JPH02310027A - 情報記録媒体用スタンパーの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光カード、光ディスク等の情報を記録、ｉｆ
ｆ生する情報記録媒体を複製するための情報記録媒体用
スタンパーの製造方法に関するものである。

〔従来の技術〕

ビデオディスク、コンパクトディスク等の情報記録面に
トラッキング用溝及び情報用ビット等のグループが形成
されている情報記録媒体を得るために、例えば情報記録
方式に応じた微細パターンが刻設されたスタンパーを用
い゛乙■情報記録媒体用基板の材料が６１塑性樹脂から
なる場合には、インジエクシジン法やコンブレッソミ１
ン法、ローラー・グループ成形法又は■光硬化性樹脂組
成物を硬化させて、情報記録媒体用スタンパーのレプリ
カを透明樹脂板に転写するいわゆる２Ｐ（フォト・ポリ
マー）法、■樹脂の千ツマ−又は溶剤を含んだプレポリ
マーを用いる７１ノＡす成形法等で情報記録媒体用ＪＬ
板を製作している。

このような情報記録媒体を製作するために用いられるス
タンパーは、通常、特開昭６２−２１７４４２およびｒ
オブ［・ロニクス　（１９８８）　、　Ｎｏ、５　　ｒ
光ディスクスタンパーの製作技術１．！ｌに記載された
方法Ａ、９により製造されている。

例えば以下のような工程を経て製造されている。

ま１−、ガラス等の基板にフォトレジストをスピンナー
等で塗布し、一般にレーサー・カッティング・マシーン
等の露光機により、所望の微細パターンを露光し、バド
ル現像等の工程を経て所望の微細パターンがパターニン
グされた、ガラス原盤か得られる。

このガラス原盤に、銀鏡、１！１（電解ニッケルめっき
、スパッターリング笠により、銀又はニッケル膜を設り
導′？（を化処理を行なう。

史にこの１−に、ニッケル′１゛ニ疲ｆを１１ない所１
′−１−４の〕１Ｊさにし、カラス原盤よりニッケル層
を剥Ｎ１するとファサースタンバーが１（１られる。

次に、このファシースタノバー表Ｗｉにイ・１１１して
いるフォトレジストを洗い流した後、ファザースタンパ
ー表面を重クロム酸溶液で剥離処理を施す。

この剥離処理を施した、ファザースタンパーにニッケル
′１ｇ鋳を行ない所望のノゾさにし、ファザースタンパ
ーよりニッケル層を剥離して得られるスタンパーをマザ
ースタンパーとする。

史に同様にして、このマザースタンパーにニッケル′市
鋳を施し、剥離することて、［１的とするスタンパーを
得ることができる。

このようにして得られだスタンパーを使用して、ガラス
原盤に設けられた微細パターンが転写された情報記録媒
体用基板が製作される。

〔発明か解決しようとする課題〕

しかしなかＣ）、従来とられていた方法によりスタンパ
ーを製造した場合、カラス原盤からファサースタンパー
、マサ−スタンパー、スタンパーという工程を経てガラ
ス原盤上に設６ブられた微細パターンを複写するために
、得られたスタンパーの微細パターンは初めのガラス原
盤上のパターンに比較して劣化したものであった。

例えば、ファサースタンバーより、３個の７ザースタノ
パーを製作し、各マザースタンパーより、３個のスタン
パーを製作すると、最終的には９個のスタンパーを１個
のガラス原盤より得ることができる。しかし従来のスタ
ンパーの製（’１方法では、ファサ〜スタンパーからマ
サ−スタンパーを製作するときに、ファザースタンパー
に剥離処理を行ない、その後、ニッケル電鋳、を所望の
厚さにし、ニッケル層を剥離し、マサ−スタンパーを得
ている。

この剥離処理は、重クロム酸溶液によるニッケル表向層
の酸化処理である。そのため剥＃を処理された表面層は
、こく薄い多孔質の酸化膜が形成されているものと考え
られる。

そのために、ファザースタンパーより得られるマザース
タンパー３個の微細パターンの劣化は巽８なり、同様に
してマザースタンパーより４ｉｔられるスタンパーにも
、微細パターンの劣化が異なって起ることになる。

１−なわち、１個ＩＩのスタンパーと９個口のスタンパ
ーでは、同じ工程を経て製作さ九たスタンパーであって
も、微細パターンの劣化には大きな差が現れてくる。又
、ニッケルどうしの剥離をくり返すのでキズが微細パタ
ーンに入りやすいといった欠点かあった。

そのため、高精度の微細パターンを形成したスタンパー
を安価にしかも量産できるはずの、ニッケル電鋳スタン
パーの製造方法ではあるが、一般的にはガラス原盤にニ
ッケル電鋳を施し、その後剥離し得られるファザースタ
ンパーをスタンパーとして用いるため、安価なスタンパ
ーは望めない０、 〔課題を解決するだめの手段〕 本発明者らは前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、
マザースタンパー以降の製造過程に改良を加えることに
より、ファザースタンパーに匹敵する微細パターンを有
するスタンパーが製造できることを見い出し本発明を完
成するに午っだ。

すなわち本発明は、微細パターンを打するガラス原盤か
ら電鋳により製作されたファザースタンパーを用い、樹
脂材料よりなる基材ｌ−にファサースタンパーの微細パ
ターンを転′う′しマザースタンパーを製作し、該マザ
ースタンパーの微細パターン」−に金属４電膜をＪ［′
、成し、該金属導電ｌＩＩλ１−に電鋳により金属４．
（利をｊ［ニ成し、マザースタンパーから引き剥すこと
により情報記録媒体用スタンパーを得る方法である。

以下図面を参照して木発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の方法の校式的断面図である。

工程（Ａ）：従来法によりガラス基板７４−にフォトレ
ジス上によるレジストパターン５を形成しガラス原盤１
を製造する。

工程（Ｂ）ニレジス］・パターン５にスパッター法、イ
オンプレーディング法、真空ｆ着等により金属導電膜８
を形成する。

工程（Ｃ）二金属導電膜８＋に？Ｕ鋳を行なうことによ
りファザースタンパー２が／ｉ％られる。得られたファ
サースタンパー２は導電膜８とともにガラス原盤１から
引きはかす。

工程（Ｄ）　　ファサースタンパー２に対し、２Ｐ（）
−ｒ　ｔ−・ポリマー）法やン１型ｍ合に、Ｊ：す、マ
ザースタンパー３に微細パターンをφｉη′する。

−１程（Ｅ）ｌ：４られたマザースタンパーに導電化処
理を施す。

■゛程（Ｆ）：？ｉｉ鋳によりスタンパー４を形成する
工程。

工程（Ｇ）：マザースタンバーよりスタンパー４を引き
はかず。

以上の工程を経て形成されるスタンパーは、従来の方法
に比較して著しく微細パターンの劣化の少ないスタンパ
ーであり、該スタンパーを用いて情報記録媒体用Ｊ１Ｌ
板を製造−４−ることにより、高精度の微細パターンを
有する基板が得られる。

また木発明においては、多数個取り用スタンパーの製造
方法を提供しえるものであり、第２図は多数個取り用ス
タノバーの製造工程を示す概略図であるが、同図におい
て、従来公知の方法により得られるファザースタンパー
の複数個を、ファザースタンパーと接合層の厚さ分の溝
を予め設けたファザースタンパー用架設台１０）二に接
合層９を介して接着する３、ファザースタンパー用架設
台としては、第２図及び第３図（Ａ）に示し２だものの
他に、第３図（Ｉｔ）及び（に）に示すように、ファザ
ースタンパーを架設台に置いた後に、第３図に丞すよう
にファザースタンパー分の穴を穿フた上蓋をはめこんで
固定しても良い。

この多数個取り用ファザースタンパーを用いｎｈ述と同
様樹脂により多数個取り用マザースタンパー１１を製造
し、続いて多数個取り用スタンパー１２を製造すること
もできる。多数個取りスタンパーを用いることにより、
一度に複数枚まとめで情報記録媒体用Ｊ、を板？製造す
ることかでき、ｌトｔｕｒ効率の大幅な向−１，か達成
され、コスト低数を図ることが司ｒ１訛となる。

〔実施例〕

以ド、実施例により本発明を具体的に説明する。

実施例１ 青板ガラス製基板上に八７．＋３００（ヘキストジャバ
ン製、４．６ｃρ）のレジスト　シンナー＝１：２の重
計比の溶液を滴下し、スピンナー回転速度３０００ｒｐ
ｍで塗布し、ｌｌｌ２Ｊｒ１１０００人のレジスト膜を
形成する。形成されたレシスＦ・膜にレーザーカッティ
ングマシーンによりスパイラル状のレジストパターンを
形成しガラス原盤を製造する。

次に、該レジストパターン上にスパッター装置により、
ニッケル膜を１０００人成膜し、レジストパターンを導
′亀化する。

導電化されたガラス原盤のレジストパターンに対し、以
下の組成の電鋳液からニッケル電鋳を行ない、厚さ０．
１〜０．３ｍｍのニッケル層を形成する。

電３Ｊｉ液： スルフアミノ酸ニッケル・４水塩 ［Ｎｉ　（Ｎｌｉ２Ｓ［Ｌ＋）２・旧＋２０］　　　　
　　５００　　ｇ　／　Ｊ２硼酸［＋１３１１０．］　
　　　　　３５〜３８ｇ／ｆＬピットｌｕｉ　ｔｌ剤　
　　　　　　　２．５ｍＡ／ｆｆｉニッケル層をガラス
原盤から剥離し、表面に付着しているフォトレジストを
除去することにより、ビッヂ１．６μｍ、段差１０００
Ａのスパイラル状案内溝の形成されたファザースタンパ
ーが得られた。

次にマザースタンパーを製造する。ファザースタンパー
十に紫外線硬化型エポキシアクリレート系樹脂（Ｍｔ（
Ａ−５０００、三菱レイヨン製）を塗布し、直径５イン
チφ、厚さ］、Ｉｏ＋ｍのガラス基材によりトから蓋を
し、ガラス基材側より紫外線を照射して樹脂を硬化させ
た。ファザースタンパーから剥離することによりマザー
スタンパーを得た。

次に、得られたマザースタンパーの微細パターン１−に
スパッター装置によりニッケル膜を１０００人形成しマ
ザースタンパーを導電化した後、ファザースタンパー製
造と同様にして電鋳により０．１〜０．：１ｍｍのニッ
ケル層を形成し、剥離することにより情報記録媒体用ス
タンパーが得られた。１：ｔられたスタンパーの微細パ
ターンはファザースタンパーの微細パターンとほぼ同じ
精度が得られ優れ１ま たものである。

実施例２ マザースタンパー製造時の上蓋をボリカーホネート製の
ものに代えた以外は実施例１と同様にしてスタンパーを
製造した。得られたスタンパーは実施例１同様に微細パ
ターンの劣化が著しく少ないものであった。

実施例３ マザースタンパーの製造を注型成形法により行なった。

注型樹脂として、以下の組成の液状樹脂を用い、実施例
１と同様の方法により製造されたピッチ１２μｍ、段差
３０００人のストライブ状案内溝の形成されたファザー
スタンパーの周辺にスペーサーを設け、セルを構成し、
該セルにプレポリマーを注入し１２０℃、１０時間で樹
脂を硬化させた。

（配合組成） メタクリル酸メチル　　　　　　　７０重量部メタクリ
ル酸ターシャリブチル　２５重量部ポリエヂレングリコ
ールジメタクリレート（分子用６２０）　　　　　　　
　　　５重量部その後ファザースタンパーより剥離する
ことによりマザースタンパーを得た。以下、実施例工と
同様にしてスタンパーを製造したが、得られたスタンパ
ーはファザースタンパーとほぼ同し精度の微細パターン
を有し、優れたものであった。

実施例４ 実施例１で得られたファザースタンパー７個を用い、第
４図に示すような円盤状のファザースタンパー用架設台
（材質はガラス原盤と同一−の相料、今回はガラス基板
を用いた。大きざは２０インヂφ、厚さは２〜３ｃｍ程
度のものを用いた）にファザースタンパーと接合剤の厚
みを加えた溝をメタルダイヤモンド砥石を用いて加工し
た後、エポキシ系接着剤にてファザースタンパーを接着
し、多数個取り用ファザースタンパーとした。

該スタンバー上にＭＲＡ−５０００を塗布し、直径１２
インチφ、ノフさ３．５ｍｍのポリメチルメタアクリレ
−１・製ト蓋をし、」−蓋側より紫外線を照射すること
により樹脂を硬化させ十−λごと剥削することにより、
多数個取り用マザースタンパーを得た。

得られた多数個取り用マザースタンパーを用い実施例１
と同様の方法により、多数個取り用スタンパーを製造し
た。

〔発明の効果〕

本発明の情報記録媒体用スタンパーの製造方法によれば
、樹脂基材により、マザースタンパーを製作することに
より、情報記録媒体用スタンパーのグループ面にキズが
入りにくく、マザースタンパーの製造時間を短縮する効
果がある。さらに本発明の構成を用いることで、品質の
安定性及び信頼性の高い情報記録媒体用スタンパーが製
造できる。

また、樹脂暴利により、マザースタンパーを製作する工
程において、多数個取りマザースタンパーより、多数個
取りスタンパーが製作できる。

この多数個取りスタンパーを用いることにより、一度に
複数枚まとめて情報記録媒体用基板を製造することがで
き、生産効率の大幅な向上が達成され、情報記録媒体の
コスト低減を図ることが１１丁能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法の概略断面図、第２図は多数個取
り用スタンパー製造の芥工程の概略断面図、第３図は多
数個取り用ファサースタンバーの概略断面図、第４図は
多数個取り用ファサースタンバーの概略斜視図である。 １・・・ガラス原盤 ２・・・ファザ゛−スタンパー ３・・・樹脂基材（マザースタンパー）４・・・情報記
録媒体用スタンパー ５・・・レジストパターン ６・・・マザースタンパー ７・・・ガラス基板 ８・・・導電膜 ９・・・接合層

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、微細パターンを有するガラス原盤より電鋳によって
   製作されたファザースタンパーから、樹脂材料よりなる
   マザースタンパーに微細パターンを転写し、該転写微細
   パターン上に金属導電膜を形成することにより導電化し
   た後、電鋳により該金属導電膜上に電鋳基材を形成し、
   該電鋳基材をマザースタンパーより剥離することによる
   情報記録媒体用スタンパーの製造方法。 ２、ファザースタンパーの複数個をスタンパー用架設台
   上に固着し、多数個取り用ファザースタンパーを製作し
   、該多数個取り用ファザースタンパーから、樹脂材料よ
   りなる多数個取り用マザースタンパーに微細パターンを
   転写し、該転写微細パターン上に金属導電膜を形成する
   ことにより導電化した後、電鋳により該金属導電膜上に
   電鋳基材を形成し、該電鋳基材を多数個取り用マザース
   タンパーから剥離することによる情報記録媒体用多数個
   取り用スタンパーの製造方法。