JPH0463277A - 反復回転機構の配管装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、例えば連続スパッタリングのローディング
装置として好適な反復回転機構の配管装置に関する。

（従来の技術） デジタル化された音声情報や画像情報を大量に記録する
のにコンパクトディスク（以下、ＣＤと略称する）が広
く使用されるようになフてきた。

ＣＤは、ポリカーボネート等の透明な合成樹脂性基板の
表面にスパッタリングにより光反射率の高いアルミニュ
ーム（Ａり薄膜層か形成されて構成され、「１」か「０
」のデジタル情報に合わせて、その基板にピット（ｐｉ
ｔ）と称する小さな孔を開け、その孔の有無をレーザ光
の反射波あるいは透過波の有無によりその記録情報を読
み出し得るものである。

１枚の基板への成膜は、スパッタにより比較的短時間で
行われることから、多数の基板への連続成膜が可能であ
る。

従来の連続スパッタリング装置は、第３図に示すように
構成されている。

まずベルトコンベア等の外部搬送装置１で次々と搬送さ
れてくるＣＤ等の基板２は、軸３ａ中心に回転（矢印Ｘ
１方向）及び上下（矢印Ｙｌ）方向に移動可能な基板搬
送装置３の吸着バット２１に吸着され、ローディング装
置を構成した反復回転機構４に搬送される。

反復回転機構４は、基板２をバキュームチャック４１て
吸引しつつ、基板搬送装置３から成膜室５内の内部搬送
装置５１にローディングするもので、第４図に拡大して
示すように構成されている。

即ち、バキュームチャック４１か取付けられたヘッド４
２は、回転軸４３に固定され、モータ４４により矢印Ｘ
２方向に回転自在に構成されるとともに、エアーシリン
ダ４５により、上下（矢印Ｙ２）方向に移動自在に構成
されている。バキュームチャック４１はヘッド４２及び
回転軸４３内の吸排空洞４６．取出し口４７を経て、配
管４８により外部機器４９に接続されている。

外部機器４９は、バキュームチャック４１か基板２を着
脱させる作動源をなし、分岐管４９ａ、バルブ４９ｂ、
４９ｃ及び真空ポンプ４９ｄから構成されている。

そこで、基板２を基板搬送装置３から内部搬送装置５１
ヘローデイングするときの反転回転機構４は、ますバル
ブ４９ｂを開け、基板２をバキュームチャック４１て吸
引捕捉した後、モータ４４の駆動により回転軸４３を１
８０度回転させ、基板２を成膜室５側に向ける。

次に、エアシリンダー４５によって回転軸４３を降下さ
せるとともに、上昇した内部搬送装置５１上に接近した
とき、バルブ４９ｂを閉じ、バルブ４９ｃを開けて大気
を導入して基板２を搬送テーブル５１ａに移動させるも
のである。

内部搬送装置５１も同様に、軸５１ｂ中心に回転及び上
下方向に移動可能に構成されているから、基板２は順次
スパッタ源５２まて回転移動され成膜される。

スパッタ成膜後の基板２は上記と逆動作により、内部搬
送装置５１から反転回転機構４．基板搬送装置３を経て
他のベルトコンベアからなる外部搬送装置により搬出さ
れる。

ところで、上述の搬送動作において、基板２はバルブ４
９ｂ、４９ｃの開閉操作に連動して、バキュムチャック
４１に着脱自在となるが、反復回転機構４の回転軸４３
やヘンド４２は、据付は固定された外部機器４９に対し
て、上下動を伴った反復回転運動を行うので、配管４８
は回転軸４３との間で、同じく上下動を伴った往復回転
運動か要求される。

配管４８は、一端か固定された状態での往復回転運動は
、いわゆるねじれ往復動となるので、配管４８にせん断
心力か加わるほか、反復回転機構４自体に対して機械的
な負荷を与えることとなる。そこで、せん断心力や機械
的負荷の軽減を図るため、できるたけ配管４８の長さを
長くしてたるみを持たせ、そのたるみの部分で負荷の吸
収を図るようにしていた。

しかし、上記従来の反復回転機構４の配管装置では、往
復回転運動の負荷の吸収を配管４８の長さて行なおうと
したので、配管４８の長さは大となり、回転上下動のた
めの空間を広く必要とした。このことは連続スパッタリ
ング装置等への適用を考えた場合、装置の設置場所を広
く占めることとなり、また配管４８か波打つように大き
な往復動をすることは、操作員にとっても危険か伴うと
いう欠点かあった。

このような反復回転機構の配管装置は、連続スパッタリ
ング装置に限らず、各種製造装置等で広く採用されてお
り、改善か要望されていた。

（発明か解決しようとする課題） 従来の反復回転機構の配管装置は、一方の端子か往復回
転運動する場合、そのねじれ運動を吸収するのに、線状
の配管部か長くなり、これを採用する装置全体の形状か
大形化する欠点があるとともに、配管か大きく揺動する
ので操作員の安全上も問題であった。

この発明は、上記従来の欠点を解消し、よりコンパクト
にまたより安全性を高め得た反復回転機構の配管装置を
提供することを目的とする。

［発明の構成コ （課題を解決するための手段） 第１の発明は、回転往復運動する反復回転機構に配管の
一端か固定され、他端はその反復回転機構外の外部機器
に固定して接続される反復回転機構の配管装置において
、前記配管を反復回転機構の回転軸周りに巻回した後、
他端を前記外部機器に接続させたことを特徴とする。

第２の発明は、前記第１の発明において、回転軸の端部
に配管のストッパ機構を付加し、回転軸に巻回された配
管が回転軸外にはみだすことを防止したことを特徴とす
る。

（作用） 第１の発明は、配管を反復回転機構の回転軸周りに巻回
して後、外部機器と接続させたので、回転機構の回転運
動量は、回転機構への巻回による円周方向で吸収するこ
とができ、仮に反復回転機構か動作しても、巻回した径
はそれ程大きく伸縮することがないので、配管装置全体
はコンパクトに構成される。

第２の発明は、前記回転軸に配管のストッパ機構を付加
したので、巻回された配管が軸方向にはみたすことを防
止でき、コンパクトに収納することができる。

（実施例） 以下、第１図及び第２図を参照し、この発明による反復
回転機構の配管装置の実施例を説明する。なお、この実
施例の説明では従来の技術と同様に、連続スパッタリン
グ装置に適用した場合について説明し、また第３図及び
第４図に示した従来の装置と同一構成には同一符号を付
して一部詳細な説明は省略する。

第１図はこの発明による反復回転機構の配管装置の第１
の実施例を示す構成図である。

即ち、ローディング装置を構成する反復回転機構４は、
回転軸４３がエアーシリンダ４５の駆動によって、上下
動自在に構成されるとともに、上方向に位置した状態で
、モータ４４により１８０度往復回転動作を行うもので
ある。

バキニームチャック４１は、ヘッド４２及び回転軸４３
内の吸排空洞４６を経て、回転軸４３の径方向に取付け
られた取出し口４７′から合成樹脂製の配管４８′　に
接続されている。配管４８′　は前記回転軸４３の外側
面に沿うように比較的緩やかに複数回巻回されて後、他
端部か分岐管４９ａ等からなり固定して据付けられた外
部機器４９に接続されている。

そこで、反復回転機構４への基板２の着脱は、外部機器
４９のバルブ４９ｂ、４９ｃの開閉操作によって行われ
、モータ４４及びエアーシリンダ４５の運転操作を伴っ
て、ローディングあるいは搬送が行われる。

そこで、この実施例では、配管４８′　を回転軸４３の
軸周りにコイル状に巻回して後、外部機器４９に接続さ
せたので、回転軸４３の往復回転運動動作を一端側で受
けても、その運動量は巻回させた配管４８′の円周方向
で吸収されるので、配管４８′　自体へ加わるせん断力
は小さくなる。つまり、配管４８′　に加わる往復回転
運動をコイル状の円周方向で受けるので、回転軸４３に
巻回された配管４８′の径の伸縮は小さく押えられ、ま
たこれにエアーシリンダ４５による反復上下動が加わっ
たとしても、配管４８′部の構成は著しく小形化される
。

なお、配管４８′の巻回数は反復回転機構４の往復回転
角度の大きさに応じて任意に設定可能であり、また巻回
数をより多くまたその径をより大とすればするほど、配
管４８′　は上下動を伴う往復回転運動のより大きな変
化量を吸収することかできる。なお、このとき、配管４
８′　は回転軸４３の軸に沿って巻回されていればよく
、必ずしも全てが回転軸４３上で巻回されている必要は
ない。

上記実施例では、配管４８′　は回転軸４３の外側周囲
を巻回するように構成されているか、回転軸４３の往復
動によって外側方向に移動し、回転軸４３からはみ出る
のを防止し、全体をコンパクトに納めることもできる。

第２図はこの発明の第２の実施例を示す構成図で、第１
図と同一構成には同一符号を付して詳細な説明を省略し
て説明する。

即ち、第１図と相違する点は、回転軸４３の端部に配管
４８′のストッパ機構６を回転軸４３端面に取付けたこ
とである。

このストッパ機構６は、円板状の止め具６ａとこれを回
転軸４３に垂直に固定したねし６ｂとで構成され、上下
動に伴う回転往復動によって、配管４８′が回転軸４３
の軸外にはみ出ようとするのを防止でき、合せて配管４
８′　をコンパクトに収納できるものである。

なお、この発明の上記各実施例では、いずれも連続スパ
ッタリング装置に適用した場合を説明したか、配管４８
′の一端で往復動する機構を使用した各種製造装置等に
広く適用できるものであり、装置の小形化と操作員の作
業の安全も図れる利点かある。

［発明の効果Ｊ この発明による反復回転機構の配管装置は、簡単な構成
で、配管装置自体の小形化は勿論のこと、これを採用す
る装置そのもののコンパクト化と操作者の安全を図れる
特長があり、実用上の効果大である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による反復回転機構の配管装置の第１
の実施例を示す構成図、第２図は同しくこの発明による
反復回転機構の配管装置の第２の実施例を示す構成図、
第３図は従来の反復回転機構の配管装置を適用した連続
スパッタリング装置を示す構成図、第４図は第３図の反
復回転機構の配管装置を示す構成図である。 １・外部搬送装置、　２・・・基板、 ３・・・基板搬送装置、　４・・・反復回転機構、４１
バキユームチヤツク、 ４３・・・回転軸、 ４４・・・モータ、　　　　４５・・エアーシリンダ、
４６・・・吸排空洞、　　４８　４８′・・・配管、４
９・・・外部機器、　　４９ｂ、４９ｃ・・・バルブ、
４９ｄ・・・真空ポンプ、５・・・成膜室、５１・・・
内部搬送装置、５２・・・スパッタ源、６・・・ストッ
パ機構。 代理人　　弁理士　　大　胡　典　夫 第　　１　　図 第４図 第２図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）回転往復運動する反復回転機構に配管の一端が固
   定され、他端はその反復回転機構外の外部機器に固定し
   て接続される反復回転機構の配管装置において、前記配
   管を反復回転機構の回転軸周りに巻回した後、他端を前
   記外部機器に接続させたことを特徴とする反復回転機構
   の配管装置。
2. （２）前記回転軸の端部に配管のストッパ機構を付加し
   、回転軸に巻回された配管が回転軸外にはみだすことを
   防止したことを特徴とする請求項（１）記載の反復回転
   機構の配管装置。