JPH0639697B2

JPH0639697B2 - 基板のローディング装置

Info

Publication number: JPH0639697B2
Application number: JP2336690A
Authority: JP
Inventors: 直樹加藤; 栄次此島; 恭治木ノ切; 治朗池田
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1990-11-30
Filing date: 1990-11-30
Publication date: 1994-05-25
Anticipated expiration: 2009-05-25
Also published as: DE69128612T2; DE69128612D1; EP0487848A1; US5336029A; EP0487848B1; JPH04202775A

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明は、例えば連続スパッタリング装置に好適な基
板のローディング装置に関する。

（従来の技術）デジタル化された音声情報や画像情報を大量に記録する
のにコンパクトディスク（以下、ＣＤと略称する）が広
く使用されるようになってきた。ＣＤは、ポリカーボネ
ート等の透明な合成樹脂性基板の表面にスパッタリング
により光反射率の高いアルミニューム(Al)薄膜層が形成
されて構成され、「１」か「０」のデジタル情報に合わ
せて、その基板にピット(pit)と称する小さな孔を開
け、その孔の有無をレーザ光の反射波の有無によりその
記録情報を読み出し得るものである。

１枚の基板への成膜は、スパッタにより比較的短時間で
行われることから、多数の基板への連続成膜が可能であ
る。

従来の連続スパッタリング装置は、第８図に示すように
構成されている。

まずベルトコンベア等の外部搬送装置１で順次搬送され
てくるＣＤ等の基板２は、軸3aを中心に回転（矢印Ｘ１
方向）及び上下（矢印Ｙ１）方向に移動可能な基板搬送
装置３の吸着パット21に吸着され、基板のローディング
(loading)装置４に搬送される。

基板のローディング装置４は、基板搬送装置３から受け
た基板２をバキュームチャック41で吸引しつつ、成膜室
５内の内部搬送装置51にローディングするもので、第９
図に拡大して示すように構成されている。

即ち、バキュームチャック41が設けられた吸着ヘッド42
は、回転軸43に固定され、駆動機構44のモータ441及び
歯車装置441aにより矢印Ｘ２方向に回転自在に構成され
るとともに、エアーシリンダ442により、上下（矢印Ｙ
２）方向に移動自在に構成されている。バキュームチャ
ック41は吸着ヘッド42及び回転軸43内の吸排空洞431，
取出し口432を経て、配管45により外部機器46に接続さ
れている。

外部機器46は、バキュームチャック41が基板２を着脱さ
せる作動源をなし、分岐管46a，バルブ46b,46c，及び真
空ポンプ等の排気ポンプ46dから構成されている。

基板のローディング装置４が基板搬送装置３から基板２
を受け、成膜室５内の内部搬送装置51へローディングす
るときは、まずバルブ46bを開け、基板２をバキューム
チャック41で吸引捕捉した後、モータ441の駆動により
回転軸43を１８０度回転させて基板２を成膜室５側に向
くよう操作される。

次に、エアーシリンダ442によって吸着ヘッド42を成膜
室５に向け降下させるとともに、第８図に示すように成
膜室５内で上昇させた搬送テーブル51a上に基板２が接
近したとき、バルブ46bを閉じ、バルブ46cを開けて大気
を導入して、基板２を内部搬送装置51に移動させるもの
である。

内部搬送装置51も基板のローディング装置４と同様に、
軸51b中心に上下（矢印Ｙ３）方向は勿論のこと矢印Ｘ
３方向に回転可能に構成されているから、基板２は順次
スパッタ源52まで搬送され成膜される。

スパッタ成膜後の基板２は上記と逆操作により、内部搬
送装置51から基板のローディング装置４，基板搬送装置
３を経て他のベルトコンベアからなる外部搬送装置によ
り搬出される。

ところで、上記従来の基板のローディング動作におい
て、回転軸43や吸着ヘッド42は、据付け固定された外部
機器46に対して、上下動を伴った１８０度の反復回転運
動を行うから、配管45は、他端が外部機器46に固定され
つつ、回転軸43とともに上下動を伴った往復回転運動が
繰返される。

その結果、配管45は、いわゆるねじれ往復動が要求され
るので長さを長くしていた。しかし、長さの長い配管45
は、ねじれ往復動の旋回動作で広い空間を必要とし、ま
た操作員にとっても危険が伴うという欠点があった。

また、駆動機構44は、回転軸43を中心に繰返し上下及び
回転往復動を行うものであるが、重い吸着ヘッド42の反
転往復の繰返し運動による慣性モーメントは、モータ44
1及び歯車装置441aへの負荷となり、モータ44の過負荷
や歯車の摩耗等を引起こす要因となった。

また、従来の基板のローディング装置は、吸着ヘッド42
は１枚の基板２を運ぶだけであるから、ローディングサ
イクル速度を上げるには、駆動機構の回転速度を上げる
こととなり、スピードアップには限界があり改善が要望
されていた。

また、従来の成膜室５は第１０図に示すように、上蓋53
を有し、その内部はロードロック部5aとスパッタ5bとに
区分されるが、ロードロック部5aに位置する上蓋53に
は、基板２を受渡しするためのロードロック室53aが形
成されている。また、成膜室５内では、基板２は搬送テ
ーブル51aのサセプタ51cに載置されてロードロック部5a
からスパッタ部5bに回転搬送される。

スパッタ部5bの上には、上蓋53の開口部53bを介してス
パッタ源52が配置されているとともに、開口部53bには
基板２を受けるマスク54が取付けられている。マスク54
の下面に密着された基板２面には、スパッタによりアル
ミニュームの薄膜が例えば２秒間という短い時間内で形
成される。なお、基板２がマスク54に密着されていない
とき、スパッタ源52内は成膜室５の排気口55から排気さ
れる。

ところで、上蓋53のロードロック室53aは、第１１図に
拡大して示すように、基板２を吸着ヘッド42からサセプ
タ51cへ渡したり、あるいは成膜後の基板２を逆にサセ
プタ51cから吸着ヘッド42へ渡すために、大気圧と真空
との境界室として構成されている。器壁即ち上蓋53内に
は、排気用及び吸気用に共通した吸排管路53cが形成さ
れ、第１０図及び第１２図に示すように分岐管６を介し
て外部の回転ポンプ７に接続され、バルブ81を開くこと
によって、ロードロック室53a内は荒引き可能となる。

いま、基板２を吸着ヘッド42からサセプタ51cへ渡す場
合は、まず吸着パット41の吸引力に抗するため、バルブ
81を開けてロードロック室53a内を排気し、基板２を吸
着ヘッド42からサセプタ51c上に移動させる。その後、
搬送テーブル51aを下げ、成膜室５及びロードロック室5
a内が更に高真空となるように排気口55から排気され
る。

また、成膜後の基板２をサセプタ51cから吸着ヘッド42
へ渡す場合は、分岐管６に接続された他方のバルブ82を
一時的に開操作して、ロードロック室53aを大気圧状態
とし、基板２を吸着パット41に吸着させて搬出する。

なお、第１１図の符号Ｌは封止用のＯリングを示し、ま
た第１２図の９１，９２は夫々回転ポンプ７及び大気に
連なる配管を示す。

このような従来の基板のローディング装置においては、
吸着ヘッド42は基板２のアルミニューム薄膜による記録
面に触れることなく保持しようとしたから、第１１図に
示すように、吸着ヘッド42の周縁部にリング状にリム42
aを形成し、基板２は吸着パット41とリム42aとによっ
て、保持されるように構成されていた。

しかしながら、ロードロック室53aを大気圧状態とし、
基板２がサセプタ51cから吸着ヘッド42へと渡る際に、
基板２が吸着パット41に吸引され、リム42aに密着させ
ることによって形成される閉じられた空間42bは、基板
２を介して外側の大気圧との間に時間的に圧力差を生じ
ることから、第１１図に点線で示すように湾曲変形する
現象が生じた。この結果、基板２の重要な記録面が湾曲
変形して吸着ヘッド42面に垂直接触し、記録面に損傷を
受ける恐れがあった。この記録面損傷現象は、サセプタ
51cとの受渡しの際にも、サセプタ51cが基板２を面接触
で支持することから同様に発生する欠点があった。

基板２の記録面は、部分的な僅かな傷でも直ちに基板全
体が不良品となるので、このような搬送の過程で変形し
損傷することは好ましくなく改善が要望されていた。

（発明が解決しようとする課題）従来の基板のローディング装置は、配管を接続させた状
態で吸着ヘッドを反転往復動させた場合、配管の旋回空
間が広がり、また駆動機構への負荷が大となる欠点があ
った。また、１枚の基板を順次ローディングするので、
速度を上げるのに限度があり、また単なるスピードアッ
プには、前記駆動機構の負担を増大させることとなり問
題であった。

更に、従来のローディング装置は、例えば基板を保持す
る吸着ヘッドが、ロードロック室内での搬送授受時に、
基板の内外圧力差の変形等により、記録面が損傷すると
いう欠点があった。

この発明は、上記従来の欠点を解消し、駆動機構への負
荷を軽減せしめ、同時により全体をよりコンパクトに構
成し得るとともに、搬送速度を大幅に向上させ、基板を
確実かつ安全に搬送可能なローディング装置を提供する
ことを目的とする。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）第１の発明は、搬送されてくる基板を吸着ヘッドのバキ
ュームチャックに吸着しつつ成膜室にローディングする
基板のローディング装置において、基板を吸着するバキ
ュームチャックと、前記バキュウムチャックを回転軸を
挟んだ相対向する両側面に取付けた吸着ヘッドと、前記
吸着ヘッドを取付ける回転軸と、前記吸着ヘッドに回転
軸を取付ける雰囲気と別の雰囲気を備える成膜室と、前
記吸着ヘッドを前記成膜室を開放する離間した位置と前
記離間した位置よりも下方で前記成膜室を閉ざした位置
との間を往復上下する駆動機構と、前記回転往復運動に
伴う衝撃すなわち前記回転軸の回転方向の運動エネルギ
ーを吸収するショックアブソーバと、前記回転軸内に位
置する吸排空洞と、前記バキュームチャックに前記吸排
空洞を介して連通する配管と、前記回転軸表面を巻回す
るコイル状部と、前記コイル状部に接続する排気ポンプ
と、前記成膜室内に配置する搬送テーブルと、前記吸着
ヘッドの基板吸着側の側面を周縁部が中央部より低くな
るように傾斜させるとともに、前記成膜室側の搬送テー
ブルの基板載置側の面を周縁部が中央部より低くしかつ
周縁部に位置する基板を支える複数の凸部とで構成する
ことを特徴とする。

第２の発明は、前記成膜室を開放する離間した位置で前
記吸着ヘッドを前記回転軸を中心として回動させて前記
複数のバキュームチャックを選択的に前記成膜室に対峙
させる駆動機構を前記回転軸に固定するピニオンと、前
記ピニオンに噛合わせるラックとにより構成することを
特徴とする。

第３の発明は、前記一対の配管は合成樹脂製パイプで構
成し、夫々一端が前記回転軸に直交する方向に設けられ
た取出し口に接続されるとともに、前記回転軸表面を巻
回するコイル状部の前記回転軸の軸方向の移動を規制す
るストッパ機構とで構成されたことを特徴とする。

第３の発明は、前記搬送テーブルの周縁部に位置する凸
部の数を奇数個としたことを特徴とする。

（作用）この発明による基板のローディング装置は、配管を回転
軸周りに巻回して後、外部機器と接続させたので全体は
コンパクトに構成されるとともに、ショックアブソーバ
を設け反転時の衝撃を吸収し駆動機構に対する負荷を小
さくするとともに、バキュームチャックを２系統設けた
ので、効率の良い搬送を行うことができる。

また、この発明装置は、吸着ヘッド及び搬送テーブルの
基板吸着側の面を周縁部を中央部より低く形成したの
で、基板周縁部との間には隙間が生じ、ロードロック室
を大気圧状態として、器壁内の搬送テーブルから基板を
受けとるとき、基板の記録面の両側に圧力差を生じない
ので、基板の湾曲変形を回避することができる。

また、搬送テーブル側での基板は周縁部の凸部で支持さ
れるが、互いに対向する凸部間を結ぶ線が基板中心を通
るとき、基板はその支持された中心線を回転軸として回
動しやすくなり、しばしば傾いた状態で搬送テーブル上
に載置されることがある。この発明では、周縁部の凸部
の数を奇数個としたことによって、この凸部相互間を結
ぶ直線が基板の中心を容易に避け得るようにしたので、
基板が傾きずれることなく安定かつ確実な搬送が可能と
なる。

（実施例）以下、第１図ないし第７図を参照し、この発明による基
板のローディング装置の実施例を説明する。なお、この
実施例の説明では従来の説明と同様に、連続スパッタリ
ングによる成膜装置に適用した場合について説明し、ま
た第８図ないし第１２図に示した従来の装置と同一構成
には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

第１図及び第２図は、この発明による基板のローディン
グ装置の第１の実施例を示す構成図である。

即ち、ローディング装置４は、円盤状の吸着ヘッド42の
表面及び裏面即ち相対向する側面に夫々基板２のバキュ
ームチャック41，41′が複数設けられて、夫々対応する
吸排空洞431，431′，配管45，45′を介して一対の外部
機器46，46′接続されている。

配管45，45′は互いに色を異にした合成樹脂製のフレキ
シブルな透明パイプであって、一端が回転軸43の径方向
に取付けられた取出し口432，432′に接続され、回転軸
43の外側に沿って比較的緩やかに複数回巻回されて後、
他端を夫々一対の外部機器46，46′に接続されている。

そこで、このローディンク装置４での基板２の着脱は、
従来と同様に外部機器46，46′におけるバルブ46b，46
b′，46c，46c′の開閉操作によって行われる。このバ
ルブ開閉操作は駆動機構44の動作とともに、図示しない
制御装置の制御を受け、基板搬送装置(3)や成膜室(5)内
の内部搬送装置(51)の動作と連携するように構成されて
いる。なお、この発明では、吸着ヘッド42の両面にバキ
ュームチャック41，41′を設け２系統としたので、エア
ーシリンダ442による１つの上下動作の中で、成膜室(5)
へのローディングと同時に、逆に成膜室(5)から基板搬
送装置(3)への基板２を受け渡しを行うこともできるか
ら、ローディングの作業効率は著しく向上し、スピード
アップが図れる。

また、一対の配管45，45′は回転軸43の回転軸43の軸端
表面を巻回するコイル状部ａを形成後、外部機器46，4
6′に接続させたので、回転軸43側で回転往復動作を受
けても、その運動量は巻回された配管45，45′円周方向
で吸収されるから、配管45，45′自体へ加わるせん断力
は小さくなる。つまり、配管45，45′に加わる回転往復
運動はコイル状の円周方向で受けるので、回転軸43に巻
回された配管45，45′の径における小さな伸縮に止どま
り、またこれにエアーシリンダ442による上下反復動が
加わったとしても、駆動機構44に与える機械的負荷は小
さく押えられる。また、回転軸43に巻回された配管45，
45′は、回転軸43の端部に設けた円板状の止め具433aと
ねじ433bとストッパ機構433によって、回転軸43からは
み出るのを防止され、かつコンパクトに収納される。

また、この実施例では、ローディング装置４の反復回転
動作の駆動源を、従来のモータ441に代えて、回転軸43
に一体に取付けたピニオン（小歯車）441aをラック(rac
k)441bと噛合わせ、このラック441bをパイプ441cによる
高圧空気の交互供給により摺動移動させることによっ
て、直線往復運動を回転往復運動に変えられることか
ら、回転軸43は１８０度回転往復運動を行うように構成
されている。

このピニオン441aとラック441bによる往復回転運動で
も、吸着ヘッド42による慣性モーメントの反動を受ける
ので、新たに設けた一対のショックアブソーバ47，47′
によって、その反転時の衝撃を吸収し、ピニオン441a及
びラック441b等に加わる負荷の軽減を図っている。

即ち、第２図に示すように、一対のショックアブソーバ
47，47′は回転軸43を挟んで、エアーシリンダ442の可
動部分と一体に取付けられ、中央部にゴム材49aが充填
されている。そこで回転軸43と一体に固定されたアーム
434は、吸着ヘッド42が丁度矢印Ｙ方向に交互に移動し
て１８０度反転する度に、アーム434の先端頭部434aが
ショックアブソーバ47，47′に交互に当り、反転時の衝
撃をゴム材49によって吸収するように構成されている。

もっとも、このショックアブソーバ47，47′はゴム材49
aに代えて、例えば油を充填した凹部にコイルスプリン
グを収納し、その弾性力を利用して衝撃を吸収する構造
とすることもできる。

以上のように、この発明による基板のローディング装置
は、配管45，45′を回転軸43に巻回して後、外部機器4
6，46′と接続させたので小形化が可能となった。ま
た、ショックアブソーバ47を設けたことは、反転時の慣
性モーメントを吸収し衝撃を和らげ、基板搬送時の信頼
性を高めつつ、高速化が実現される。

また、第３図及び第４図はこの発明による基板のロード
ロック装置の第２の実施例を示す断面図である。

第３図において、ロードロック室53aを構成する成膜室
５の上蓋53の器壁内には、第４図に拡大して示すよう
に、ロードロック室53a内に向け開口した吸排管路53cが
横方向に形成されている。基板２を搬送する吸着ヘッド
42は円盤状をなしているが、両面とも吸着側の面が中央
部よりも周縁部の方が低くなるようにテーパー状に傾斜
部42cが形成されている。

そこで、吸着パット41に吸着されて搬送されてくる基板
２は、ロードロック室53aを介して、搬送テーブル51aの
サセプタ51cに搬送される。このときロードロック室53a
は第３図に示したバルブ81を開けることによって排気さ
れ、真空状態となり、基板２は吸着パット41から離れて
サセプタ51c上に載置されるように移動する。搬送テー
ブル51aのサセプタ51cは、基板載置側の面を周縁部が中
央部よりも低く、かつ周縁部に基板を支える凸部51dを
複数個設けることによって記録面の接触を防いでいる。

この実施例のサセプタ51cは、第５図に示すように、凸
部51dは等間隔からなる奇数個（５個）設け、いずれの
凸部51d間を結ぶ直線も基板２の中心Ｐを通ることがな
いようにずれた位置となるように設けられるので、円板
状の基板２が中心Ｐを通る線上での２点支持（つまり最
大径の両端支持）により回動し、基板２全体がずれて支
持されることが防止される。また、隣接する凸部51d間
の間隔ｔを大きくすることによって、基板２のサセプタ
51c面側への大気の流れ込みが円滑となり、基板２両面
間に圧力差が生じることがない。

そこで、基板２がサセプタ51cから吸着ヘッド42に搬送
されるときは、一方のバルブ81を閉じ、他方のバルブ(8
2)を開けることによって、ロードロック室53aに大気を
導入するが、吸着ヘッド42は外側周縁部が低くなってい
て、基板２からは離れているため、ここでも大気は基板
２の吸着ヘッド42側にも容易に流れ込み、基板２の両面
に圧力差が生じることはない。

従って、ロードロック室53a内が急激に大気圧状態に切
替えられても、基板２全体は従来のように湾曲変形する
ことがなく、従って記録面が吸着ヘッド42面に接触して
損傷することは回避される。

また、吸着ヘッド42は縁部方向に傾斜部42cを形成した
ので、縁部での吸着ヘッド42に更に接触しにくい状態と
なったから、搬送授受時に仮に基板２が揺動して若干傾
いたとしても、非接触状態を確実に維持しつつ搬送させ
ることが可能である。

また、この発明ではロードロック室53aに連なる吸排管
路53cは分岐管６を外付けすることなく、より短縮され
た吸排管路を付加形成することができる。

第６図及び第７図はこの発明によるローディング装置の
第３の実施例を示す要部断面図である。

即ち、第６図及び第７図に示すように、上蓋53の器壁内
で、一方はその共通管路53cに連なり他方では外部の複
数の配管に夫々接続される分岐管路53d，53eが、途中で
下方に折り曲げ形成されている。この分岐管路53d，53e
は、この実施例では、これら２つの分岐管路53d，53eが
夫々ロードロック室53aに対して、排気管及び吸気管と
して機能する。

前記２つの分岐管路53d，53eの出口では、成膜室５の器
壁がブロック状に延長して上蓋53と接合するように構成
され、各分岐管路53d，53eに対応した凹部状のマニホー
ルド54a，54bが形成されている。

マニホールド54a，54bには夫々従来と同様に回転ポンプ
(7)及び大気に夫々連なる配管91，92が開口して接続さ
れるとともに、夫々一対のバルブ機構93，94の各弁体93
a，94bが前記分岐管路53d，53eの出口を開閉自在とする
ように構成されている。９３ｂ，９４ｂは前記弁体93
a，94aと連結するシリンダである。

この第３の実施例では、上記のように構成され、上蓋53
の管路開口側の壁面53fがそのまま各バルブ機構のマニ
ホールドを構成する内壁面となることから、バルブ機構
がコンパクトに構成される。

また、上記各実施例では、吸着ヘッド42の両面に吸着パ
ット41を有する反転機構付基板取出し装置に適用した例
として説明したが、従来のように一方の面にのみ吸着パ
ット41を取付けたピックアンドプレース形の基板２取出
し装置にも適用できる。

また、上記各実施例では、この発明装置をスパッタリン
グ装置に適用した場合を説明したが、容器の器壁にロー
ドロック室を形成し、基板の授受搬送を行うものであれ
ば、スパッタリングに限らず例えばエッチング装置や蒸
着装置等に採用しても全く同様な効果が得られるもので
ある。

［発明の効果］この発明によるロードロック装置は、吸着ヘッドの簡単
な改良により、基板を傷つけることなくしかも効率良く
搬送できるものであって、スパッタリング装置の他広く
採用できるものであり、実用に際して得られる効果大で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による基板のローディング装置の第１
の実施例を連続スパッタリング装置に適用した状態を示
す側面図、第２図は第１図に示した装置のＡ−Ａ線断面
図、第３図はこの発明による基板のローディング装置の
第２の実施例を示す断面図、第４図は第３図に示す装置
の要部拡大図、第５図は第４図に示すサセプタのＢ−Ｂ
線平面図、第６図はこの発明による基板のローディング
装置の第３の実施例を示す要部断面図、第７図は第６図
のＣ−Ｃ線断面図、第８図は連続スパッタリング装置に
適用された従来の基板のローディング装置を示す一部切
り欠け側面図、第９図は第８図に示した装置の要部拡大
断面図、第１０図は従来の他の基板のローディング装置
を示す断面図、第１１図は第１０図に示す装置の要部拡
大図、第１２図は第１０図に示す装置の右側面図であ
る。１……外部搬送装置、２……基板、３……基板搬送装置、４……ローディング装置、４１……バキュームチャック、４２……吸着ヘッド、４２ｃ……傾斜部、４３……回転軸、４４……駆動機構、４６，４６′……外部機器、４７，４７′……ショックアブソーバ、５……成膜室、５１ａ……搬送テーブル、５１ｄ……凸部、６……回転ポンプ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者木ノ切恭治神奈川県座間市相模が丘６丁目25番22号株式会社徳田製作所内 (72)発明者池田治朗東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内 (56)参考文献実公昭59−17894（ＪＰ，Ｙ２)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送されてくる基板を吸着ヘッドのバキュ
ームチャックに吸着しつつ成膜室にローディングする基
板のローディング装置において、基板を吸着するバキュ
ームチャックと、前記バキュウムチャックを回転軸を挟
んだ相対向する両側面に取付けた吸着ヘッドと、前記吸
着ヘッドを取付ける回転軸と、前記吸着ヘッドに回転軸
を取付ける雰囲気と別の雰囲気を備える成膜室と、前記
吸着ヘッドを前記成膜室を開放する離間した位置と前記
離間した位置よりも下方で前記成膜室を閉ざした位置と
の間を往復上下する駆動機構と、前記成膜室を開放する
離間した位置で前記吸着ヘッドを前記回転軸を中心とし
て回動させて前記複数のバキュームチャックを選択的に
前記成膜室に対峙させる駆動機構と、前記回転往復運動
に伴う衝撃すなわち前記回転軸の回転方向の運動エネル
ギーを吸収するショックアブソーバと、前記回転軸内に
位置する吸排空洞と、前記バキュームチャックに前記吸
排空洞を介して連通する配管と、前記回転軸表面を巻回
するコイル状部と、前記コイル状部に接続する排気ポン
プと、前記成膜室内に配置する搬送テーブルと、前記吸
着ヘッドの基板吸着側の側面を周縁部が中央部より低く
なるように傾斜させるとともに、前記成膜室側の搬送テ
ーブルの基板載置側の面を周縁部が中央部より低くしか
つ周縁部に位置する基板を支える複数の凸部とを具備す
ることを特徴とする基板のローディング装置。
【請求項２】前記成膜室を開放する離間した位置で前記
吸着ヘッッドを前記回転軸を中心として回動させて前記
複数のバキュームチャックを選択的に前記成膜室に対峙
させる駆動機構を前記回転軸に固定するピニオンと、前
記ピニオンに噛合わせるラックとにより構成することを
特徴とする請求項１記載のローディング装置。
【請求項３】前記一対の配管は合成樹脂製パイプで構成
し、夫々一端が前記回転軸に直交する方向に設けられた
取出し口に接続されるとともに、前記回転軸の端部に取
付けられるストッパ機構によって、回転軸端表面を巻回
するコイル状部とで構成された請求項１記載の基板のロ
ーディング装置。
【請求項４】前記搬送テーブルの周縁部に位置する凸部
の数を奇数個としたことを特徴とする請求項１記載の基
板のローディング装置。