JPH06320467A - 加工物等の吸着ヘッド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 吸着した加工物をチャッする位置決め爪と、
この位置決め爪を作動させる当接部との相互の係合部分
に接摺摩耗がなく、また、加工物を正確に位置決めチャ
ックできる加工物等の吸着ヘッド装置を提供することを
目的とする。 【構成】上下方向に設けられたシリンダ体１２と、シリ
ンダ体内に気密状に軸支され下端に吸着口３２を備えた
吸着ロッド１４と、吸着口の近傍位置に枢着され、加工
物をチャック作動する把持端部５０と作動端部５２とを
備えた位置決め爪１４とを有し、シリンダ体側或は吸着
ロッド側には、位置決め爪をチャック動作させる当接部
５８が設けられ、当接部と作動端部が当接し始めて加工
物をチャックするまでの作動端部の移動範囲が水平線に
対し略４５度以内に設定されて成る。当接部と作動端部
との接合面に摩耗がなく、正確に位置決めチャックでき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣの様な小形の加工
物等を吸着搬送する加工物等の吸着ヘッド装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体工場等で製造したＩＣの様
な小さな部品を、電子部品等の組立のために吸着保持し
ながら、次の工程へと吸着搬送させる構造としては、例
えば実開昭６２−７８２８９号に示すような真空チャッ
ク装置が開示されている。この装置においては、図８に
示す様に、コンベヤ等の上方へ突設されたアームの先端
に固定された本体内に、内部に吸引孔が開孔されると共
に下端部にノズル取付穴が設けられた中心軸を上下方向
に昇降可能に設け、前記ノズル取付穴内には、中心軸の
吸引孔に供給される真空圧力で上方に摺動する吸着ノズ
ルが設けられている。そして、この装置では、本体の下
方周側部にその爪端部が配置されるように４個のチャッ
ク爪が枢着されている。このチャック爪の上端には中心
軸側に向けて当接部が形成され、この当接部に対向する
側の中心軸には、その外周部分にテーパカムが設けられ
ている。

【０００３】この真空チャック装置においては、図８の
状態から、中心軸が下降すると、それに伴ってテーパカ
ムも下降し、これと同時に中心軸内の吸着ノズルがチャ
ック爪の下端の爪部を押し開きながら下降して部品に接
触する。次に、中心軸の吸引孔に真空圧力が供給されて
吸着ノズルで部品を吸着した状態で中心軸を上昇させる
と、吸着ノズルもノズル取付穴内で上昇して部品の高さ
位置を位置決めし、更に中心軸の上昇でテーパカムがチ
ャック爪の当接部と摺動接触しながらチャック爪の上端
当接部が鉛直線と交差する方向へ押圧されて下端の爪部
が閉縮しながら吸着している部品の四方周側面を挟着し
てセンタリングを行ない、この状態で本体を中心軸と共
に移動させて吸着ノズルに吸着した部品を次の工程へと
搬送している。

【０００４】

【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、前記
真空チャック装置においては、本体に中央部が枢着され
たチャック爪の上端側の当接部が、中心軸のテーパカム
と鉛直線上で摺動接触しながら外側へと押圧されて下端
の爪部を開閉させるため、チャック爪の上端側の当接部
と中心軸のテーパカムとは相互に摩耗し易く、この摩耗
により吸着ノズルに吸着した部品をチャック爪の爪部で
正確に位置決め出来なくなる欠点がある。また、チャッ
ク爪は、その枢着部から下端の爪部までの脚長が長いた
めに、爪部による部品の位置決め動作に誤差を発生し易
い等の問題があった。

【０００５】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的は、吸着ロッドの吸着口の近
傍に枢着した位置決め爪を、吸着ロッドの上昇移動のと
きにシリンダ体側或は吸着ロッド側に設けた当接部に、
点接触状に係合させて位置決め爪の下端を収束させるこ
とにより、位置決め爪と当接部との相互の係合部分に接
摺摩耗がなく、吸着口に吸着した部品を、長期に渡り正
確に位置決めチャックできることを特徴とした加工物等
の吸着ヘッド装置を提供することにある。

【０００６】

【問題点を解決するための手段】上記目的を達成するた
めに、本発明は、上下方向に設けられたシリンダ体１２
と、このシリンダ体１２の長手方向に作動し得る様に同
シリンダ体１２内に気密状に軸支され、下端部に加工物
Ｍ等を吸着する吸着口３２を備えた吸着ロッド１４と、
前記吸着口３２の近傍位置に枢着され、同吸着口３２に
吸着された加工物Ｍを周縁側からその中央側へ収束する
ように作動する把持端部５０を備えると共に、他端部に
作動端部５２を備えた略Ｌ字状の位置決め爪４８と、を
有し、前記シリンダ体１２側あるいは吸着ロッド１４側
には、前記吸着ロッド１４の上昇移動にともない前記位
置決め爪４８の作動端部５２と係合しつつ把持端部５０
を前記中央側へ収束させる当接部５８が設けられ、前記
当接部５８と位置決め爪４８の作動端部５２が当接し始
めて把持端部５０が加工物Ｍ等をその中央側収束位置に
収束するまでの作動端部の移動範囲が、水平線Ｌに対し
略４５度以内の角度範囲に設定されて成ることを特徴と
する加工物等の吸着ヘッド装置１０から構成される。

【０００７】

【作用】本発明に係る加工物等の吸着ヘッド装置におい
ては、シリンダ体に軸支した吸着ロッドの下端の吸着口
に加工物を接触させて吸着ロッドに真空圧力を供給し、
吸着口に加工物が吸着した後にシリンダ体内で吸着ロッ
ドが所定の高さ上昇する。このとき、吸着口の近傍に枢
着された位置決め爪の作動端部にシリンダ体側或は吸着
ロッド側に設けた当接部が点接触状に係合し、位置決め
爪の把持端部の下端側が閉縮しながら加工物をチャック
し、この状態で次工程へと移動されて加工物を開放す
る。前記当接部と係合する位置決め爪の作動端部の移動
範囲は、水平線に対し略４５度以内の角度範囲に設定さ
れているため、位置決め爪の作動端部は当接部と摺動接
触することなく、単に点接触の状態となって接摺摩耗が
なく、長期に渡って加工物を正確に位置決めチャックで
き、次の工程の所定の位置へと搬送できることとなる。

【０００８】

【実施例】以下、添付図面を参照しながら、本発明の好
適な実施例を説明する。図１、図２、図３には、本発明
の実施例に係る加工物等の吸着ヘッド装置１０が示され
ている。図より明らかな様に、加工物等の吸着ヘッド装
置１０は、金属、硬質合成樹脂等を素材として形成さ
れ、上下方向に向け配置されたシリンダ体１２と、この
シリンダ体１２の長手方向に作動し得る様に同シリンダ
体１２内に気密状に軸支された吸着ロッド１４と、を備
えている。

【０００９】前記シリンダ体１２は、上下面に連通開孔
された孔１６を有し、この孔１６内の上端寄り位置と、
下端部とに前記吸着ロッド１４を気密状に軸支つつ上下
方向に案内するための縦孔１８を備えた上ガイド２０と
下ガイド２２とが設けられている。前記孔１６は、円筒
形や角筒形に形成してもよい。前記上ガイド２０は、孔
１６の上部内面に嵌着されたカラー２４で固定されてい
る。更に、シリンダ体１２の端部側となる孔１６の上端
部には、シリンダ体１２の上面に、孔１６と連通する減
圧口２６が開孔された上蓋２８が固定されて気密閉鎖さ
れた気密減圧室３０が設けられている。また、前記下ガ
イド２２は、シリンダ体１２の下面に固定されている。

【００１０】図１に示す様に、前記吸着ロッド１４は、
前記上ガイド２０と下ガイド２２との縦孔１８に気密状
に嵌合軸支された棒体から成る。この吸着ロッド１４の
下ガイド２２より突出された下端面に吸着口３２が開孔
されると共に吸着パッド３３が固定され、前記吸着口３
２より気密減圧室３０内へ嵌入された吸着ロッド１４の
上端面には減圧室接合口３４が開口されている。更に、
この減圧室接合口３４と前記吸着口３２とは吸着ロッド
１４のロッド軸心に設けられた吸気孔３６で連通されて
いる。これにより、前記気密減圧室３０は、吸着ロッド
１４の上端の減圧室接合口３４、吸気孔３６を経由して
下端の吸着口３２に連通され、気密減圧室３０内が真空
に近い状態に減圧されると、この真空圧力が吸着口３２
に作用し、加工物を吸着できることとなる。

【００１１】前記上ガイド２０と下ガイド２２とで区画
された孔１６内において、吸着ロッド１４には、同吸着
ロッド１４を下方へと付勢するための付勢スプリング３
８が嵌装されている。この付勢スプリング３８の上下端
は、上ガイド２０の下面と、下ガイド２２の上方で吸着
ロッド１４の周側面に突設された突起４０とに係着され
ている。

【００１２】これにより、吸着ロッド１４は常時下方へ
と付勢され、吸着ロッド１４の下方を移送される加工物
等に常時近接する様に吸着口３２を対置できる。なお、
吸着ロッド１４の付勢は、付勢スプリング３８に限るこ
となく、電磁石等を用いて付勢してもよい。

【００１３】また、前記下ガイド２２には、縦孔１８に
連通した溝４２が開溝され、吸着ロッド１４より突設し
た廻止め突起４４が前記溝４２に嵌合して吸着ロッド１
４の軸回りの回転が阻止されている。前記気密減圧室３
０内の真空圧力が吸着ロッド１４の吸着口３２に作用し
て加工物を吸着すると、気密減圧室３０内の真空圧力が
上昇し、この真空圧力が吸着ロッド１４の上端の減圧室
接合口３４に作用して付勢スプリング３８の弾力に抗し
て吸着ロッド１４が上昇して減圧室接合口３４が蓋２８
の減圧口２６の下面に接合する。このとき吸着ロッド１
４の吸着口３２に吸着された加工物も共に上昇すること
となる。

【００１４】図１、図３に示す様に、吸着ロッド１４の
吸着口３２の近傍となる下ガイド２２の下面には、交差
状に４個の溝４６が開溝され、この各溝４６内に、それ
ぞれ相対向するように４個の位置決め爪４８が配置され
ている。この位置決め爪４８は、前記吸着ロッド１４の
吸着口３２に吸着された加工物を収束側からその中央側
へ収束するように作動する把持端部５０と、他端部に前
記吸着ロッド１４へ向け突出された作動端部５２と、を
備えた略Ｌ字状に形成されている。この各位置決め爪４
８は、溝４６内に設けた枢着部５４に、前記把持端部５
０と作動端部５２との連設隅部が枢着支持され、更に溝
４６内と作動端部５２とに付勢スプリング５６が介設さ
れて把持端部５０は吸着口３２に対し開脚状に付勢支持
されている。前記作動端部５２を上方へと押圧すること
により把持端部５０は吸着口３２に吸着された加工物を
収束側からその中央側へ収束するように作動する。前記
略Ｌ字状に形成された把持端部５０と作動端部５２と
は、その内角が９０度に限定されることなく、前記内角
の角度範囲は略６０度から１２０度までを自由に選択形
成するものである。また、厳密にＬ字状ではなくとも把
持端部及び作動端部の両端部がそのような位置関係に配
置された構造であれば、ブロック状の構造物としても良
いものである。

【００１５】図１、図２に示す様に、前記吸着ロッド１
４の吸着口３２寄り位置には、同吸着ロッド１４の上昇
移動にともない前記各位置決め爪４４の作動端部５２と
当接しながら把持端部５０を中央側へ収束させる当接部
５８が設けられている。この当接部５８は、前記下ガイ
ド２２の下面の４個の溝４６内に相対向して枢着された
４個の位置決め爪４８の作動端部５２に同時に当接し得
る円形、四角形等の板片から成る。

【００１６】本発明において特徴的なことは、上記作動
端部と把持端部を備えた位置決め爪と、これに係合する
当接部を備え、かつ、同当接部と位置決め爪の作動端部
が当接し始めて把持端部が加工物等をその中央側収束位
置に収束するまでの作動端部の移動範囲が、水平線に対
し略４５度以内の角度範囲に設定されていることであ
る。すなわち、前記吸着ロッド１４の下端の吸着口３２
に加工物Ｍ等を吸着した後で吸着ロッド１４が上昇し、
前記当接部５８の板片の上面が位置決め爪４４の作動端
部５２の端部下面に当接し始め、各位置決め爪４８の把
持端部５０の下端が加工物Ｍ等をその中央側収束位置に
収束するまでの作動端部５２の移動範囲が、対向した位
置決め爪の枢着部５４を結ぶ水平線Ｌに対し略４５度以
内の角度範囲に設定されている。すなわち、前記吸着ロ
ッド１４が上昇する時には同時に板片が上昇するが、こ
のとき、この板片の上面側は位置決め爪４８の作動端部
５２を単に押上げながら点接触状にこれと当接しつつ、
同時に爪下端をチャック動作させる。

【００１７】このとき、前記板片と相対向した位置決め
爪４８、４８の作動端部５２、５２との当接部分６２、
６２は、当接開始時において、図１に示す対向した位置
決め爪４８、４８の枢着部５４、５４における枢着点の
相互を結ぶ水平線Ｌの下方に、略４５度以内の角度範囲
に設定されているため、位置決め爪４８の枢着部５４の
下方の把持端部５０を短かく形成でき、正確なワークの
位置決めを行える。また、作動端部５２の当接部分６２
は、単に当接部５８の板片の上面に載着支持された状態
で押上げられるだけであるため、それらの接摺摩耗によ
るチャック爪のチャック不良等を生じさせることなく、
長期にわたり、吸着ヘッド装置の実効を期し得ることと
なるものである。

【００１８】前記吸着ロッド３２が下降して板片６０が
位置決め爪４８の作動端部５２の当接部分６２から離開
すると各位置決め爪４８の下端は開脚して加工物Ｍを開
放することとなる。前記吸着ロッド１４の上端の減圧室
接合口３４には、ゴムの様な弾性材で形成されたパッキ
ン６４が付設されている。これにより、吸着ロッド１４
の上端の減圧室接合口３４が蓋２８の減圧口２６の下面
に接合した時の衝撃を吸収し、また、減圧室接合口３４
と減圧口２６との気密性を高めことができて吸着口３２
に吸着した加工物を安定して吸着保持できる。前記気密
減圧室３０に作用する真空圧力を開放させて常圧に復帰
させると、吸着ロッド１４は、付勢スプリング３８の復
帰弾力で元位置へと敏速に下降復帰され、各位置決め爪
４８は下端が外側へと回動して加工物Ｍのチャックを開
放する。

【００１９】次に、図４、図５、図６には、加工物等の
吸着ヘッド装置１０の他の実施例が示されている。図よ
り明らかな様に、シリンダ体１２、このシリンダ体１２
の孔１６内に軸支された吸着ロッド１４、上蓋２８、気
密減圧室３０、付勢スプリング３８等の構成は、前記加
工物等の吸着ヘッド装置１０の構成と同一部材には同一
符号を付し、その詳細な説明は省略する。この実施例に
おいては、図４、図５に示す様に、シリンダ体１２の下
ガイド２２より突出された吸着ロッド１４の下端の吸着
口３２寄り位置に間座６６が固定され、この間座６６に
４個の位置決め爪４８が配置されている。

【００２０】図６に示す様に、前記間座６６は、肉厚が
大きな円形や四角形等の盤体で形成されている。この間
座６６には、前記吸着ロッド１４を中心として交差状に
４個の溝６８が上下面に連通開溝され、この各溝６８内
に４個の位置決め爪４８が枢着されている。図４、図５
に示す様に、前記各位置決め爪４８は、吸着口３２に吸
着された加工物を周縁側から中央側へと収束する様に作
動する把持端部５０と、この把持端部の５０の上端側よ
り吸着ロッド１４側へ突出された略方形状の作動端部５
２と、を備えた略Ｌ字状に形成されている。

【００２１】この各位置決め爪４８は、前記間座６６の
溝６８内で吸着ロッド１４寄り位置に設けられた枢着部
５４に作動端部５２の端部側が枢着支持され、前記枢着
部５４の下方側において、溝６８内面と作動端部５２の
端面とに付勢スプリング５６が介設されて把持端部５０
は吸着口３２に対し開脚状に付勢支持されている。更
に、前記各位置決め爪４８の作動端部５２の上端面は、
前記間座６６の周縁側の上方へ向け傾斜突出されてい
る。この間座６６より突出した作動端部５２を下方へと
押圧することにより把持端部５０は吸着口３２に吸着さ
れた加工物Ｍを収束側からその中央側へ収束するように
作動する。前記略Ｌ字状に形成された把持端部５０と作
動端部５２とは、その内角が９０度に限定されることな
く、前記内角の角度範囲は略６０度から１２０度までを
自由に選択形成するものである。

【００２２】この実施例においては、図４、図５に示す
様に、前記吸着ロッド１４の上昇移動にともない、間座
６６の上面より突出している各位置決め爪４８の作動端
部５０の当接部分６２がシリンダ体１２の下端の下ガイ
ド２２の下面に当接し、上昇する吸着ロッド１４と逆に
前記下ガイド２２に作動端部５０が点接触状に当接しつ
つ下方へと押圧されて把持端部５２が加工物Ｍを収束さ
せる。従って、前記下ガイド２２が当接部５８の働きを
奏することとなる。

【００２３】この実施例でも前記した実施例と同様に、
当接部と位置決め爪の作動端部が当接し始めて把持端部
が加工物等をその中央側収束位置に収束するまでの作動
端部の移動範囲が、水平線に対し略４５度以内の角度範
囲に設定されている。すなわち、前記各位置決め爪４８
の作動端部５２の当接部分６２が、シリンダ体１２の下
ガイド２２の下面に当接して把持端部５０の下端が加工
物Ｍを中央側へと収束するまでの作動端部５２移動範囲
は、対向した位置決め爪４８、４８の枢着部５４を結ぶ
水平線Ｌの上方に対し略４５度以内の角度範囲に設定さ
れている。これにより、位置決め爪４８の枢着部５４の
下方の把持端部５０を短尺に形成でき、正確なワークの
位置決めを行えると共に当接部分６２は下ガイド２２の
下面と点接触状に接合した状態で押下げられるだけであ
り、それらの接摺摩耗によるチャック爪のチャック不良
等を生じさせることなく、長期にわたり、吸着ヘッド装
置を的確に作動させることができることとなる。

【００２４】本発明の実施例に係る加工物等の吸着ヘッ
ド装置１０は、前記シリンダ体１２をロボット等のアー
ムの先端に単独で固定してもよいが、図７に示す様に、
加工物Ｍが移送されるコンベヤＣの上方に並列に設置し
てもよい。この並列設置する場合には、例えば、左右方
向に配置したホルダ７０の前面に、断面あり形のガイド
７２を固定し、図１、図４等に示す様に、各シリンダ体
１２の背面に穿設したあり溝７４を、ガイド７２にパッ
キン７６を介して嵌着し、シリンダ体１２の上面よりあ
り溝７４へ開孔したボルト孔にボルト７８を螺着して各
シリンダ体１２をホルダ７０に並列固定する。

【００２５】また、ガイド７９、７９でコンベヤＣに向
け案内されるスライダ８０、８０の前面に突設された軸
８２、８２にホルダ７０の両端部の孔を嵌合させ、クラ
ンプ８４、８４を軸８２、８２に係着してホルダ７０を
前記スライダ８０、８０に着脱固定する。そして、各シ
リンダ体１２の吸着ロッド１４の下端吸着口３２を、コ
ンベヤＣで搬送される加工物Ｍの上面とわずかな間隙を
おいて設定する。更に、各シリンダ体１２の減圧口２６
に接続したエアホース８６を制御弁を介して真空ポンプ
（図示せず）等に接続することとしてもよい。

【００２６】上記した様に、本発明の実施例に掛かる加
工物等の吸着ヘッド装置１０においては、シリンダ体１
２の上面の上蓋２８の減圧口２６にエアホース８６を連
通して真空圧力を気密減圧室３０に供給することによ
り、吸着ロッド１４の下端の吸着口３２でコンベヤＣ等
で搬送された加工物Ｍを吸着する。その後で吸着ロッド
１４が上昇して加工物Ｍを持ち上げるときに、吸着ロッ
ド１４の下端部に固定した当接部５８が、下ガイド２２
の下面に枢着配置された４個の位置決め爪４８の作動端
部５２に当接して上方へと押上げながら各位置決め爪４
８の把持端部５０の下端内面で加工物Ｍの両側面及び前
後面を正確に位置決めする。また、吸着ロッド１４の下
端の吸着口３２の近傍に間座６６を介して各位置決め爪
４８を枢着させ、間座６６の上面に位置決め爪４８の作
動端部５２を突出させることにより、吸着ロッド１４が
上昇して加工物Ｍを持ち上げたときに各位置決め爪４８
の作動端部５２がシリンダ体１２の下ガイド２２の下面
に当接し、作動端部５２が下方へと押下げられながら各
位置決め爪４８の把持端部５０の下端内面で加工物Ｍの
両側面及び前後面を正確に位置決めできる。

【００２７】その後で、各シリンダ体１２と共に吸着ロ
ッド下端に吸着、チャックした加工物Ｍを次工程へと移
動させ、所定の位置で吸着ロッド１４への真空圧力の供
給を停止するものであり、これにより、シリンダ体１２
内で吸着ロッド１４が下降して各位置決め爪４４は開脚
し、吸着した加工物Ｍを開放するものである。従って、
加工物の吸着、位置決め作動において、シリンダ体側或
は吸着ロッド側にもうけられた当接部５８に、各位置決
め爪４８の作動端部５２は点接触状に当接するため、そ
の当接部分６２に摺動接触による摩耗が発生することな
く、またシリンダ体の下面に枢着された各位置決め爪４
８の脚長も短く形成できて、誤差のない正確な位置決め
作動ができることとなる。また、真空圧を利用して吸着
ロッド１４により加工物Ｍを吸着持ち上げる作動と連動
して加工物の位置決めを簡易で敏速に行ない得ることと
なる。

【００２８】

【発明の効果】以上、説明した様に請求項１に係る加工
物等の吸着ヘッド装置によれば、上下方向に設けられた
シリンダ体と、このシリンダ体の長手方向に作動し得る
様に同シリンダ体内に気密状に軸支され、下端部に加工
物等を吸着する吸着口を備えた吸着ロッドと、前記吸着
口の近傍位置に枢着され、同吸着口に吸着された加工物
を周縁側からその中央側へ収束するように作動する把持
端部を備えると共に、他端部に作動端部を備えた略Ｌ字
状の位置決め爪とを有し、前記シリンダ体側あるいは吸
着ロッド側には、前記吸着ロッドの上昇移動にともない
前記位置決め爪の作動端部と係合しつつ把持端部を前記
中央側へ収束させる当接部が設けられ、前記当接部と位
置決め爪の作動端部が当接し始めて把持端部が加工物等
をその中央側収束位置に収束するまでの作動端部の移動
範囲が、水平線に対し略４５度以内の角度範囲に設定さ
れて成ることにより、位置決め爪の作動端部と、当接部
分との係合部分は点接触となって摺動接触することな
く、摩耗がなく、長期にわたって吸着した加工物を正確
に位置決めしながら各工程へと搬送移動できることとな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る加工物等の吸着ヘッド装
置の縦断面図である。

【図２】加工物を吸着して持上げた状態の縦断面図であ
る。

【図３】図２のＡ−Ａ線矢視図である。

【図４】本発明の他の実施例に係る加工物等の吸着ヘッ
ド装置の縦断面図である。

【図５】図４の吸着ヘッド装置で加工物を吸着して持上
げた状態の縦断面図である。

【図６】図５のＢ−Ｂ線一部拡大矢視図である。

【図７】シリンダ体を並列に設置した吸着ヘッド装置の
斜視図である。

【図８】従来の真空チャック装置を示した断面説明図で
ある。

【符号の説明】

１０ 加工物等の吸着ヘッド装置 １２ シリンダ体 １４ 吸着ロッド ３２ 吸着口 ４８ 位置決め爪 ５０ 把持端部 ５２ 作動端部 ５４ 枢着部 ５８ 当接部 Ｍ 加工物 Ｌ 水平線

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下方向に設けられたシリンダ体と、 このシリンダ体の長手方向に作動し得る様に同シリンダ
   体内に気密状に軸支され、下端部に加工物等を吸着する
   吸着口を備えた吸着ロッドと、 前記吸着口の近傍位置に枢着され、同吸着口に吸着され
   た加工物を周縁側からその中央側へ収束するように作動
   する把持端部を備えると共に、他端部に作動端部を備え
   た略Ｌ字状の位置決め爪と、を有し、 前記シリンダ体側あるいは吸着ロッド側には、前記吸着
   ロッドの上昇移動にともない前記位置決め爪の作動端部
   と係合しつつ把持端部を前記中央側へ収束させる当接部
   が設けられ、 前記当接部と位置決め爪の作動端部が当接し始めて把持
   端部が加工物等をその中央側収束位置に収束するまでの
   作動端部の移動範囲が、水平線に対し略４５度以内の角
   度範囲に設定されて成ることを特徴とする加工物等の吸
   着ヘッド装置。