JPH0337842A - 情報記録媒体用スタンパーの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［＋＊業１−の利用分粁］ 本発明は、光カード、光ディスク、コンパクトディスク
４７．−の、情報を記録再生ずる情報記録媒体を複製す
るための情報ｎＣ録媒体用スタンパーの製造カー法に関
するものである。

［従来の技術］ ビデオディスク、コンパクトディスク等の情報記２、Ｌ
面にトラッキング用溝及び情報用ビット等のグループが
ＪＦ３成されている＋＋”？報記録媒体を得るために従
来情報記録方式に応じた微細パターンが刻設されたスタ
ンバ−を用いて■ノ■：縮成形法■射出１１縮１ＪＩ１
．形■射出成形法及び■フｔ］・ポリマー法（２Ｐ法）
：り大別して４つの成形法により情報記録媒体用Ｊ、（
板が製作されている。

このような情報記録媒体用スタンバ−の製造方法として
は、特開昭６２−２１７４２２、オブトロニクス［軍７
巻、５　Ｓｉ　（＋９８８）Ｐ１１５〜１２０：光ディ
スクスタンパ−の製作技術］、電子材料［第２７巻、２
７号（＋９８８）、　Ｐ５１〜５７：光ディスクの製造
プロセスコ等に記載されているが、代表的な情報記録媒
体用スタンバ−の製造ブｆ法としては次のような工程か
ら成るものである。

まずフォトレジストをガラス等の社板にスピンナー等の
塗布機を用い所定の膜Ｐｌで塗！１テする。

次に、−ａにはレーザー・カッティング・マシーン等の
露光機を用い、トラッキング用？Ｍ及び＋＋’：　ｆＦ
Ｊ用ビット専の所望の門凸の入った微細パターンを露尤
する。その後パドル現像等の工程を経て所望の微細パタ
ーンがバターニングされた、ガラス原盤か得られる。

このガラスＩｆｌ盤に、銀鏡、息電解ニリケルめっき、
スパッターリング等により、銀又はニッケル膜を設は導
ｒ「ＥＴ化他処理行なう。更に、この上に、ニッケル電
鋳を行ない、所定のノ′１さにし、ガラス原盤よりニッ
ケル層を剥離するとファザー・スタンパーか得られる。

次に、このファザー・スタンパーの表面に付表している
フォトレジストを洗い流した後、ファザー・スタンパー
の表面に市りロム酸容液て剥離処ｐｌｊを施コＩ−０こ
の剥離処理を施したファザー・スタンパーにニッケル１
％　訪を行ない所望のｙ′Ｉさにし、ファザー・スタン
パーよりニッケル層を♀ＩＩ　ｆｔｉしてｉ４？られる
スタンバ−をマサ−・スタンバ−とする。

史に同様にして、このマザー・スタンパーにニッケル宣
訪を施し剥離することで、スタンバ−を１１？ることか
できる。

このような工程を経て得られたスタンバ−を使用して、
ガラス原盤に設けられた微細パターンか転写された＋Ｉ
ｌｉ報記録媒体用基板か製作される。

又、前記電子材料（１９８８）光磁気ディスクの製造プ
ロセスに記載されているように、最近ではトライエツチ
ング法によりカラス原盤に、トラッキング用溝及び情報
用ビット等の凹凸の入った微細パターンを刻設し、得ら
れたより高品質のガラス原盤を用いて作製したスタンバ
−により情報記録媒体用基板を製作する試みも行なわれ
ている。

［発明が解決しようとする課翅］ しかしながら上記従来例ではガラス原盤をもとにファザ
ー・スタンパー→マザー・スタンパー→スタンバーとい
う工程を経てガラス原盤に設けられた微細パターンをコ
ピー（複写）して製作しているので、最初にガラス原盤
に設けられた微細パターンよりもスタンバ−に形成され
た微細パターンは精度が劣っているという欠点がある。

そのため、高特度の微細パターンを形成したスタンバ−
を安価に、しかも量産できるはずの、ニッケルｌｉ、ｊ
、：３寿スタンバ−の製造方法ではあるが、数的にはガ
ラス原盤にニッケル電鋳を施し、その後剥離し得られる
ファザー・スタンパーをスタンバ−として用いることも
行なわれるか、所定の数のファザー・スタンパーを作製
しなければならず高価なものとなる。

劣化のＪ工水的な原因は、ガラスカ；【盤→ファザー・
スタンパー→マザー・スタンパー→スタンパーとコピー
をくり返すことにある。

例えば、ファザー・スタンパーより、３個のマザー・ス
タンパーを製作し、各マザー・スタンパーより、３個の
スタンバ−を製作すると、ＩＮｔ終的には９個のスタン
バ−を１個のガラス原盤より得ることができる。しかし
従来のスタンバ−の製作方性では、ファザー・スタンパ
ーからマザー・スタンパーを製作するときに、ファゾー
・ズタンバーに剥離処理を行ない、その後、ニッケル′
ｆニ鋳を所望のＪｊＪさにし、ニッケル層を剥離し、マ
ザー・スタンパーを得ている。

この剥離処理は、屯クロム酸溶液によるニラチル表面Ｐ
、ｖｉの酸化処理である。そのため剥離処理された表面
層には、ごく薄い多孔Ｔ’ｔの酸化膜が形成されている
ものと考えられるが、該剥離処理のために、ファゾース
タンパーより１：？られるマザー・スタンパー３個のそ
れぞれの微細パターンは処理の同数とともに劣化し、さ
らにマザー・スタンパーより得られるスタンバ−に、Ｒ
ｇｌ＋パターンの劣化かそれぞれ処理の同数とともに起
ることになる。

すなわち、１個［１のスタンバ−と９個目のスタンパー
では、同じＥ程を経て製作されたスタンバ−であっても
、微細パターンの劣化には大きな差か現れてくる。又ニ
ッケルどうしの剥離をくり返すので、キズか微細パター
ンに入りやすいといった欠点もあった。

又従来例に明記しであるように、最近ガラス原盤にドラ
イエツチングを施しスタンバ−を製作する方法が試みら
れているが、ガラス原盤とスタンバ−の剥離か困難とい
う欠点かあった。

以ドＥ連した従来例の欠点を箇条書きで示す。

ｍ　−−一般的なニッケル電鋳スタンバ−の製造方法で
は、微細パターンに劣化が起るため、劣化の少ないファ
ザー・スタンパーをスタンバ−として用いている。その
ため、安価なスタンバ−は望めない。

（２）安価なニッケル電鋳スタンバ−の製造方法は、コ
ピーをくり返し製造する構成をとっているが、スタンバ
−の微細パターンに劣化の差を生しる。そのために品質
の不安定（バラツキ）及びイ３頼性が乏しい。

（３）ｊ；ｌｌｉ本的にニッケルどうしの電鋳、剥離を
くり返し製造する構成をとっているので、情報記録媒体
の微細パターンにキズか入りやすいといった欠点がある
。

（４）トラッキング用溝及び情報用ピット等の凹凸の入
った微細パターンを刻設し、より高品質のガラス原盤を
用いてスタンバ−を製作すると、ガラス表面で剥離か軟
しくキズか入りやすいといった欠点がある。

本発明は、この様な従来の情報記録媒体用スタンバ−の
製造方法及び製造技術に鑑みてなされたものであり、ガ
ラス原盤からのスタンバ−のコピーにより生じる微細パ
ターンの劣化を起こさない新規なスタンバ−の製造方法
を提供＝ｒるものである。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、ガラス基板にレジスト膜を形成して、該レジ
スト膜にカッティングを施し微細な凹凸パターンを形成
しガラス原盤を製作する工程、マ１１られたガラス原盤
にドライ・エツチングを行ないファザー・スタンパーを
製作する工程、得られたファザー・スタンパーに樹脂基
材を形成し剥離しマザー・スタンパーを製作する工程、
得られたマザー・スタンパーに金属導電化膜を形成し、
このヒに電鋳によって電鋳共材を形成した後、該電２１
ｉ基材と共に該金属導布化１漠を前記マザー・スタンパ
ーより剥離しスタンバ−を製作する工程とから成ること
を特徴とする＋Ｉ′ｉ報記録媒体用スタンバーの製造方
７去であり、又前記マザー・スタンパーを製作する工程
において、前記ファザー・スタンパーの複数個をスタン
バ−用架設台に固着し、う数個取りマザー・スタンパー
を製作することにより、多数個取りスタンバ−を製造す
るものである。

本発明の方法によれば、複製によりスタンバ−を７４作
するための屯クロム酸溶液による剥ｗｉ処理を行なわな
いため、又ファザー・スタンパーをガラス原盤のトライ
エツチングにより形成するため工程を簡略化でき微細パ
ターンの劣化を抑制することができる。又マザー・スタ
ンパーは樹脂基材により製作するためファザー・スタン
パーとの♀り離も比較的盲動であり、グループ面にキズ
か入りにくい。この結果、品質の安定性及び信頼千生の
高い優れたスタンバ−が容易に得られるようにる。

以下、図面を参照して本発明を説明する。

第１図は、本発明の方法による手順を示した工程説明図
である。用いることのできる基板としては、公知の青板
ガラス等のガラス基板でよく、又該載板上にスピンナー
等で形成するレジスト膜も公知のものでよい。カッティ
ングはレーザー・カッティングや密着露光等により行な
うことかでき所定の凹凸パターンを形成し、つづいて現
像することによりレジストパターンをつくり、これをガ
ラス原盤とする。

複数個取りマザー・スタンパーを製作するには、たとえ
ば斤板ガラス埠の架設台に得られているファザー・スタ
ンパーをエポキシ系接着材等により接若することにより
固定化すればよい。この場合、予め架設台にはファザー
・スタンパー及び接着材の層厚を考慮して溝加工を施し
ておくとよい。

第２図は本発明の情報記録媒体用スタンバ−の製造方法
の各工程で得られるものの概略図であり、本図の−Ｅ部
に示しであるのは一部拡大模式断面図である。同図にお
いて７は青板ガラス等のガラス基板、５はスタンバ−の
凹凸を形成するためのレジスト・パターン、１はガラス
吹板にレジストをバターニングしたガラス原盤、２は、
ガラス原盤をドライ・エツチングし所定の深さの微細パ
ターンを形成した、ファザー・スタンパー５３は、ファ
ザー・スタンパーに樹脂基板を形成し得られるマザー・
スタンパー１４はマザー・スタンパーに導電化処理を施
し、ＴＬ鋳により共材形成しｆ’られる情ｆｌｌｌ泥録
媒体用スタンバーである。

得られたガラス原盤は次にトライエツチングにより凹凸
パターンにそってエツチングし、トラッキング用溝及び
情報用ビット等の微細パターンを刻設し、ファザー・ス
タンパーとする。得られたファゾースタンバーの表面に
はフォトレジストの桟７青か付着しているが、これは、
たとえば、酸素プラズマ、ア・ソシング等の手段で除去
すればよい。

ファザー・スタンパーは単独で用いても、叉拉致個をス
タンバ−用架設台に回前してもよい。複数個のファザー
・スタンパーを白に設置すれば同数のマザー・スタンパ
ー及びスタンバ−を製作下ることかでき、効率化をはか
ることができる。

次に樹脂Ｊ１ｃ材をファザー・スタンパーによりｊＦモ
成し剥離することによりマザー・スタンパーを製作する
が、用いることのできる摺脂阜材の材料としては紫外線
硬化樹脂としてエポキシアクリレート系樹脂、ウレタン
アクリレート系樹脂等又はポリエステルアクリレート系
樹脂叉はＰＭＭＡ樹脂に、りであり、形成方法としては
、２Ｐ（フォト・ポリマー）法、７コニ型成形法等によ
り行なえばよい。

形成されたマザー・スタンパーは表面に二Ｑｔケル膜、
銀膜等をスパッタ装置等により成膜することにより、導
電化ｔｌＱを形成する。次に該４電化膜上に電鋳装置に
より所定厚みの電鋳共材の層を形成した後、剥離すれば
スタンバ−が得られる。

第２図に示すように、本発明の方法においては、ファザ
ー・スタンパーは剥離処理によらず、ガラス原盤から作
製され、又マザー・スタンパーは１つのファザー・スタ
ンパーから複数個作製することができるが、マザー・ス
タンパーには樹脂材料を用いるため、従来の重クロム酸
等による剥離処理は不必要で、容易に剥離する結果、フ
ァザー・スタンパーの微細パターンか劣化せず、マザー
・スタンパーか複数個作製されてもマザー・スタンパー
のｖｌ細パターンは劣化しない。スタンバ−はマザー・
スタンパーから従来の剥離処理をへて得られるが、該ス
タンバ−は１つのマザー・スタンパーか６１つしか作製
されいため、パターンの劣化は増大しない。

又第３図は、従来の情報記録媒体用スタンバ−の製造方
法を説明する概略図であり、本図の上部に示しであるの
は、一部拡大模式断面図である。

同図において、７は青板ガラス等のガラス基板、５はス
タンバ−の凹凸を形成するためのレジスト・パターン、
１は上記のガラス基板にレジストを塗布し、バターニン
グしたガラス原盤、２はガラスＪＭ盤に導電化処理を施
し、電鋳により基材形成し剥離することで得られるファ
ザー・スタンパー１６はファザー・スタンパーに剥離処
理を施し、電鋳によ基材形成し、剥離することで得られ
るマザー・スタンパー１４はマザー・スタンパーに剥離
処理を施し、電鋳により基材形成し剥離することで得ら
れる情報記録媒体用スタンバ−である。

軍２図に示した本発明の方法と比べ、第３図の従来法で
はファザー・スタンパー、マザー・スタンパー１及びス
タンバ−の各作製工程において剥離処理が施されており
、かつ、１つのファザー・スタンパーより複数のマザー
・スタンパー１１つのマザースタンバ−から複数のスタ
ンバ−をｊｉｔているので、微細パターンの劣化は増大
してぃく。

第４図には、本発明の方法による各製造工程の概略を示
す。

まず、青板ガラス等により成るガラス基板７上にスタン
バ−の凹凸を形成するためのレジスト・パターン５を形
成しくＡ）、次に、これをドライエッヂングし所定の深
さの微細パターンを形成しくＢ）、レジストの残漬を除
去することによりファゾー・スタンパ−２を得る（Ｃ）
、次にファザー・スタンパー上に樹脂基材によりマサ−
・スタンバ−３を形成する（Ｄ）、その後マザースタン
バ−３を剥離し、剥離した面に電鋳基材を形成するため
の導電化膜８を成膜しくＥ）、さらに電３１７　層を形
威しくＦ）、剥離すればスタンパ−４が得られる（Ｇ）
。

多数個取りマザー・スタンパーを作製するには、第５Ｕ
Ａに示すようにすればよい。すなわち、第４図（Ｃ）で
得られるファゾー・スタンパ−２をファザー・スタンパ
ーを保持する多数個取りスタンパ−用架設台１０に、フ
ァゾー・スタンパ−２と９９数個取りスタンパ−用架設
合を接合するための拌合居９を介して固定しくＡ）１次
に多数個取りファザー・スタンパー−ｈに樹脂共材１１
を形成しくＢ）、♀１１離することにより多数＠取りマ
ザー・スタンパ−Ｉ＋を得る（Ｃ）、この多数個取りマ
ザー・スタンパー剥離面に主鋳よ（材を形成するための
導電化膜８を成膜しくＤ）、さらに電ＺＪｉによりマザ
ー・スタンパ−に電鋳層１２”を形成しくＥ）、剥離す
ればスタンバ−１２を得る（Ｆ）。

第７図には多数個取りスタンバ−の製造工程に用いるこ
とのできる多数個取りファザー・スタンパーの１例を示
す模式斜視図であるが、形状はこれに制限されるもので
はない。

又、第５図に示したように架設台は、ファゾースタンバ
ー及び接着層の厚みを考慮し、予め凹状に形成しておき
樹ＩＦｔ形成面を平面とすることが好ましいか、形態と
しては第６図の（Ａ）（第５１＊Ｉと同じ形態）、（Ｂ
）、（Ｃ）等種々の形を取ることができる。すなわち、
（Ｂ）は、情報記録媒体用ファゾースタンパー２を多数
個取りスタンバ−用架設台１０の所定の位置にエポキシ
系接着剤により接着を行ないさらに樹脂形成面を平面に
するため、Ｓ数個取りスタンパ−用架設台の上蓋１３を
エポキシ系接４１？剤により接着することにより業７図
にノｊ１す多数個取りファゾー・スタンパ−を製作する
ものである。

又、（Ｃ）は多数個取りスタンパ−用架設台１０の所定
の付置に凸部を設け、その４１１部に情報記録媒体用フ
ァゾー・スタンパ−２をエポキシ系接着剤により固定し
、ざらに樹脂形成面を平面にするため、多数個取りスタ
ンパ−用架設台の上蓋１３をエポキシ系接着剤により接
着することにより、第７図に示す多数個取りファザー・
スタンパーを製作するものである、 〔実施例コ 実施例１ 笛ｌ閃のｒ程説明図及び第４四の情報記録媒体用スタン
バ−の製造下程図に〕ふづきスタンパ−を製作した。ま
ず青板ガラス等のガラスＪ、Ｕ板７にレジスト１漠を形
成する。レジストは、Ａｚ１３００４．６ＣＰ　　（会
社名：ヘキスト・ジャパン）をレジスト：シンナー＝１
：２のｗＬ比で希釈する。希釈レジストをガラス貼板７
に滴下し、スピンナー回転速度３０００　ｒｐｍで１摸
厚ｆ　０００λのレジスト膜を形成する。その後レーザ
ー・カッティングマシーン、密着露光装置ＰＬＡ（会社
名：キャノン）等の露光装置を用い、所定の凹凸のパタ
ーン（同心円状、スパイラル状、ストライブ状いずれで
もよいが、本実施例ではスパイラル状とした）をカッテ
ィングし、現像することでレジスト・パターン５を／ｆ
二成し、ガラスＪ！１盤を得た。（第４図工程（Ａ）） 次にトライエツチング装置によりガラス原盤を１０００
人エツチングすることにより、ピッチＬ、ｌｉμｍ、段
差ｉ　ｏｏｏ入のスパイラル状案内溝よりなるトラッキ
ング用溝及び情報相ピット等の凹凸の入った微細パター
ンを刻設しファザー・スタンパー２を得た（第４図工程
（Ｂ））。ドライエツチング条件は）記の通りであった
。

＊ドライエツチング条件 真空度　　　　　Ｉ　Ｘ　１Ｏ−３Ｐａ工、７チングガ
ス　へｒ、ＣＦ４．Ｃ２Ｆ。

エツチングｔｉｍｅ　　５　ｍｉｎ 次に、このファザー・スタンパー２の表面に付着してい
るフォトレジストを酸素プラズマ・アッシング等の方法
を用い除去した後、樹脂基材３を形成し剥離しマザー・
スタンパーとする。（第４図工程（Ｄ）） 尚、この樹脂基材の形成にはいわゆる２Ｐ（フォト・ポ
リマー）７去を用いた。すなわち、ファザー・スタンパ
ー２の上に、紫外線により硬化するエポキシアクリレー
ト系の樹脂（商品名：ＭＩＩＡ−５０００、会社名：三
菱レイヨン）を塗布し、直径５インチφ、厚さ１．Ｉｍ
ｍのガラス基材で上蓋をした後、ガラス基材側から紫外
線を照射し、アクリレート系の樹脂ＭＲＡ−５０００を
硬化させ、ファザー・スタンパーより剥離することによ
りマザー・スタンパーを得た。

次に、２Ｐ樹脂で形成されたマザー・スタンパー３の表
面にニッケルＩＩＱ　１０００入をスパッター装置によ
り、成膜することで、導電化膜８を形成した。（第４図
工程（Ｅ）） さらに電鋳装置により下記に示す電鋳戒を用いニッケル
Ｉ、’、＝　鈷を行ない０．１　ｍｍ〜０．３ｍｍのニ
ッケル溝を形成し剥離することで、本発明の情報記録媒
体用スタンバ−を製作した。（第４図工程（Ｆ）及び（
Ｇ）） 電鋳液の組成比をＦ記に示す スルファミン酸ニッケル・４水塩 ［Ｎ：　（８１＋２ＳＯ３）２・４１１□Ｏ］　　　５
００ｇ／ｌ硼酸［Ｈ，口０３］　　　　　　　　　　３
５〜３８ｇ７１ビツト防止剤　　　　　　　　　　２５
ｍ１／Ｉ実施例２ 軍４図の情報記録媒体用スタンバ−の製造工程し１で示
される工程（Ｄ）のマザー・スタンパーの製造方法で樹
脂藁材として、いわゆる２Ｐ（フォト・ポリマー）法を
用いた。

ピッチ１．６μｍ、段差１０００Ａのスパイラル状案内
満が形成されたファザー・スタンパー２の上に、紫外線
により硬化するエポキシアクリレート系の樹脂（商品名
：　ＭＲＡ−５０００、会社名：三菱レイヨン）を塗布
し、直径５インチφ、厚さ１．１ｍｍのＰＭＭＡ、又は
ＰＣで上蓋をした後、上蓋側から紫外線を照射し、アク
リレート系の樹脂Ｍ貼−５０００を硬化させ、ファザー
・スタンパーより剥離することによりマザー・スタンパ
ーとした。以下、実Ｊｉｆｉｉ例１と同様の工程を経て
情報記録媒体用スタンバ−が製作された。

実施例３ 第４　ＵＡの情報記録媒体用スタンバ−の製造工程図で
示される工程（Ｄ）のマザー・スタンパーの製造方性で
樹脂共材として、樹脂のモノマー又は、溶練を含んだプ
レポリマーを用いる注型成形法によりマザー・スタンパ
ーを製造した。すなわち、ピッチ１２μｍ１段差３００
０λのストライプ状案内溝が形成されたファゾースタン
バー２の周辺にスペーサーを設はセルを組み立てた。該
セルに下３ｒ！、に示す組成によるプレポリマー（液状
樹脂）を注入し、１２０℃で１０時間の硬化を行ない、
その後、ファザー・スタンパーより剥離することにより
マザー・スタンパーとした。以下、実施例１と同様の工
程を経て情報記録媒体用スタンパ−が製作された。

（配合組成） メタクリル酸メチル　　　　　　７０重量部メタクリル
酸ターシャリブチル　２５重量部ポリエチレングリコー
ル ジメタクリレート（分子量６２０）　　５ｆ［ｈ１部実
施例４ 第４図の情報記録媒体用スタンパ−の製造工程図で示さ
れる工程（Ｃ）のファザー・スタンパーを用い多数個取
りスタンバ−を製作した。すなわち、軍５図のＳ数個取
りスタンバ−の製造工程図を用いて説明すると、多数個
取りスタンバ−用架設台１０にファザー・スタンパー２
をエポキシ系１ｇ着剤により接着する。多数個取りスタ
ンバ−用梨設合１０にはファザー・スタンパー２と接合
１Ｍ９のＪｔＪみを加えた溝加工を施しである。得られ
たファザー・スタンパーは第６図（Ａ）に示した構成と
なっている。

溝加工は、メタルタイヤモント砥石を用い円形状に溝加
工を施した次に実施例２と同様にして、第７図に示す多
数個取りファザー・スタンパーのＥに紫外線により硬化
するエポキシアクリレート系の樹脂（商品名：　ＭＲＡ
−５０００：会社名Ｆ菱しイヨン）を塗布し直径２０イ
ンチφ、厚さ３．５ｍｍのＰＭＭＡ又は、ＰＣで上蓋を
した後、上蓋側より紫外線を照射し、アクリレート系の
樹脂ＭＲＡ−５０００を硬化させ、多数個取りマザー・
スタンパー１１を得た。

次に多数個取りマザー・スタンパー１１の表面にスパッ
ター装置により、ニッケル膜を１０００大成服し、これ
を導電化膜とする。らに型鋳装置によりニッケル電鋳を
行ない０．１　ｍｍ〜０．：１ｍｍのニッケル層を形成
し、剥離することで多数個取りスタンバ−１２が製作さ
れた。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の情報記録媒体用スタンバ−
の製造方法によれば、ドライ・エツチングによりトラッ
キンク用溝及び情報用ピット等の凹凸の入ったファゾー
スタンバーを用い、樹脂基材によりマザー・スタンパー
を製作することにより、悄ｆｌＪｊ己録媒体用スタンバ
ーのクループ面にキズが入りにくく、マザースタンバ−
の製造時間を短縮する効果がある。さらに本発明の構成
を用いることで、品質の安定性及び信頼性の高い情報記
録媒体用スタンバ−が製造できる。

また、樹脂共材によりマザー・スタンパーを製作コｒる
工程において、多数個取りマザー・スタンパーを用いれ
ば多数個取りスタンバ−が製作できる。

この多数個取りスタンバ−を用いることにより、−度に
複数枚まとめて情報記録媒体用基板を製造することがで
きる。効果として生産効率の大幅な向上か達成され、情
報記録媒体のコスト低減を図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

笛１図は、本発明の情報記録媒体用スタンバ−の製造方
法による流れを示した説明図、第２図は本発明の方法に
よる流れを模式的に示した図であり、上部は微細パター
ンの模式断面図、第３図は従来の方法による流れを模式
的に示した図であり１部は微細パターンの模式断面図、
′ｆ２４図は本発明の方法により（Ａ）→（Ｇ）の順で
スタンバ−を製造する工程図、第５図は本発明の方法に
より（Ａ）→（Ｆ）の順で多数個取りスタンバ−を製造
する工程図、第６図は本発明に係る多数個取りファザー
・スタンパーの態様を示す製造方法説明図、第７図は本
発明に係る多数個取りファザー・スタンパーの模式斜視
図である。 ｌ・・・ガラス原盤 ２・・・ファザー・スタンパー ３・・・樹脂基材（マザー・スタンパー）４・・・情報
記録媒体用スタンバ− ５・・・レジスト・パターン ６・・・マザー・スタンパー ７・・・ガラス基板 ８・・・導電化膜 ９・・・接合層 ０・・・多数個取りスタンバ−用架設台１・・・多数個
取りマザー・スタンパー２・・・多数個取りスタンバ−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ガラス基板にレジスト膜を形成して、該レジスト膜
   にカッティングを施し微細な凹凸パターンを形成しガラ
   ス原盤を製作する工程、得られたガラス原盤にドライ・
   エッチングを行ないファザー・スタンパーを製作する工
   程、得られたファザー・スタンパーに樹脂基材を形成し
   剥離しマザー・スタンパーを製作する工程、得られたマ
   ザー・スタンパーに金属導電膜を形成し、この上に電鋳
   によって電鋳基材を形成した後、該電鋳基材と共に該金
   属導電膜を前記マザー・スタンパーより剥離しスタンパ
   ーを製作する工程とから成ることを特徴とする情報記録
   媒体用スタンパーの製造方法。 ２、前記マザー・スタンパーを製作する工程において、
   前記ファザー・スタンパーの複数個をスタンパー用架設
   台に固着し、多数個取りマザー・スタンパーを製作する
   ことにより多数個取りスタンパーを製造する請求項１に
   記載の方法。