JPH07214442A - バキューム・テーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】被加工材料を固定する表面層の上面の被加工材
料の周囲にマスキングを行うことなしに、当該表面層に
被加工材料を確実に吸着固定することができ、しかも簡
潔な構造で製造コストの大幅な低減を図ることのできバ
キューム・テーブルを提供する。 【構成】上下に貫通する吸気路を有する基台５１と、こ
の基台５１上に載置された複数種類の板状体を積層して
なる多層体とを有して構成され、少なくとも多層体を構
成する複数種類の板状体は、多層体の最上層に配置され
る略均一に分布した多数の微細な貫通孔を備えた通気性
を有するシートの表面層部材５４と、表面層部材５４の
下面に配置される三次元網目構造を有する多孔質体の第
２層部材５３とより構成され、吸引手段によって基台５
１の吸気路５１ａを介して多層体内を減圧する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、バキューム・テーブル
に関し、さらに詳細には、被加工材料をコンピュータ制
御による切削加工機械などに固定する際に用いられるバ
キューム・テーブルに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、所定のプログラムによりコン
ピュータ制御されたカッティングプロッタなどの切削加
工機を用いて、金属、ゴムあるいは熱可塑性樹脂などの
表札や表示札などに文字や図形などを彫り込むことが行
われている。こうした切削加工機としては、例えば、図
７に示すような切削加工機が知られている。

【０００３】図７に示す切削加工機１は、キャリッジ２
を、左右方向（Ｘ軸方向）、前後方向（Ｙ軸方向）およ
び上下方向（Ｚ軸方向）に移動させることができ、キャ
リッジ２に取り付けられたカッターやドリルなどの切削
具３を、固定台４の上面に固定された被加工材料５の表
面に接触させながら移動させることにより、予め切削加
工機１設定された所定のプログラムに従って被加工材料
５の表面に文字や図形の彫り込みを行うことができるも
のである。

【０００４】このような切削加工機１においては、被加
工材料５を固定するための固定具として、被加工材料５
の両側端部などを締付け固定するバイスが一般的に用い
られていた。ところが、こうしたバイスを用いた場合に
は、被加工材料５が薄い板状の材料などであると、その
中央部が上側または下側に湾曲してしまい、切断深さに
ムラが生じ、精度のよい切削加工を行うことができない
ということが指摘されていた。

【０００５】このため、バイスに代わる固定具として、
被加工材料を真空ポンプなどの吸引作用により吸着固定
するようにした種々のバキューム・テーブルが提案され
ている。

【０００６】図８には、こうしたバキューム・テーブル
の一例が示されており、バキューム・テーブル１０は、
基台１１の底面にそれぞれ互いに連通する複数のバキュ
ーム・ライン１２が形成され、これらバキューム・ライ
ン１２の上側壁面には、微細な吸気用の貫通孔１３がバ
キューム・ライン１２と連通するように上下に貫通して
複数形成されている。また、基台１１の側面には各バキ
ューム・ライン１２に連通する排気口が穿設され、この
排気口に高圧パイプ１４を介して真空ポンプ（図示せ
ず）が接続されて、真空ポンプを作動させることにより
バキューム・ライン１２および貫通孔１３内を減圧でき
るようになされている。

【０００７】以上の構成において、バキューム・テーブ
ル１０に被加工材料を固定する場合は、基台１１を平坦
な基盤１５の上にセットし、基台１１の排気口に高圧パ
イプ１４を介して接続した真空ポンプを作動させる。こ
の真空ポンプの作動により、排気口を介してバキューム
・ライン１２および貫通孔１３内の空気が排気されて減
圧され、基台１１の上面に載置した被加工材料５が吸着
固定されることになる。

【０００８】また、図９に示したバキューム・テーブル
２０は、基台２１の上部にそれぞれ互いに連通する複数
のバキューム・ライン２２が形成され、その基台２１の
上側には、微細な貫通孔２３が上下に貫通した多孔質セ
ラミック板２４が配置されている。そして、基台２１の
底部にはバキューム・ライン２２に連通する排気口２５
が穿設され、この排気口２５に真空ポンプが接続されて
バキューム・ライン２２内を減圧できるようになってい
る。

【０００９】以上の構成において、このバキューム・テ
ーブル２０を使用する場合には、多孔質セラミック板２
４の全面を覆う大きさの被加工材料５を、多孔質セラミ
ック板２４上に載置した状態で真空ポンプを作動させ
る。この真空ポンプの作動により、排気口２５を介して
バキューム・ライン２２および多孔質セラミック板２４
の貫通孔２３内の空気が排気され、多孔質セラミック板
２４の上面に載置された被加工材料５が吸着固定される
ことになる。

【００１０】さらに、図１０に示したバキューム・テー
ブル３０は、中央部に上下に貫通する吸気路３１を有す
る基台３２と、この基台３２の上面に載置される三次元
網目構造を有する板状の多孔質体３３と、この多孔質体
３３の周縁部を囲うとともに底面が上記基台３２の上面
と密着する枠状部材３４と、基台３２の吸気路３１を介
して多孔質体３３内の空気を排気して減圧する吸引手段
と、多孔質体３３の上面に被加工材料５を載置した際に
多孔質体３３の上面側における露呈部分をマスキングす
るシール部材３５とから構成されている。

【００１１】以上の構成において、バキューム・テーブ
ル３０の上面に被加工材料５を固定する場合は、多孔質
体３３の上面に被加工材料５を載置し、多孔質体３３の
上面における被加工材料５が接面していない露呈部分
を、シール部材３５でマスキングする。そして、基台３
２の吸気路３１に吸引手段を接続して、吸引手段により
吸引作用を行うと、被加工材料５は多孔質体３３の表面
に吸着固定されることになる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のバキューム・テーブル１０にあっては、複雑な
機械加工によって、基台１１に対し複数のバキューム・
ライン１２および微細な貫通孔１３を加工する必要があ
ったり、あるいは複数のバキューム・ライン１２を一体
成形した基台１１に対し、後加工により面出しや吸気用
の貫通孔１３を穿設する必要があるため、バキューム・
テーブル製造のための加工工数が増大し、製造コスト高
を招来するなどの問題点があった。

【００１３】また、従来のバキューム・テーブル２０に
おいては、外部から多孔質セラミック板２４内に空気が
入るのを防止するため、多孔質セラミック板２４の上面
に載置して吸着固定可能な被加工材料５の大きさが、多
孔質セラミック板２４を被覆できるような大きなサイズ
に限定されるという問題があった。換言すれば、多孔質
セラミック板２４よりも小さなサイズの被加工材料を固
定しようとしても、空気漏れが生じて確実な固定ができ
ないという問題があった。

【００１４】さらに、従来のバキューム・テーブル３０
では、多孔質体３３の上面における被加工材料５が接面
していない露呈部分より吸引空気が漏れるので、シール
部材３５によるマスキングなしでは、被加工材料の全面
を均一に吸着固定することができないなどの問題点があ
った。

【００１５】本発明は、従来の技術の有する上記した種
々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とす
るところは、被加工材料を固定する表面層の上面の被加
工材料の周囲にマスキングを行うことなしに、当該表面
層に被加工材料を確実に吸着固定することができ、しか
も簡潔な構造で製造コストの大幅な低減を図ることので
きバキューム・テーブルを提供しようとするものであ
る。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によるバキューム・テーブルは、空孔率のこ
となる複数の材料を、真空ポンプによる吸引側を粗にす
るとともに被加工材料を載置する表面側を密にして多層
構造とすることにより、真空ポンプによる吸引時におい
て空気の流通を確保するとともに、被加工材料を載置す
る表面側から空気の漏れを防止して、被加工材料を確実
に吸引固定することができる点に着目してなされたもの
である。

【００１７】即ち、本発明によるバキューム・テーブル
は、上面および吸気路を除いて空気の流出入を禁止さ
れ、吸気路を介して内部を減圧することにより、上面に
載置した被加工材料を吸引固定することのできるバキュ
ーム・テーブルにおいて、上下に貫通する吸気路を有す
る基台と、この基台上に載置された複数種類の板状体を
積層してなる多層体とを有して構成され、少なくとも多
層体を構成する複数種類の板状体は、多層体の最上層に
配置される略均一に分布した多数の微細な貫通孔を備え
た通気性を有するシートと、このシートの下面に配置さ
れる三次元網目構造を有する多孔質体とより構成され、
吸引手段によって基台の吸気路を介して多層体内を減圧
するようにしたものである。

【００１８】

【作用】基台の上面に空孔率が上層になるにしたがって
順次密になる板状体を多層に積層して密接させ、基台の
吸気路に接続した吸引手段により吸引することにより、
積層した多層体内部の空気を排気して減圧する。

【００１９】従って、積層した多層体の表面層の上面に
被加工材料を載置しておくと、吸引手段の排気による吸
引作用により、被加工材料は積層された多層体の表面層
の上面に吸着固定されるようになる。

【００２０】また、上記多層体を構成する板状体の孔の
大きさや分布状態に多少のバラツキがあっても、基台の
上面に空孔率が順次粗から密になる部材を積層した多層
構造としたため、被加工材料を載置する表面層に均一な
吸着圧を得ることができるので、被加工材料の接触面積
が表面層の上面露出部より小さいものであっても確実に
吸着固定することができる。

【００２１】さらに上記したように、被加工材料を載置
する表面層に均一な吸着圧を得ることができるので、被
加工材料が薄い板状のものであっても、当該被加工材料
がバキューム・テーブルの上面に吸着された際に、吸引
力の差による撓みを生じることはない。

【００２２】また、従来のバキューム・テーブルのよう
に特別なバキューム・ラインの加工や、精度の高い微細
な吸気用の貫通孔の加工などを行う必要がなく、単に基
台の上面に空孔率が順次粗から密になる板状体を積層す
るだけでよいので、製造工程が極めて簡潔化し、製造コ
ストを大幅に低減することができる。

【００２３】

【実施例】以下、図面に基づいて、本発明によるバキュ
ーム・テーブルの実施例を詳細に説明するものとする。

【００２４】図１は本発明の第一の実施例によるバキュ
ーム・テーブルに被加工材料を固定した状態を示す要部
断面斜視図であり、図２はその全体の分解斜視図を示し
ている。

【００２５】図１乃至図２に示すバキューム・テーブル
５０は、アクリル、ハニカムボードあるいはガラスなど
の板状体により成形された基台５１と、基台５１の上面
に載置される第１層部材５２と、第１層部材５２の上面
に載置される第２層部材５３と、第２層部材５３の上面
に載置される表面層部材５４と、第１層部材５２および
第２層部材５３の周縁部を囲うようにして配置されてい
る枠状部材５５とにより構成されている。

【００２６】基台５１の略中央部には、吸気用の高圧パ
イプ５６の一端が嵌合する吸気路５１ａが穿設されると
ともに、その高圧パイプ５６の他端は真空ポンプ（図示
せず）に接続されている。この真空ポンプの作動によ
り、基台５１の上面に積層された第１層部材５２、第２
層部材５３および表面層部材５４の間に存在する空気の
吸引を行い、空気を排気して減圧できるようになされて
いる。

【００２７】第１層部材５２は樹脂または硬質ゴムなど
で成形された薄板よりなり、その上面には、多数の溝に
より形成されたバキューム・ライン５２ａがほぼ全域に
わたって互いに連通して形成されている。また、第１層
部材５２の略中央部に位置するバキューム・ライン５２
ａには、基台５１の吸気路５１ａと連通する貫通孔５２
ｂが穿設されており、真空ポンプによりバキューム・ラ
イン５２ａを介して空気を吸引できるようになされてい
る。

【００２８】第２層部材５３は、三次元網目構造を有す
る板状の多孔質体よりなるものであり、好ましくは、ポ
リエチレン、ポリプロピレンあるいはポリスチレンなど
のより構成される。

【００２９】また、第２層部材５３は、厚みが約２乃至
３ｍｍ、孔の径が約３０乃至５０μｍ、空孔率が約３０
乃至４０％程度であり、孔が第２層部材５３全体にわた
って略均一に分布しているものが好ましく、既存の材料
から選定することができる。

【００３０】さらに、表面層部材５４は、全面に略均一
に分布した微細な孔を有した薄いシートであり、好まし
くは、通気性を有する粘着シート、フイルムあるいは紙
などより構成される。

【００３１】また、表面層部材５４は、厚みが約０．１
ｍｍ、孔の径がおよそ０．１ｍｍ以下、空孔率が約０．
０５％程度のものが好ましく、被加工材料５の材質や大
きさなどにより適宜選定することができる。

【００３２】この表面層部材５４は、第２層部材５３の
上面に載置して使用されるものであるので、表面層部材
５４に加工などによる傷や汚れが付いた場合でも容易に
交換することが可能であり、第２層部材５３の表面を保
護する機能をも兼ね備えている。

【００３３】さらにまた、枠状部材５５は、基台５１の
上面に密接して第１層部材５２および第２層部材５３の
周縁部を囲うことのできるものであれば、どのようなも
のでも使用できるが、例えば、硬質ゴムのような多少の
可撓性が有るもので、基台５１の上面に当接した際に、
枠状部材５５と基台５１との当接面および第１層部材５
２ならびに第２層部材５３の周縁部が密接状態となるよ
うな材質のものが好ましい。

【００３４】以上の構成において、被加工材料５を切削
加工する場合には、まず、図７に示した切削加工機１と
同様の切削加工機にバキューム・テーブル５０を配設す
る。次いで、バキューム・テーブル５０の基台５１の上
面に積層された表面層部材５４の上面に被加工材料５を
載置する。そして、真空ポンプを作動させ、バキューム
・テーブル５０の基台５１に連通した高圧パイプ５６を
介して、バキューム・テーブル５０内の空気を排気する
ことにより、被加工材料５をバキューム・テーブル５０
に表面層部材５４上に吸着固定する。

【００３５】そして、切削加工機を操作することによ
り、予め設定されたプログラムによる所定のコンピュー
タ制御により、被加工材料５の上面に文字や図形などを
彫り込む。

【００３６】また、被加工材料５の切削加工が終了した
後には、切削加工機の切削具を被加工材料５より離れた
位置に移動させる。そして、真空ポンプを停止させる
と、外部からバキューム・テーブル５０内に空気が入り
込み、被加工材料５の固定が解除される。

【００３７】このように、バキューム・テーブル５０で
は、基台５１の上面に空孔率が上層になるにしたがって
順次密になるように、第１層部材５２、第２層部材およ
び表面層部材５４積層して密接させているので、基台５
１の吸気路５１ａを介して真空ポンプにより吸引するこ
とにより、第１層部材５２、第２層部材および表面層部
材５４内部の空気を排気して減圧すると、真空ポンプに
よる吸引時において、第１層部材５２、第２層部材およ
び表面層部材５４内部における空気の流通を確保できる
とともに、被加工材料５を載置する表面層部材５４側か
らの空気の漏れが防止して、被加工材料を確実に吸引固
定することができる。

【００３８】しかも、基台５１の上面に密接した枠状部
材５５が第１層部材５２および第２層部材５３の周縁部
を囲った状態で、全域の空気を中央部底面に向けて吸引
するようになっているので、確実に表面層部材５４の上
面全体に均一に吸引作用を及ぼすことができ、その結
果、被加工材料５は安定した状態で固定され、精度のよ
い切削加工ができるようになる。

【００３９】また、このバキューム・テーブル５０に使
用される基台５１は、従来のような複雑な形状ではな
く、ただの板材の中央部に貫通孔を穿設しただけのもの
であるため、製造、加工が簡単であるとともに、安価で
ある。さらに、基台５１の上面に積層される第１層部材
５２、第２層部材５３および表面層部材５４は、精度の
よいものを使用する必要がなく、既存の成形品であって
も被加工材料が載置される上面が場所によってバラツキ
を生じない状態で吸引できるようなものであれば、孔の
大きさや分布に多少のバラツキがあってもかまわない。

【００４０】さらに、バキューム・テーブル５０は、切
削加工機の他に、製図用またはカッティング用のプロッ
タにも適用できるものであり、その際のバキューム・テ
ーブル５０の全体形状も角形に限らず、丸形でもよい。

【００４１】なお、バキューム・テーブル５０では、真
空ポンプによる吸引作用時に、基台５１の上面に積層さ
れる第１層部材５２および第２層部材５３の周縁部より
外気が侵入しないように、基台５１の上面に密接した枠
状部材５５で周縁部を囲っているが、枠状部材５５に限
定する必要はなく、第１層部材５２および第２層部材５
３の周縁部にシール材を塗布、または貼付することによ
り外気の侵入を防止するようにしてもよい。

【００４２】図３は、本発明の第二の実施例によるバキ
ューム・テーブルに被加工材料を固定する状態示す分解
斜視図である。

【００４３】第二の実施例においては、第１層部材５
２’と第２層部材５３との間に、樹脂製の板材より成形
した網状部材６０を積層している。ここで、上記網状部
材６０は、樹脂製の板材より所定の網目を一体的に成形
したり、あるいは打ち抜きにより形成することができ
る。また、上記以外の方法で形成してもよい。

【００４４】さらに、この網状部材６０の上面ならびに
下面の両方あるいはどちらか一方は、平坦ではない凹凸
面として形成されていて、網状部材６０の面に沿う方向
（水平方向）への通気性が確保されている。

【００４５】また、この第二の実施例によるバキューム
・テーブル５０’では、基台５１の上面に載置される第
１層部材５２’に形成されたバキューム・ライン５２’
ａが、互いに連通するようにはなされていなくてもよ
い。また、第１層部材５２’に代えて、第一の実施例に
示した第１層部材５２を用いてもよい。

【００４６】なお、符号５２’ｂは、基台５１の吸気路
５１ａと連通する貫通孔である。

【００４７】以上の構成において、被加工材料を切削加
工する場合には、前述した実施例と同様なので詳細な説
明を省略するが、この第二の実施例のバキューム・テー
ブル５０’においても、被加工部材５を表面層部材５４
上に、第一の実施例のバキューム・テーブル５０と同等
な吸引力により吸引固定することができる。

【００４８】図４は、本発明の第三の実施例によるバキ
ューム・テーブルに被加工材料を固定する状態示す分解
斜視図である。

【００４９】この第三の実施例によるバキューム・テー
ブル５０’’は、第一の実施例において、基台５１と第
２層部材５３との間の第１層部材５２を排除した構成と
されている。

【００５０】以上の構成において、被加工材料を切削加
工する場合には、前述した実施例と同様なので詳細な説
明を省略するが、この第三の実施例のバキューム・テー
ブル５０’’においては、第一の実施例のバキューム・
テーブル５０と同等な吸引力ではないが実用上問題がな
い程度の吸引力により、被加工部材５を表面層部材５４
上に吸引固定することができる。

【００５１】図５は、本発明の第四の実施例によるバキ
ューム・テーブルに被加工材料を固定する状態示す分解
斜視図である。

【００５２】この第四の実施例によるバキューム・テー
ブル５０’’’は、第一の実施例において、第１層部材
５２に代えて網状部材６０を配置した構成とされてい
る。

【００５３】以上の構成において、被加工材料を切削加
工する場合には、前述した実施例と同様なので詳細な説
明を省略するが、この第四の実施例のバキューム・テー
ブル５０’’’においては、被加工部材５を表面層部材
５４上に、第一の実施例のバキューム・テーブル５０と
同等な吸引力により吸引固定することができる。

【００５４】さらに、第四の実施例に関しては、基台５
１上に網状部材６０を載置する際に基台５１の全面に載
置する必要はなく、図６に示すように通路７０を構成す
るように載置してもよい。このような配置構成をとる
と、通路６０を介して一層空気が流通し易くなるので、
より強力に被加工部材５を吸引固定することができるよ
うになる。

【００５５】なお、図６に示すような配置構成は、図３
に示す第三の実施例において適用してもよい。

【００５６】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。

【００５７】上面および吸気路を除いて空気の流出入を
禁止され、吸気路を介して内部を減圧することにより、
上面に載置した被加工材料を吸引固定することのできる
バキューム・テーブルにおいて、上下に貫通する吸気路
を有する基台と、この基台上に載置された複数種類の板
状体を積層してなる多層体とを有して構成され、少なく
とも多層体を構成する複数種類の板状体は、多層体の最
上層に配置される略均一に分布した多数の微細な貫通孔
を備えた通気性を有するシートと、このシートの下面に
配置される三次元網目構造を有する多孔質体とより構成
され、吸引手段によって基台の吸気路を介して多層体内
を減圧するようにしたため、積層した多層体の表面層の
上面に被加工材料を載置しておくと、吸引手段の排気に
よる吸引作用により、被加工材料は積層された多層体の
表面層の上面に吸着固定されるようになる。

【００５８】また、上記多層体を構成する板状体の孔の
大きさや分布状態に多少のバラツキがあっても、基台の
上面に空孔率が順次粗から密になる部材を積層した多層
構造としたため、被加工材料を載置する表面層に均一な
吸着圧を得ることができるので、被加工材料の接触面積
が表面層の上面露出部より小さいものであっても確実に
吸着固定することができる。

【００５９】さらに上記したように、被加工材料を載置
する表面層に均一な吸着圧を得ることができるので、被
加工材料が薄い板状のものであっても、当該被加工材料
がバキューム・テーブルの上面に吸着された際に、吸引
力の差による撓みを生じることはなく、精確な加工を行
うことができる。

【００６０】また、従来のバキューム・テーブルのよう
に特別なバキューム・ラインの加工や、精度の高い微細
な吸気用の貫通孔の加工などを行う必要がなく、単に基
台の上面に空孔率が順次粗から密になる板状体を積層す
るだけでよいので、製造工程が極めて簡潔化し、製造コ
ストを大幅に低減することができる。

【００６１】即ち、本発明によれば、被加工材料を固定
する表面層の上面の被加工材料の周囲にマスキングを行
うことなしに、当該表面層に被加工材料を確実に吸着固
定することができるようになり、しかもそれを簡潔な構
造で製造コストの大幅な低減を図って実現することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例によるバキューム・テー
ブルに被加工材料を固定した状態示す要部断面斜視図で
ある。

【図２】図１の分解斜視図である。

【図３】本発明の第二の実施例によるバキューム・テー
ブルに被加工材料を固定する状態示す分解斜視図であ
る。

【図４】本発明の第三の実施例によるバキューム・テー
ブルに被加工材料を固定する状態示す分解斜視図であ
る。

【図５】本発明の第四の実施例によるバキューム・テー
ブルに被加工材料を固定する状態示す分解斜視図であ
る。

【図６】図５に示す第四の実施例の変形例を示す要部平
面説明図である。

【図７】従来の切削加工機による被加工材料の加工状態
を示す斜視図である。

【図８】従来のバキューム・テーブルを示す一部破断し
た斜視図である。

【図９】従来のバキューム・テーブルを示す縦断面図で
ある。

【図１０】従来のバキューム・テーブルを示す分解斜視
図である。

【符号の説明】

５ 被加工材料 ５０、５０’、５０’’、５０’’’ バキューム・
テーブル ５１ 基台 ５２ 第１層部材 ５３ 第２層部材 ５４ 表面層部材 ５５ 枠状部材 ６０ 網状部材

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面および吸気路を除いて空気の流出入
   を禁止され、吸気路を介して内部を減圧することによ
   り、上面に載置した被加工材料を吸引固定することので
   きるバキューム・テーブルにおいて、 上下に貫通する吸気路を有する基台と、前記基台上に載
   置された複数種類の板状体を積層してなる多層体とを有
   して構成され、 少なくとも前記多層体を構成する複数種類の板状体は、
   前記多層体の最上層に配置される略均一に分布した多数
   の微細な貫通孔を備えた通気性を有するシートと、前記
   シートの下面に配置される三次元網目構造を有する多孔
   質体とより構成され、 吸引手段によって前記基台の吸気路を介して前記多層体
   内を減圧することを特徴とするバキューム・テーブル。
2. 【請求項２】 前記多層体は、前記基台と前記多孔質体
   との間に、上面に多数の溝により前記吸気路および前記
   多孔質体と連通する複数のバキューム・ラインを形成し
   た板状体を備えた請求項１記載のバキューム・テーブ
   ル。
3. 【請求項３】 前記多層体は前記基台と前記多孔質体と
   の間に、前記吸気路および前記多孔質体と連通する複数
   の孔を備えた網状の板状体を備えた請求項１記載のバキ
   ューム・テーブル。
4. 【請求項４】 上面および吸気路を除いて空気の流出入
   を禁止され、吸気路を介して内部を減圧することによ
   り、上面に載置した被加工材料を吸引固定することので
   きるバキューム・テーブルにおいて、 上下に貫通する吸気路を有する基台と、前記基台上に配
   置された複数種類の板状体を積層してなる多層体とを有
   して構成され、 前記多層体は、 上面に多数の溝により前記吸気路と連通する複数のバキ
   ューム・ラインを形成して前記基台上面に載置される第
   一層の板状体と、 前記バキューム・ラインと連通する複数の孔を備えた網
   状体により構成され前記第一層の板状体の上面に載置さ
   れる第二層の板状体と、 前記複数の孔と連通する三次元網目構造を有する多孔質
   体より構成され前記第二層の上面に載置される第三層の
   板状体と、 略均一に分布した多数の微細な貫通孔を備えた通気性を
   有するシートより構成され前記第三層の上面に載置され
   る表面層の板状体とより構成されることを特徴とするバ
   キューム・テーブル。