JPS63191102A - カラ−フイルタ− - Google Patents
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- JPS63191102A JPS63191102A JP62022459A JP2245987A JPS63191102A JP S63191102 A JPS63191102 A JP S63191102A JP 62022459 A JP62022459 A JP 62022459A JP 2245987 A JP2245987 A JP 2245987A JP S63191102 A JPS63191102 A JP S63191102A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はカラーフィルターに関するもので、特にカラー
撮像素子やカラーセンサー及びカラーディスプレーなど
の微細色分解用として好適なカラーフィルターに関する
ものである。
撮像素子やカラーセンサー及びカラーディスプレーなど
の微細色分解用として好適なカラーフィルターに関する
ものである。
[従来の技術]
従来、カラーフィルターとしては、基板上にゼラチン、
カゼイン、グリユーあるいはポリビニルアルコールなど
の親水性高分子物質からなる媒染層を設け、その媒染層
を色素で染色して着色層を形成する染色カラーフィルタ
ーか知られている。
カゼイン、グリユーあるいはポリビニルアルコールなど
の親水性高分子物質からなる媒染層を設け、その媒染層
を色素で染色して着色層を形成する染色カラーフィルタ
ーか知られている。
このような染色法では、使用可能な染料が多くフィルタ
ーとして要求される分光特性への対応が比較的容易であ
るが、媒染層の染色工程に、染料を溶解させた染色浴中
に媒染層を浸漬するというコントロールの難しい湿式1
程を採用しており、また各色毎に防染用の中間層を設け
るといった複雑な工程を有するため歩留りか悪いといっ
た欠点を有している。また染色可能な色素の耐熱性が1
50℃程度以下と比較的低く、該フィルターに熱的処理
を必要とする場合には、使用が困難である上、染色膜自
体の耐熱性、耐光性等の信頼性が劣るといった欠点も有
している。
ーとして要求される分光特性への対応が比較的容易であ
るが、媒染層の染色工程に、染料を溶解させた染色浴中
に媒染層を浸漬するというコントロールの難しい湿式1
程を採用しており、また各色毎に防染用の中間層を設け
るといった複雑な工程を有するため歩留りか悪いといっ
た欠点を有している。また染色可能な色素の耐熱性が1
50℃程度以下と比較的低く、該フィルターに熱的処理
を必要とする場合には、使用が困難である上、染色膜自
体の耐熱性、耐光性等の信頼性が劣るといった欠点も有
している。
これに対し、従来、ある種の着色材料か透明樹脂中に分
散されてなる着色樹脂を用いたカラーフィルターか知ら
れている。
散されてなる着色樹脂を用いたカラーフィルターか知ら
れている。
例えば、特開昭58−46325号公報、特開昭60−
78401号公報、特開昭60−184202号公報、
特開昭60−18420:1号公報、特開昭60−18
4204号公報、特開昭60−184205号公報等に
示されている様に、ポリアミノ系樹脂に着色材を混合し
た着色樹脂材を用い、印刷による方法、あるいは着色樹
脂膜上にレジストによるマスクを設けた後に、該着色樹
脂膜をエツチングする方法により、カラーフィルターを
形成することかできる。
78401号公報、特開昭60−184202号公報、
特開昭60−18420:1号公報、特開昭60−18
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示されている様に、ポリアミノ系樹脂に着色材を混合し
た着色樹脂材を用い、印刷による方法、あるいは着色樹
脂膜上にレジストによるマスクを設けた後に、該着色樹
脂膜をエツチングする方法により、カラーフィルターを
形成することかできる。
また、特開昭57−16407号公報、特開昭57−7
4707号公報、特開昭60−129707号公報等に
示されている様に、感光性樹脂に着色材を混合した着色
樹脂材を用い、フォトリソ工程による方法にてカラーフ
ィルターを形成することかできる。
4707号公報、特開昭60−129707号公報等に
示されている様に、感光性樹脂に着色材を混合した着色
樹脂材を用い、フォトリソ工程による方法にてカラーフ
ィルターを形成することかできる。
これらのカラーフィルターは前記染色カラーフィルター
に比べて、信頼性の高い材料を用いることができる上、
比較的簡便な方法で形成することかでき、有用なカラー
フィルターといえる。
に比べて、信頼性の高い材料を用いることができる上、
比較的簡便な方法で形成することかでき、有用なカラー
フィルターといえる。
しかしながら、この様な着色材料と樹脂により構成され
た着色樹脂を用いて形成したカラーフィルターにおいて
は、その形成プロセス、あるいは各種のデバイスを形成
するプロセス等における加熱処理のくり返しにより、着
色材料と樹脂の熱膨張率の違いから、着色材料の周囲に
微細な空気層か形成され、これによりカラーフィルター
の入射光に対する散乱か多くなり、透過率の低下及び分
光特性のブロード化か生じ、光学的特性上の問題か残さ
れていた。
た着色樹脂を用いて形成したカラーフィルターにおいて
は、その形成プロセス、あるいは各種のデバイスを形成
するプロセス等における加熱処理のくり返しにより、着
色材料と樹脂の熱膨張率の違いから、着色材料の周囲に
微細な空気層か形成され、これによりカラーフィルター
の入射光に対する散乱か多くなり、透過率の低下及び分
光特性のブロード化か生じ、光学的特性上の問題か残さ
れていた。
さらに、場合によっては、この空隙により、カラーフィ
ルターの強度的特性にも影響を及ぼすことがあり、例え
ば、カラー液晶デバイスでカラーフィルターをセル内部
に配置し、スペーサーを介してセル組みする場合などに
、カラーフィルターかスベサーにより破壊され、欠陥を
生ずることもあった。
ルターの強度的特性にも影響を及ぼすことがあり、例え
ば、カラー液晶デバイスでカラーフィルターをセル内部
に配置し、スペーサーを介してセル組みする場合などに
、カラーフィルターかスベサーにより破壊され、欠陥を
生ずることもあった。
[発明が解決しようとする問題点]
本発明は、上述の従来例のもつ欠点を解消せしめ、カラ
ーフィルタ一層内に発生する空気層による光散乱を無く
し、透過率を高め、かつシャープな分光特性をもつカラ
ーフィルターを得ると共に機械的特性をはじめとして、
耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の緒特性の優れたカラーフ
ィルターを提供することを目的とするものである。
ーフィルタ一層内に発生する空気層による光散乱を無く
し、透過率を高め、かつシャープな分光特性をもつカラ
ーフィルターを得ると共に機械的特性をはじめとして、
耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の緒特性の優れたカラーフ
ィルターを提供することを目的とするものである。
[問題点を解決するための手段]
すなわち、本発明は、樹脂と着色材料よりなる複数色の
パターン状の着色樹脂層を有するカラーフィルターにお
いて、樹脂の熱膨張係数をαR(1/deg ) 、着
色材料の熱膨張係数をα。
パターン状の着色樹脂層を有するカラーフィルターにお
いて、樹脂の熱膨張係数をαR(1/deg ) 、着
色材料の熱膨張係数をα。
(1/deg )とした場合、α□≦α。の関係からな
ることを特徴とするカラーフィルターである。
ることを特徴とするカラーフィルターである。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明のカラーフィルターを構成する樹脂としては、そ
の熱膨張係数か着色材料の熱膨張係数と等しいが、又は
それ以下のものであればよいが、カラーフィルターとし
ての必要性能及びその形成プロセス等の観点から、特に
以下に挙げるものを用いることか好ましい。
の熱膨張係数か着色材料の熱膨張係数と等しいが、又は
それ以下のものであればよいが、カラーフィルターとし
ての必要性能及びその形成プロセス等の観点から、特に
以下に挙げるものを用いることか好ましい。
すなわち、感光性基を分子内に有するポリアミノ系樹脂
で、200℃以下にて硬化膜の得られるもの、例えば1
50°C×30分程度の熱で硬化、膜を形成できる、例
えば感光性基をその分子内に有する芳香族系のポリアミ
ド樹脂およびポリイミド樹脂で、特に、可視光波長域(
400〜700 nm)で特定の光吸収特性を持たない
もの(光透過率で90%程度以上のもの)か好ましい。
で、200℃以下にて硬化膜の得られるもの、例えば1
50°C×30分程度の熱で硬化、膜を形成できる、例
えば感光性基をその分子内に有する芳香族系のポリアミ
ド樹脂およびポリイミド樹脂で、特に、可視光波長域(
400〜700 nm)で特定の光吸収特性を持たない
もの(光透過率で90%程度以上のもの)か好ましい。
この観点からは、特に芳香族系のポリアミド樹脂が好ま
しい。
しい。
また、本発明における感光性を有する基としては、以下
に示す様な感光性の炭化水素不飽和基をもつ芳香族鎖で
あれば良く、例えば、 (1)安息香酸エステル類 υ (式中R1はCHX=CY−COO−2−2Xは−H又
は−CbH=、、Yは−H又は−C113、Zは−又は
エチル基又はグリシジル基を示す) (2)ペンシルアクリレート類 (式中Yは−H又はCH3を示す) (3)ジフェニルエーテル類 (式中R2はCHX−(:Y−CONH−1CH,−C
Y−COO−(CH2)2−OCO−又はCH,−CY
−(:0O−CL−をlヶ以上含むもの、X、Yは前記
と四基を示す) (4)カルコン類及びその他化合物鎖 (式中R3は1ト、アルキル基、アルコシキ基を示す) 等か挙げられる。
に示す様な感光性の炭化水素不飽和基をもつ芳香族鎖で
あれば良く、例えば、 (1)安息香酸エステル類 υ (式中R1はCHX=CY−COO−2−2Xは−H又
は−CbH=、、Yは−H又は−C113、Zは−又は
エチル基又はグリシジル基を示す) (2)ペンシルアクリレート類 (式中Yは−H又はCH3を示す) (3)ジフェニルエーテル類 (式中R2はCHX−(:Y−CONH−1CH,−C
Y−COO−(CH2)2−OCO−又はCH,−CY
−(:0O−CL−をlヶ以上含むもの、X、Yは前記
と四基を示す) (4)カルコン類及びその他化合物鎖 (式中R3は1ト、アルキル基、アルコシキ基を示す) 等か挙げられる。
これ等の基を分子内に持つ芳香族系のポリアミド樹脂及
びポリイミド樹脂の具体例を示すと、リソコートPA−
1000(宇部興産■製〕、リソコートPI−400(
宇部興産■製)等が挙げられる。
びポリイミド樹脂の具体例を示すと、リソコートPA−
1000(宇部興産■製〕、リソコートPI−400(
宇部興産■製)等が挙げられる。
一般にフォトリソ工程で用いられる感光性樹脂は、その
化学構造によって差はあるものの、機械的特性をはしめ
耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の耐久性に優れたものは少
ない。これに対し、上記の感光性ポリアミノ系樹脂は、
化学構造的にも、これらの耐久性に優れた樹脂系であり
、これらを用いて形成したカラーフィルターの耐久性も
非常に良好なものとなる。
化学構造によって差はあるものの、機械的特性をはしめ
耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の耐久性に優れたものは少
ない。これに対し、上記の感光性ポリアミノ系樹脂は、
化学構造的にも、これらの耐久性に優れた樹脂系であり
、これらを用いて形成したカラーフィルターの耐久性も
非常に良好なものとなる。
本発明のカラーフィルターを構成する着色材料としては
、有機顔料、無機顔料、染料等のうち所望の分光特性を
得られ、かつ使用する樹脂の熱膨張係数と等しいが、又
は大きいものであれば特に限定されるものではない。こ
の場合、各材料を単体で用いることも、これらのうちの
いくつかの混合物として用いることもできる。たたし、
染料を用いた場合には、染料自体の耐久性により、カラ
ーフィルターの性能か支配されてしまうが、上記の樹脂
系を用いれば、通常の染色カラーフィルターに比べ性能
の優れたものか形成可能である。
、有機顔料、無機顔料、染料等のうち所望の分光特性を
得られ、かつ使用する樹脂の熱膨張係数と等しいが、又
は大きいものであれば特に限定されるものではない。こ
の場合、各材料を単体で用いることも、これらのうちの
いくつかの混合物として用いることもできる。たたし、
染料を用いた場合には、染料自体の耐久性により、カラ
ーフィルターの性能か支配されてしまうが、上記の樹脂
系を用いれば、通常の染色カラーフィルターに比べ性能
の優れたものか形成可能である。
従って、カラーフィルターの色特性及び諸性能から勘案
すると有機顔料が着色材料として最も好ましい。
すると有機顔料が着色材料として最も好ましい。
有機顔料としては、溶性アゾ系、不溶性アゾ系、m合ア
ゾ系等のアゾ系顔料をはしめ、フタロシアニン系顔料、
そしてインジゴ系、アントラキノン系、ペリレン系、ペ
リノン系、ジオキサジン系、キナクリドン系、イソイン
ドリノン系、フタロン系、メチン・アゾメチン系、その
他金属錯体系を含む縮合多環系顔料、あるいはこれらの
うちのいくつかの混合物が用いられる。
ゾ系等のアゾ系顔料をはしめ、フタロシアニン系顔料、
そしてインジゴ系、アントラキノン系、ペリレン系、ペ
リノン系、ジオキサジン系、キナクリドン系、イソイン
ドリノン系、フタロン系、メチン・アゾメチン系、その
他金属錯体系を含む縮合多環系顔料、あるいはこれらの
うちのいくつかの混合物が用いられる。
本発明に3いて、カラーフィルターの着色樹脂層を形成
するために使用する着色樹脂は、上記感光性ポリアミノ
系樹脂溶液に所望の分光特性を有し、樹脂の熱膨張係数
と等しいが、又は大きい熱膨張係数を有する上記着色材
料を10〜150%程度の割合で配合し、超音波あるい
は三本ロール、ボールミルやサンドミル等により充分に
分散させた後、好ましくは[1程度のフィルターにて粒
径の大きいものを除去して調製する。
するために使用する着色樹脂は、上記感光性ポリアミノ
系樹脂溶液に所望の分光特性を有し、樹脂の熱膨張係数
と等しいが、又は大きい熱膨張係数を有する上記着色材
料を10〜150%程度の割合で配合し、超音波あるい
は三本ロール、ボールミルやサンドミル等により充分に
分散させた後、好ましくは[1程度のフィルターにて粒
径の大きいものを除去して調製する。
本発明のカラーフィルターは、前記着色樹脂液をスピン
ナー、ロールコータ−等の塗布装置により基板上に塗布
し、)オトリソ工程によりパターン状に形成され、その
層厚は所望とする分光特性に応じて決定されるが、通常
は0.5〜S牌■程度、好ましくは、1〜2終麿程度か
望ましい。
ナー、ロールコータ−等の塗布装置により基板上に塗布
し、)オトリソ工程によりパターン状に形成され、その
層厚は所望とする分光特性に応じて決定されるが、通常
は0.5〜S牌■程度、好ましくは、1〜2終麿程度か
望ましい。
なお、本発明のカラーフィルターは、それ自体充分な耐
久性を有する良好な材料で構成されているが、特により
各種の環境条件から、カラーフィルターの着色樹脂層を
保護するためには、カラーフィルターの着色樹脂層表面
に、ポリアミド。
久性を有する良好な材料で構成されているが、特により
各種の環境条件から、カラーフィルターの着色樹脂層を
保護するためには、カラーフィルターの着色樹脂層表面
に、ポリアミド。
ボリイミ1<、ポリウレタン、ポリカーボネート。
シリコン系等の有機樹脂やSi3N4.5ift、 S
in。
in。
AI!203. Ta2O3等の無機膜をスピンコード
、ロールコートの塗布法で、あるいは蒸着法によって、
保wI層として設けることができる。さらに、上記保護
層を形成した後、材料によっては、配向処理を施すこと
により、液晶を用いたデバイスへの適用も可能となる。
、ロールコートの塗布法で、あるいは蒸着法によって、
保wI層として設けることができる。さらに、上記保護
層を形成した後、材料によっては、配向処理を施すこと
により、液晶を用いたデバイスへの適用も可能となる。
以上説明した様なカラーフィルターは適当な基板上に形
成することができる。例えば、ガラス板、透明樹脂板、
樹脂フィルム、あるいはブラウン管表示面、撮像管の受
光面、CCD、 BBD、 CID。
成することができる。例えば、ガラス板、透明樹脂板、
樹脂フィルム、あるいはブラウン管表示面、撮像管の受
光面、CCD、 BBD、 CID。
BASIS等の固体撮像素子か形成されたウェハー、薄
膜半導体を用いた密着型イメージセンサ−1液晶ディス
プレー面、カラー電子写真用感光体等があげられる。
膜半導体を用いた密着型イメージセンサ−1液晶ディス
プレー面、カラー電子写真用感光体等があげられる。
カラーフィルターの着色樹脂層と下地の基板間との接着
性を更に増す必要かある場合には、基板上にあらかじめ
シランカップリング剤等で薄く塗布した後に着色樹脂パ
ターンを形成するが、あるいは、あらかじめ着色樹脂中
にシランカップリング剤等を少量添加したものを用いて
カラーフィルターを形成することにより、一層効果的で
ある。
性を更に増す必要かある場合には、基板上にあらかじめ
シランカップリング剤等で薄く塗布した後に着色樹脂パ
ターンを形成するが、あるいは、あらかじめ着色樹脂中
にシランカップリング剤等を少量添加したものを用いて
カラーフィルターを形成することにより、一層効果的で
ある。
以下、図面を参照しつつ、代表的な本発明のカラーフィ
ルターの形成法を説明する。
ルターの形成法を説明する。
第1図は本発明のカラーフィルターの形成法を説明する
工程図である。まず、第1図(a)に示すごとく、所望
の分光特性を有し、樹脂の熱膨張係数以上の値をもつ着
色材料を所定量配合されたポリアミノ系樹脂液(NMP
溶液)を用い、第1色目の着色樹脂膜2を所定の基板l
上に、スピンナーを用い、所定の膜厚になるように塗布
形成し、適当な温度条件下でプリベークを行なう。次い
で、第1図(b)に示すごとく、感光性着色樹脂の感度
を有する光(例えば、高圧水銀灯等)て、形成しようと
するパターンに対応した所定のパターン形状を有するフ
ォトマスク3を介して着色樹脂膜を露光し、パターン部
の光硬化を行なう。
工程図である。まず、第1図(a)に示すごとく、所望
の分光特性を有し、樹脂の熱膨張係数以上の値をもつ着
色材料を所定量配合されたポリアミノ系樹脂液(NMP
溶液)を用い、第1色目の着色樹脂膜2を所定の基板l
上に、スピンナーを用い、所定の膜厚になるように塗布
形成し、適当な温度条件下でプリベークを行なう。次い
で、第1図(b)に示すごとく、感光性着色樹脂の感度
を有する光(例えば、高圧水銀灯等)て、形成しようと
するパターンに対応した所定のパターン形状を有するフ
ォトマスク3を介して着色樹脂膜を露光し、パターン部
の光硬化を行なう。
そして第1図(c)のごとく光硬化部分2aを有した着
色樹脂膜2を、未露光部分のみを溶解する溶剤(例えば
、N−メチル−2−ピロリドン系溶剤等を主成分とする
もの)にて超音波現像した後、リンス処理(例えば、1
,1,1.)−リクロロエタン等)を行なう。次いで、
ボストベーク処理を行ない、第1図(d)のごとき本発
明のパターン状着色樹脂層4を得ることかできる。
色樹脂膜2を、未露光部分のみを溶解する溶剤(例えば
、N−メチル−2−ピロリドン系溶剤等を主成分とする
もの)にて超音波現像した後、リンス処理(例えば、1
,1,1.)−リクロロエタン等)を行なう。次いで、
ボストベーク処理を行ない、第1図(d)のごとき本発
明のパターン状着色樹脂層4を得ることかできる。
なお、2色以上からなる本発明のカラーフィルターを形
成する場合には、更に必要に応して、すなわち用いられ
るフィルターの色の数に応じて、第1図(a)から第1
図(d)までの工程を、各色に対応し、樹脂の熱膨張係
数以上の値をもつ着色材料を分散させた着色樹脂液をそ
れぞれ用いて繰り返して行ない、例えば、第1図(e)
に示した様な異なる色のパターン状着色樹脂層4,5及
び6の3色からなるカラーフィルターを形成することか
できる。
成する場合には、更に必要に応して、すなわち用いられ
るフィルターの色の数に応じて、第1図(a)から第1
図(d)までの工程を、各色に対応し、樹脂の熱膨張係
数以上の値をもつ着色材料を分散させた着色樹脂液をそ
れぞれ用いて繰り返して行ない、例えば、第1図(e)
に示した様な異なる色のパターン状着色樹脂層4,5及
び6の3色からなるカラーフィルターを形成することか
できる。
また、本発明のカラーフィルターは、第1図(f)に示
すようにフィルター上部に、先に挙げたような材料から
形成した保護層7を有しているものであっても良い。
すようにフィルター上部に、先に挙げたような材料から
形成した保護層7を有しているものであっても良い。
[作用]
本発明のカラーフィルターは、樹脂と着色材料よりなる
複数色のパターン状の着色樹脂層を宥するカラーフィル
ターにおいて、樹脂の熱膨張係数なαR(1/deg
) 、着色材料の熱膨張係数をα。
複数色のパターン状の着色樹脂層を宥するカラーフィル
ターにおいて、樹脂の熱膨張係数なαR(1/deg
) 、着色材料の熱膨張係数をα。
(1/deg )とした場合、α8≦α。の関係からな
る様に、その構成する着色材料の熱膨張係数を樹脂より
大きく設定しているので、後の加熱処理工程によっても
、着色材料周囲に空気層か形成されることなく、それに
より不必要な光散乱は発生せず、光学的特性の優れたカ
ラーフィルターを形成し、かつ強度的にも優れたものを
形成することかてきる。
る様に、その構成する着色材料の熱膨張係数を樹脂より
大きく設定しているので、後の加熱処理工程によっても
、着色材料周囲に空気層か形成されることなく、それに
より不必要な光散乱は発生せず、光学的特性の優れたカ
ラーフィルターを形成し、かつ強度的にも優れたものを
形成することかてきる。
[実施例]
以下に本発明の実施例を示す。
なお、熱膨張係数の測定は、次の様に行なった。すなわ
ち、樹脂についてはフィルム化したものを、また着色材
料についてはプレスし薄板状にしたものを用い、一定温
度(100〜150℃より任意に設定)て、一定時間(
1〜2時間)加熱した場合の前後における寸法変化から
熱膨張係数として算出した。
ち、樹脂についてはフィルム化したものを、また着色材
料についてはプレスし薄板状にしたものを用い、一定温
度(100〜150℃より任意に設定)て、一定時間(
1〜2時間)加熱した場合の前後における寸法変化から
熱膨張係数として算出した。
実施例1
ガラス基板上に、所望の分光特性を得ることのできる青
色着色樹脂材[へりオゲン ブルー(Heliogen
Blue) L7080 (商品名、 BASF社
製。
色着色樹脂材[へりオゲン ブルー(Heliogen
Blue) L7080 (商品名、 BASF社
製。
熱膨張係数ac = 4〜7 X 10−’ (1/d
eg ) )をPA−1000C(商品名、宇部興産社
製、ポリマー分=10%、溶剤=N−メチルー2−ピロ
リドン、熱膨張係数a、I= 2〜4 X 10−’
(1/deg )に分散(顔料:ボリマー=1:2配合
)させて作製した感光性着色樹脂材]をスピンナー塗布
法により、1.54mの膜厚に塗布した。次に該着色樹
脂層に70°C130分間のプリベークを行なった後、
形成しようとするパターン形状に対応したパターンマス
クを介して高圧水銀灯にて露光した。露光終了後、該着
色樹脂膜の未露光部のみを溶解する専用現像液(N−メ
チル−2−ピロリドンを主成分とする現像液)にて超音
波を使用して現像し、専用リンス液(1,1,1−トリ
クロロエタンを主成分とするリンス液)で処理した後、
200°C130分間のボストベークを行ない、パター
ン形状を有した青色着色樹脂膜を形成した。
eg ) )をPA−1000C(商品名、宇部興産社
製、ポリマー分=10%、溶剤=N−メチルー2−ピロ
リドン、熱膨張係数a、I= 2〜4 X 10−’
(1/deg )に分散(顔料:ボリマー=1:2配合
)させて作製した感光性着色樹脂材]をスピンナー塗布
法により、1.54mの膜厚に塗布した。次に該着色樹
脂層に70°C130分間のプリベークを行なった後、
形成しようとするパターン形状に対応したパターンマス
クを介して高圧水銀灯にて露光した。露光終了後、該着
色樹脂膜の未露光部のみを溶解する専用現像液(N−メ
チル−2−ピロリドンを主成分とする現像液)にて超音
波を使用して現像し、専用リンス液(1,1,1−トリ
クロロエタンを主成分とするリンス液)で処理した後、
200°C130分間のボストベークを行ない、パター
ン形状を有した青色着色樹脂膜を形成した。
続いて、青色着色パターンの形成されたガラス基板上に
、第2色目として緑色着色樹脂材[リオノール グリー
ン(Lionol Green) 6YK (商品名。
、第2色目として緑色着色樹脂材[リオノール グリー
ン(Lionol Green) 6YK (商品名。
東洋インキ社製、熱膨張係数α。=4〜7 X 10−
’(1/deg ) )を、PA−1000G (商品
名、宇部興産社製、ポリマー分=10%、溶剤=N−メ
チルー2−ピロリドン、熱膨張係数α、=2〜4 X
10−’(1/deg )に分散(顔料:ボリマー=1
:2配合)させて作製した感光性着色樹脂材コを用いる
以外は、上記と同様にして緑色着色パターンを基板上の
所定の位置に形成した。
’(1/deg ) )を、PA−1000G (商品
名、宇部興産社製、ポリマー分=10%、溶剤=N−メ
チルー2−ピロリドン、熱膨張係数α、=2〜4 X
10−’(1/deg )に分散(顔料:ボリマー=1
:2配合)させて作製した感光性着色樹脂材コを用いる
以外は、上記と同様にして緑色着色パターンを基板上の
所定の位置に形成した。
さらに、この様にして青色及び緑色パターンの形成され
ている基板上に、第3色目として、赤色着色樹脂材[イ
ルガジン レッド (Irgazin Red)BPT
(商品名、チバガイギー(Ciba−Geigy)社
製。
ている基板上に、第3色目として、赤色着色樹脂材[イ
ルガジン レッド (Irgazin Red)BPT
(商品名、チバガイギー(Ciba−Geigy)社
製。
熱膨張係数cxc = 4〜7 X 10−’ (1/
deg ) )をPA−1000G (商品名、宇部興
産社製、ポリマー分=10%、溶剤;N−メチル−2−
ピロリドン、熱膨張係数αR= 2〜4 X 10−’
(1/deg )に分散(顔料:ボリマー=l:2配
合)させて作製した感光性着色樹脂材]を用いる以外は
、上記と同様にして、赤色着色パターンを基板上の所定
の位置に形成し、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色
ストライプの着色パターンを得た。
deg ) )をPA−1000G (商品名、宇部興
産社製、ポリマー分=10%、溶剤;N−メチル−2−
ピロリドン、熱膨張係数αR= 2〜4 X 10−’
(1/deg )に分散(顔料:ボリマー=l:2配
合)させて作製した感光性着色樹脂材]を用いる以外は
、上記と同様にして、赤色着色パターンを基板上の所定
の位置に形成し、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色
ストライプの着色パターンを得た。
この様にして形成された3色カラーフィルターの分光特
性を第2図に示す。
性を第2図に示す。
得られたカラーフィルターは、高透過率で分光特性が得
られる上、耐熱性、耐光性、耐溶剤性及び機械的特性に
優れたものであった。
られる上、耐熱性、耐光性、耐溶剤性及び機械的特性に
優れたものであった。
比較例1
実施例1において、感光性ポリアミド樹脂を用いる代わ
りに、重クロム酸アンモニウムを架橋剤として含むポリ
ビニルアルコール樹脂(熱膨張係数a m = 10〜
12x 10−’ (1/deg ) )を用い3色カ
ラーフィルターを形成した。
りに、重クロム酸アンモニウムを架橋剤として含むポリ
ビニルアルコール樹脂(熱膨張係数a m = 10〜
12x 10−’ (1/deg ) )を用い3色カ
ラーフィルターを形成した。
すなわち、該感光性を有する青色着色材をスピンナーに
より塗布し、70℃、20分間乾燥した後、通常の方法
により露光現像し、150℃で30分間の加熱処理によ
り、パターン形状を有した青色着色樹脂膜を形成した。
より塗布し、70℃、20分間乾燥した後、通常の方法
により露光現像し、150℃で30分間の加熱処理によ
り、パターン形状を有した青色着色樹脂膜を形成した。
続いて、同様の方法にて緑色着色パターン、赤色着色パ
ターンを所定の位置に形成し、R(赤)、 G (緑)
、 B (青)の3色ストライプパターンを得た。
ターンを所定の位置に形成し、R(赤)、 G (緑)
、 B (青)の3色ストライプパターンを得た。
この様にして形成された3色カラーフィルターの分光特
性を実施例1と比較して第2図に示す。
性を実施例1と比較して第2図に示す。
得られたカラーフィルターは、実施例1のものに比べ、
透過率、分光特性に劣るものであった。
透過率、分光特性に劣るものであった。
実施例2
薄膜トランジスターを基板として、該基板上に本発明の
カラーフィルターを形成してなるカラー液晶表示素子の
作製を以下のようにして実施した。
カラーフィルターを形成してなるカラー液晶表示素子の
作製を以下のようにして実施した。
まず第3図(a)に示すように、ガラス基板(商品名:
7059、コーニング社製)l上に100OAの層厚
の[、T、0画素電極11を)オトリソ工程により所望
のパターンに成形した後、この面に更にAPを100O
Aの層厚に真空蒸着し、この蒸着層をフォトリソ工程に
より所望の形状にパターンニングして第3図(b)に示
すようなゲート電極12を形成した。
7059、コーニング社製)l上に100OAの層厚
の[、T、0画素電極11を)オトリソ工程により所望
のパターンに成形した後、この面に更にAPを100O
Aの層厚に真空蒸着し、この蒸着層をフォトリソ工程に
より所望の形状にパターンニングして第3図(b)に示
すようなゲート電極12を形成した。
続いて、感光性ポリイミド(商品名:セミコファイン、
東し社製)を前記電極の設けられた基板1面上に塗布し
絶縁層13を形成し、パターン露光及び現像処理によっ
てトレイン電極18と画素電極11とのコンタクト部を
構成するスルーホール14を第3図(C)に示すように
形成した。
東し社製)を前記電極の設けられた基板1面上に塗布し
絶縁層13を形成し、パターン露光及び現像処理によっ
てトレイン電極18と画素電極11とのコンタクト部を
構成するスルーホール14を第3図(C)に示すように
形成した。
ここで、基板1を堆積槽内の所定の位置にセットし、堆
積槽内にH2で希釈されたSiH4を導入し、真空中で
グロー放電法により、前記電極11.12及び絶縁層1
3の設けられた基板l全面に2000Aの層厚のa−3
iからなる光導電層(イントリンシック層)15を堆積
させた後、この光導電層15上に引続き同様の操作によ
って、100OAの層厚のn0層16を第3図(d)に
示したように積層した。この基板lを堆積槽から取り出
し、前記n+層16及び光導電層15のそれぞれを、こ
の順にドライエッチンク法により所望の形状に第3図(
e)に示したようにパターンニングした。
積槽内にH2で希釈されたSiH4を導入し、真空中で
グロー放電法により、前記電極11.12及び絶縁層1
3の設けられた基板l全面に2000Aの層厚のa−3
iからなる光導電層(イントリンシック層)15を堆積
させた後、この光導電層15上に引続き同様の操作によ
って、100OAの層厚のn0層16を第3図(d)に
示したように積層した。この基板lを堆積槽から取り出
し、前記n+層16及び光導電層15のそれぞれを、こ
の順にドライエッチンク法により所望の形状に第3図(
e)に示したようにパターンニングした。
次に、このようにして光導電層15及びn+層16が設
けられている基板面に、AI!を100OAの層厚で真
空蒸着した後、このAi)蒸着層をフォトリソ工程によ
り所望の形状にパターンニングして、第3図(f)に示
すようなソース電極17及びトレイン電極18を形成し
た。
けられている基板面に、AI!を100OAの層厚で真
空蒸着した後、このAi)蒸着層をフォトリソ工程によ
り所望の形状にパターンニングして、第3図(f)に示
すようなソース電極17及びトレイン電極18を形成し
た。
最後に1画素電極11のそれぞれに対応させて、実施例
1と同様な方法により赤、青及び緑の3色の着色パター
ンを第3図(g)に示すように形成した後、第3図(h
)の如くこの基板面全面に配向機能を付与した絶縁膜2
2としてのポリイミド樹脂を1200Aの層厚に塗布し
、250℃、1時間の加熱処理によって樹脂の硬化を行
ないカラーフィルターか一体化された薄膜トランジスタ
ーを作製した。
1と同様な方法により赤、青及び緑の3色の着色パター
ンを第3図(g)に示すように形成した後、第3図(h
)の如くこの基板面全面に配向機能を付与した絶縁膜2
2としてのポリイミド樹脂を1200Aの層厚に塗布し
、250℃、1時間の加熱処理によって樹脂の硬化を行
ないカラーフィルターか一体化された薄膜トランジスタ
ーを作製した。
このように作製されたカラーフィルター付き薄膜トラン
ジスターを用いて更に、カラー用液晶表示素子を形成し
た。
ジスターを用いて更に、カラー用液晶表示素子を形成し
た。
すなわち、ガラス基板(商品名: 7059、コーニン
グ社製)の−面に前記の方法と同様にして。
グ社製)の−面に前記の方法と同様にして。
1000AのlT、0電極層を形成し、更に該電極層上
に配向機能を付与したポリイミド樹脂からなる層厚12
00人の絶縁層を形成し、この基板と先に形成したカラ
ーフィルター付き薄膜トランジスターとの間に液晶を封
入して全体を固定して、カラー用液晶表示素子を得た。
に配向機能を付与したポリイミド樹脂からなる層厚12
00人の絶縁層を形成し、この基板と先に形成したカラ
ーフィルター付き薄膜トランジスターとの間に液晶を封
入して全体を固定して、カラー用液晶表示素子を得た。
このようにして形成されたカラー用液晶表示素子は、ス
ペーサーによるカラーフィルターのダメージもなく、特
に光学的特性の観点から良好な機能を有するものであっ
た。
ペーサーによるカラーフィルターのダメージもなく、特
に光学的特性の観点から良好な機能を有するものであっ
た。
実施例3
3色カラーフィルターを画素電極上に設ける代わりに、
対向電極上に設ける以外は実施例2と同様にして、本発
明のカラーフィルターを有するカラー用液晶表示素子を
得た。
対向電極上に設ける以外は実施例2と同様にして、本発
明のカラーフィルターを有するカラー用液晶表示素子を
得た。
このようにして形成されたカラー用液晶表示素子は、同
様に良好な機能を有するものであった。
様に良好な機能を有するものであった。
実施例4
3色カラーフィルターをまず対向基板上に形成した後に
、対向電極を設ける以外は実施例2と同様にして、本発
明のカラーフィルターを有するカラー用液晶表示素子を
得た。
、対向電極を設ける以外は実施例2と同様にして、本発
明のカラーフィルターを有するカラー用液晶表示素子を
得た。
この様にして形成されたカラー用液晶表示素子は同様に
良好な機能を有するものであった。
良好な機能を有するものであった。
実施例5
まず、基板上に3色カラーフィルターを実施例1と同様
にして形成した。
にして形成した。
次に、得えられたカラーフィルターパターン上に保護及
び平坦化層として透明樹脂膜[PA−1000に(商品
名、宇部興産社製、ポリマー分10%、溶剤=N−メチ
ルー2−ピロリドン)]をスピンナー塗布法により約1
.0 Hの膜厚で形成した。
び平坦化層として透明樹脂膜[PA−1000に(商品
名、宇部興産社製、ポリマー分10%、溶剤=N−メチ
ルー2−ピロリドン)]をスピンナー塗布法により約1
.0 Hの膜厚で形成した。
次に、ITOを500人の厚さにてスパッタリング法に
より成膜し、エツチングによりバターニングして透明電
極層を形成した。この上に配向膜としてポリイミド形成
溶液(日立化成工業■製、’PIQJ )をスピンナー
塗布し、 150℃で30分間加熱し、2000人のポ
リイミド皮膜を形成した。しかる後、このポリイミド皮
膜表面をラビング処理した。
より成膜し、エツチングによりバターニングして透明電
極層を形成した。この上に配向膜としてポリイミド形成
溶液(日立化成工業■製、’PIQJ )をスピンナー
塗布し、 150℃で30分間加熱し、2000人のポ
リイミド皮膜を形成した。しかる後、このポリイミド皮
膜表面をラビング処理した。
このようにして形成したカラーフィルター基板と、あら
かじめ基板上に透明電極パターン及び配向膜を形成しラ
ビング処理した対向する基板とを貼り合わせてセル組み
し、強誘電性液晶を注入し、封口して液晶素子を得た。
かじめ基板上に透明電極パターン及び配向膜を形成しラ
ビング処理した対向する基板とを貼り合わせてセル組み
し、強誘電性液晶を注入し、封口して液晶素子を得た。
得られたカラー用液晶表示素子は同様に良好な機能を有
するものであった。
するものであった。
実施例6
CCO(チャージ、カップルド、デバイス)の形成され
たウェハーを基板として用い、CCDの有する各受光セ
ルに対応して、カラーフィルターの有する各着色パター
ンか配置されるように、3色ストライプカラーフィルタ
ーを形成する以外は、実施例1と同様にして本発明のカ
ラーフィルターを有するカラー固体撮像素子を形成した
。
たウェハーを基板として用い、CCDの有する各受光セ
ルに対応して、カラーフィルターの有する各着色パター
ンか配置されるように、3色ストライプカラーフィルタ
ーを形成する以外は、実施例1と同様にして本発明のカ
ラーフィルターを有するカラー固体撮像素子を形成した
。
このようにして形成されたカラー固体撮像素子は、光学
的特性の観点から良好な機能を有するものであった。
的特性の観点から良好な機能を有するものであった。
実施例7
CCD (チャージ、カップルド、デバイス)の形成
されたウェハーに、実施例1に於いて形成したカラーフ
ィルターを、CCDの有する各受光セルに対応して、カ
ラーフィルターの有する各着色パターンか配置されるよ
うに位置合わせをして貼着し、カラー固体撮像素子を形
成した。
されたウェハーに、実施例1に於いて形成したカラーフ
ィルターを、CCDの有する各受光セルに対応して、カ
ラーフィルターの有する各着色パターンか配置されるよ
うに位置合わせをして貼着し、カラー固体撮像素子を形
成した。
このようにして形成されたカラー固体撮像素子は、同様
に良好な機能を有するものであった。
に良好な機能を有するものであった。
実施例8
第4図の部分平面概略図に示すような本発明のカラーフ
ィルターを有するカラー用フォトセンサーアレイの形成
を第5図に示した工程に従って以下のように実施した。
ィルターを有するカラー用フォトセンサーアレイの形成
を第5図に示した工程に従って以下のように実施した。
まず、ガラス基板(商品名: 7059、コーニング社
製)lの上にグロー放電法によってa−3i (アモル
ファスシリコン)層からなる光導電層(イントリンシッ
ク層)15を第5図(a)に示すように設けた。
製)lの上にグロー放電法によってa−3i (アモル
ファスシリコン)層からなる光導電層(イントリンシッ
ク層)15を第5図(a)に示すように設けた。
すなわち、H2で10容量%に希釈されたSiH<をガ
ス圧0.50Torr、RF (Radio Freq
uency)パワーLOW、基板温度250°Cで2時
間基板上に堆積させることによって0.7 Bの膜厚の
光導電層15を得た。
ス圧0.50Torr、RF (Radio Freq
uency)パワーLOW、基板温度250°Cで2時
間基板上に堆積させることによって0.7 Bの膜厚の
光導電層15を得た。
続いて、この光導電層15上にグロー放電法により第5
図(b)に示すようにn0層16を設けた。
図(b)に示すようにn0層16を設けた。
すなわち、Haで10容量%に希釈された5iHnと、
H2で100 pp■に希釈されたPH3とを1:10
て混合したガスを原料として用い、その他は、先の光導
電層の堆積条件と同様にして光導電層15に連続して、
0.1 Bの層厚の00層16を設けた。
H2で100 pp■に希釈されたPH3とを1:10
て混合したガスを原料として用い、その他は、先の光導
電層の堆積条件と同様にして光導電層15に連続して、
0.1 Bの層厚の00層16を設けた。
次に、第5図(C)に示すように電子ビーム蒸着法でA
j)を0.3 Bの層厚に00層16上に堆積させて、
導電層19を堆積した。続いて、第5図(d)に示すよ
うに導電層19の光変換部となる部分に相当する部分を
除去した。
j)を0.3 Bの層厚に00層16上に堆積させて、
導電層19を堆積した。続いて、第5図(d)に示すよ
うに導電層19の光変換部となる部分に相当する部分を
除去した。
すなわち、ポジ型のマイクロポジット1300−27(
商品名、5hipley社製)フォトレジストを用いて
所望の形状にフォトレジストパターンを形成した後、リ
ン酸(85容量%水溶液)、硝酸(60容量%水溶液)
、氷酢酸及び水を16:1:2:1の割合で混合したエ
ツチング溶液を用いて露出部(レジストパターンの設け
られていない部分)の導電層19を基板上から除去し、
共通電極21及び個別電極20を形成した。
商品名、5hipley社製)フォトレジストを用いて
所望の形状にフォトレジストパターンを形成した後、リ
ン酸(85容量%水溶液)、硝酸(60容量%水溶液)
、氷酢酸及び水を16:1:2:1の割合で混合したエ
ツチング溶液を用いて露出部(レジストパターンの設け
られていない部分)の導電層19を基板上から除去し、
共通電極21及び個別電極20を形成した。
次に、光変換部となる部分のn′″層16を第5図(e
)に示すように除去した。
)に示すように除去した。
すなわち、上記マイクロポジット1300−27フオト
レジストを基板から剥離した後、平行平板型プラズマエ
ツチング装置DEM−451(日型アネルバ社製)を用
いてプラズマエツチング法(別名リアクティブイオンエ
ツチング法)でRFパワー120W、ガス圧0.ITo
rrでCF4ガスによるドライエツチングを5分間行な
い、露出部のn0層16及び光導電層15の表面層の一
部を基板から除去した。
レジストを基板から剥離した後、平行平板型プラズマエ
ツチング装置DEM−451(日型アネルバ社製)を用
いてプラズマエツチング法(別名リアクティブイオンエ
ツチング法)でRFパワー120W、ガス圧0.ITo
rrでCF4ガスによるドライエツチングを5分間行な
い、露出部のn0層16及び光導電層15の表面層の一
部を基板から除去した。
なお、本実施例では、エツチング装置のカソード材料の
インプランテーションを防止するために、カソード上に
ポリシリコンのスパッタ用ターゲット(8インチ、純度
99.999%)を置き、その上に試料をのせ、カソー
ド材料のSUSが露出する部分はトーナッツ状に切抜い
たテフロン(登録商標)シートでカバーし、808面が
ほとんどプラズマでさらされない状態でエツチングを行
なった。
インプランテーションを防止するために、カソード上に
ポリシリコンのスパッタ用ターゲット(8インチ、純度
99.999%)を置き、その上に試料をのせ、カソー
ド材料のSUSが露出する部分はトーナッツ状に切抜い
たテフロン(登録商標)シートでカバーし、808面が
ほとんどプラズマでさらされない状態でエツチングを行
なった。
その後、窒素を34)/+sinの速度で流したオーブ
ン内で20℃、60分の熱処理を行なった。
ン内で20℃、60分の熱処理を行なった。
こうして作成されたフォトセンサーアレイの表面に、次
に保護層を以下のようにして形成した。
に保護層を以下のようにして形成した。
すなわち、フォトセンサーアレイ上にグロー放電法によ
って保護層7としてのシリコンナイトライド層を形成し
た。
って保護層7としてのシリコンナイトライド層を形成し
た。
すなわち、H2で10容量%に希釈されたSiH4と1
00%NH,を1:4の流量比で混合した混合ガスを用
い、その他は先のa−3i層を形成したのと同様にして
、0.5鉢■の層厚のシリコンナイトライド(a−3i
NH)層からなる保護R7を第5図(f)に示すように
形成した。
00%NH,を1:4の流量比で混合した混合ガスを用
い、その他は先のa−3i層を形成したのと同様にして
、0.5鉢■の層厚のシリコンナイトライド(a−3i
NH)層からなる保護R7を第5図(f)に示すように
形成した。
更に、この保護層7を基板として、実施例1と同様にし
て、青、緑、赤の3色の着色パターンからなるカラーフ
ィルターを形成し、第4図に示すように、各フォトセン
サー上にそれぞれ着色フィルターか配置されたカラーフ
ォトセンサーアレイを形成した。
て、青、緑、赤の3色の着色パターンからなるカラーフ
ィルターを形成し、第4図に示すように、各フォトセン
サー上にそれぞれ着色フィルターか配置されたカラーフ
ォトセンサーアレイを形成した。
本実施例に於いて形成されたカラーフォトセンサーアレ
イに於いても、光学的特性の観点から良好な機能を有す
るものであった。
イに於いても、光学的特性の観点から良好な機能を有す
るものであった。
実施例9
実施例1に於いて形成したカラーフィルターを、接着剤
を用いて、実施例8に於いて形成したフォトセンサーア
レイ上に貼着することによりカラーフォトセンサーアレ
イを形成した。
を用いて、実施例8に於いて形成したフォトセンサーア
レイ上に貼着することによりカラーフォトセンサーアレ
イを形成した。
本実施例に於いて形成したカラーフォトセンサーも実施
例8に於いて形成したものと同様に、良好な機能を有す
るものであった。
例8に於いて形成したものと同様に、良好な機能を有す
るものであった。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、樹脂と着色材料
よりなるカラーフィルターにおいて、樹脂の熱膨張係数
を着色材料の熱膨張係数以下に設定したことにより、熱
処理プロセスを経た場合でも着色材料周囲に空気層か形
成されることがなくなる。従って、不必要な光散乱は発
生せず、透過率1分光特性等の光学的特性の優れた、か
つ強度的にも優れたカラーフィルターを形成することか
可能となった。
よりなるカラーフィルターにおいて、樹脂の熱膨張係数
を着色材料の熱膨張係数以下に設定したことにより、熱
処理プロセスを経た場合でも着色材料周囲に空気層か形
成されることがなくなる。従って、不必要な光散乱は発
生せず、透過率1分光特性等の光学的特性の優れた、か
つ強度的にも優れたカラーフィルターを形成することか
可能となった。
また、本発明で用いた樹脂系によれば、耐熱性、耐光性
、耐溶剤性等の諸特性に優れた微細パターンを有するカ
ラーフィルターが、簡便な方法により作製することか可
能であり、性能の良好なカラーフィルターを必要とする
広範囲な各種デバイスへの適用が可能となり、諸特性の
優れたカラーデバイスを作製することか可能となった。
、耐溶剤性等の諸特性に優れた微細パターンを有するカ
ラーフィルターが、簡便な方法により作製することか可
能であり、性能の良好なカラーフィルターを必要とする
広範囲な各種デバイスへの適用が可能となり、諸特性の
優れたカラーデバイスを作製することか可能となった。
第1図(a)〜(f)は本発明のカラーフィルターの形
成法を説明するための工程図、第2図は実施例1および
比較例1に於いて得られたカラーフィルターの分光透過
率を示すグラフ、第3図(a)〜(h)は本発明のカラ
ーフィルターを有するカラー用液晶表示素子の製造工程
図、第4図は本発明のカラーフィルターを有するカラー
用フォトセンサーアレイの模式的平面部分図、第5図(
a)〜(g)は、第4図に示したカラー用フォトセンサ
ーアレイの形成工程図である。 に基板 2:着色樹脂膜 2a:光硬化部分 3:フォトマスク4.5.6:
パターン状着色樹脂層 7:保護層 8.9.10+実施例1におけるカラーフィルターの分
光特性 8 ’、9 ’、10’ :比較例1におけるカラー
フィルターの分光特性 8.8’:赤色 9.9’:緑色 10、10’ :青色
成法を説明するための工程図、第2図は実施例1および
比較例1に於いて得られたカラーフィルターの分光透過
率を示すグラフ、第3図(a)〜(h)は本発明のカラ
ーフィルターを有するカラー用液晶表示素子の製造工程
図、第4図は本発明のカラーフィルターを有するカラー
用フォトセンサーアレイの模式的平面部分図、第5図(
a)〜(g)は、第4図に示したカラー用フォトセンサ
ーアレイの形成工程図である。 に基板 2:着色樹脂膜 2a:光硬化部分 3:フォトマスク4.5.6:
パターン状着色樹脂層 7:保護層 8.9.10+実施例1におけるカラーフィルターの分
光特性 8 ’、9 ’、10’ :比較例1におけるカラー
フィルターの分光特性 8.8’:赤色 9.9’:緑色 10、10’ :青色
Claims (7)
- (1)樹脂と着色材料よりなる複数色のパターン状の着
色樹脂層を有するカラーフィルターにおいて、樹脂の熱
膨張係数をα_R(1/deg)、着色材料の熱膨張係
数をα_C(1/deg)とした場合、α_R≦α_C
の関係からなることを特徴とするカラーフィルター。 - (2)前記樹脂が芳香族系のポリアミド樹脂またはポリ
イミド樹脂である特許請求の範囲第1項記載のカラーフ
ィルター。 - (3)前記樹脂が感光性基を分子内に有する芳香族系の
ポリアミド樹脂またはポリイミド樹脂である特許請求の
範囲第1項記載のカラーフィルター。 - (4)前記カラーフィルターが、樹脂中に着色材料を分
散させた着色樹脂を用い、フォトリソ工程あるいは印刷
工程により形成された着色樹脂層からなる特許請求の範
囲第1項記載のカラーフィルター。 - (5)前記カラーフィルターが、表示装置の表示部に形
成されている特許請求の範囲第1項または第4項記載の
カラーフィルター。 - (6)前記カラーフィルターが、固体撮像素子に形成さ
れている特許請求の範囲第1項または第4項記載のカラ
ーフィルター。 - (7)前記カラーフィルターが、イメージセンサーの受
光面に形成されている特許請求の範囲第1項または第4
項記載のカラーフィルター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62022459A JPS63191102A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | カラ−フイルタ− |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62022459A JPS63191102A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | カラ−フイルタ− |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63191102A true JPS63191102A (ja) | 1988-08-08 |
Family
ID=12083293
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62022459A Pending JPS63191102A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | カラ−フイルタ− |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63191102A (ja) |
-
1987
- 1987-02-04 JP JP62022459A patent/JPS63191102A/ja active Pending
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