JPH07113685B2 - カラーフィルター - Google Patents
カラーフィルターInfo
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- JPH07113685B2 JPH07113685B2 JP61060614A JP6061486A JPH07113685B2 JP H07113685 B2 JPH07113685 B2 JP H07113685B2 JP 61060614 A JP61060614 A JP 61060614A JP 6061486 A JP6061486 A JP 6061486A JP H07113685 B2 JPH07113685 B2 JP H07113685B2
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- JP
- Japan
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- color filter
- layer
- colored resin
- substrate
- color
- Prior art date
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はカラーフィルターに関するもので、特にカラー
撮像素子やカラーセンサー及びカラーディスプレーなど
の微細色分解用として好適なカラーフィルターに関する
ものである。
撮像素子やカラーセンサー及びカラーディスプレーなど
の微細色分解用として好適なカラーフィルターに関する
ものである。
［従来の技術］ 従来、カラーフィルターとしては、基板上にゼラチン、
カゼイン、グリューあるいはポリビニルアルコールなど
の親水性高分子物質からなる媒染層を設け、その媒染層
を色素で素色して着色層を形成する染色カラーフィルタ
ーが知られている。
カゼイン、グリューあるいはポリビニルアルコールなど
の親水性高分子物質からなる媒染層を設け、その媒染層
を色素で素色して着色層を形成する染色カラーフィルタ
ーが知られている。
このような染色法では、使用可能な染料が多くフィルタ
ーとして要求される分光特性への対応が比較的容易であ
るが、媒染層の染色工程に、染料を溶解させた染色浴中
に媒染層を浸漬するというコントロールの難しい湿式工
程を採用しており、また各色毎に防染用の中間層を設け
るといった複雑な工程を有するため或留りが悪いといっ
た欠点を有している。また染色可能な色素の耐熱性が15
0℃程度以下と比較的低く、該フィルターに熱的処理を
必要とする場合には、使用が困難である上、染色膜自体
の耐熱性、耐光性等の信頼性が劣るといった欠点も有し
ている。
ーとして要求される分光特性への対応が比較的容易であ
るが、媒染層の染色工程に、染料を溶解させた染色浴中
に媒染層を浸漬するというコントロールの難しい湿式工
程を採用しており、また各色毎に防染用の中間層を設け
るといった複雑な工程を有するため或留りが悪いといっ
た欠点を有している。また染色可能な色素の耐熱性が15
0℃程度以下と比較的低く、該フィルターに熱的処理を
必要とする場合には、使用が困難である上、染色膜自体
の耐熱性、耐光性等の信頼性が劣るといった欠点も有し
ている。
これに対し、従来、ある種の着色材が透明樹脂中に分散
されてなる着色樹脂を用いたカラーフィルターが知られ
ている。
されてなる着色樹脂を用いたカラーフィルターが知られ
ている。
例えば、特開昭58−46325号公報，特開昭60−78401号公
報，特開昭60−184202号公報，特開昭60−184203号公
報，特開昭60−184204号公報，特開昭60−184205号公報
等に示されている様に、ポリアミノ系樹脂に着色材を混
合した着色樹脂膜を特徴とするカラーフィルターによれ
ば、該ポリアミノ系樹脂自体は、耐熱性、耐光性等の特
性に優れたものであるが、非感光性樹脂であるためカラ
ーフィルターのパターン形成には、微細パターンに不利
な印刷による方法、あるいは着色樹脂膜上にレジストに
よるマスクを設けた後に、該着色樹脂膜をエッチングす
るという製造工程の煩雑な方法をとらなければならなか
った。
報，特開昭60−184202号公報，特開昭60−184203号公
報，特開昭60−184204号公報，特開昭60−184205号公報
等に示されている様に、ポリアミノ系樹脂に着色材を混
合した着色樹脂膜を特徴とするカラーフィルターによれ
ば、該ポリアミノ系樹脂自体は、耐熱性、耐光性等の特
性に優れたものであるが、非感光性樹脂であるためカラ
ーフィルターのパターン形成には、微細パターンに不利
な印刷による方法、あるいは着色樹脂膜上にレジストに
よるマスクを設けた後に、該着色樹脂膜をエッチングす
るという製造工程の煩雑な方法をとらなければならなか
った。
近年感光性を有するポリイミド樹脂を用いた着色剤が知
られてきたが、この樹脂はポリイミド前駆体型であり、
イミド化の為に通常300℃以上の熱硬化が必要である。
られてきたが、この樹脂はポリイミド前駆体型であり、
イミド化の為に通常300℃以上の熱硬化が必要である。
一方、特開昭55−134807号公報，特開昭57−16407号公
報，特開昭57−16408号公報，特開昭57−74707号公報，
特開昭60−129707号公報等に示されている様に、感光性
樹脂に着色材を混合した着色樹脂膜を特徴とするカラー
フィルターによれば、カラーフィルターの製造方法にと
っては一般的なフォトリソ工程のみで微細パターン化で
き、工程の簡素化は可能となるが、該感光性樹脂として
一般に用いられているものは、樹脂膜材と感光性硬化剤
とを混合してつくらねばならない煩雑なものや、耐熱
性、耐光性、耐光性等の特性に充分満足いくものではな
かった。
報，特開昭57−16408号公報，特開昭57−74707号公報，
特開昭60−129707号公報等に示されている様に、感光性
樹脂に着色材を混合した着色樹脂膜を特徴とするカラー
フィルターによれば、カラーフィルターの製造方法にと
っては一般的なフォトリソ工程のみで微細パターン化で
き、工程の簡素化は可能となるが、該感光性樹脂として
一般に用いられているものは、樹脂膜材と感光性硬化剤
とを混合してつくらねばならない煩雑なものや、耐熱
性、耐光性、耐光性等の特性に充分満足いくものではな
かった。
［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の目的は、上述の従来例のもつ欠点を解消せし
め、簡便な製造プロセスにより微細パターンを形成する
ことができ、さらに機械的特性をはじめ、耐熱性、耐光
性、耐溶剤性等の諸特性の優れたカラーフィルターを提
供することにある。
め、簡便な製造プロセスにより微細パターンを形成する
ことができ、さらに機械的特性をはじめ、耐熱性、耐光
性、耐溶剤性等の諸特性の優れたカラーフィルターを提
供することにある。
［問題点を解決するための手段］及び［作用］ 即ち、本発明は、感光性を有する基を分子内に持つ、20
0℃以下にて硬化膜を得ることのできる芳香族系のポリ
アミド樹脂中に着色材料を分散してなる着色樹脂で形成
した層に露光及び現像工程を付与して得たパターン状の
着色樹脂層を有することを特徴とするカラーフィルター
である。
0℃以下にて硬化膜を得ることのできる芳香族系のポリ
アミド樹脂中に着色材料を分散してなる着色樹脂で形成
した層に露光及び現像工程を付与して得たパターン状の
着色樹脂層を有することを特徴とするカラーフィルター
である。
すなわち、本発明のカラーフィルターは、機械的特性や
耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の耐久性の良い樹脂系及び
着色材料を用いた着色樹脂層から形成されているため、
信頼性に優れた特性を有し、さらに所望の分光性をもつ
カラーフィルターを簡易に設計することが可能な上、一
般のフォトリソ工程のみの簡便な方法で微細なパターン
を形成してなるものである。
耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の耐久性の良い樹脂系及び
着色材料を用いた着色樹脂層から形成されているため、
信頼性に優れた特性を有し、さらに所望の分光性をもつ
カラーフィルターを簡易に設計することが可能な上、一
般のフォトリソ工程のみの簡便な方法で微細なパターン
を形成してなるものである。
本発明のカラーフィルターの有する着色樹脂層の材料は
200℃以下にて硬化膜の得られるもの、例えば150℃×30
分程度の熱で硬化膜を形成可能であり、特に可視光波長
域（400〜700nm）で特定の光吸収特性を持たないもの
（光透過率で90％程度以上のもの）である芳香族系のポ
リアミド樹脂が用いられる。
200℃以下にて硬化膜の得られるもの、例えば150℃×30
分程度の熱で硬化膜を形成可能であり、特に可視光波長
域（400〜700nm）で特定の光吸収特性を持たないもの
（光透過率で90％程度以上のもの）である芳香族系のポ
リアミド樹脂が用いられる。
前記芳香族系のポリアミド樹脂は、感光性の炭化水素不
飽和基を有する芳香族鎖を有するものが用いられる。
飽和基を有する芳香族鎖を有するものが用いられる。
特に、本発明における感光性を有する基としては、以下
に示す様な感光性の炭化水素不飽和基をもつ芳香族鎖で
あれば良く、例えば、 （１）安息香酸エステル類 （式中R1はCHX＝CY−COO−Ｚ−、Ｘは−Ｈ又は−C6H5、
Ｙは−Ｈ又は−CH3、Ｚは−又はエチル基又はグリシジ
ル基を示す） （２）ベンジルアクリレート類 （式中Ｙは−Ｈ又はCH3を示す） （３）ジフェニルエーテル類 （式中R2はCHX＝CY−CONH−、CH2＝CY−COO−（CH2）２
−OCO−又はCH2＝CY−COO−CH2−を１ケ以上含むもの、
X,Yは前記意義を示す） （４）カルコン類及びその他化合物鎖 （式中R3はＨ−，アルキル基、アルコキシ基を示す） 等が挙げられる。
に示す様な感光性の炭化水素不飽和基をもつ芳香族鎖で
あれば良く、例えば、 （１）安息香酸エステル類 （式中R1はCHX＝CY−COO−Ｚ−、Ｘは−Ｈ又は−C6H5、
Ｙは−Ｈ又は−CH3、Ｚは−又はエチル基又はグリシジ
ル基を示す） （２）ベンジルアクリレート類 （式中Ｙは−Ｈ又はCH3を示す） （３）ジフェニルエーテル類 （式中R2はCHX＝CY−CONH−、CH2＝CY−COO−（CH2）２
−OCO−又はCH2＝CY−COO−CH2−を１ケ以上含むもの、
X,Yは前記意義を示す） （４）カルコン類及びその他化合物鎖 （式中R3はＨ−，アルキル基、アルコキシ基を示す） 等が挙げられる。
これ等の基を分子内に持つ芳香族系のポリアミド樹脂の
例としては、リソコートPA−1000（宇部興産（株）製）
等が挙げられる。上記のポリアミド樹脂のリソコートPA
−1000の構造式を示すと、下記の通りである。
例としては、リソコートPA−1000（宇部興産（株）製）
等が挙げられる。上記のポリアミド樹脂のリソコートPA
−1000の構造式を示すと、下記の通りである。
一般にフォトリソ工程で用いられる感光性樹脂は、その
化学構造によって差はあるものの、機械的特性をはじめ
耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の耐久性に優れたものは少
ない。これに対し、上記本発明の感光性ポリアミド樹脂
は、化学構造的にも、これらの耐久性に優れた樹脂系で
あり、これらを用いて形成したカラーフィルターの耐久
性も非常に良好なものとなる。
化学構造によって差はあるものの、機械的特性をはじめ
耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の耐久性に優れたものは少
ない。これに対し、上記本発明の感光性ポリアミド樹脂
は、化学構造的にも、これらの耐久性に優れた樹脂系で
あり、これらを用いて形成したカラーフィルターの耐久
性も非常に良好なものとなる。
本発明のカラーフィルターの有する着色樹脂層を形成す
る着色材料としては、有機顔料、無機顔料、染料等のう
ち所望の分光特性を得られるものであれば、特に限定さ
れるものではない。この場合、各材料を単体で用いるこ
とも、これらのうちのいくつかの混合物として用いるこ
ともできる。ただし、染料を用いた場合には、染料自体
の耐久性により、カラーフィルターの性能が支配されて
しまうが、上記本発明の樹脂系を用いれば、通常の染色
カラーフィルターに比べ性能の優れたものが形成可能で
ある。従って、カラーフィルターの色特性及び諸性能か
ら勘案すると有機顔料が着色材料として最も好ましい。
る着色材料としては、有機顔料、無機顔料、染料等のう
ち所望の分光特性を得られるものであれば、特に限定さ
れるものではない。この場合、各材料を単体で用いるこ
とも、これらのうちのいくつかの混合物として用いるこ
ともできる。ただし、染料を用いた場合には、染料自体
の耐久性により、カラーフィルターの性能が支配されて
しまうが、上記本発明の樹脂系を用いれば、通常の染色
カラーフィルターに比べ性能の優れたものが形成可能で
ある。従って、カラーフィルターの色特性及び諸性能か
ら勘案すると有機顔料が着色材料として最も好ましい。
有機顔料としては、溶性アゾ系、不溶性アゾ系、縮合ア
ゾ系等のアゾ系顔料をはじめ、フタロシアニン系顔料，
そしてインジゴ系，アントラキノン系，ペリレン系，ペ
リノン系，ジオキサジン系，キナクリドン系，イソイン
ドリノン系，フタロン系，メチン・アゾメチン系、その
他金属錯体系を含む縮合多環系顔料、あるいはこれらの
うちのいくつかの混合物が用いられる。
ゾ系等のアゾ系顔料をはじめ、フタロシアニン系顔料，
そしてインジゴ系，アントラキノン系，ペリレン系，ペ
リノン系，ジオキサジン系，キナクリドン系，イソイン
ドリノン系，フタロン系，メチン・アゾメチン系、その
他金属錯体系を含む縮合多環系顔料、あるいはこれらの
うちのいくつかの混合物が用いられる。
本発明において、着色樹脂層を形成するために使用する
着色樹脂は、上記感光性ポリアミド樹脂溶液に所望の分
光特性を有する上記着色材料を10〜50％程度の割合で配
合し、超音波あるいは三本ロール等により充分に分散さ
せた後、フィルターにて粒径の大きいものを除去して調
製する。
着色樹脂は、上記感光性ポリアミド樹脂溶液に所望の分
光特性を有する上記着色材料を10〜50％程度の割合で配
合し、超音波あるいは三本ロール等により充分に分散さ
せた後、フィルターにて粒径の大きいものを除去して調
製する。
本発明のカラーフィルターの有する着色樹脂層は、前記
着色樹脂をスピンナー，ロールコーター等の塗布装置に
より基板上に塗布し、フォトリソ工程によりパターン状
に形成され、その層厚は所望とする分光特性に応じて決
定されるが、通常は0.5〜５μｍ程度、好ましくは、１
〜２μｍ程度が望ましい。
着色樹脂をスピンナー，ロールコーター等の塗布装置に
より基板上に塗布し、フォトリソ工程によりパターン状
に形成され、その層厚は所望とする分光特性に応じて決
定されるが、通常は0.5〜５μｍ程度、好ましくは、１
〜２μｍ程度が望ましい。
なお、本発明のカラーフィルターの有する着色樹脂層
は、それ自体充分な耐久性を有する良好な材料で構成さ
れているが、特に、より各種の環境条件から、着色樹脂
層を保護するためには、着色樹脂層表面に、ポリアミ
ド，ポリイミド，ポリウレタン，ポリカーボネート，シ
リコン系等の有機樹脂やSi3N4,SiO2,SiO,Al2O3,Ta2O3等
の無機膜をスピンコート，ロールコートの塗布法で、あ
るいは蒸着法によって、保護層として設けることができ
る。さらに、上記保護層を形成した後、材料によって
は、配向処理を施すことにより、液晶を用いたデバイス
への適用も可能となる。
は、それ自体充分な耐久性を有する良好な材料で構成さ
れているが、特に、より各種の環境条件から、着色樹脂
層を保護するためには、着色樹脂層表面に、ポリアミ
ド，ポリイミド，ポリウレタン，ポリカーボネート，シ
リコン系等の有機樹脂やSi3N4,SiO2,SiO,Al2O3,Ta2O3等
の無機膜をスピンコート，ロールコートの塗布法で、あ
るいは蒸着法によって、保護層として設けることができ
る。さらに、上記保護層を形成した後、材料によって
は、配向処理を施すことにより、液晶を用いたデバイス
への適用も可能となる。
以上説明した様な着色樹脂層を有するカラーフィルター
は適当な基板上に形成することができる。例えば、ガラ
ス板、透明樹脂板、樹脂フィルム、あるいはブラウン管
表示面、撮像管の受光面、CCD,BBD,CID,BASIS等の固体
撮像素子が形成されたウエハー、薄膜半導体を用いた密
着型イメージセンサー、液晶ディスプレー面、カラー電
子写真用感光体等があげられる。
は適当な基板上に形成することができる。例えば、ガラ
ス板、透明樹脂板、樹脂フィルム、あるいはブラウン管
表示面、撮像管の受光面、CCD,BBD,CID,BASIS等の固体
撮像素子が形成されたウエハー、薄膜半導体を用いた密
着型イメージセンサー、液晶ディスプレー面、カラー電
子写真用感光体等があげられる。
着色樹脂層と下地の基板間との接着性を更に増す必要が
ある場合には、基板上にあらかじめシランカップリング
剤等で薄く塗布した後に着色樹脂パターンを形成する
か、あるいは、あらかじめ着色樹脂中にシランカップリ
ング剤等を少量添加したものを用いてカラーフィルター
を形成することにより、一層効果的である。
ある場合には、基板上にあらかじめシランカップリング
剤等で薄く塗布した後に着色樹脂パターンを形成する
か、あるいは、あらかじめ着色樹脂中にシランカップリ
ング剤等を少量添加したものを用いてカラーフィルター
を形成することにより、一層効果的である。
以下、図面を参照しつつ、代表的な本発明のカラーフィ
ルターの形成法を説明する。
ルターの形成法を説明する。
第１図は本発明のカラーフィルターの形成法を説明する
工程図である。まず、第１図（ａ）に示すごとく、所望
の分光特性を有する着色材料を所定量配合されたポリア
ミド樹脂液（NMP溶液）を用い、第１色目の着色樹脂膜
２を所定の基板１上に、スピンナーを用い、所定の膜厚
になるように塗布形成し、適当な温度条件下でプリベー
クを行なう。次いで、第１図（ｂ）に示すごとく、感光
性着色樹脂の感度を有する光（例えば、高圧水銀灯等）
で、形成しようとするパターンに対応した所定のパター
ン形状を有するフォトマスク３を介して着色樹脂膜を露
光し、パターン部の光硬化を行なう。
工程図である。まず、第１図（ａ）に示すごとく、所望
の分光特性を有する着色材料を所定量配合されたポリア
ミド樹脂液（NMP溶液）を用い、第１色目の着色樹脂膜
２を所定の基板１上に、スピンナーを用い、所定の膜厚
になるように塗布形成し、適当な温度条件下でプリベー
クを行なう。次いで、第１図（ｂ）に示すごとく、感光
性着色樹脂の感度を有する光（例えば、高圧水銀灯等）
で、形成しようとするパターンに対応した所定のパター
ン形状を有するフォトマスク３を介して着色樹脂膜を露
光し、パターン部の光硬化を行なう。
そして第１図（ｃ）のごとく光硬化部分2aを有した着色
樹脂膜２を、未露光部分のみを溶解する溶剤（例えば、
Ｎ−メチル−２−ピロリドン系溶剤等を主成分とするも
の）にて超音波現像した後、リンス処理（例えば、1,1,
1,トリクロロエタン等を行なう。次いで、ポストベーク
処理を行ない、第１図（ｄ）のごとき本発明のパターン
状着色樹脂層４を得ることができる。
樹脂膜２を、未露光部分のみを溶解する溶剤（例えば、
Ｎ−メチル−２−ピロリドン系溶剤等を主成分とするも
の）にて超音波現像した後、リンス処理（例えば、1,1,
1,トリクロロエタン等を行なう。次いで、ポストベーク
処理を行ない、第１図（ｄ）のごとき本発明のパターン
状着色樹脂層４を得ることができる。
なお、２色以上からなる本発明のカラーフィルターを形
成する場合には、更に必要に応じて、すなわち用いられ
るフィルターの色の数に応じて、第１図（ａ）から第１
図（ｄ）までの加工を、各色に対応した着色材料を分散
させた着色樹脂液をそれぞれ用いて繰り返して行ない、
例えば、第１図（ｅ）に示した様な異なる色のパターン
状着色樹脂層4,5及び６の３色からなるカラーフィルタ
ーを形成することができる。
成する場合には、更に必要に応じて、すなわち用いられ
るフィルターの色の数に応じて、第１図（ａ）から第１
図（ｄ）までの加工を、各色に対応した着色材料を分散
させた着色樹脂液をそれぞれ用いて繰り返して行ない、
例えば、第１図（ｅ）に示した様な異なる色のパターン
状着色樹脂層4,5及び６の３色からなるカラーフィルタ
ーを形成することができる。
また、本発明のカラーフィルターは、第１図（ｆ）に示
すようにフィルター上部に、先に挙げたような材料から
形成した保護層７を有しているものであっても良い。
すようにフィルター上部に、先に挙げたような材料から
形成した保護層７を有しているものであっても良い。
［実施例］ 以下に本発明の実施例を示す。
実施例１ ガラス基板上に、所望の分光特性を得ることのできる青
色着色樹脂材「ヘリオゲン ブルー（Heliogen Blue）L
7080（商品名,BASF社製,C.I.No.74160）をリソコートPA
−1000（商品名，宇部興産社製，ポリマー分10％、溶剤
＝Ｎ−メチル−２−ピロリドン、顔料：ポリマー＝1:2
配合）に分散させ作製した感光性の着色樹脂材３］をス
ピンナー塗布法により、2.0μｍの膜厚に塗布した。次
に該着色樹脂層に80℃、30分間のプリベークを行なった
後、形成しようとするパターン形状に対応したパターン
マスクを介して高圧水銀灯にて露光した。露光終了後、
該着色樹脂膜の未露光部のみを溶解する専用現像液（Ｎ
−メチル−２−ピロリドンを主成分とする現像液）にて
超音波を使用して現像し、専用リンス液（1,1,1,トリク
ロロエタンを主成分とするリンス液）で処理した後、15
0℃、30分間のポストベークを行ない、パターン形状を
有した青色着色樹脂膜を形成した。
色着色樹脂材「ヘリオゲン ブルー（Heliogen Blue）L
7080（商品名,BASF社製,C.I.No.74160）をリソコートPA
−1000（商品名，宇部興産社製，ポリマー分10％、溶剤
＝Ｎ−メチル−２−ピロリドン、顔料：ポリマー＝1:2
配合）に分散させ作製した感光性の着色樹脂材３］をス
ピンナー塗布法により、2.0μｍの膜厚に塗布した。次
に該着色樹脂層に80℃、30分間のプリベークを行なった
後、形成しようとするパターン形状に対応したパターン
マスクを介して高圧水銀灯にて露光した。露光終了後、
該着色樹脂膜の未露光部のみを溶解する専用現像液（Ｎ
−メチル−２−ピロリドンを主成分とする現像液）にて
超音波を使用して現像し、専用リンス液（1,1,1,トリク
ロロエタンを主成分とするリンス液）で処理した後、15
0℃、30分間のポストベークを行ない、パターン形状を
有した青色着色樹脂膜を形成した。
続いて、青色着色パターンの形成されたガラス基板上
に、第２色目として緑色着色樹脂材［リオノール グリ
ーン（Lionol Green）6YK（商品名，東洋インキ社製,C.
I.No.74265）をリソコートPA−1000（商品名，宇部興産
社製，ポリマー分10％、溶剤＝Ｎ−メチル−２−ピロリ
ドン、顔料：ポリマー＝1:2配合）に分散させ作製した
感光性の着色樹脂材３］を用いる以外は、上記と同様に
して、緑色着色パターンを基板上の所定の位置に形成し
た。
に、第２色目として緑色着色樹脂材［リオノール グリ
ーン（Lionol Green）6YK（商品名，東洋インキ社製,C.
I.No.74265）をリソコートPA−1000（商品名，宇部興産
社製，ポリマー分10％、溶剤＝Ｎ−メチル−２−ピロリ
ドン、顔料：ポリマー＝1:2配合）に分散させ作製した
感光性の着色樹脂材３］を用いる以外は、上記と同様に
して、緑色着色パターンを基板上の所定の位置に形成し
た。
さらに、この様にして青色及び緑色パターンの形成され
ている基板上に、第３色目として、赤色着色樹脂材［イ
ルガジン レッド（Irgazin Red）BPT（商品名，チバガ
イギー（Ciba−Geigy）社製,C.I.No.71127）をリソコー
トPA−1000（商品名，宇部興産社製，ポリマー分10％、
溶剤＝Ｎ−メチル−２−ピロリドン、顔料：ポリマー＝
1:2配合）に分散させ作製した感光性の着色樹脂材３］
を用いる以外は、上記と同様にして、赤色着色パターン
を基板上の所定の位置に形成し、Ｒ（赤）,G（緑）,B
（青）の３色ストライプの着色パターンを得た。
ている基板上に、第３色目として、赤色着色樹脂材［イ
ルガジン レッド（Irgazin Red）BPT（商品名，チバガ
イギー（Ciba−Geigy）社製,C.I.No.71127）をリソコー
トPA−1000（商品名，宇部興産社製，ポリマー分10％、
溶剤＝Ｎ−メチル−２−ピロリドン、顔料：ポリマー＝
1:2配合）に分散させ作製した感光性の着色樹脂材３］
を用いる以外は、上記と同様にして、赤色着色パターン
を基板上の所定の位置に形成し、Ｒ（赤）,G（緑）,B
（青）の３色ストライプの着色パターンを得た。
このようにして形成された３色カラーフィルターの分光
特性を第２図に示す。
特性を第２図に示す。
得られたカラーフィルターは耐熱性に優れ、250℃以上
の温度にも耐え、これによりCF（カラーフィルター）上
にITOのスパッタによる形成が可能となる。
の温度にも耐え、これによりCF（カラーフィルター）上
にITOのスパッタによる形成が可能となる。
また、硬度が高く機械的特性が優れ、液晶セル内にスペ
ーサーと接する形でCFを構成したものでも圧着時にCFが
破損したりしない。さらに、耐溶剤性に優れ、硬化後は
各溶剤に強く、各生産プロセス工程中に変化することが
なく、また耐光性にも優れたものである。
ーサーと接する形でCFを構成したものでも圧着時にCFが
破損したりしない。さらに、耐溶剤性に優れ、硬化後は
各溶剤に強く、各生産プロセス工程中に変化することが
なく、また耐光性にも優れたものである。
比較例１ 実施例１において、感光性の着色ポリアミド樹脂を用い
る代りに、非感光性の着色ポリイミド樹脂を用いて３色
カラーフィルターを形成した。
る代りに、非感光性の着色ポリイミド樹脂を用いて３色
カラーフィルターを形成した。
すなわち、ガラス基板上に青色着色ポリイミド樹脂材
［ヘリオゲン ブルー（Heliogen Biue）L7080（商品
名,BASF社製,C.I.No.74160）をセミコファインSP−780
（商品名，東レ社製，固形分17.5％、顔料：ポリマー＝
1:2配合）に分散させ作成した着色樹脂材］をスピンナ
ー塗布法により、2.0μｍの膜圧に塗布した。次に、該
着色樹脂層を150℃で30分間乾燥した後、200℃で30分間
加熱した。その後、該青色層上にポジ型レジスト［OFPR
−２（商品名，東京応化社製）］をスピンナー塗布し、
80℃、20分間のプリベーク後、形成しようとするパター
ン形状に対応したパターンマスクを介して高圧水銀灯に
て露光した。露光終了後、アルカリ現像液でレジストを
現像するとともに、該青色層をエッチングし、続いてア
セトンにてレジスト剥離を行い、250℃、30分間の加熱
焼成によりパターン形状を有した青色着色樹脂膜を形成
した。
［ヘリオゲン ブルー（Heliogen Biue）L7080（商品
名,BASF社製,C.I.No.74160）をセミコファインSP−780
（商品名，東レ社製，固形分17.5％、顔料：ポリマー＝
1:2配合）に分散させ作成した着色樹脂材］をスピンナ
ー塗布法により、2.0μｍの膜圧に塗布した。次に、該
着色樹脂層を150℃で30分間乾燥した後、200℃で30分間
加熱した。その後、該青色層上にポジ型レジスト［OFPR
−２（商品名，東京応化社製）］をスピンナー塗布し、
80℃、20分間のプリベーク後、形成しようとするパター
ン形状に対応したパターンマスクを介して高圧水銀灯に
て露光した。露光終了後、アルカリ現像液でレジストを
現像するとともに、該青色層をエッチングし、続いてア
セトンにてレジスト剥離を行い、250℃、30分間の加熱
焼成によりパターン形状を有した青色着色樹脂膜を形成
した。
次に、青色着色パターンの形成されたガラス基板上に第
２色目として緑色着色ポリミイド樹脂材［リオノール
グリーン（Lionol Green）6YK（商品名，東洋インキ社
製,C.I.No.74265）をセミコファイン（商品名，東レ社
製，固形分17.5％、顔料：ポリマー＝1:2配合）に分散
させ作成した着色樹脂材］を用いる以外は、上記と同様
にして、緑色着色パターンを基板上の所定の位置に形成
した。
２色目として緑色着色ポリミイド樹脂材［リオノール
グリーン（Lionol Green）6YK（商品名，東洋インキ社
製,C.I.No.74265）をセミコファイン（商品名，東レ社
製，固形分17.5％、顔料：ポリマー＝1:2配合）に分散
させ作成した着色樹脂材］を用いる以外は、上記と同様
にして、緑色着色パターンを基板上の所定の位置に形成
した。
さらに、この様にして青色及び緑色パターンの形成され
ている基板上に第３色目として、赤色着色ポリイミド樹
脂材［イルガジン レッド（Irgazin Red）BPT（商品
名，チバガイギー（Ciba−Geigy社製,C.I.No.71127）を
セミコファイン（商品名，東レ社製，固形分17.5％、顔
料：ポリマー＝1:2配合）に分散させ作成した着色樹脂
材］を用いる以外は、上記と同様にして、赤色着色パタ
ーンを基板上の所定の位置に形成し、Ｒ（赤）、Ｇ
（緑）、Ｂ（青）の３色ストライプの着色パターンを得
た。
ている基板上に第３色目として、赤色着色ポリイミド樹
脂材［イルガジン レッド（Irgazin Red）BPT（商品
名，チバガイギー（Ciba−Geigy社製,C.I.No.71127）を
セミコファイン（商品名，東レ社製，固形分17.5％、顔
料：ポリマー＝1:2配合）に分散させ作成した着色樹脂
材］を用いる以外は、上記と同様にして、赤色着色パタ
ーンを基板上の所定の位置に形成し、Ｒ（赤）、Ｇ
（緑）、Ｂ（青）の３色ストライプの着色パターンを得
た。
このようにして形成された３色カラーフィルターは、本
発明の製造プロセスに対し、パターニング用のレジスト
工程が各色形成毎に必要である為、非常に煩雑であり生
産性に劣った方法であった。
発明の製造プロセスに対し、パターニング用のレジスト
工程が各色形成毎に必要である為、非常に煩雑であり生
産性に劣った方法であった。
さらに、本発明の透明性の良好なポリアミド樹脂に対し
ポリイミド樹脂自体の黄色着色により、青色着色パター
ンに濁りをもった色特性になった。
ポリイミド樹脂自体の黄色着色により、青色着色パター
ンに濁りをもった色特性になった。
実施例２ 薄膜トランジスターを基板として、該基板上に本発明の
カラーフィルターを形成してなるカラー液晶表示素子の
作製を以下のようにして実施した。
カラーフィルターを形成してなるカラー液晶表示素子の
作製を以下のようにして実施した。
まず第３図（ａ）に示すように、ガラス基板（商品名:7
059、コーニング社製）１上に1000Åの層厚のI.T.O画素
電極11をフォトリソ工程におり所望のパターンに成形し
た後、この面に更にAlを1000Åの層厚に真空蒸着し、こ
の蒸着層をフォトリソ工程により所望の形状にパターニ
ングして第３図（ｂ）に示すようなゲート電極12を形成
した。
059、コーニング社製）１上に1000Åの層厚のI.T.O画素
電極11をフォトリソ工程におり所望のパターンに成形し
た後、この面に更にAlを1000Åの層厚に真空蒸着し、こ
の蒸着層をフォトリソ工程により所望の形状にパターニ
ングして第３図（ｂ）に示すようなゲート電極12を形成
した。
続いて、感光性ポリイミド（商品名：セミコファイン、
東レ社製）を前記電極の設けられた基板１面上に塗布し
絶縁層13を形成し、パターン露光及び現像処理によって
ドレイン電極18と画素電極11とのコンタクト部を構成す
るスルーホール14を第３図（ｃ）に示すように形成し
た。
東レ社製）を前記電極の設けられた基板１面上に塗布し
絶縁層13を形成し、パターン露光及び現像処理によって
ドレイン電極18と画素電極11とのコンタクト部を構成す
るスルーホール14を第３図（ｃ）に示すように形成し
た。
ここで、基板１を堆積槽内の所定の位置にセットし、堆
積槽内にH2で希釈されらSiH4を導入し、真空中でグロー
放電法により、前記電極11,12及び絶縁層13の設けられ
た基板１全面に2000Åの層厚のａ−Siからなる光導電層
（イントリンシック層）15を堆積させた後、この光導電
層15上に引続き同様の操作によって、1000Åの層厚のn+
層16を第３図（ｄ）に示したように積層した。この基板
１を堆積槽から取り出し、前記n+層16及び光導電層15の
それぞれを、この順にドライエッチング法により所望の
形状に第３図（ｅ）に示したようにパターンニングし
た。
積槽内にH2で希釈されらSiH4を導入し、真空中でグロー
放電法により、前記電極11,12及び絶縁層13の設けられ
た基板１全面に2000Åの層厚のａ−Siからなる光導電層
（イントリンシック層）15を堆積させた後、この光導電
層15上に引続き同様の操作によって、1000Åの層厚のn+
層16を第３図（ｄ）に示したように積層した。この基板
１を堆積槽から取り出し、前記n+層16及び光導電層15の
それぞれを、この順にドライエッチング法により所望の
形状に第３図（ｅ）に示したようにパターンニングし
た。
次に、このようにして光導電層15及びn+層16が設けられ
ている基板面に、Alを1000Åの層厚で真空蒸着した後、
このAl蒸着層をフォトリソ工程により所望の形状にパタ
ーンニングして、第３図（ｆ）に示すようなソース電極
17及びドレイン電極18を形成した。
ている基板面に、Alを1000Åの層厚で真空蒸着した後、
このAl蒸着層をフォトリソ工程により所望の形状にパタ
ーンニングして、第３図（ｆ）に示すようなソース電極
17及びドレイン電極18を形成した。
最後に、画素電極11のそれぞれに対応させて、実施例１
と同様な方法により赤、青及び緑の３色の着色パターン
を第３図（ｇ）に示すように形成した後、第３図（ｈ）
の如くこの基板面全面に配向機能を付与した絶縁膜22と
してのポリイミド樹脂を1200Åの層厚に塗布し、250
℃、１時間の加熱処理によって樹脂の硬化を行ないカラ
ーフィルターが一体化された薄膜トランジスターを作製
した。
と同様な方法により赤、青及び緑の３色の着色パターン
を第３図（ｇ）に示すように形成した後、第３図（ｈ）
の如くこの基板面全面に配向機能を付与した絶縁膜22と
してのポリイミド樹脂を1200Åの層厚に塗布し、250
℃、１時間の加熱処理によって樹脂の硬化を行ないカラ
ーフィルターが一体化された薄膜トランジスターを作製
した。
このように作製されたカラーフィルター付き薄膜トラン
ジスターを用いて更に、カラー用液晶表示素子を形成し
た。
ジスターを用いて更に、カラー用液晶表示素子を形成し
た。
すなわち、ガラス基板（商品名:7059、コーニング社
製）の一面に前記の方法と同様にして、1000ÅのI.T.O
電極層を形成し、更に該電極層上に配向機能を付与した
ポリイミド樹脂からなる層厚1200Åの絶縁層を形成し、
この基板と先に形成したカラーフィルター付き薄膜トラ
ンジスターとの間に液晶を封入して全体を固定して、カ
ラー用液晶表示素子を得た。
製）の一面に前記の方法と同様にして、1000ÅのI.T.O
電極層を形成し、更に該電極層上に配向機能を付与した
ポリイミド樹脂からなる層厚1200Åの絶縁層を形成し、
この基板と先に形成したカラーフィルター付き薄膜トラ
ンジスターとの間に液晶を封入して全体を固定して、カ
ラー用液晶表示素子を得た。
このようにして形成されたカラー用液晶表示素子は、良
好な機能を有するものであった。
好な機能を有するものであった。
実施例３ ３色カラーフィルターを画素電極上に設ける代わりに、
対向電極上に設ける以外は実施例２と同様にして、本発
明のカラーフィルターを有するカラー用液晶表示素子を
得た。
対向電極上に設ける以外は実施例２と同様にして、本発
明のカラーフィルターを有するカラー用液晶表示素子を
得た。
このようにして形成されたカラー用液晶表示素子は、良
好な機能を有するものである。
好な機能を有するものである。
実施例４ ３色カラーフィルターをまず対向基板上に形成した後
に、対向電極を設ける以外は実施例２と同様にして、本
発明のカラーフィルターを有するカラー用液晶表示素子
を得た。
に、対向電極を設ける以外は実施例２と同様にして、本
発明のカラーフィルターを有するカラー用液晶表示素子
を得た。
この様にして形成されたカラー用液晶表示素子は良好な
機能を有するものであった。
機能を有するものであった。
比較例２ 実施例１において、感光性の着色ポリアミド樹脂を用い
る代りに、重クロム酸アンモニウムを架橋剤として含
む、ポリビニルアルコール樹脂を用いて実施例４の構成
にて３色カラーフィルターを形成した。
る代りに、重クロム酸アンモニウムを架橋剤として含
む、ポリビニルアルコール樹脂を用いて実施例４の構成
にて３色カラーフィルターを形成した。
すなわち、該感光性を有する青色着色材をスピンナーに
より塗布し、90℃、10分間乾燥した後、通常の方法によ
り露光現像し、150℃で30分間加熱処理により、パター
ン形状を有した青色着色樹脂膜を形成した。
より塗布し、90℃、10分間乾燥した後、通常の方法によ
り露光現像し、150℃で30分間加熱処理により、パター
ン形状を有した青色着色樹脂膜を形成した。
続いて、同様の方法にて緑色着色パターン、赤色着色パ
ターンを所定の位置に形成して、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、
Ｂ（青）の３色ストライプパターンを得た。
ターンを所定の位置に形成して、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、
Ｂ（青）の３色ストライプパターンを得た。
この様に形成された３色カラーフィルター上に、透明導
電膜をスパッタにより形成しようとしたところ、該着色
樹脂の耐熱性の低さから、着色樹脂が変退色してしまっ
た。
電膜をスパッタにより形成しようとしたところ、該着色
樹脂の耐熱性の低さから、着色樹脂が変退色してしまっ
た。
実施例５ CCD（チャージ、カップルド、デバイス）の形成された
ウエハーを基板として用い、CCDの有する各受光セルに
対応して、カラーフィルターの有する各着色パターンが
配置されるように、３色ストライプカラーフィルターを
形成する以外は、実施例１と同様にして本発明のカラー
フィルターを有するカラー固体撮像素子を形成した。
ウエハーを基板として用い、CCDの有する各受光セルに
対応して、カラーフィルターの有する各着色パターンが
配置されるように、３色ストライプカラーフィルターを
形成する以外は、実施例１と同様にして本発明のカラー
フィルターを有するカラー固体撮像素子を形成した。
このようにして形成されたカラー固体撮像素子は、良好
な機能を有するものであった。
な機能を有するものであった。
実施例６ CCD（チャージ、カップルド、デバイス）の形成された
ウエハーに、実施例１に於いて形成したカラーフィルタ
ーを、CCDの有する各受光セルに対応して、カラーフィ
ルターの有する各着色パターンが配置されるように位置
合わせをして貼着し、カラー固体撮像素子を形成した。
ウエハーに、実施例１に於いて形成したカラーフィルタ
ーを、CCDの有する各受光セルに対応して、カラーフィ
ルターの有する各着色パターンが配置されるように位置
合わせをして貼着し、カラー固体撮像素子を形成した。
このようにして形成されたカラー固体撮像素子は、良好
な機能を有するものであった。
な機能を有するものであった。
実施例７ 第４図の部分平面概略図に示すような本発明のカラーフ
ィルターを有するカラー用フォトセンサーアレイの形成
を第５図に示した工程に従って以下のように実施した。
ィルターを有するカラー用フォトセンサーアレイの形成
を第５図に示した工程に従って以下のように実施した。
まず、ガラス基板（商品名:7059、コーニング社製）１
の上にグロー放電法によってａ−Si（アモルファスシリ
コン）層からなる光導電層（イントリンシック層）15を
第５図（ａ）に示すように設けた。
の上にグロー放電法によってａ−Si（アモルファスシリ
コン）層からなる光導電層（イントリンシック層）15を
第５図（ａ）に示すように設けた。
すなわち、H2で10容量％に希釈されたSiH4をガス圧0.50
Torr、RF（Radio Frequency）パワー10W、基板温度250
℃で２時間基板上に堆積させることによって0.7μｍの
膜厚の光導電層15を得た。
Torr、RF（Radio Frequency）パワー10W、基板温度250
℃で２時間基板上に堆積させることによって0.7μｍの
膜厚の光導電層15を得た。
続いて、この光導電層15上にグロー放電法により第５図
（ｂ）に示すようにn+層16を設けた。
（ｂ）に示すようにn+層16を設けた。
すなわち、H2で10容量％に希釈されたSiH4と、H2で100p
pmに希釈されたPH3とを1:10で混合したガスを原料とし
て用い、その他は、先の光導電層の堆積条件と同様にし
て光導電層15に連続して、0.1μｍの層厚のn+層16を設
けた。
pmに希釈されたPH3とを1:10で混合したガスを原料とし
て用い、その他は、先の光導電層の堆積条件と同様にし
て光導電層15に連続して、0.1μｍの層厚のn+層16を設
けた。
次に、第５図（ｃ）に示すように電子ビーム蒸着法でAl
を0.3μｍの層厚にn+層16上に堆積させて、導電層19を
堆積した。続いて、第５図（ｄ）に示すように導電層19
の光変換部となる部分に相当する部分を除去した。
を0.3μｍの層厚にn+層16上に堆積させて、導電層19を
堆積した。続いて、第５図（ｄ）に示すように導電層19
の光変換部となる部分に相当する部分を除去した。
すなわち、ポジ型のマイクロポジット1300−27（商品
名、Shipley社製）フォトレジストを用いて所望の形状
にフォトレジストパターンを形成した後、リン酸（85容
量％水溶液）、硝酸（60容量％水溶液）、氷酢酸及び水
を16:1:2:1の割合で混合したエッチング溶液を用いて露
出部（レジストパターンの設けられていない部分）の導
電層19を基板上から除去し、共通電極21及び個別電極20
を形成した。
名、Shipley社製）フォトレジストを用いて所望の形状
にフォトレジストパターンを形成した後、リン酸（85容
量％水溶液）、硝酸（60容量％水溶液）、氷酢酸及び水
を16:1:2:1の割合で混合したエッチング溶液を用いて露
出部（レジストパターンの設けられていない部分）の導
電層19を基板上から除去し、共通電極21及び個別電極20
を形成した。
次に、光変換部となる部分のn+層16を第５図（ｅ）に示
すように除去した。
すように除去した。
すなわち、上記マイクロポジット1300−27フォトレジス
トを基板から剥離した後、平行平板型プラズマエッチン
グ装置DEM−451（日電アネルバ社製）を用いたプラズマ
エッチング法（別名リアクティブイオンエッチング法）
でRFパワー120W、ガス圧0.1TorrでCF4ガスによるドライ
エッチングを５分間行ない、露出部のn+層16及び光導電
層15の表面層の一部を基板から除去した。
トを基板から剥離した後、平行平板型プラズマエッチン
グ装置DEM−451（日電アネルバ社製）を用いたプラズマ
エッチング法（別名リアクティブイオンエッチング法）
でRFパワー120W、ガス圧0.1TorrでCF4ガスによるドライ
エッチングを５分間行ない、露出部のn+層16及び光導電
層15の表面層の一部を基板から除去した。
なお、本実施例では、エッチング装置のカソード材料の
インプランテーションを防止するために、カソード上に
ポリシリコンのスパッタ用ターゲット（８インチ、純度
99.999％）を置き、その上に試料をのせ、カソード材料
のSUSが露出する部分はドーナッツ状に切抜いたテフロ
ンシートでカバーし、SUS面がほとんどブラズマでさら
されない状態でエッチングを行なった。その後、窒素を
３/minの速度で流したオーブン内で20℃、60分の熱処
理を行なった。
インプランテーションを防止するために、カソード上に
ポリシリコンのスパッタ用ターゲット（８インチ、純度
99.999％）を置き、その上に試料をのせ、カソード材料
のSUSが露出する部分はドーナッツ状に切抜いたテフロ
ンシートでカバーし、SUS面がほとんどブラズマでさら
されない状態でエッチングを行なった。その後、窒素を
３/minの速度で流したオーブン内で20℃、60分の熱処
理を行なった。
こうして作製されたフォトセンサーアレイの表面に、次
に保護層を以下のようにして形成した。
に保護層を以下のようにして形成した。
すなわち、フォトセンサーアレイ上にグロー放電法によ
って保護層７としてのシリコンナイトライド層を形成し
た。
って保護層７としてのシリコンナイトライド層を形成し
た。
すなわち、H2で10容量％の希釈されたSiH4と100％NH3を
1:4の流量比で混合した混合ガスを用い、その他は先の
ａ−Si層を形成したのと同様にして、0.5μｍの層厚の
シリコンナイトライド（ａ−SiNH）層からなる保護層７
を第５図（ｆ）に示すように形成した。
1:4の流量比で混合した混合ガスを用い、その他は先の
ａ−Si層を形成したのと同様にして、0.5μｍの層厚の
シリコンナイトライド（ａ−SiNH）層からなる保護層７
を第５図（ｆ）に示すように形成した。
更に、この保護層７を基板として、実施例１と同様にし
て、青５、緑４、赤６の３色の着色パターンからなるカ
ラーフィルターを形成し、第４図に示すように、各フォ
トセンサー上にそれぞれ着色フィルターが配置されたカ
ラーフォトセンサーアレイを形成した。
て、青５、緑４、赤６の３色の着色パターンからなるカ
ラーフィルターを形成し、第４図に示すように、各フォ
トセンサー上にそれぞれ着色フィルターが配置されたカ
ラーフォトセンサーアレイを形成した。
本実施例に於いて形成されたカラーフォトセンサーアレ
イに於いても、良好な機能を有するものであった。
イに於いても、良好な機能を有するものであった。
実施例８ 実施例１に於いて形成したカラーフィルターを、接着剤
を用いて、実施例７に於いて形成したフォトセンサーア
レイ上に貼着することによりカラーフォトセンサーアレ
イを形成した。
を用いて、実施例７に於いて形成したフォトセンサーア
レイ上に貼着することによりカラーフォトセンサーアレ
イを形成した。
本実施例に於いて形成したカラーフォトセンサーも実施
例７に於いて形成したものと同様に、良好な機能を有す
るものであった。
例７に於いて形成したものと同様に、良好な機能を有す
るものであった。
［発明の効果］ 本発明によれば、感光性基を分子内に有する芳香族系ポ
リアミド樹脂に着色材料が分散されてなる着色樹脂材を
用い、通常のフォトリソ工程のみにより形成されるパタ
ーン形状の着色樹脂層を有するため、以下の様な効果が
得られる。
リアミド樹脂に着色材料が分散されてなる着色樹脂材を
用い、通常のフォトリソ工程のみにより形成されるパタ
ーン形状の着色樹脂層を有するため、以下の様な効果が
得られる。
すなわち、機械的強度にも優れ、かつ、耐熱性、耐光
性、耐溶剤性等の諸特性に優れた微細パターンを有する
カラーフィルターが、簡便に作製できる着色樹脂材を用
い、簡便な製造工程により作製することが可能となっ
た。従って、性能の良好なカラーフィルターを必要とす
る広範囲な各種デバイスへの応用が可能となり、諸特性
の優れたカラーデバイスを作製することが可能となっ
た。
性、耐溶剤性等の諸特性に優れた微細パターンを有する
カラーフィルターが、簡便に作製できる着色樹脂材を用
い、簡便な製造工程により作製することが可能となっ
た。従って、性能の良好なカラーフィルターを必要とす
る広範囲な各種デバイスへの応用が可能となり、諸特性
の優れたカラーデバイスを作製することが可能となっ
た。
さらに本発明によれば、着色樹脂中の着色材の種類や濃
度と着色樹脂層の厚さをコントロールすることで容易に
所望の分光特性を設計することが可能である。
度と着色樹脂層の厚さをコントロールすることで容易に
所望の分光特性を設計することが可能である。
第１図（ａ）〜（ｆ）は本発明のカラーフィルターの形
成法を説明するための工程図、第２図は実施例１に於い
て得られた本発明のカラーフィルターの有する着色樹脂
層の分光透過率を示すグラフ、第３図（ａ）〜（ｈ）は
本発明のカラーフィルターを有するカラー用液晶表示素
子の製造工程図、第４図は本発明のカラーフィルターを
有するカラー用フォトセンサーアレイの模式的平面部分
図、第５図（ａ）〜（ｇ）は、第４図に示したカラー用
フォトセンサーアレイの形成工程図である。 1:基板、2:着色樹脂膜 2a:光硬化部分、3:フォトマスク 4,5,6:パターン状着色樹脂層 7:保護層 8:赤色着色樹脂層の分光特性 9:緑色着色樹脂層の分光特性 10:青色着色樹脂層の分光特性 11:画素電極、12:ゲート電極 13:絶縁層、14:スルホール 15:光導電層、16:n+層 17:ソース電極、18:ドレイン電極 19:導電層、20:個別電極 21:共通電極、22:絶縁膜
成法を説明するための工程図、第２図は実施例１に於い
て得られた本発明のカラーフィルターの有する着色樹脂
層の分光透過率を示すグラフ、第３図（ａ）〜（ｈ）は
本発明のカラーフィルターを有するカラー用液晶表示素
子の製造工程図、第４図は本発明のカラーフィルターを
有するカラー用フォトセンサーアレイの模式的平面部分
図、第５図（ａ）〜（ｇ）は、第４図に示したカラー用
フォトセンサーアレイの形成工程図である。 1:基板、2:着色樹脂膜 2a:光硬化部分、3:フォトマスク 4,5,6:パターン状着色樹脂層 7:保護層 8:赤色着色樹脂層の分光特性 9:緑色着色樹脂層の分光特性 10:青色着色樹脂層の分光特性 11:画素電極、12:ゲート電極 13:絶縁層、14:スルホール 15:光導電層、16:n+層 17:ソース電極、18:ドレイン電極 19:導電層、20:個別電極 21:共通電極、22:絶縁膜
フロントページの続き (72)発明者 関村 信行 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−237441（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−129707（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−78401（ＪＰ，Ａ)
Claims (7)
- 【請求項１】感光性を有する基を分子内に持つ、200℃
以下にて硬化膜を得ることのできる芳香族系のポリアミ
ド樹脂中に着色材料を分散してなる着色樹脂で形成した
層に露光及び現像工程を付与して得たパターン状の着色
樹脂層を有することを特徴とするカラーフィルター。 - 【請求項２】前記着色樹脂層が基板上に設けられたパタ
ーン状の着色樹脂層である特許請求の範囲第１項記載の
カラーフィルター。 - 【請求項３】前記着色樹脂層が基板上に感光性基を有す
る着色樹脂膜を塗布形成した後、所定のマスクにて露
光、現像することにより形成したパターン状の着色樹脂
層である特許請求の範囲第１項記載のカラーフィルタ
ー。 - 【請求項４】前記基板が表示装置の表示部である特許請
求の範囲第２項または第３項記載のカラーフィルター。 - 【請求項５】前記基板が固体撮像素子である特許請求の
範囲第２項または第３項記載のカラーフィルター。 - 【請求項６】前記基板がイメージセンサーの受光面であ
る特許請求の範囲第２項または第３項記載のカラーフィ
ルター。 - 【請求項７】前記芳香族系ポリアミド樹脂は、感光性の
炭化水素不飽和基を有する芳香族鎖を有するものである
特許請求の範囲第１項記載のカラーフィルター。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61060614A JPH07113685B2 (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | カラーフィルター |
| US07/027,308 US4802743A (en) | 1986-03-20 | 1987-03-18 | Liquid crystal device having color filters wherein the color filters formed from a polyamino resin containing coloring materials |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61060614A JPH07113685B2 (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | カラーフィルター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62218902A JPS62218902A (ja) | 1987-09-26 |
| JPH07113685B2 true JPH07113685B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=13147323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61060614A Expired - Fee Related JPH07113685B2 (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | カラーフィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07113685B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60129707A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-11 | Agency Of Ind Science & Technol | カラーフィルター，カラー液晶表示装置およびそれらの製造方法 |
| JPH0812419B2 (ja) * | 1984-05-10 | 1996-02-07 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルターの形成法 |
-
1986
- 1986-03-20 JP JP61060614A patent/JPH07113685B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62218902A (ja) | 1987-09-26 |
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Legal Events
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