JPH08119774A - 工具用複合高硬度材料 - Google Patents

工具用複合高硬度材料

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JPH08119774A
JPH08119774A JP6287374A JP28737494A JPH08119774A JP H08119774 A JPH08119774 A JP H08119774A JP 6287374 A JP6287374 A JP 6287374A JP 28737494 A JP28737494 A JP 28737494A JP H08119774 A JPH08119774 A JP H08119774A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 立方晶型窒化硼素を20体積%以上含むCBN
焼結体からなる基材またはダイヤモンドを40%以上含む
ダイヤモンド焼結体からなる基材を有する工具用の複合
高硬度材料。 【構成】 C、N、Oの少なくとも1種の元素と、Ti
と、Alとを主成分とした少なくとも1層の硬質耐熱被膜
を少なくとも切削に関与する箇所に有する。 【効果】 母材強度が高く、耐摩耗性と耐酸化性に優
れ、鉄と反応し難く、焼入鋼切削や鋳鉄の粗切削あるい
は鋳鉄とアルミ合金との共削り等の用途において従来の
工具よりもはるかに長い寿命を示す。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は立方晶型窒化硼素(CB
N)を主成分とした焼結体(以下、CBN焼結体)また
はダイヤモンドを主成分とした焼結体(ダイヤモンド焼
結体)を基材とする切削工具材料の改良に関するもので
あり、特に、強度と耐摩耗性に優れた工具用複合材料に
関するものである。
【0002】
【従来技術】CBN焼結体はダイヤモンドに次ぐ高い硬
度を有する材料で、金属との反応性が低いので金属の切
削工具として使用されている。CBN焼結体は結合材
(焼結助剤)を用いてCBN焼結粒子を高温高圧下で焼
結させて作られるが、下記の3つのタイプに大別する事
ができる: (1) CBN結晶粒子を20〜80体積%含み、結合材として
Tiの炭化物、窒化物、炭窒化物を用いるもの(例、特開
昭和53−77811 号) (2) CBN結晶粒子を80体積%含み、結合材としてAlお
よびCo金属を用いるもの(例、特公昭52−43846 号) (3) CBN結晶粒子を95体積−以上含み、結合材として
3 2 4 (ここでMはアルカリ土類金属)を用いる
もの(例、特開昭59−57967 号)
【0003】これらのCBN焼結体は極めて高い硬度を
有し、熱伝導率が高い(高温強度に優れている)ので、
各種の鋼の切削工具として利用されている。例えば、タ
イプ(1) のCBN焼結体はビッカース硬度 3,500〜4,30
0 を有し、耐摩耗、耐欠損性に優れているので高硬度鋳
鉄の切削等に利用されており、タイプ(3) のCBN焼結
体はビッカース硬度 4,000〜4,800 を有し、熱伝導性に
優れているのでボンディングツール等に利用されてい
る。しかし、CBN焼結体には劈開性があり、耐酸化性
に弱点があるため、難削材料、例えばトランスミッショ
ン用の鋼の切削では、CBN焼結体のみでは耐摩耗性が
不足し、摩耗が回避できない。
【0004】CBN焼結体の耐摩耗性を向上させるため
に、CBN焼結体にTiN等の各種耐摩耗層を被覆する方
法が提案されている(例、特開昭61−183,187 号公報、
特開平1−96,083号公報、特開平1−96,084号公報)
が、これら公知のコーティングCBN工具は、耐摩耗層
の硬度、耐酸化性がCBN基材と比べ著しく劣るため工
具の摩耗はさけられず、未だに実用的に十分な使用寿命
の長い切削工具は得られていない。特に焼入鋼等の高硬
度難削材の切削においてはコーティング層の強度及び硬
度の不足が致命的でコーティングによる耐摩耗性向上の
効果が現れない。また超硬合金にTiN、(TiAl)N、Ti
CN、Al2 3 等を被覆した工具を提案されているが切
削温度が高くなると、基材内部が著しく弾塑性変形し、
容易に剥離または破壊してしまい、特に焼入鋼等の高硬
度難削材の切削においては利用できない。
【0005】ダイヤモンド焼結体はCBN焼結体に比較
して高硬度であり、ダイヤモンド粒子自体が劈開面が少
なくかつ一般的に欠陥も少ないことと、粒子同士が強固
に結合していることから、抗折力が高く、ヤング率が高
く、従って、高強度であるという特徴を有している。し
かし、これらの広く市販されているダイヤモンド焼結体
はダイヤモンドが耐酸化性に劣ることと、鉄系の材料の
切削においては著しく耐摩耗性が低下するため、実用的
な切削に利用できないという欠点がある。そのため、ダ
イヤモンド焼結体の優れた特性を生かし切れず、アルミ
等の非鉄系硬質材料の切削に限定されているのが現状で
ある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、CB
N焼結体またはダイヤモンド焼結体の高い硬度および高
い強度(超硬合金に比べ数倍)と、硬質耐熱被膜の優れ
た耐摩耗性とを併せ持った、例えば焼入鋼切削や鋳鉄の
粗切削、鋳鉄とアルミ合金との共削り等で用いた場合
に、従来工具に対して著しく長い寿命を示す理想的な工
具用複合高硬度材料を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、立方晶型窒化
硼素を20体積%以上含むCBN焼結体から成る基材また
はダイヤモンドを40%以上含むダイヤモンド焼結体から
なる基材を有する工具用の複合高硬度材料において、
C、NおよびOの中から選択される少なくとも1種の元
素と、Tiと、Alとを主成分とした厚さが 0.5〜15μmの
少なくとも1層の硬質耐熱被膜を少なくとも切削に関与
する箇所に有することを特徴とする工具用複合高硬度材
料を提供する。
【0008】図1は本発明の複合硬度材料の概念的な図
であり、(1) は硬質耐熱被膜、(2)は基材、(3) と(4)
は必要に応じて設けられる中間層と表面層である。図2
は本発明の複合硬度材料を製造するのに用いることがで
きる成膜装置の一例の概念図で、(5) は真空チャンバ
ー、(6) は回転式基材保持具に取付けられた複数個の基
材を概念的に表したもの、(7) は回転式基材保持具、
(8) は回転式基材保持具を取り囲んだ複数のターゲット
である。
【0009】硬質耐熱被膜(1) はイオンプレーティング
法などのPVD法で作ることができる。PVD法は基材
強度 (工具の場合には基材の耐摩耗性、耐欠損性) を高
いレベルに維持したままその表面を処理することができ
る。本発明の硬質耐熱膜を作製するには、原料元素のイ
オン化効率が高く、反応性に富み、基材にバイアス電圧
を印加することによって密着性に優れた被膜を得ること
ができるアーク式イオンプレーテンィグ法が最も適して
いる。
【0010】基材(2) と硬質耐熱被膜(1) との間には膜
厚が0.05〜5μmの少なくとも1層の中間層(3) を設け
るのが好ましい。この中間層(3) は周期律表4a、5a
および6a族元素の窒化物、炭化物、酸化物並びにこれ
らの固溶体より成る群の中から選択される材料で作るの
が好ましい。この中間層(3) は硬質耐熱被膜(1) と基材
(2) との間の密着性を向上させる役目をする。また、特
性が大きく異なる基材と硬質耐熱被膜との間に中間的な
特性の中間層を設けることによって特性の変化を段階的
に制御して、膜の残留応力を低減する効果が期待でき
る。
【0011】
【作用】この硬質耐熱被膜(1) は特開平2-194,159 号公
報に記載の方法で作ることができる。この硬質耐熱被膜
はTiN被膜と比べて硬度に優れ (TiNのHv=2,000 に対
し硬質耐熱被膜のHv=2,800 )、耐酸化性に優れ(TiN
の酸化開始温度が700 ℃であるのに対して硬質耐熱被膜
は約 1,000℃)ているが、本発明者達は、CBN焼結体
およびダイヤモンド焼結体にこの硬質耐熱被膜を被覆す
ると切削性能、耐摩耗性および耐欠損性が著しく向上す
るということを見い出した。
【0012】すなわち、超硬合金製工具では、TiN、Ti
CNまたはAl2 3 の被膜をコーティングして耐摩耗性
と耐酸化性とを向上させて、寿命を延ばすことが一般に
行われている。従って、cBN工具にも同様な被膜をコ
ーティッグすることが試みられたが、十分な結果は得ら
れていない。本発明者達は、被膜の構成元素をC、N、
Oの少なくとも1種と、Tiと、Alとで構成することでc
BN工具の寿命を延ばす効果が得られることを見出した
(耐摩耗性、耐酸化性、耐反応性、耐チッピング性等の
向上)。特に、TiX Al1-X N(x= 0.3〜0.5 )は膜特
性(膜硬度、耐酸化性)、生産性に優れており、望まし
い。TiAlNは被膜は高硬度、高耐酸化性であることは知
られているが、本発明者達はTiAlNが高硬度なcBNの
耐摩耗性を損なわずに耐酸化性を向上させることを見出
した。また、TiAlNにCを加えた膜はTiAlNより高硬度
であり、Oを加えた膜は耐酸化性に優れている。硬質耐
熱被膜はその結晶構造が立方晶型であるものが特に硬度
に優れ、cBN工具の耐摩耗性を損ねることがない。
【0013】薄膜の硬度は基材の硬度の影響を受けやす
く、薄膜の厚みが薄くなるにつれ、その影響は顕著にな
り基材の硬度に近づくことが一般に知られているが、本
発明者達は、現存する物質の中で最も室温における硬度
および切削時の高温状態(800℃以上)での硬度が高いダ
イヤモンド焼結体(室温でHv=9000以上) と、次いで硬
度の高いCBN焼結体(室温でHv=3000〜4500) とを基
材として用いることにより、超硬合金(Hv=1800) を基
材とした場合に大きな問題となっていた基材の変形を著
しく抑制し、切削時の高温条件下でも硬質耐熱膜が高硬
度を維持し、CBN焼結体およびダイヤモンド焼結体か
らなる工具の耐摩耗性を著しく向上させるということを
見出した。また、イオンプレーティング法を用いて基材
との密着性の優れた硬質耐熱被膜を成膜することによっ
て切削時の硬質耐熱被膜の変形が基材との界面により拘
束され、その効果によっても硬質耐熱被膜の硬度は大幅
に上昇する。
【0014】従って、このような硬質耐熱被膜をCBN
焼結体およびダイヤモンド焼結体を基材とする工具の少
なくとも切削に関与する箇所の表面上に被覆することに
よって、CBN焼結体およびダイヤモンド焼結体の高硬
度および高強度と、硬質耐熱被膜の優れた耐熱性および
耐酸化性との長所が顕在化し、耐摩耗性および耐欠損性
が著しく向上し、その結果、切削性能および工具寿命が
大幅に延びるという効果が得られる。
【0015】硬質耐熱膜は組成の異なる2種以上の化合
物層を積層した構造でも、それを周期的に多数積層した
ものでもよい。また、硬質耐熱膜の組成が基材側から表
面側にかけて組成が連続的または段階的に変化する傾斜
組成にすることもできる。また、基材と中間層または硬
質耐熱膜、中間層と硬質耐熱膜、硬質耐熱膜間、硬質耐
熱膜と表面層との間を同様な傾斜構造にすることもでき
る。この傾斜構造は膜の剥離やクラックが問題となる場
合に効果的である。
【0016】硬質耐熱被膜の全膜厚が 0.5μm未満の場
合には耐摩耗性の向上がほとんど見られず、15μmを超
えると硬質耐熱被膜中の残留応力の影響で基材との密着
性が低下したり、高硬度基材を用いた場合の硬質耐熱被
膜の高硬度化効果が薄れ、硬質耐熱被膜自体の硬度(Hv
=2800)が支配的になり、十分な硬度を得られず、耐摩
耗性は低下する。従って、硬質耐熱被膜全体の膜厚は
0.5〜15μmにする。
【0017】中間層の膜厚は0.05μm未満では密着性の
向上が見られず、逆に5μmを越えても密着性の向上は
見られない。従って、特性および生産性の観点から中間
層の膜厚は0.05〜5μmの範囲にするのが好ましい。ま
た、硬質耐熱膜の最上層に形成できる表面層の厚さは5
μm以下にするのが好ましい。5μmを越えると剥離等
により耐摩耗性、耐欠損性の向上は見られなくなる。ま
た、生産性の観点からも適当ではない。
【0018】本発明の工具用複合材料はチップ、ドリ
ル、エンドミル等の切削工具に加工して使用することが
できる。本発明の工具用複合高硬度材料から作った工具
は切削性能および工具寿命が格段に向上することが確認
されている。
【0019】CBN焼結体基材は前記の3つのタイプの
CBN焼結体の中から選択できる。好ましいCBN焼結
体としては下記 (1)〜(3) のものを上げることができ
る。 (1) 立方晶型窒化硼素(CBN)粉末30〜90体積%と残
部の結合材粉末とを超高圧焼結して得られた焼結体であ
って、残部の結合材が周期律表4a、5a、6a族元素
の窒化物、炭化物、硼化物、酸化物並びにこれらの固溶
体から成る群の中から選択される少なくとも1種と、ア
ルミニウムおよび/またはアルミニウム化合物とからな
る結合材と、不可避的不純物とであるCBN焼結体。
【0020】タイプ(1) のCBN焼結体の中では、結合
材粉末として50〜95重量%のTiC、TiN、TiCN、(Ti
M)C、(TiM)Nおよび(TiM)CNから成る群の中
から選択される少なくとも1種(ここで、MはTiを除く
周期律表4a、5aおよび6a族元素からなる群の中か
ら選択される遷移金属)と、5〜50重量%のアルミニウ
ムおよび/またはアルミニウム化合物と、不可避的不純
物とからなるCBN焼結体は耐摩耗性や強度に優れ、好
ましい。
【0021】(2) 立方晶型窒化硼素(CBN)粉末40〜
95体積%と残部の結合材粉末とを超高圧焼結して得られ
た焼結体であって、残部の結合材粉末が1〜50重量%の
TiNと、Co、NiおよびWCからなる群の中から選択され
る少なくとも1種と、アルミニウムおよび/またはアル
ミニウム化合物と、不可避的不純物とからなるもの。
【0022】(3) 立方晶型窒化硼素(CBN)粉末90体
積%と残部の結合材粉末とを超高圧焼結して得られた焼
結体であって、残部結合材粉末が周期律表1a、2a族
元素の硼化物と、TiNと、不可避的不純物とからなる焼
結体。残部結合材は1〜50重量%のTiNを含むものが好
ましい。
【0023】タイプ(1) のCBN焼結体自体は公知であ
り、その特性および製造方法は特開昭53−7781号公報に
詳細に記載されている。タイプ(2) のCBN焼結体は特
公昭52−43846 号に記載の結合材にTiNを加えたものに
することができる。TiNを加えることによって硬質耐熱
被膜との密着性がある。タイプ(3) のCBN焼結体は特
開昭59−57967 号に記載の結合材にTiNを加えたものに
することができる。タイプ(3) のCBN焼結体もTiNを
加えることによって硬質耐熱膜との密着性が上がる。
【0024】タイプ(1) のCBN焼結体は結合材として
周期律表4a、5a、6a族元素の窒化物、炭化物、硼
化物、酸化物並びにこれらの固溶体から成る群の中から
選択される少なくとも1種と、5〜50重量%のアルミニ
ウムおよび/またはアルミニラウム化合物とからなり、
これらが高温高圧下での焼結時にCBNと反応して硼化
アルミニウム(AlB2)、窒化アルミニウム(AlN)等の
化合物がCBN粒子と結合材の界面で生成し、各粒子間
の結合力を高め焼結体の靭性および強度を向上させる。
結合材としてTiNおよび/またはTiCを用いた場合に
は、TiNZ およびTiCZ のZ値をそれぞれ 0.5≦z≦0.
85、0.65≦z≦0.85とし、化学量論比からズラすことに
よって遊離チタン量を増やしてCBNを結合材の反応促
進させる効果によって、AlB2 、AlN、TiB2 等の反応
生成物により良好な摩擦特性および強度を持ったCBN
焼結体を得ることができる。Z値がそれぞれ 0.5および
0.65未満になると酸化反応による発熱により粉末の充填
操作が困難になり、0.85を超えるとCBNと結合材の反
応性は化学量論比のTiNおよびTiCを用いた場合とほと
んど変わらなくなる。
【0025】タイプ(1) のCBN焼結体の結合材粉末と
してTiNZ (0.5≦Z≦0.85) および/またはTiCZ (0.
65≦Z≦0.85) を用いた場合には、結合材中のアルミニ
ウムおよび/またはアルミニウム化合物量が5重量%未
満では、アルミニウムおよび/またはアルミニウム化合
物とCBNとの反応が不十分になり、結合材によるCB
Nの保持力が弱くなる。逆に、40重量%を超えるとAlB
2 、AlN、TiB2 等の反応生成物が多くなってCBNの
保持力は上がるが、AlB2 、AlNと比べ硬度や機械的強
度に優れたCBNの相対的な含有量が低下するため耐摩
耗性が著しく低下する。従って、従来はタイプ(1) のC
BN焼結体を切削工具として用いる場合には、結合材粉
末の組成としては60〜95重量%のTiNZ (0.5 ≦z≦0.
85) および/またはTiCZ (0.65≦z≦0.85) と、 5〜
40重量%のアルミニウムおよび/またはアルミニウム化
合物と、不可避的不純物とからなるものが最も適当であ
った。
【0026】しかし、本発明の工具用複合高硬度材料に
おいては、高硬度で耐酸化性に優れた硬質耐熱被膜を被
覆することによって耐摩耗性の劣るCBN焼結体に優れ
た耐摩耗性を付与させることができるので、本発明の工
具用複合高硬度材料の基材用CBN焼結体に要求される
特性は高靭性で且つ高強度であることが耐摩耗性よりも
重要である。換言すれば、従来では十分な靭性を備えて
いても耐摩耗性に欠陥があるために高硬度難削材の切削
に用いられなかった、結合材粉末に多量のアルミニウム
および/またはアルミニウム化合物を含有するCBN焼
結体であっても硬質耐熱被膜を被覆することによって耐
欠損性と耐摩耗性とを兼ね備えた理想的な工具用複合高
硬度材料となり得ることが本発明によって明らかとなっ
た。
【0027】タイプ(1) のCBN焼結体では特に、残部
結合材粉末が50〜80重量%のTiNZ(0.5≦z≦0.85)
と、15〜50重量%のアルミニウムおよび/またはアルミ
ニウム化合物と、不可避的不純物とからなり、抗折力
(JIS規格で測定)が 110Kgf/mm2 以上のものと、残
部結合材粉末が50〜80重量%のTiCZ (0.65≦z≦0.8
5)と、20〜50重量%のアルミニウムおよび/またはアル
ミニウム化合物と、不可避的不純物とからなり、抗折力
(JIS規格で規定)が105Kgf/mm2以上のものが上記の
効果が顕著であり、通常のCBN焼結体工具や従来の耐
摩耗性被覆を有するCBN焼結体工具では切削不可能で
あった高硬度焼入鋼の強断続切削においても実用レベル
を十分に満たす工具寿命を実現できる。
【0028】しかし、TiNZ (0.5≦z≦0.85) および/
またはTiCZ (0.65≦z≦0.85) を結合材粉末として用
いた場合、アルミニウムおよび/またはアルミニウム化
合物が50重量%を超えるとCBN焼結体の硬度および強
度が不十分になり、本発明の工具用複合高硬度材料用の
基材としては不適当であ。
【0029】タイプ(2) のCBN焼結体では、平均粒径
が3μm以下のCBN粉末を出発材料として用いること
によって抗折力 105Kgf/mm2 以上のCBN焼結体を製造
することができ、この高靭性のCBN焼結体を基材とし
て硬質耐熱被膜を被覆することにより通常のCBN焼結
体工具や従来の耐摩耗層被覆を有するCBN焼結体工具
では切削不可能であった高硬度焼入鋼の強断続切削にお
いても実用レベルを十分に満たす工具寿命を実現でき
た。
【0030】ダイヤモンド焼結体基材は前記の3つのタ
イプの中から選択できる。好ましいダイヤモンド焼結体
としては下記 (1)〜(3) のものを挙げることができる: (1) ダイヤモンドを50〜98体積%含む焼結体で、焼結体
の残部が鉄族金属、WCおよび不可避不純物からなる焼
結体が好ましく、鉄族金属がCoである焼結体がさらに好
ましい。
【0031】(2) ダイヤモンドを60〜95体積%含む焼結
体で、焼結体の残部が鉄族金属と、周期律表4a、5
a、6a族元素の炭化物および炭窒化物の中から選択さ
れる少なくとも1種と、WCと、不可避不純物とからな
る焼結体で、鉄族金属がCoで且つTiCおよびWCを含む
焼結体がさらに好ましい。
【0032】(3) ダイヤモンドを60〜98体積%含む焼結
体で、焼結体の残部が炭化珪素と、珪素と、WCと、不
可避的不純物とからなる焼結体。上記ダイヤモンド焼結
体は公知のダイヤモンド焼結体の中でも特に高強度で、
鉄族金属または周期律表4a、5a、6a族元素の炭化
物、炭窒化物および炭化珪素、珪素の1種以上を含んで
いる。これらの元素は基材と超薄膜積層膜とを強固に接
合させる効果を有している。
【0033】ダイヤモンド焼結体の場合も、抗折力(J
IS規格で測定)が 150Kgf/mm2 以上のダイヤモンド焼
結体を基材として用い、硬質耐熱被膜を被覆することに
よって靭性と耐摩耗性とを兼ね備えた本発明工具用複合
材料とすことができ、それによって、通常のダイヤモン
ド焼結体工具では切削不可能であった高硬度焼入鋼の強
断続切削においても実用レベルを十分に満たす工具寿命
を実現することができる。
【0034】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明するが、本発明
が下記の実施例に限定されるものではない。実施例1 超硬合金製ピットおよびボールを用いてTiNとアルミニ
ウムとを80:20の重量比で混合して結合材粉末を得た。
次に、この結合材とcBN粉末とを体積比で40:60とな
るように配合し、Mo製容器に充填し、圧力50kb、温度
1,450℃で20分間焼結した。この焼結体を切削工具用の
チップ(SNGN120408) の形に加工した後、図2に示す成
膜装置を用いて、チップの切削に関与する部位に真空ア
ーク放電によるイオンプレーティング法で硬質耐熱膜を
被覆した。
【0035】すなわち、図2に示す成膜装置内に複数個
のターゲットを配置し、これらのターゲットの中心に設
けた回転式基材保持具に上記チップを装着して成膜し
た。ターゲットとしてはTiAlターゲットを用いた。先
ず、成膜装置を10-5Torrの真空度まで減圧し、Arガスを
導入し、10-2Torrの雰囲気中でチップに−1,000 Vの電
圧を加えて洗浄した。次に、500 ℃まで加熱し、Arガス
を排気した後、反応ガスとしてN2 ガスを 300cc/minの
割合で導入し、チップに−200 Vの電圧を加えて、真空
アーク放電によりアーク電流 100AでTiAlのターゲット
を蒸発イオン化させて被覆した。膜厚は被覆時間によっ
て制御した。また、化合物膜のTiとAlの割合はTiAl合金
のTiとAlの割合で調整した。
【0036】C、Oを含む膜の場合には、反応ガスとし
てN2 、C2 2 、O2 を用い、各々の流量の割合を調
整してC、N、Oの割合を調整した。また、中間層、表
面層を有する製品はTiAlターゲットとしてTiターゲット
を加えて配置し、上記と同じ要領で順次成膜した。
【0037】比較のために、従来法であるコーティング
切削チップ(1−29〜32)も用意した。試料1−29〜32
は通常の成膜装置を使用して真空アーク放電を用いたイ
オンプレーティング法で上記と同じ組成と形状の切削チ
ップの表面にTiNおよびTiCNを単独または組合せた硬
質被覆層を被覆して製造したものであり、試料1−33は
通常のCVD法で上記と同じ組成と形状の切削チップの
表面にTiNおよびAl23 を組合せた硬質被覆層を形成
して製造したものである。〔表1〕〜〔表4〕は製品の
構成と結果とをまとめたものである。
【0038】
【表1】
【0039】
【表2】
【0040】
【表3】
【0041】
【表4】
【0042】得られた切削チップを用い以下の切削テス
トを行った。被削材としは硬度HRC63のSUJ2材の
丸棒を用いた。この被削材の外周を切削速度 100m/mi
n 、切込み0.2mm 、送り0.1mm/rev 、乾式で40分間切削
して切削結果を得た。結果は〔表5〕にまとめて示して
ある。
【0043】
【表5】
【0044】実施例2 基材のCBN焼結体をCBN含有率(体積%)および結
合材の組成(重量%)を〔表6〕〜〔表7〕に示すもの
に代えた。実施例1と同じ焼結方法で得られた焼結体を
X線回折により分析したところ不可避的不純物としてα
−Al2 3 、WCおよびCoが検出された。
【0045】
【表6】
【0046】
【表7】
【0047】〔表6〕〜〔表7〕に示した各CBN焼結
体を切削工具用のチップの形に加工した後、切削に関与
する部位に実施例1と同じ成膜操作を行いて、真空アー
ク放電によるイオンプレーティング法で試料1−9と同
様に中間層(TiN)を 0.5μm成膜し、硬質耐熱被膜
((Ti0.3Al0.7)N)を 5.6μm成膜し、さらに、表面層
(Ti(C0.5 0.5))を 0.2μm被覆した。
【0048】得られた切削チップと硬質耐熱被膜を被覆
していない比較用の切削チップとを用いて以下の切削テ
ストを行った。結果は〔表8〕にまとめて示してある。
〔表8〕に記載の欠損までの時間は外周に4箇所のU字
型の溝を有するSKD11材に熱処理を行って硬度HRC
56にした丸棒を被削材とし、切削速度 100m/min 、切
込み 0.2mm、送り 0.1mm/rev、乾式で切削した場合に欠
損するまでの時間である。
【0049】
【表8】
【0050】実施例3 実施例1と同様な操作を繰り返したが、本実施例ではダ
イヤモンド含有率および結合材残部の組成を〔表9〕に
示すものに変えた。材料粉末は乳鉢を用いて混合した後
に、Mo製容器に充填し、圧力55kb、温度 1,500℃で30分
間焼結した。次いで、体積比で95:5となるようにTiN
を配合し、乳鉢を用いて混合して原料粉末を得た。
【0051】得られた原料粉末をCo板を敷いたMo製容器
に充填し、圧力55kb、温度 1,450℃で20分間焼結した。
この焼結体を用いて切削チップを作製し、その切削に関
与する部分に実施例1と同じ成膜操作を行いて真空アー
ク放電によるイオンプレーティング法で試料1−9と同
じ中間層(TiN)を 0.5μm成膜し、次いで、硬質耐熱
被膜((Ti0.3Al0.7)N)を 5.6μm、表面層(Ti(C0.5
0.5))を 0.2μmそれぞれ被覆した。
【0052】次に、上記の切削チップと比較のために実
施例1で用いたCBN焼結体に硬質耐熱被膜を被覆した
チップと硬質耐熱被膜を被覆していないCBN焼結体チ
ップおよび硬質耐熱被膜を被覆していないダイヤモンド
焼結体チップを用いて以下の切削テストを行った。被削
材はFCD600 材と16%Si−Al合金にて1:1の切削比
率となる様に組合せた丸棒の外周を切削速度 200m/mi
n、切込み 0.3mm、送り0.2mm/rev、乾式で20分間切削し
た。結果は〔表9〕にまとめて示してある。
【0053】
【表9】
【0054】
【発明の効果】本発明の工具用複合高硬度材料は、優れ
た強度、硬度および靭性を有するCBN焼結体およびダ
イヤモンド焼結体に優れた硬度と耐熱性とを有する硬質
耐熱被膜を密着性良く被覆することによって強度、靭性
および耐摩耗性を兼ね備えた工具用複合高硬度材料とな
り、従来の工具に比較して著しく高寿命かつ幅広い用途
に適用可能な切削性能を発揮するという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の複合硬度材料の概念的断面図で、円
の中は拡大図。
【図2】 本発明の複合硬度材料の製造装置の一例を示
す概念図で、(a) は概念的断面図、(b) は概念的平面図
である。
【符号の説明】
1 硬質耐熱被膜 2 基材 3 中間層 4 表面層 5 真空チャンバー 6 基材群 7 回転式基材保持具 8 ターゲット群 10 超硬合金
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C04B 35/583 C22C 29/16 A C23C 14/06 L 8939−4K N 8939−4K (72)発明者 吉岡 剛 兵庫県伊丹市昆陽北一丁目1番1号 住友 電気工業株式会社伊丹製作所内 (72)発明者 瀬戸山 誠 兵庫県伊丹市昆陽北一丁目1番1号 住友 電気工業株式会社伊丹製作所内

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 立方晶型窒化硼素を20体積%以上含むC
    BN焼結体からなる基材またはダイヤモンドを40%以上
    含むダイヤモンド焼結体からなる基材を有する工具用の
    複合高硬度材料において、 C、NおよびOの中から選択される少なくとも1種の元
    素と、Tiと、Alとを主成分とした少なくとも1層の硬質
    耐熱被膜を少なくとも切削に関与する箇所に有すること
    を特徴とする工具用複合高硬度材料。
  2. 【請求項2】 硬質耐熱膜が立方晶型の結晶構造を有す
    る請求項1に記載の工具用複合高硬度材料。
  3. 【請求項3】 硬質耐熱膜が (TiX Al1-X ) N (ここ
    で、0.3 ≦X≦ 0.5)で表される組成を有する請求項1
    または2に記載の工具用複合高硬度材料。
  4. 【請求項4】 硬質耐熱被膜の膜厚が 0.5μm以上且つ
    15μm以下である請求項1〜3のいずれか一項に記載の
    工具用複合高硬度材料。
  5. 【請求項5】 基材と硬質耐熱被膜との界面に膜厚が0.
    05μm以上且つ5μm以下の4a、5aおよび6a族元
    素の中から選択される少なくとも1種の元素とC、Nお
    よびOの中から選択される少なくとも1種の元素との少
    なくとも1種の化合物の中間層を有する請求項1〜4の
    いずれか一項に記載の工具用複合高硬度材料。
  6. 【請求項6】 硬質耐熱被膜の表面に膜厚が0.05μm以
    上且つ5μm以下の4a、5aおよび6a族元素の中か
    ら選択される少なくとも1種の元素と、C、NおよびO
    の中から選択される少なくとも1種の元素とからなる少
    なくとも1種の化合物を有する請求項1〜5のいずれか
    一項に記載の工具用複合高硬度材料。
  7. 【請求項7】 基材が立方晶型窒化硼素(CBN)粉末
    30〜90体積%と、残部の結合材粉末とを超高圧焼結して
    得られた焼結体であって、残部結合材が周期律表4a、
    5aおよび6a族元素の窒化物、炭化物、硼化物、酸化
    物並びにこれらの固溶体から成る群の中から選択される
    少なくとも1種と、アルミニウムおよび/またはアルミ
    ニウム化合物とからなる結合材と、不可避的不純物とで
    ある請求項1〜6のいずれか一項に記載の工具用複合高
    硬度材料。
  8. 【請求項8】 残部結合材が、50〜95重量%のTiC、Ti
    N、(TiM)C、(TiM)Nおよび(TiM)CN(ここ
    で、MはTiを除く周期律表4a、5aおよび6a族元素
    の中から選択される遷移金属)から成る群の中から選択
    される少なくとも1種と、5〜50重量%のアルミニウム
    および/またはアルミニウム化合物とからなる請求項7
    に記載の工具用複合高硬度材料。
  9. 【請求項9】 残部の結合材粉末が50〜80重量%のTiN
    Z (ここで0.5 ≦z≦0.85)と、15〜50重量%のアルミ
    ニウムおよび/またはアルミニウム化合物と、不可避的
    不純物とからなり、抗折力(JIS規格で測定)が110K
    gf/mm2以上である請求項8に記載の工具用複合高硬度材
    料。
  10. 【請求項10】 残部の結合材粉末が50〜80重量%のTi
    Z (zは0.65≦z≦0.85)と、20〜50重量%のアルミ
    ニウムおよび/またはアルミニウム化合物と、不可避的
    不純物とからなり、抗折力(JIS規格で測定)が105K
    gf/mm2以上である請求項8に記載の工具用複合高硬度材
    料。
  11. 【請求項11】 基材が立方晶型窒化硼素(CBN)粉
    末45〜95体積%と残部の結合材粉末とを超高圧焼結して
    得られる焼結体であり、残部結合材粉末がCo、Ni、W
    C、TiN、TiCおよびこれらの固溶体から成る群の中か
    ら選択される少なくとも1種と、アルミニウムおよび/
    またはアルミニウム化合物と、不可避的不純物とからな
    る請求項1〜6のいずれか一項に記載の工具用複合高硬
    度材料。
  12. 【請求項12】 残部結合材が1〜50重量%のTiNと、
    Co、NiおよびWCから成る群の中から選択される少なく
    とも1種と、アルミニウムおよび/またはアルミニウム
    化合物と、不可避的不純物とからなる請求項11に記載の
    工具用複合高硬度材料。
  13. 【請求項13】 平均粒径が3μm以下で抗折力(JI
    S規格で測定)が105gf/mm2 以上である請求項11または
    12に記載の工具用複合高硬度材料。
  14. 【請求項14】 基材が立方晶型窒化硼素(CBN)粉
    末90体積%と残部の結合材粉末とを超高圧処決して得ら
    れた焼結体であり、残部結合材が周期律表の1aおよび
    2a族元素の硼化物と、TiNと、不可避的不純物とから
    なる請求項1〜6のいずれか一項に記載の工具用複合高
    硬度材料。
  15. 【請求項15】 残部結合材が1〜50重量%のTiNと、
    周期律表1aまたは2a族元素の硼化物とを含む請求項
    14に記載の工具用複合高硬度材料。
  16. 【請求項16】 基材がダイヤモンド粉末50〜98体積%
    と、残部の結合材粉末とを超高圧焼結して得られる焼結
    体であり、残部の結合材粉末が鉄族金属と、WCと、不
    可避的不純物とからなる請求項1〜6のいずれか一項に
    記載の工具用複合高硬度材料。
  17. 【請求項17】 基材がダイヤモンド粉末60〜95体積%
    と、残部の結合材粉末とを超高圧焼結して得られる焼結
    体であり、残部の結合材粉末が鉄族金属と、周期律表4
    a、5aおよび6a族元素の炭化物および炭窒化物の中
    から選択される少なくとも1種と、WCと、不可避的不
    純物とからなる請求項1〜6のいずれか一項に記載の工
    具用複合高硬度材料。
  18. 【請求項18】 残部の結合材粉末がCoと、TiCと、W
    Cと、不可避不純物とからなる請求項17に記載の工具用
    複合高硬度材料。
  19. 【請求項19】 基材がダイヤモンド粉末60〜98体積%
    と結合材粉末とを超高圧焼結体して得られる焼結体であ
    り、残部結合材粉末が炭化珪素と、珪素と、WCと、不
    可避的不純物とからなる請求項1〜6のいずれか一項に
    記載の材料。
  20. 【請求項20】 抗折力150Kgf/mm2以上である請求項16
    〜19のいずれか一項に記載の工具用複合高硬度材料。
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