JPS6079351A - スタンパの作製法 - Google Patents
スタンパの作製法Info
- Publication number
- JPS6079351A JPS6079351A JP18692383A JP18692383A JPS6079351A JP S6079351 A JPS6079351 A JP S6079351A JP 18692383 A JP18692383 A JP 18692383A JP 18692383 A JP18692383 A JP 18692383A JP S6079351 A JPS6079351 A JP S6079351A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoresist
- film
- stamper
- thin film
- glass substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
- C03C2218/355—Temporary coating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は情報記録媒体の製造に使用されるスタンパの作
製法に関する。さらに詳しくは、本発明は光ディスク用
プレグルーブ付き基板作製のための２Ｐ用スタン、ａに
関する。
製法に関する。さらに詳しくは、本発明は光ディスク用
プレグルーブ付き基板作製のための２Ｐ用スタン、ａに
関する。
従来技術
従来の光デイスク基板は第１図〜第６図に示すような手
順で製造されている。まずガラス基板１上にフォトレジ
スト膜２（４０〜１３０ ｎｍ ） ’を塗布し、レー
ザによシバ光し現像してピットま九はプレグルーブ２′
（幅０．５〜１．０μｍ）を形成する（第１図）。次に
、これにスパッタリング法または真空蒸着法によって銀
またはニッケルを付着させて導電膜３とする（第２図）
。この導電膜３を陰極としてニッケル板４を電鋳によ多
形成する（第３図）。電鋳板４を導電膜３と一緒にガラ
ス基板上 ２を除去してスタンパ（マスター）とする（第４図）。
順で製造されている。まずガラス基板１上にフォトレジ
スト膜２（４０〜１３０ ｎｍ ） ’を塗布し、レー
ザによシバ光し現像してピットま九はプレグルーブ２′
（幅０．５〜１．０μｍ）を形成する（第１図）。次に
、これにスパッタリング法または真空蒸着法によって銀
またはニッケルを付着させて導電膜３とする（第２図）
。この導電膜３を陰極としてニッケル板４を電鋳によ多
形成する（第３図）。電鋳板４を導電膜３と一緒にガラ
ス基板上 ２を除去してスタンパ（マスター）とする（第４図）。
このようにして作製したスタンパとアクリル基板５０間
に紫外線硬化樹脂６を入れ圧着し紫外線硬化樹脂６にピ
ットやプレグルーブの形状を転写しアクリル基板５側か
ら紫外線７を照射して硬化させる（第５図）。これをス
タンパから剥離して基板とする（第６図）。このように
射出成形のような高温高圧をスタンパへ作用させずに紫
外線硬化樹脂を用いて基板を作製する方法を２Ｐ法と称
する。かかる従来の方法では、スタンパをガラス基板か
ら剥離□する過程で平面度が悪くなる、スタンパ作製の
工程が多いためその間にゴミが付着したシ転写精度が悪
（なるまた製作コストも高くなるという問題があった。
に紫外線硬化樹脂６を入れ圧着し紫外線硬化樹脂６にピ
ットやプレグルーブの形状を転写しアクリル基板５側か
ら紫外線７を照射して硬化させる（第５図）。これをス
タンパから剥離して基板とする（第６図）。このように
射出成形のような高温高圧をスタンパへ作用させずに紫
外線硬化樹脂を用いて基板を作製する方法を２Ｐ法と称
する。かかる従来の方法では、スタンパをガラス基板か
ら剥離□する過程で平面度が悪くなる、スタンパ作製の
工程が多いためその間にゴミが付着したシ転写精度が悪
（なるまた製作コストも高くなるという問題があった。
目 的
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであって、その
目的はガラス基板の平面度を保ち、製作工程数が少なく
、ゴミの付着する機会が少なく、転写精度も良くしかも
製作コストも安価なスタンパの作製法を提供することで
ある。
目的はガラス基板の平面度を保ち、製作工程数が少なく
、ゴミの付着する機会が少なく、転写精度も良くしかも
製作コストも安価なスタンパの作製法を提供することで
ある。
構成
本発明によるスタンパの作製法は、ガラス基板上に金属
薄膜を形成し、この金属薄膜の上にフォトレジストを適
用し、このフォトレジストを露光し現像して凹凸を形成
させた後金属を付着させ次にフォトレジストを除去する
ことからなるものである。また、本発明の別法によれば
上述のようにして凹凸を形成させた後金属を付着させる
代りに金属薄膜上の７オトレジストをマスクとして前記
金属薄膜をエツチングし次いでフォトレジストを除去し
てスタンパを作製することができる。ここで「凹凸」と
は情報信号と対応するピットやプレグルーブを意味する
。
薄膜を形成し、この金属薄膜の上にフォトレジストを適
用し、このフォトレジストを露光し現像して凹凸を形成
させた後金属を付着させ次にフォトレジストを除去する
ことからなるものである。また、本発明の別法によれば
上述のようにして凹凸を形成させた後金属を付着させる
代りに金属薄膜上の７オトレジストをマスクとして前記
金属薄膜をエツチングし次いでフォトレジストを除去し
てスタンパを作製することができる。ここで「凹凸」と
は情報信号と対応するピットやプレグルーブを意味する
。
以下添付図面を参照して本発明のスタンパ作製法の一実
施例について詳細に説明する。
施例について詳細に説明する。
第７図に示すように、ガラス基板１の上にスパッタリン
グ法または真・空蒸着法などによってニッケル等の金属
薄膜８を形成し次にこの上にスピナー等によυピット深
さよシ厚いフォトレジスト２を形成する。次に、情報信
号によって変調されたレーザを照射して露光し次いで現
像処理を行なって金属薄膜の上に情報信号と対応した凹
凸（ピット２′）を形成する（第８図）。
グ法または真・空蒸着法などによってニッケル等の金属
薄膜８を形成し次にこの上にスピナー等によυピット深
さよシ厚いフォトレジスト２を形成する。次に、情報信
号によって変調されたレーザを照射して露光し次いで現
像処理を行なって金属薄膜の上に情報信号と対応した凹
凸（ピット２′）を形成する（第８図）。
次に、第９図に示すように凹凸（ピット、グループ）の
上に金属薄膜８の形成に使用したと同じ金属をスパッタ
リング法または真空蒸着法などによって必要なピット深
さと等しい膜厚の金属薄膜９を形成する。次いで、第９
図で２で示すフォトレジストを除去すると第１０図に示
すように溝内に付着された金属薄膜９だけが金属薄膜８
上に残って本発明のスタンパが作製される。
上に金属薄膜８の形成に使用したと同じ金属をスパッタ
リング法または真空蒸着法などによって必要なピット深
さと等しい膜厚の金属薄膜９を形成する。次いで、第９
図で２で示すフォトレジストを除去すると第１０図に示
すように溝内に付着された金属薄膜９だけが金属薄膜８
上に残って本発明のスタンパが作製される。
また、本発明の別の実施例ではガラス基板１の上に金属
薄膜の膜厚をピット深さと等しくする以外には上述した
と同様にして金属薄膜８を形成した後フォトレジスト２
を形成する（第８図）。次に、この金属薄膜８上のフォ
トレジスト２をマスクとしてエツチングし第１１図に示
すようにピット２′を形成する。次に、フォトレジスト
２を除去するとガラス基板１上に金属薄膜８が残存して
第１２図に示すようなスタンパが作製される。
薄膜の膜厚をピット深さと等しくする以外には上述した
と同様にして金属薄膜８を形成した後フォトレジスト２
を形成する（第８図）。次に、この金属薄膜８上のフォ
トレジスト２をマスクとしてエツチングし第１１図に示
すようにピット２′を形成する。次に、フォトレジスト
２を除去するとガラス基板１上に金属薄膜８が残存して
第１２図に示すようなスタンパが作製される。
なお、上述した実施例は本発明の例示のために掲げたも
のであって本発明の要旨の範囲内で種々変形実施できる
ことはもちろんである。
のであって本発明の要旨の範囲内で種々変形実施できる
ことはもちろんである。
効果
本発明の方法によれば以下の効果を得ることができる。
ａ）平面度の良いガラス基板がそのままスタンパの基板
として使用されるので、従来のスタンパに比べ非常に平
面度がよい。
として使用されるので、従来のスタンパに比べ非常に平
面度がよい。
ｂ）工程数が少ないので、ゴミの付着する機会が少な（
転写精度もよく、製作コストも安い。
転写精度もよく、製作コストも安い。
Ｃ）メッキ工程がないので、メッキ液の処理等の環境汚
染を生じることがない。
染を生じることがない。
ｄ）紫外線硬化性樹脂を使用する場合は射出成形と異な
シ熱や圧力が殆ど作用しないので、本発明のガラス基板
でも充分に使用に耐える。
シ熱や圧力が殆ど作用しないので、本発明のガラス基板
でも充分に使用に耐える。
第１図〜第６図は従来のスタンパの製作工程を説明する
部分断面図でありそして第７図〜第１２図は本発明のス
タンパの製作工程を説明する部分断面図である。 １・・・ガラス基板、２・・・フォトレジスト、２′・
・・ピットまたはプレグルーブ、３・・・導電膜、４・
・・ニッケル電鋳板、５・・・アクリル板、６・・・紫
外線硬化樹脂、７・・・紫外線、８，９・・・金属薄膜
。 特許出願人 株式会社 リ コ − 第７図
部分断面図でありそして第７図〜第１２図は本発明のス
タンパの製作工程を説明する部分断面図である。 １・・・ガラス基板、２・・・フォトレジスト、２′・
・・ピットまたはプレグルーブ、３・・・導電膜、４・
・・ニッケル電鋳板、５・・・アクリル板、６・・・紫
外線硬化樹脂、７・・・紫外線、８，９・・・金属薄膜
。 特許出願人 株式会社 リ コ − 第７図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）ガラス基板、上に金属薄膜を形成し、この金属薄膜
の上に７オトレジストを適用し、このフォトレジストを
露光し現像して凹凸を形成させた後金属を付着させ次に
フォトレジストを除去することを特徴とする、スタンパ
ノ作製法。 ２）ガラス基板上に金属薄膜を形成し、この金属薄膜の
上に７オトレジストを適用し、このフォトレジストを露
光し現像して凹凸を形成させた後、前記金属薄膜上のフ
ォトレジストをマスクとして前記金属薄膜をエツチング
し次にフォトレジストを除去することを特徴とする、ス
タンパの作製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18692383A JPS6079351A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | スタンパの作製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18692383A JPS6079351A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | スタンパの作製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6079351A true JPS6079351A (ja) | 1985-05-07 |
Family
ID=16197066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18692383A Pending JPS6079351A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | スタンパの作製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6079351A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02271934A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-06 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光ディスク基板 |
| EP1564735A3 (en) * | 2004-01-08 | 2007-01-10 | Komag, Inc. | Method and apparatus for making a stamper for patterning CDs and DVDs |
-
1983
- 1983-10-07 JP JP18692383A patent/JPS6079351A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02271934A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-06 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光ディスク基板 |
| EP1564735A3 (en) * | 2004-01-08 | 2007-01-10 | Komag, Inc. | Method and apparatus for making a stamper for patterning CDs and DVDs |
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