JPH07106606B2 - 母型の製造方法 - Google Patents
母型の製造方法Info
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- JPH07106606B2 JPH07106606B2 JP9351283A JP9351283A JPH07106606B2 JP H07106606 B2 JPH07106606 B2 JP H07106606B2 JP 9351283 A JP9351283 A JP 9351283A JP 9351283 A JP9351283 A JP 9351283A JP H07106606 B2 JPH07106606 B2 JP H07106606B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
- G11B23/0057—Intermediate mediums, i.e. mediums provided with an information structure not specific to the method of reproducing or duplication such as matrixes for mechanical pressing of an information structure ; record carriers having a relief information structure provided with or included in layers not specific for a single reproducing method; apparatus or processes specially adapted for their manufacture
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （Ａ）発明の技術分野 本発明は、一般に光ディスクと称せられる光記録媒体の
基板の製造に使用する金属母型の製造方法に関する。
基板の製造に使用する金属母型の製造方法に関する。
（Ｂ）技術の背景 前記光記録媒体は、基本的にはアクリル樹脂等の透明な
基板上にテルルあるいはビスマス等の熱溶融性の記録材
料層を蒸着あるいはスパッタリングによって形成したも
のであるが、通常、前記基板を円板状すなわちディスク
状とし、１ミクロンないし３ミクロンのピッチの同心円
あるいは螺旋の上に情報の書込みをおこなうため、前記
透明基板として予めプリグルーブと称せられる同心円状
あるいは螺旋状の溝を施したものを用い、この溝を情報
の書込み・読取り用のサーボトラックとして利用すると
ともに、その溝部分の記録材料層に情報の書込みをおこ
なっている。
基板上にテルルあるいはビスマス等の熱溶融性の記録材
料層を蒸着あるいはスパッタリングによって形成したも
のであるが、通常、前記基板を円板状すなわちディスク
状とし、１ミクロンないし３ミクロンのピッチの同心円
あるいは螺旋の上に情報の書込みをおこなうため、前記
透明基板として予めプリグルーブと称せられる同心円状
あるいは螺旋状の溝を施したものを用い、この溝を情報
の書込み・読取り用のサーボトラックとして利用すると
ともに、その溝部分の記録材料層に情報の書込みをおこ
なっている。
前記プリグルーブを設けた光記録媒体用基板は一般に金
属母型をスタンパとして用い、射出成形法・圧縮成形法
あるいは光硬化性樹脂による成形法等によって製造され
ている。
属母型をスタンパとして用い、射出成形法・圧縮成形法
あるいは光硬化性樹脂による成形法等によって製造され
ている。
（Ｃ）従来技術と問題点 前記光記録媒体用基板の製造に用いる母型は、従来、次
のような方法で製造されている。
のような方法で製造されている。
（イ）ガラス基板上に塗布した感光性樹脂（ホトレジス
ト）を露光現像してプリグルーブを設けた原盤を製造す
る。
ト）を露光現像してプリグルーブを設けた原盤を製造す
る。
（ロ）前記原盤にニッケルおよびクロームの２層の電極
層を形成する。
層を形成する。
（ハ）前記電極層の上にニッケルメッキを形成する。
（ニ）前記原盤上に形成したニッケルおよびクロームの
２層の電極層と、その上に形成したニッケルメッキ層と
を一体化したまゝ剥離する。
２層の電極層と、その上に形成したニッケルメッキ層と
を一体化したまゝ剥離する。
ところが、このようにして製造した金属母型は、これを
スタンパとして光記録媒体用基板の製造に用いるとき、
光記録媒体用基板の材料となる樹脂との離型性が優れ
ず、したがって製品の歩止りが悪いという欠点があっ
た。
スタンパとして光記録媒体用基板の製造に用いるとき、
光記録媒体用基板の材料となる樹脂との離型性が優れ
ず、したがって製品の歩止りが悪いという欠点があっ
た。
（Ｄ）発明の目的 本発明の目的は、光記録媒体用基板の材料となる樹脂
と、感光性樹脂製の原盤から金属メッキ法によって製造
し光記録媒体用基板の製造に使用する金属母型との離型
性を向上することにある。
と、感光性樹脂製の原盤から金属メッキ法によって製造
し光記録媒体用基板の製造に使用する金属母型との離型
性を向上することにある。
（Ｅ）発明の構成 本発明になる母型の製造方法は、感光性樹脂製の原盤上
に金属電極層を形成し該金属電極層上に金属メッキを施
したのち前記原盤から前記金属電極層を剥離して金属電
極層と金属メッキ層との一体化された金属母型を得る母
型の製造方法において、前記剥離後の金属母型の型面に
酸素プラズマ処理を施すものである。
に金属電極層を形成し該金属電極層上に金属メッキを施
したのち前記原盤から前記金属電極層を剥離して金属電
極層と金属メッキ層との一体化された金属母型を得る母
型の製造方法において、前記剥離後の金属母型の型面に
酸素プラズマ処理を施すものである。
（Ｆ）発明の実施例 以下に本発明の要旨を実施例によって具体的に説明す
る。
る。
第１図ないし第５図は本発明による母型の製造方法の一
実施例を断面図によって順序に示したものであり、１は
ガラス基板,2は原盤,3はクローム電極層,4はニッケル電
極層,5はニッケルメッキ層を示す。
実施例を断面図によって順序に示したものであり、１は
ガラス基板,2は原盤,3はクローム電極層,4はニッケル電
極層,5はニッケルメッキ層を示す。
すなわち、最初に第１図に示すようにガラス基板１の上
にホトレジストによって形成した原盤２の上に蒸着法に
よって厚さ300Åのクローム電極層３を形成する。
にホトレジストによって形成した原盤２の上に蒸着法に
よって厚さ300Åのクローム電極層３を形成する。
次に第２図に示すようにクローム電極層３の上に蒸着法
によって厚さ300Åのニッケル電極層４を形成する。
によって厚さ300Åのニッケル電極層４を形成する。
次に第３図に示すようにニッケル電極層４の上にメッキ
によって厚さ300μｍのニッケルメッキ層５を形成す
る。
によって厚さ300μｍのニッケルメッキ層５を形成す
る。
次に第４図に示すように原盤２からクローム電極層３を
剥離して、クローム電極層３とニッケル電極層４とニッ
ケルメッキ層５との一体化された金属母型を得る。
剥離して、クローム電極層３とニッケル電極層４とニッ
ケルメッキ層５との一体化された金属母型を得る。
続いて金属母型の型面すなわちクローム電極層３の表面
に付着した原盤２の材料すなわち感光性樹脂をエタノー
ル及びメチルエチルケトンによって溶解除去したのち、
第５図に示すように、酸素圧力を２×10-2Torr.また高
周波電力を200Wとして、クローム電極層３の表面に対し
20分間の酸素プラズマ（OP）処理を施す。
に付着した原盤２の材料すなわち感光性樹脂をエタノー
ル及びメチルエチルケトンによって溶解除去したのち、
第５図に示すように、酸素圧力を２×10-2Torr.また高
周波電力を200Wとして、クローム電極層３の表面に対し
20分間の酸素プラズマ（OP）処理を施す。
以上のようにして製造した金属母型は、型面と光記録媒
体用基板の材料となる樹脂との離型性が極めて優れ、し
たがって、これをスタンパとして用い転写による光記録
媒体用基板の製造において製品歩止りを向上することが
できる。
体用基板の材料となる樹脂との離型性が極めて優れ、し
たがって、これをスタンパとして用い転写による光記録
媒体用基板の製造において製品歩止りを向上することが
できる。
（Ｇ）発明の効果 以上説明したように、本発明によれば光記録媒体用基板
の材料となる樹脂と、感光性樹脂製の原盤から金属メッ
キ法によって製造し光記録媒体用基板の製造に使用する
母型との離型性を向上し、したがって光記録媒体用基板
の製造において製品歩止りを向上することができる。
の材料となる樹脂と、感光性樹脂製の原盤から金属メッ
キ法によって製造し光記録媒体用基板の製造に使用する
母型との離型性を向上し、したがって光記録媒体用基板
の製造において製品歩止りを向上することができる。
第１図・第２図・第３図・第４図および第５図は本発明
一実施例の説明図である。また図中、２は原盤,3はクロ
ーム電極層,4はニッケル電極層,5はニッケルメッキ層で
ある。
一実施例の説明図である。また図中、２は原盤,3はクロ
ーム電極層,4はニッケル電極層,5はニッケルメッキ層で
ある。
Claims (1)
- 【請求項１】感光性樹脂製の原盤上に金属電極層を形成
し該金属電極層上に金属メッキを施したのち前記原盤か
ら前記金属電極層を剥離して金属電極層と金属メッキ層
との一体化された金属母型を得る母型の製造方法におい
て、前記剥離後の金属母型の型面に酸素プラズマ処理を
施すことを特徴とする母型の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9351283A JPH07106606B2 (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | 母型の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9351283A JPH07106606B2 (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | 母型の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59218646A JPS59218646A (ja) | 1984-12-08 |
| JPH07106606B2 true JPH07106606B2 (ja) | 1995-11-15 |
Family
ID=14084398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9351283A Expired - Lifetime JPH07106606B2 (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | 母型の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07106606B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100798193B1 (ko) * | 2000-10-03 | 2008-01-24 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 다층 광디스크 및 다층 광디스크의 제작 방법 |
| JP5458527B2 (ja) * | 2008-08-08 | 2014-04-02 | コニカミノルタ株式会社 | 光学フィルムの製造方法 |
-
1983
- 1983-05-27 JP JP9351283A patent/JPH07106606B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59218646A (ja) | 1984-12-08 |
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