JPH11104586A - 除塵装置 - Google Patents
除塵装置Info
- Publication number
- JPH11104586A JPH11104586A JP27539597A JP27539597A JPH11104586A JP H11104586 A JPH11104586 A JP H11104586A JP 27539597 A JP27539597 A JP 27539597A JP 27539597 A JP27539597 A JP 27539597A JP H11104586 A JPH11104586 A JP H11104586A
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- dust
- work
- suction
- air
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- Pending
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- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 エア源の負荷増大やワークの吸着・損傷、騒
音を防止し、更にワーク表面や周囲を再汚染することな
く高効率な除塵を可能にした除塵装置を提供する。 【解決手段】 ワーク表面にエアを吐出してワーク表面
に存在する塵芥を吸引除去する除塵装置に関する。ワー
クの相対的な移動方向に沿って、エアを吸引する第１の
吸引ノズル３２Ａと、エアを吐出する吐出ノズル３１Ａ
と、エアを吸引する第２の吸引ノズル３３Ａとを順次配
置する。また、各吸引ノズル３２Ａ，３３Ａの軸線を吐
出ノズル３１Ａ側へ傾斜させる。
音を防止し、更にワーク表面や周囲を再汚染することな
く高効率な除塵を可能にした除塵装置を提供する。 【解決手段】 ワーク表面にエアを吐出してワーク表面
に存在する塵芥を吸引除去する除塵装置に関する。ワー
クの相対的な移動方向に沿って、エアを吸引する第１の
吸引ノズル３２Ａと、エアを吐出する吐出ノズル３１Ａ
と、エアを吸引する第２の吸引ノズル３３Ａとを順次配
置する。また、各吸引ノズル３２Ａ，３３Ａの軸線を吐
出ノズル３１Ａ側へ傾斜させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワーク表面の塵芥
を吸引除去する除塵装置に関する。
を吸引除去する除塵装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の除塵装置として、登録実用新案
第３００９６９４号公報や特開平７−６０２１１号公報
に記載されたものがある。これらの公報に記載された除
塵装置は、超音波発生器を備えた第１、第２の噴出ノズ
ルと、これらの間に配置された一つの吸引ノズルとを備
え、第１、第２の噴出ノズルからワーク表面に超音波エ
アを噴出させて中央の吸引ノズルから塵芥を吸引するも
のである。
第３００９６９４号公報や特開平７−６０２１１号公報
に記載されたものがある。これらの公報に記載された除
塵装置は、超音波発生器を備えた第１、第２の噴出ノズ
ルと、これらの間に配置された一つの吸引ノズルとを備
え、第１、第２の噴出ノズルからワーク表面に超音波エ
アを噴出させて中央の吸引ノズルから塵芥を吸引するも
のである。
【０００３】また、他の従来技術として、実開平５−８
０５７３号公報に記載されたパネル体の除塵装置があ
る。この除塵装置は、超音波発生器を備えた一つの噴出
ノズルと、パネル体移動方向の後方に配置された一つの
吸引ノズルとを備え、噴出ノズルからパネル表面に超音
波エアを噴出させて後方の吸引ノズルから塵芥を吸引す
るものである。
０５７３号公報に記載されたパネル体の除塵装置があ
る。この除塵装置は、超音波発生器を備えた一つの噴出
ノズルと、パネル体移動方向の後方に配置された一つの
吸引ノズルとを備え、噴出ノズルからパネル表面に超音
波エアを噴出させて後方の吸引ノズルから塵芥を吸引す
るものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】登録実用新案第３００
９６９４号公報や特開平７−６０２１１号公報に記載さ
れた除塵装置では、吸引力を十分に大きくしないと所望
の除塵効果が得られず、吸引力を増加させるには吸引エ
ア源の負荷が大きくなる。また、吸引力を大きくし過ぎ
ると、移動中のワークが吸引ノズルに吸着される不都合
があり、これを防止するには強固なワーク保持機構が必
要とされる。逆に、限られた吸引力のもとで除塵効果を
上げるには、噴出ノズルや吸引ノズルが設けられた除塵
ヘッドとワーク表面との間隔を非常に狭くしなくてはな
らないため、ワークに厳密な平坦性が要求されたり、時
には除塵ヘッドによりワークに傷を付けてしまう不都合
があった。また、中央の吸引ノズルの下方では不規則な
空気の乱流と塵芥の挙動が発生し、第１、第２ノズルか
らの超音波エアの噴出と塵芥を含んだエアの吸引とを均
衡させることが非常に困難であった。更に、第１、第２
の噴出ノズルから発生する騒音（高周波ノイズ）が著し
く、作業者にとっての精神的、肉体的苦痛が大きかっ
た。
９６９４号公報や特開平７−６０２１１号公報に記載さ
れた除塵装置では、吸引力を十分に大きくしないと所望
の除塵効果が得られず、吸引力を増加させるには吸引エ
ア源の負荷が大きくなる。また、吸引力を大きくし過ぎ
ると、移動中のワークが吸引ノズルに吸着される不都合
があり、これを防止するには強固なワーク保持機構が必
要とされる。逆に、限られた吸引力のもとで除塵効果を
上げるには、噴出ノズルや吸引ノズルが設けられた除塵
ヘッドとワーク表面との間隔を非常に狭くしなくてはな
らないため、ワークに厳密な平坦性が要求されたり、時
には除塵ヘッドによりワークに傷を付けてしまう不都合
があった。また、中央の吸引ノズルの下方では不規則な
空気の乱流と塵芥の挙動が発生し、第１、第２ノズルか
らの超音波エアの噴出と塵芥を含んだエアの吸引とを均
衡させることが非常に困難であった。更に、第１、第２
の噴出ノズルから発生する騒音（高周波ノイズ）が著し
く、作業者にとっての精神的、肉体的苦痛が大きかっ
た。
【０００５】実開平５−８０５７３号公報に記載された
パネル体の除塵装置では、噴出ノズルの下流側に塵を含
んだエアが漏れやすく、パネル体表面やその周囲を再汚
染するおそれがあった。
パネル体の除塵装置では、噴出ノズルの下流側に塵を含
んだエアが漏れやすく、パネル体表面やその周囲を再汚
染するおそれがあった。
【０００６】そこで本発明は、エア源の負荷増大やワー
クの吸着・損傷、騒音を防止し、更にワーク表面や周囲
を再汚染することなく高効率な除塵を可能にした除塵装
置を提供しようとするものである。
クの吸着・損傷、騒音を防止し、更にワーク表面や周囲
を再汚染することなく高効率な除塵を可能にした除塵装
置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、ワーク表面にエアを吐出し
てワーク表面に存在する塵芥を吸引除去する除塵装置に
おいて、ワークの相対的な移動方向に沿って、エアを吸
引する第１の吸引ノズルと、エアを吐出する吐出ノズル
と、エアを吸引する第２の吸引ノズルとを順次配置した
ものである。
め、請求項１記載の発明は、ワーク表面にエアを吐出し
てワーク表面に存在する塵芥を吸引除去する除塵装置に
おいて、ワークの相対的な移動方向に沿って、エアを吸
引する第１の吸引ノズルと、エアを吐出する吐出ノズル
と、エアを吸引する第２の吸引ノズルとを順次配置した
ものである。
【０００８】また、請求項２に記載するように、請求項
１記載の除塵装置において、第１及び第２の吸引ノズル
の何れか一方または双方の軸線を吐出ノズル側へ傾斜さ
せれば、吐出エアによる塵芥の拡散範囲を狭くして、浮
遊した塵芥を効率よく吸引することができる。
１記載の除塵装置において、第１及び第２の吸引ノズル
の何れか一方または双方の軸線を吐出ノズル側へ傾斜さ
せれば、吐出エアによる塵芥の拡散範囲を狭くして、浮
遊した塵芥を効率よく吸引することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の実施形
態を説明する。図１はこの実施形態の平面図、図２は側
面図である。これらの図において、１０は底板部であ
り、その上面には、外チャンバ２１及び内チャンバ２２
からなる二重構造のチャンバ２０が立設されている。こ
のチャンバ２０の上面には吐出ダクト２５及び吸引ダク
ト２６が立設されており、吐出ダクト２５は内チャンバ
２２に、吸引ダクト２６は外チャンバ２１にそれぞれ連
通している。なお、図において、２３は外チャンバ２１
のケーシング、２４は内チャンバ２２のケーシングであ
る。また、吐出ダクト２５及び吸引ダクト２６に連結さ
れたエアの吐出系及び吸引系には、エア圧力や流量を調
節するバルブ等の調節手段が設けられているが、便宜
上、これらの図示は省略してある。
態を説明する。図１はこの実施形態の平面図、図２は側
面図である。これらの図において、１０は底板部であ
り、その上面には、外チャンバ２１及び内チャンバ２２
からなる二重構造のチャンバ２０が立設されている。こ
のチャンバ２０の上面には吐出ダクト２５及び吸引ダク
ト２６が立設されており、吐出ダクト２５は内チャンバ
２２に、吸引ダクト２６は外チャンバ２１にそれぞれ連
通している。なお、図において、２３は外チャンバ２１
のケーシング、２４は内チャンバ２２のケーシングであ
る。また、吐出ダクト２５及び吸引ダクト２６に連結さ
れたエアの吐出系及び吸引系には、エア圧力や流量を調
節するバルブ等の調節手段が設けられているが、便宜
上、これらの図示は省略してある。
【００１０】図３は、図２のＡ−Ａ拡大断面図であり、
チャンバ２０の下端部に設けられた除塵ヘッド３０と外
チャンバ２１、内チャンバ２２の関係を示している。な
お、図１、図２から明らかなように、図３に示された吐
出ダクト２５の背後には、外チャンバ２１に連通する吸
引ダクト２６が存在している。
チャンバ２０の下端部に設けられた除塵ヘッド３０と外
チャンバ２１、内チャンバ２２の関係を示している。な
お、図１、図２から明らかなように、図３に示された吐
出ダクト２５の背後には、外チャンバ２１に連通する吸
引ダクト２６が存在している。
【００１１】除塵ヘッド３０は、図３の紙面表裏方向
（図１、図２の左右方向）に長尺である溝状のヘッド本
体３５を取付板３４に固定して構成されている。すなわ
ち、ヘッド本体３５は、上方が開口されて内チャンバ２
２に連通する吐出ヘッド３１と、上方が開口されて外チ
ャンバ２１に連通する第１、第２の吸引ヘッド３２，３
３とを有する。ここで、吐出ヘッド３１の底部には吐出
ノズル３１Ａが形成され、吸引ヘッド３２，３３の底部
には、吐出ノズル３１Ａ方向に軸線が傾斜した吸引ノズ
ル３２Ａ，３３Ａが形成されている。これらの吸引ノズ
ル３２Ａ，３３Ａの垂線に対する傾斜角は２０°であ
る。
（図１、図２の左右方向）に長尺である溝状のヘッド本
体３５を取付板３４に固定して構成されている。すなわ
ち、ヘッド本体３５は、上方が開口されて内チャンバ２
２に連通する吐出ヘッド３１と、上方が開口されて外チ
ャンバ２１に連通する第１、第２の吸引ヘッド３２，３
３とを有する。ここで、吐出ヘッド３１の底部には吐出
ノズル３１Ａが形成され、吸引ヘッド３２，３３の底部
には、吐出ノズル３１Ａ方向に軸線が傾斜した吸引ノズ
ル３２Ａ，３３Ａが形成されている。これらの吸引ノズ
ル３２Ａ，３３Ａの垂線に対する傾斜角は２０°であ
る。
【００１２】次に、この実施形態の動作を説明すると、
除塵ヘッド３０の直下に、適宜な間隔（例えば３．５ｍ
ｍ以下）を置いて除塵するべきワークを配置し、これを
定速で図３の左右方向に移動させる。そして、エア源か
ら清浄なエアを所定の圧力、流量で吐出ダクト２５及び
内チャンバ２２を介し吐出ヘッド３１に供給する。これ
により、吐出ノズル３１Ａからほぼ超音波振動数を持つ
エアが吐出され、ワーク表面の塵芥を除塵ヘッド３０と
の間の空間に浮遊させる。同時に、吸引ダクト２６及び
外チャンバ２１を介し所定の圧力、流量でエアを吸引す
ると、浮遊している塵芥が吐出ノズル３１Ａの前後の吸
引ノズル３２Ａ，３３Ａから吸引され、除去されるもの
である。なお、図３において、「Ｐ」は吐出エアの流れ
を、「Ｖ」は吸引エアの流れを示す。
除塵ヘッド３０の直下に、適宜な間隔（例えば３．５ｍ
ｍ以下）を置いて除塵するべきワークを配置し、これを
定速で図３の左右方向に移動させる。そして、エア源か
ら清浄なエアを所定の圧力、流量で吐出ダクト２５及び
内チャンバ２２を介し吐出ヘッド３１に供給する。これ
により、吐出ノズル３１Ａからほぼ超音波振動数を持つ
エアが吐出され、ワーク表面の塵芥を除塵ヘッド３０と
の間の空間に浮遊させる。同時に、吸引ダクト２６及び
外チャンバ２１を介し所定の圧力、流量でエアを吸引す
ると、浮遊している塵芥が吐出ノズル３１Ａの前後の吸
引ノズル３２Ａ，３３Ａから吸引され、除去されるもの
である。なお、図３において、「Ｐ」は吐出エアの流れ
を、「Ｖ」は吸引エアの流れを示す。
【００１３】その際、図３に示す如く吸引ノズル３２
Ａ，３３Ａの軸線を吐出ノズル３１Ａ側に傾斜させて構
成すれば、ワーク表面から舞い上がった塵芥が前後方向
に拡散する範囲を狭くして塵芥の飛散を防止し、塵芥を
効率よく吸引・除去することができる。図示されていな
いが、吸引ノズル３２Ａ，３３Ａの何れか一方の軸線を
吐出ノズル３１Ａ側に傾斜させても良い。
Ａ，３３Ａの軸線を吐出ノズル３１Ａ側に傾斜させて構
成すれば、ワーク表面から舞い上がった塵芥が前後方向
に拡散する範囲を狭くして塵芥の飛散を防止し、塵芥を
効率よく吸引・除去することができる。図示されていな
いが、吸引ノズル３２Ａ，３３Ａの何れか一方の軸線を
吐出ノズル３１Ａ側に傾斜させても良い。
【００１４】このように、本実施形態では吐出ノズル３
１Ａの前後に第１、第２の吸引ノズル３２Ａ，３３Ａが
配置されているので、吐出エアが除塵ヘッド３０の前後
方向に漏れることがなく、ワーク表面や周囲環境を再汚
染するおそれがない。また、二つの吸引ヘッド３２，３
３を設けて吸引力を強めることでワークとの間の間隔を
広く設定でき、ワークの吸着や損傷のおそれをなくすと
共に、ワーク保持機構の簡略化も可能になる。同時にワ
ークに厳密な平坦性が要求されることもない。更に、単
一の吐出ノズル３１Ａや二つの吸引ノズル３２Ａ，３３
Ａからはそれほどの騒音（高周波ノイズ）が発生せず、
作業者にとっての不快感や苦痛もほとんどない。
１Ａの前後に第１、第２の吸引ノズル３２Ａ，３３Ａが
配置されているので、吐出エアが除塵ヘッド３０の前後
方向に漏れることがなく、ワーク表面や周囲環境を再汚
染するおそれがない。また、二つの吸引ヘッド３２，３
３を設けて吸引力を強めることでワークとの間の間隔を
広く設定でき、ワークの吸着や損傷のおそれをなくすと
共に、ワーク保持機構の簡略化も可能になる。同時にワ
ークに厳密な平坦性が要求されることもない。更に、単
一の吐出ノズル３１Ａや二つの吸引ノズル３２Ａ，３３
Ａからはそれほどの騒音（高周波ノイズ）が発生せず、
作業者にとっての不快感や苦痛もほとんどない。
【００１５】なお、上記実施形態において、ワークを固
定しておいて除塵装置を図３の左右方向に移動させても
良いのは勿論である。
定しておいて除塵装置を図３の左右方向に移動させても
良いのは勿論である。
【００１６】（実施例）次いで、本発明の実施例を説明
する。登録実用新案第３００９６９４号公報や特開平７
−６０２１１号公報に記載された除塵装置のように、第
１、第２の噴出ノズルと、これらの間に配置された一つ
の吸引ノズルとを有するタイプの除塵装置（以下、ＰＶ
Ｐ配列という）と、本発明のように、第１、第２の吸引
ノズルと、これらの間に配置された一つの吐出ノズルと
を有するタイプの除塵装置（以下、ＶＰＶ配列という）
とを対象として、除塵性能の比較実験を行った。
する。登録実用新案第３００９６９４号公報や特開平７
−６０２１１号公報に記載された除塵装置のように、第
１、第２の噴出ノズルと、これらの間に配置された一つ
の吸引ノズルとを有するタイプの除塵装置（以下、ＰＶ
Ｐ配列という）と、本発明のように、第１、第２の吸引
ノズルと、これらの間に配置された一つの吐出ノズルと
を有するタイプの除塵装置（以下、ＶＰＶ配列という）
とを対象として、除塵性能の比較実験を行った。
【００１７】この実験の諸条件及び手順等は以下のとお
りである。 （１）除塵ヘッドの有効幅：６５０ｍｍ （２）被除塵体：Ｃｒ膜付きＬＣＤガラス（３２０ｍｍ
×３００ｍｍ×１．１ｍｍ ｔ） （３）塵芥：標準粒子ＰＳＬ（ポリスチレンラテック
ス）５μ （４）パーティクルカウンタ（ガラス表面にあるダスト
をレーザ散乱法により計測する装置）：ＰＩＰ−７０ガ
ラス表面検査装置（ヒューグルエレクトロニクス株式会
社製） （５）動作条件 １）ガラスと除塵ヘッドとの間隔：１．５ｍｍ ２）清浄空気の吐出圧：１１００，１３００，１５０
０，１７００及び１９００ｍｍＡｑの５種類 （６）実験手順 １）ガラスを洗浄し、パーティクルカウンタによりガラ
ス表面に残留しているダストの個数Ｃをバックグラウン
ドとして計測。 ２）ガラス表面に標準粒子ＰＳＬ５μを乾式散布。 ３）パーティクルカウンタにより、ガラス表面上に存在
する標準粒子ＰＳＬの個数Ａを測定。 ４）ＶＰＶ配列の除塵装置（本発明）により除塵。 ５）除塵後のガラス表面に残留した標準粒子ＰＳＬの個
数Ｂを測定。 ６）除塵率を以下の式により算出。 ｛（Ａ−Ｃ）−（Ｂ−Ｃ）｝×１００〔％〕／（Ａ−
Ｃ） ７）同様の手順で、ＰＶＰ配列の除塵装置（従来技術）
についても計測。
りである。 （１）除塵ヘッドの有効幅：６５０ｍｍ （２）被除塵体：Ｃｒ膜付きＬＣＤガラス（３２０ｍｍ
×３００ｍｍ×１．１ｍｍ ｔ） （３）塵芥：標準粒子ＰＳＬ（ポリスチレンラテック
ス）５μ （４）パーティクルカウンタ（ガラス表面にあるダスト
をレーザ散乱法により計測する装置）：ＰＩＰ−７０ガ
ラス表面検査装置（ヒューグルエレクトロニクス株式会
社製） （５）動作条件 １）ガラスと除塵ヘッドとの間隔：１．５ｍｍ ２）清浄空気の吐出圧：１１００，１３００，１５０
０，１７００及び１９００ｍｍＡｑの５種類 （６）実験手順 １）ガラスを洗浄し、パーティクルカウンタによりガラ
ス表面に残留しているダストの個数Ｃをバックグラウン
ドとして計測。 ２）ガラス表面に標準粒子ＰＳＬ５μを乾式散布。 ３）パーティクルカウンタにより、ガラス表面上に存在
する標準粒子ＰＳＬの個数Ａを測定。 ４）ＶＰＶ配列の除塵装置（本発明）により除塵。 ５）除塵後のガラス表面に残留した標準粒子ＰＳＬの個
数Ｂを測定。 ６）除塵率を以下の式により算出。 ｛（Ａ−Ｃ）−（Ｂ−Ｃ）｝×１００〔％〕／（Ａ−
Ｃ） ７）同様の手順で、ＰＶＰ配列の除塵装置（従来技術）
についても計測。
【００１８】上記実験の結果、ＶＰＶ配列（本発明）、
ＰＶＰ配列（従来技術）の各除塵装置につき得られた除
塵率を表１に示す。
ＰＶＰ配列（従来技術）の各除塵装置につき得られた除
塵率を表１に示す。
【００１９】
【表１】
【００２０】この表１からも明らかなように、本発明で
は、エアの吐出圧に関わらず、１００％に近いほぼ一定
の除塵率を得ることができた。
は、エアの吐出圧に関わらず、１００％に近いほぼ一定
の除塵率を得ることができた。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明の除塵装置は、吐出
エアが除塵ヘッドの前後方向に漏れにくい構造であるた
め、ワーク表面や周囲環境を再汚染するおそれがない。
また、二つの吸引ノズルにより吸引力を強めることでワ
ークとの間の間隔を広く設定でき、ワークの吸着や損傷
のおそれをなくすと共に、ワーク保持機構を簡略化する
ことができる。同時にワークに厳密な平坦性が要求され
ることもないから、対象物を選ばない汎用性に富んだ除
塵装置を得ることができる。更に、二つの吐出ノズルを
有するＰＶＰ配列の除塵装置に比べ、騒音を大幅に低減
して作業者の精神的、肉体的苦痛を和らげることが可能
である。
エアが除塵ヘッドの前後方向に漏れにくい構造であるた
め、ワーク表面や周囲環境を再汚染するおそれがない。
また、二つの吸引ノズルにより吸引力を強めることでワ
ークとの間の間隔を広く設定でき、ワークの吸着や損傷
のおそれをなくすと共に、ワーク保持機構を簡略化する
ことができる。同時にワークに厳密な平坦性が要求され
ることもないから、対象物を選ばない汎用性に富んだ除
塵装置を得ることができる。更に、二つの吐出ノズルを
有するＰＶＰ配列の除塵装置に比べ、騒音を大幅に低減
して作業者の精神的、肉体的苦痛を和らげることが可能
である。
【図１】本発明の実施形態を示す平面図である。
【図２】本発明の実施形態を示す側面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ拡大断面図である。
１０ 底板部 ２０ チャンバ ２１ 外チャンバ ２２ 内チャンバ ２３，２４ ケーシング ２５ 吐出ダクト ２６ 吸引ダクト ３０ 除塵ヘッド ３１ 吐出ヘッド ３１Ａ 吐出ノズル ３２，３３ 吸引ヘッド ３２Ａ，３３Ａ 吸引ノズル ３４ 取付板 ３５ ヘッド本体
Claims (2)
- 【請求項１】 ワーク表面にエアを吐出してワーク表面
に存在する塵芥を吸引除去する除塵装置において、 ワークの相対的な移動方向に沿って、エアを吸引する第
１の吸引ノズルと、エアを吐出する吐出ノズルと、エア
を吸引する第２の吸引ノズルとを順次配置したことを特
徴とする除塵装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の除塵装置において、 第１及び第２の吸引ノズルの何れか一方または双方の軸
線を、吐出ノズル側へ傾斜させたことを特徴とする除塵
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27539597A JPH11104586A (ja) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | 除塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27539597A JPH11104586A (ja) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | 除塵装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11104586A true JPH11104586A (ja) | 1999-04-20 |
Family
ID=17554909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27539597A Pending JPH11104586A (ja) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | 除塵装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11104586A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005051260A (ja) * | 2000-06-09 | 2005-02-24 | Harmotec Corp | 非接触搬送装置 |
| KR100566032B1 (ko) * | 1999-11-11 | 2006-03-30 | 휴글엘렉트로닉스가부시키가이샤 | 제진장치 |
| JPWO2007007407A1 (ja) * | 2005-07-07 | 2009-01-29 | ヒューグルエレクトロニクス株式会社 | スポットクリーナ |
-
1997
- 1997-10-08 JP JP27539597A patent/JPH11104586A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100566032B1 (ko) * | 1999-11-11 | 2006-03-30 | 휴글엘렉트로닉스가부시키가이샤 | 제진장치 |
| JP2005051260A (ja) * | 2000-06-09 | 2005-02-24 | Harmotec Corp | 非接触搬送装置 |
| JP4669252B2 (ja) * | 2000-06-09 | 2011-04-13 | 株式会社ハーモテック | 旋回流形成体および非接触搬送装置 |
| JPWO2007007407A1 (ja) * | 2005-07-07 | 2009-01-29 | ヒューグルエレクトロニクス株式会社 | スポットクリーナ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040316 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040720 |