the bonding layer, and the pair of magnetic core halves are butted against each other. It is arranged so that the bonding layer of
The nonmagnetic underlayer and the bonding layer have different thicknesses.
【００１５】また本発明の他の磁気ヘッドは、それぞれ
第１および第２の非磁性基板により金属磁性層を挟み込
んで成る対の磁気コア半体が、金属磁性層の端面同士を
対向させて突き合わされ、これら金属磁性層の突き合わ
せ端面間に磁気ギャップが形成され、磁気コア半体の各
金属磁性層は、第１の非磁性基板に非磁性下地層を介し
て被着形成され、各磁気コア半体の第２の非磁性基板が
第１の非磁性基板上の金属磁性層上に接合層を介して接
合され、対の磁気コア半体が突き合わされた状態で、一
方の磁気コア半体の非磁性下地層ともう一方の磁気コア
半体の接合層とが相対向するように配置され、非磁性下
地層と接合層とは互いに異なる材料層により構成されて
成る。In another magnetic head of the present invention, a pair of magnetic core halves, each of which has a metal magnetic layer sandwiched between a first nonmagnetic substrate and a second nonmagnetic substrate, project with the end faces of the metal magnetic layers facing each other. And a magnetic gap is formed between the abutting end faces of these metal magnetic layers, and each metal magnetic layer of the magnetic core half body is adhered to the first non-magnetic substrate via a non-magnetic underlayer to form each magnetic core. One half of the magnetic core halves is a half-body of the second non-magnetic substrate bonded to the metal magnetic layer on the first non-magnetic substrate via a bonding layer, and a pair of magnetic core halves are butted. The non-magnetic underlayer and the joining layer of the other magnetic core half are arranged so as to face each other, and the non-magnetic underlayer and the joining layer are composed of different material layers.
【００１６】上述の本発明の構成によれば、非磁性下地
層と接合層について、非磁性下地層と接合層とが異なる
厚さに形成されたことにより、あるいは非磁性下地層お
よび接合層をそれぞれ構成する材料を異なる材料とする
ことにより、ギャップ面と同一面上にある非磁性下地層
のエッジ部が容易に判別できるため、磁気ギャップの位
置を正確かつ容易に判別することができる。According to the above-described structure of the present invention, the nonmagnetic underlayer and the bonding layer are formed to have different thicknesses, or the nonmagnetic underlayer and the bonding layer are formed. By using different constituent materials, the edge of the non-magnetic underlayer on the same surface as the gap surface can be easily identified, and thus the position of the magnetic gap can be accurately and easily identified.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】本発明の磁気ヘッドは、それぞれ
第１および第２の非磁性基板により金属磁性層を挟み込
んで成る対の磁気コア半体が、金属磁性層の端面同士を
対向させて突き合わされ、これら金属磁性層の突き合わ
せ端面間に磁気ギャップが形成される。各磁気コア半体
の各金属磁性層は、第１の非磁性基板に非磁性下地層を
介して被着形成され、各磁気コア半体の第２の非磁性基
板が第１の非磁性基板上の金属磁性層上に接合層を介し
て接合され、対の磁気コア半体が突き合わされた状態
で、一方の磁気コア半体の非磁性下地層ともう一方の磁
気コア半体の接合層とが相対向するように配置された構
造とし、さらに非磁性下地層と接合層の厚さを互いに異
ならせたものである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the magnetic head of the present invention, a pair of magnetic core halves each having a metal magnetic layer sandwiched between a first and a second non-magnetic substrate have their end faces opposed to each other. Butt, and a magnetic gap is formed between the butted end faces of these metal magnetic layers. Each metal magnetic layer of each magnetic core half is formed on the first non-magnetic substrate via a non-magnetic underlayer, and the second non-magnetic substrate of each magnetic core half is the first non-magnetic substrate. A non-magnetic underlayer of one magnetic core half and a non-magnetic underlayer of the other magnetic core half, which are bonded to each other on the upper metal magnetic layer via a bonding layer and a pair of magnetic core halves are butted against each other. And the nonmagnetic underlayer and the bonding layer are different in thickness from each other.
【００１８】また、本発明の他の磁気ヘッドは、上述の
構成で非磁性下地層と接合層とをそれぞれ異なる材料で
構成するものである。Further, another magnetic head of the present invention has the above-mentioned construction, in which the nonmagnetic underlayer and the bonding layer are made of different materials.
【００１９】本発明による磁気ヘッドの一例を図１およ
び図２に示す。図１は磁気ヘッドの斜視図であり、図２
は図１の磁気ヘッドの磁気記録媒体との摺動面の拡大正
面図である。An example of the magnetic head according to the present invention is shown in FIGS. 1 is a perspective view of the magnetic head, and FIG.
FIG. 3 is an enlarged front view of a sliding surface of the magnetic head of FIG. 1 with respect to a magnetic recording medium.
【００２０】この磁気ヘッドを構成する磁気コアは閉磁
路を構成する一対の磁気コア半体１および２が突き合わ
されて接合一体化され、磁気記録媒体との摺動面２３に
臨む磁気ギャップｇを構成している。In the magnetic core constituting this magnetic head, a pair of magnetic core halves 1 and 2 constituting a closed magnetic path are butted and joined together to form a magnetic gap g facing the sliding surface 23 with the magnetic recording medium. I am configuring.
【００２１】磁気コア半体１および２は、例えばチタン
酸カルシウム（ＮｉＯを添加する場合もある）からなる
第１および第２の非磁性ガード材１２ａおよび１２ｂ
と、金属磁性層１４とを有し、この金属磁性層１４は第
１の非磁性基板としての第１の非磁性ガード材１２ａお
よび第２の非磁性基板としての第２の非磁性ガード材１
２ｂによって挟み込まれている。The magnetic core halves 1 and 2 are, for example, first and second non-magnetic guard materials 12a and 12b made of, for example, calcium titanate (NiO may be added in some cases).
And a metal magnetic layer 14, which has a first non-magnetic guard material 12a as a first non-magnetic substrate and a second non-magnetic guard material 1 as a second non-magnetic substrate.
It is sandwiched by 2b.
【００２２】また、磁気コア半体１および２の突き合わ
せ端面には、磁気ギャップｇのデプスＤｐを規制すると
ともにコイルを巻装するための巻線溝１９が断面略コ字
状をなす溝としてコアの厚み方向に貫通して形成されて
いる。そして、巻線溝１９上部には補強ガラス２１が充
填されている。On the abutting end faces of the magnetic core halves 1 and 2, a winding groove 19 for restricting the depth Dp of the magnetic gap g and winding a coil is formed as a groove having a substantially U-shaped cross section. Is formed so as to penetrate therethrough in the thickness direction. Then, the upper part of the winding groove 19 is filled with the reinforcing glass 21.
【００２３】一方、少なくとも一方の磁気コア半体１，
２の外側面に、上述の巻線溝１９に巻装されるコイルの
巻装状態を確保するための例えば断面略コ字状の巻線ガ
イド溝２４が設けられている。On the other hand, at least one magnetic core half body 1,
A winding guide groove 24 having, for example, a substantially U-shaped cross section is provided on the outer side surface of the wire 2 to secure the winding state of the coil wound around the winding groove 19.
【００２４】そしてこの磁気ヘッドにおいては、図２に
示すように、さらに金属磁性層１４の両側に非磁性下地
層１３および接合層２０が形成された構成をとる。In this magnetic head, as shown in FIG. 2, the nonmagnetic underlayer 13 and the bonding layer 20 are further formed on both sides of the metal magnetic layer 14.
【００２５】そして、磁気コア半体１および２の突き合
わせ端面においては、金属磁性層１４の端部同士が突き
合わされることにより前述の磁気ギャップｇが構成され
ている。磁気ギャップｇのトラック幅は、非磁性ガード
材１２ａ，１２ｂおよび非磁性下地層１３、接合層２０
が非磁性体であることから、金属磁性層１４の膜厚によ
って設定される。Then, at the abutting end faces of the magnetic core halves 1 and 2, the above-mentioned magnetic gap g is formed by abutting the ends of the metal magnetic layer 14 with each other. The track width of the magnetic gap g is determined by the nonmagnetic guard materials 12a and 12b, the nonmagnetic underlayer 13, and the bonding layer 20.
Is a non-magnetic material, and is set by the film thickness of the metal magnetic layer 14.
【００２６】また図２に示すように、磁気コア半体１お
よび２の突き合わせ端面において、各磁気コア半体１お
よび２の各非磁性下地層１３が互いに他の磁気コア半体
１および２の接合層２０と対向する構成となっている。Further, as shown in FIG. 2, at the abutting end faces of the magnetic core halves 1 and 2, the non-magnetic underlayers 13 of the magnetic core halves 1 and 2 are different from those of the other magnetic core halves 1 and 2. It is configured to face the bonding layer 20.
【００２７】この非磁性下地層１３を接合層２０より厚
くして、磁気コア半体１および２の突き合わせ端面に、
非磁性下地層１３の端面によるエッジＥが生じるように
する。This non-magnetic underlayer 13 is made thicker than the bonding layer 20, and the abutting end faces of the magnetic core halves 1 and 2 are
An edge E is formed by the end surface of the nonmagnetic underlayer 13.
【００２８】このエッジＥは、前述のように磁気ヘッド
をマウントする際に光学顕微鏡で観察したときに、明瞭
に判別されるように、非磁性下地層１３と接合層２０と
の膜厚の差が０．２μｍ以上になるように各層の厚さを
選定する。The edge E is a difference in film thickness between the non-magnetic underlayer 13 and the bonding layer 20 so that the edge E can be clearly discerned when observed with an optical microscope when the magnetic head is mounted as described above. The thickness of each layer is selected so as to be 0.2 μm or more.
【００２９】非磁性下地層１３は、ＳｉＯ2 やＡｌ2 Ｏ
3 等の酸化物等の単層構造、あるいは密着性を考慮して
両側をＣｒ，Ｔｉで挟んだＣｒ／ＳｉＯ2 ／Ｃｒ等の多
層構造とする。また非磁性下地層１３は、Ｃｒ，Ｔｉ等
の非磁性金属により構成することもできる。The non-magnetic underlayer 13 is made of SiO 2 or Al 2 O.
A single layer structure of oxide such as 3 or a multilayer structure of Cr / SiO 2 / Cr in which both sides are sandwiched by Cr and Ti is taken into consideration in consideration of adhesion. The nonmagnetic underlayer 13 can also be made of a nonmagnetic metal such as Cr or Ti.
【００３０】また金属磁性層１４は、例えば次のような
材料により構成する。 （１）Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ，Ｆｅ−Ｎｉ−Ａｌ−Ｓｉ，Ｆ
ｅ−Ｇａ−Ｓｉ，Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ等、およびそれらに
８原子％以下のＣｏ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，
Ｒｕ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｎ，Ｃ，Ｏ等を１種または数種添加
した結晶質材料。 （２）Ｃｏに主としてＺｒ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｈｆ，Ｍｏ，
Ｎｂ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｒｕ等を１種または数種添加して構
成したアモルファス材料。 （３）Ｃｏ，Ｆｅに主としてＮｉ，Ｚｒ，Ｔａ，Ｔｉ，
Ｈｆ，Ｍｏ，Ｎｂ，Ｓｉ，Ａｌ，Ｂ，Ｇａ，Ｇｅ，Ｃ
ｕ，Ｓｎ，Ｒｕ，Ｂ等の１種または数種と、Ｎ，Ｃ，Ｏ
の１種または数種を添加して構成した微結晶材料。The metal magnetic layer 14 is made of, for example, the following materials. (1) Fe-Al-Si, Fe-Ni-Al-Si, F
e-Ga-Si, Fe-Al-Ge, etc., and those containing 8 atomic% or less of Co, Ti, Cr, Nb, Mo, Ta,
A crystalline material to which one or several kinds of Ru, Au, Pd, N, C, O, etc. are added. (2) Co mainly Zr, Ta, Ti, Hf, Mo,
An amorphous material formed by adding one or more of Nb, Au, Pd, Ru and the like. (3) Co, Fe are mainly Ni, Zr, Ta, Ti,
Hf, Mo, Nb, Si, Al, B, Ga, Ge, C
u, Sn, Ru, B or the like, and N, C, O
A microcrystalline material comprising one or more of the following.
【００３１】なお、図２に示すようにこの金属磁性層１
４は、高周波帯域での渦電流発生を回避させるために、
例えばＳｉＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｓｉ3 Ｎ4 等の酸化物や
窒化物などの電気的絶縁膜１４´を介して積層させた積
層膜とすることもできる。As shown in FIG. 2, this metal magnetic layer 1
4 is to avoid eddy current generation in the high frequency band,
For example, a laminated film may be formed by laminating an electrically insulating film 14 'such as an oxide or a nitride of SiO 2 , Al 2 O 3 , Si 3 N 4 or the like.
【００３２】接合層２０は、融着ガラスあるいは金，
銀，パラジウム等の貴金属により形成した薄膜により構
成される。この接合層２０は金属磁性層１４との密着性
をよくするために、必要ならばＣｒやＴｉ等の金属とこ
れらの材料とを積層させた構成とすることができる。The bonding layer 20 is made of fused glass or gold,
It is composed of a thin film made of a noble metal such as silver or palladium. In order to improve the adhesiveness with the metal magnetic layer 14, the bonding layer 20 may be formed by laminating a metal such as Cr or Ti and these materials, if necessary.
【００３３】この例では、非磁性下地層１３と接合層２
０との膜厚の差によってエッジＥを生じさせることか
ら、これら２層の材料は光の反射率を考慮することな
く、上述の材料から選択することができるものである。In this example, the non-magnetic underlayer 13 and the bonding layer 2 are
Since the edge E is generated due to the difference in the film thickness from 0, the materials of these two layers can be selected from the above materials without considering the light reflectance.
【００３４】上述の磁気ヘッドは、例えば次のような方
法により製造する。図３に示すような両主面が鏡面加工
された、短冊状の非磁性基板１２を用意する。The magnetic head described above is manufactured, for example, by the following method. A strip-shaped non-magnetic substrate 12 having both principal surfaces mirror-finished as shown in FIG. 3 is prepared.
【００３５】図４Ａに斜視図を示し、図４Ｂに図４Ａの
Ａ部の拡大図を示すように、この非磁性基板１２の一方
の主面上にスパッタ法などの真空薄膜形成法により、非
磁性下地層１３と、それぞれ絶縁膜１４´を介して複数
の金属磁性層１４を順次積層形成した、コア基板１５を
構成する。As shown in the perspective view of FIG. 4A and the enlarged view of the portion A of FIG. 4A in FIG. 4B, a non-magnetic substrate 12 is formed on one main surface by a vacuum thin film forming method such as a sputtering method. A magnetic base layer 13 and a plurality of metal magnetic layers 14 are sequentially laminated with an insulating film 14 ′ interposed therebetween to form a core substrate 15.
【００３６】次に図４Ｂに示すように、コア基板１５の
金属磁性層１４が形成された主面に接合層２０をスパッ
タ法などにより形成する。このとき、形成される接合層
２０の厚さは、先に形成した非磁性下地層１３よりも薄
くなるように形成する。Next, as shown in FIG. 4B, a bonding layer 20 is formed on the main surface of the core substrate 15 on which the metal magnetic layer 14 is formed by a sputtering method or the like. At this time, the thickness of the bonding layer 20 formed is smaller than that of the nonmagnetic underlayer 13 formed previously.
【００３７】その後、図５に示すように複数のコア基板
１５を重ね合わせて、これらを加圧固定し熱処理を施し
接合一体化してコア体ブロック１６を構成する。After that, as shown in FIG. 5, a plurality of core substrates 15 are superposed, and these core substrates 15 are pressure-fixed and heat-treated to be joined and integrated to form a core block 16.
【００３８】このコア体ブロック１６を、図５中のＡ−
Ａ´，Ｂ−Ｂ´，Ｃ−Ｃ´で示す面に沿って切断し、図
６に示すように互いに略対称な一対の磁気コア半体ブロ
ック１７および１８を作製する。This core block 16 is designated as A- in FIG.
By cutting along the planes indicated by A ', BB', and CC ', a pair of magnetic core half blocks 17 and 18 which are substantially symmetrical to each other are produced as shown in FIG.
【００３９】この磁気コア半体ブロック１７および１８
に対し、図７に示すようにその長手方向に沿って伸びる
巻線溝１９を略コ字状の断面形状となるように形成す
る。The magnetic core half blocks 17 and 18
On the other hand, as shown in FIG. 7, the winding groove 19 extending along the longitudinal direction is formed so as to have a substantially U-shaped cross section.
【００４０】この後、磁気コア半体ブロック１７および
１８の巻線溝１９が形成された側の面を鏡面加工する。
この鏡面加工をした研磨面に、ギャップ材兼接合層とし
て融着ガラス膜、あるいは金，銀，パラジウム等の貴金
属膜をスパッタ法等の真空薄膜形成法により被着形成す
る。Thereafter, the surfaces of the magnetic core half blocks 17 and 18 on the side where the winding groove 19 is formed are mirror-finished.
A fused glass film or a noble metal film of gold, silver, palladium or the like is formed as a gap material / bonding layer on the mirror-polished polished surface by a vacuum thin film forming method such as a sputtering method.
【００４１】そして、図８Ａに斜視図を示し、図８Ｂに
図８ＡのＢ部の拡大図を示すように、磁気コア半体ブロ
ック１７および１８を、それぞれの金属磁性層１４同士
が相対向するように突き合わせ、ガラス融着法あるいは
低温金属接合法により接合一体化させる。このように金
属磁性層１４同士が相対向するように突き合わせると、
後に磁気ギャップが形成される接合部分においては、非
磁性下地層１３と接合層２０とが対向する構造となる。
そして非磁性下地層１３と接合層２０との膜厚の差によ
って、非磁性下地層１３の接合部にエッジＥが現れるこ
とになる。Then, as shown in a perspective view of FIG. 8A and an enlarged view of a portion B of FIG. 8A in FIG. 8B, the magnetic core half blocks 17 and 18 have their metallic magnetic layers 14 opposed to each other. Butt and integrate by glass fusion method or low temperature metal bonding method. When the metal magnetic layers 14 are abutted against each other in this way,
At the junction where a magnetic gap will be formed later, the nonmagnetic underlayer 13 and the junction layer 20 face each other.
Then, due to the difference in film thickness between the nonmagnetic underlayer 13 and the bonding layer 20, the edge E appears at the bonded portion of the nonmagnetic underlayer 13.
【００４２】尚、このときの熱処理工程において、図９
に示すように巻線溝１９内にガラス棒を挿入配置し、こ
のガラス棒を溶融させて、巻線溝１９内の上部に充填さ
せ補強ガラス２１とする。この結果、各磁気コア半体ブ
ロック１７および１８にそれぞれ形成された金属磁性層
１４の突き合わせ端面間に、記録再生ギャップとして動
作する磁気ギャップｇが形成された磁気コアブロック２
２が形成される。In the heat treatment step at this time, as shown in FIG.
As shown in FIG. 4, a glass rod is inserted and arranged in the winding groove 19, and the glass rod is melted and filled in the upper portion of the winding groove 19 to form a reinforcing glass 21. As a result, the magnetic core block 2 in which the magnetic gap g that operates as a recording / reproducing gap is formed between the abutting end faces of the metal magnetic layers 14 formed in the magnetic core half blocks 17 and 18, respectively.
2 is formed.
【００４３】そして、図１０に示すように、磁気コアブ
ロック２２の外面にそれぞれ所要曲率をもった磁気記録
媒体との摺動面２３を円筒研磨等により形成し、さらに
磁気コアブロック２２の外面の巻線を回装する部分に巻
線ガイド溝２４を形成する。Then, as shown in FIG. 10, a sliding surface 23 with the magnetic recording medium having a required curvature is formed on the outer surface of the magnetic core block 22 by cylindrical polishing or the like. The winding guide groove 24 is formed in the portion where the winding is wound.
【００４４】図１１に示すように、摺動面２３に、磁気
記録媒体への当たり幅規制溝２５を形成する。その後、
図１２に示すように点線で示すＤ−Ｄ´，Ｅ−Ｅ´，Ｆ
−Ｆ´，Ｇ−Ｇ´，Ｈ−Ｈ´の各線に沿う面において磁
気コアブロック２２を切断して、図１および図２に示す
ような非磁性基板１２で金属磁性層１４を挟み込んだ磁
気コア半体１および２が突き合わされ、突き合わせ端面
間に磁気ギャップｇが形成された構造の磁気ヘッドが形
成される。As shown in FIG. 11, a contact width regulation groove 25 for contacting the magnetic recording medium is formed on the sliding surface 23. afterwards,
As shown in FIG. 12, D-D ', EE', and F shown by dotted lines
The magnetic core block 22 is cut along the planes along the lines -F ', GG', and H-H ', and the magnetic layer 14 is sandwiched between the nonmagnetic substrates 12 as shown in FIGS. A magnetic head having a structure in which the core halves 1 and 2 are butted and a magnetic gap g is formed between the butted end faces is formed.
【００４５】この構造のラミネートタイプの磁気ヘッド
は、狭ギャップ化しても、またギャップ材に貴金属を用
いてギャップの位置の判別がしにくい場合でも、ギャッ
プと同一面上にある非磁性下地層のエッジ部Ｅが存在す
ることから、このギャップ位置を容易にかつ正確に判別
することができる。The laminated type magnetic head of this structure has a non-magnetic underlayer on the same plane as the gap even if the gap is narrowed or it is difficult to determine the position of the gap by using a noble metal for the gap material. Since the edge portion E exists, this gap position can be easily and accurately determined.
【００４６】続いて、本発明による磁気ヘッドの他の一
例について説明する。この例は、磁気コア半体１および
２の突き合わせ端面において、金属磁性層１４の両外側
でそれぞれ非磁性下地層１３および接合層２０とが相対
向する構成において、非磁性下地層１３と接合層２０と
を異なる材料で構成する場合の例である。Next, another example of the magnetic head according to the present invention will be described. In this example, the nonmagnetic underlayer 13 and the joining layer 20 are arranged in such a manner that the nonmagnetic underlayer 13 and the joining layer 20 face each other on both outer sides of the metal magnetic layer 14 at the abutting end faces of the magnetic core halves 1 and 2. This is an example of a case where 20 is made of a different material.
【００４７】この例では図１に斜視図を示した構造の磁
気ヘッドにおいて、図１３にその磁気記録媒体との摺動
面の拡大正面図を示すように、相対向する非磁性下地層
１３と接合層２０について、それぞれの厚さが同じであ
る一方、それぞれの層１３、２０を構成する材料が異な
るものである。In this example, in the magnetic head having the structure shown in the perspective view of FIG. 1, as shown in the enlarged front view of the sliding surface with the magnetic recording medium in FIG. The bonding layers 20 have the same thickness, but the layers 13 and 20 are made of different materials.
【００４８】この場合、例えば非磁性下地層１３はＳｉ
Ｏ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 等の酸化物、接合層２０は金等の貴金
属により構成することにより、これら２層の反射率が異
なり、磁気コア半体１および２の突き合わせ面におい
て、相対向するこれら２層によって、境界面がエッジＥ
として形成される。この場合も、前述の場合と同様に光
学顕微鏡で観察する際に、非磁性下地層１３では光が透
過し接合層２０では光が反射するので、このエッジＥを
明瞭に識別することができ、これにより磁気ギャップｇ
の位置を確実に判別して、磁気ヘッドを精度良くマウン
トすることができる。In this case, for example, the nonmagnetic underlayer 13 is made of Si.
Since the oxides such as O 2 and Al 2 O 3 and the bonding layer 20 are made of a noble metal such as gold, the reflectances of these two layers are different and face each other at the abutting surfaces of the magnetic core halves 1 and 2. The boundary surface is edge E by these two layers.
Formed as. Also in this case, when observed with an optical microscope as in the case described above, since the non-magnetic underlayer 13 transmits light and the bonding layer 20 reflects light, the edge E can be clearly identified, As a result, the magnetic gap g
The magnetic head can be mounted with high accuracy by reliably discriminating the position of.
【００４９】この場合の非磁性下地層１３と接合層２０
の材料の組み合わせは、反射率が異なりエッジＥが明瞭
となるように選定される。従って、例えば次のような組
み合わせが考えられる。 １）非磁性下地層１３を酸化物、接合層２０を貴金属に
より形成する。（上述の例） ２）非磁性下地層１３をＣｒ，Ｔｉ等の非磁性金属、接
合層２０をガラス等により形成する。In this case, the nonmagnetic underlayer 13 and the bonding layer 20
The combination of materials is selected so that the edge E becomes clear with different reflectances. Therefore, for example, the following combinations are possible. 1) The nonmagnetic underlayer 13 is formed of an oxide and the bonding layer 20 is formed of a noble metal. (Example above) 2) The nonmagnetic underlayer 13 is formed of nonmagnetic metal such as Cr and Ti, and the bonding layer 20 is formed of glass or the like.
【００５０】上述の各例の磁気ヘッドにおいては、先の
図４Ａおよび図４Ｂに示したように接合層２０を形成す
る際に、非磁性基板１２に対して非磁性下地層１３およ
び金属磁性層１４と同一の基板１２の主面側に形成する
構成とした。一方、この接合層２０を形成するときに、
図１４Ａに図４ＡのＡ部の拡大図を示すように、非磁性
下地層１３が形成された非磁性基板１２の主面とは反対
側の非磁性基板１２の主面に接合層２０を形成すること
もできる。この場合も、同様にコア基板１５を接合する
ことにより、図５に示すようにコア体ブロック１６を形
成することができ、以後上述の例と同様の工程を採って
本発明の磁気ヘッドを構成することができる。In the magnetic head of each of the above-described examples, when forming the bonding layer 20 as shown in FIGS. 4A and 4B, the nonmagnetic underlayer 13 and the metal magnetic layer are formed on the nonmagnetic substrate 12. The structure is formed on the main surface side of the same substrate 12 as the substrate 14. On the other hand, when forming the bonding layer 20,
As shown in the enlarged view of the portion A of FIG. 4A in FIG. 14A, the bonding layer 20 is formed on the main surface of the nonmagnetic substrate 12 opposite to the main surface of the nonmagnetic substrate 12 on which the nonmagnetic underlayer 13 is formed. You can also do it. In this case as well, the core substrate 15 can be similarly bonded to form the core block 16 as shown in FIG. 5, and the magnetic head of the present invention is constructed by taking the same steps as in the above-described example. can do.
【００５１】また図１４Ｂに図４ＡのＡ部の拡大図を示
すように、非磁性基板１２の両方の主面の側にそれぞれ
接合層２０を形成しても同様にして本発明の磁気ヘッド
を構成することができる。Further, as shown in FIG. 14B, which is an enlarged view of the portion A in FIG. 4A, the magnetic head of the present invention can be similarly obtained by forming the bonding layers 20 on both main surfaces of the non-magnetic substrate 12, respectively. Can be configured.
【００５２】本発明の磁気ヘッドは、上述の例に限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でそ
の他様々な構成が取り得る。The magnetic head of the present invention is not limited to the above-mentioned example, and various other configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.
【００５３】[0053]
【発明の効果】上述の本発明による磁気ヘッドによれ
ば、非磁性下地層と接合層の膜厚を異ならせることによ
り、磁気ヘッドの磁気ギャップの位置の認識が容易にな
る。According to the above-described magnetic head of the present invention, the position of the magnetic gap of the magnetic head can be easily recognized by making the thicknesses of the nonmagnetic underlayer and the bonding layer different.
【００５４】また、本発明による他の磁気ヘッドによれ
ば、非磁性下地層と接合層をそれぞれ異なる材料により
構成することにより、同様に磁気ヘッドの磁気ギャップ
の位置の認識が容易になる。According to another magnetic head of the present invention, the nonmagnetic underlayer and the bonding layer are made of different materials, so that the position of the magnetic gap of the magnetic head can be easily recognized.
【００５５】従って本発明により、ラミネートタイプの
磁気ヘッドにおいて、磁気ヘッドの磁気ギャップの位置
の認識が容易になり、磁気ヘッドの製造の際に回転ドラ
ムに高精度にマウントすることができる。これにより作
業性が改善され、生産性の向上が図られる。Therefore, according to the present invention, in the laminate type magnetic head, the position of the magnetic gap of the magnetic head can be easily recognized, and the magnetic head can be mounted on the rotary drum with high precision during the manufacture. As a result, workability is improved and productivity is improved.
【図１】本発明の磁気ヘッドの一例の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an example of a magnetic head of the present invention.
【図２】図１の磁気ヘッドの磁気記録媒体との摺動面の
拡大正面図である。FIG. 2 is an enlarged front view of a sliding surface of the magnetic head of FIG. 1 with respect to a magnetic recording medium.
【図３】本発明の磁気ヘッドの一例の一製造工程を示す
斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a manufacturing process of an example of the magnetic head of the present invention.
【図４】Ａ 本発明の磁気ヘッドの一例の一製造工程を
示す斜視図である。 Ｂ 図４ＡのＡ部の拡大図である。4A is a perspective view showing an example of the manufacturing process of the magnetic head of the present invention. FIG. 4B is an enlarged view of part A of FIG. 4A. FIG.
【図５】本発明の磁気ヘッドの一例の一製造工程を示す
斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing one manufacturing process of the magnetic head of the present invention.
【図６】本発明の磁気ヘッドの一例の一製造工程を示す
斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing one manufacturing process of the magnetic head of the present invention.
【図７】本発明の磁気ヘッドの一例の一製造工程を示す
斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing one manufacturing process of the magnetic head of the present invention.
【図８】Ａ 本発明の磁気ヘッドの一例の一製造工程を
示す斜視図である。 Ｂ 図８ＡのＢ部の拡大図である。FIG. 8A is a perspective view showing one manufacturing process of the magnetic head of the present invention. 8B is an enlarged view of a B portion of FIG. 8A. FIG.
【図９】本発明の磁気ヘッドの一例の一製造工程を示す
斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing one manufacturing process of the magnetic head of the present invention.
【図１０】本発明の磁気ヘッドの一例の一製造工程を示
す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing one manufacturing process of the magnetic head of the present invention.
【図１１】本発明の磁気ヘッドの一例の一製造工程を示
す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing one manufacturing process of the magnetic head of the present invention.
【図１２】本発明の磁気ヘッドの一例の一製造工程を示
す斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing an example manufacturing process of the magnetic head of the present invention.
【図１３】図１の磁気ヘッドの磁気記録媒体との摺動面
の拡大正面図である。13 is an enlarged front view of a sliding surface of the magnetic head of FIG. 1 with respect to a magnetic recording medium.
【図１４】Ａ 図４ＡのＡ部の拡大図である。 Ｂ 図４ＡのＡ部の拡大図である。14A is an enlarged view of a portion A of FIG. 4A. FIG. 4B is an enlarged view of part A of FIG. 4A. FIG.
【図１５】従来の磁気ヘッドの例である。 Ａ 磁気ヘッドの斜視図である。 Ｂ 磁気ヘッドの磁気記録媒体との摺動面の拡大正面図
である。FIG. 15 is an example of a conventional magnetic head. A Magnetic head is a perspective view. FIG. 3B is an enlarged front view of the sliding surface of the B magnetic head with respect to the magnetic recording medium.
【符号の説明】 １、２、５１、５２ 磁気コア半体 １２ 非磁性基板 １２ａ 第１の非磁性ガード材（非磁性基板） １２ｂ 第２の非磁性ガード材（非磁性基板） １３ 非磁性下地層 １４、５４、５５ 金属磁性層 １４´、５４´、５５´ 絶縁膜 １５ コア基板 １６ コア体ブロック １７、１８ 磁気コア半体ブロック １９、５６ 巻線溝 ２０ 接合層 ２１ 接合ガラス ２２ 磁気コアブロック ２３、５３ 摺動面 ２４、６１ 巻線ガイド溝 ２５ 当たり幅規制溝 Ｅ エッジ ｇ 磁気ギャップ ５７、５８、５９、６０ 非磁性ガード材[Description of Reference Signs] 1, 2, 51, 52 Magnetic core half body 12 Non-magnetic substrate 12a First non-magnetic guard material (non-magnetic substrate) 12b Second non-magnetic guard material (non-magnetic substrate) 13 Non-magnetic bottom Underlayer 14, 54, 55 Metallic magnetic layer 14 ', 54', 55 'Insulating film 15 Core substrate 16 Core body block 17, 18 Magnetic core half block 19, 56 Winding groove 20 Bonding layer 21 Bonding glass 22 Magnetic core block 23, 53 Sliding surface 24, 61 Winding guide groove 25 Width regulation groove per edge E Edge g Magnetic gap 57, 58, 59, 60 Non-magnetic guard material
Claims (4)
より金属磁性層を挟み込んで成る対の磁気コア半体が、
上記金属磁性層の端面同士を対向させて突き合わされ、
これら金属磁性層の突き合わせ端面間に磁気ギャップが
形成され、 上記磁気コア半体の上記各金属磁性層は、上記第１の非
磁性基板に非磁性下地層を介して被着形成され、 上記各磁気コア半体の上記第２の非磁性基板が上記第１
の非磁性基板上の上記金属磁性層上に接合層を介して接
合され、 上記対の磁気コア半体が突き合わされた状態で、一方の
磁気コア半体の上記非磁性下地層ともう一方の磁気コア
半体の上記接合層とが相対向するように配置され、 上記非磁性下地層と上記接合層とは、互いに異なる厚さ
に選定されたことを特徴とする磁気ヘッド。1. A pair of magnetic core halves each comprising a metal magnetic layer sandwiched between a first and a second non-magnetic substrate, respectively.
The end surfaces of the metal magnetic layer are butted against each other,
A magnetic gap is formed between the abutting end faces of the metal magnetic layers, and the metal magnetic layers of the magnetic core half are formed on the first non-magnetic substrate via a non-magnetic underlayer. The second non-magnetic substrate of the magnetic core half is the first
In the state of being bonded to the metal magnetic layer on the non-magnetic substrate via a bonding layer, and the pair of magnetic core halves being butted against each other, the non-magnetic underlayer of one magnetic core half and the other A magnetic head, wherein the magnetic core halves are arranged so as to face the bonding layer, and the non-magnetic underlayer and the bonding layer have different thicknesses.
が貴金属からなることを特徴とする請求項１に記載の磁
気ヘッド。2. The magnetic head according to claim 1, wherein the gap material forming the magnetic gap is made of a noble metal.
の差が０．２μｍ以上とされたことを特徴とする請求項
１に記載の磁気ヘッド。3. The magnetic head according to claim 1, wherein a difference in thickness between the nonmagnetic underlayer and the bonding layer is 0.2 μm or more.
より金属磁性層を挟み込んで成る対の磁気コア半体が、
上記金属磁性層の端面同士を対向させて突き合わされ、
これら金属磁性層の突き合わせ端面間に磁気ギャップが
形成され、 上記磁気コア半体の上記各金属磁性層は、上記第１の非
磁性基板に非磁性下地層を介して被着形成され、 上記各磁気コア半体の上記第２の非磁性基板が上記第１
の非磁性基板上の上記金属磁性層上に接合層を介して接
合され、 上記対の磁気コア半体が突き合わされた状態で、一方の
磁気コア半体の上記非磁性下地層ともう一方の磁気コア
半体の上記接合層とが相対向するように配置され、 上記非磁性下地層と上記接合層とは互いに異なる材料層
によって構成されたことを特徴とする磁気ヘッド。4. A pair of magnetic core halves each having a metal magnetic layer sandwiched between first and second non-magnetic substrates, respectively.
The end surfaces of the metal magnetic layer are butted against each other,
A magnetic gap is formed between the abutting end faces of the metal magnetic layers, and the metal magnetic layers of the magnetic core half are formed on the first non-magnetic substrate via a non-magnetic underlayer. The second non-magnetic substrate of the magnetic core half is the first
In the state of being bonded to the metal magnetic layer on the non-magnetic substrate via a bonding layer, and the pair of magnetic core halves being butted against each other, the non-magnetic underlayer of one magnetic core half and the other A magnetic head characterized in that the non-magnetic underlayer and the joining layer are made of different material layers, and are arranged so that the joining layer of the magnetic core half body faces each other.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23296295A JPH0981907A (en) | 1995-09-11 | 1995-09-11 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23296295A JPH0981907A (en) | 1995-09-11 | 1995-09-11 | Magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0981907A true JPH0981907A (en) | 1997-03-28 |
Family
ID=16947608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23296295A Pending JPH0981907A (en) | 1995-09-11 | 1995-09-11 | Magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0981907A (en) |
-
1995
- 1995-09-11 JP JP23296295A patent/JPH0981907A/en active Pending
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