JP2607280Y2 - チャック装置 - Google Patents
チャック装置Info
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- JP2607280Y2 JP2607280Y2 JP1993065552U JP6555293U JP2607280Y2 JP 2607280 Y2 JP2607280 Y2 JP 2607280Y2 JP 1993065552 U JP1993065552 U JP 1993065552U JP 6555293 U JP6555293 U JP 6555293U JP 2607280 Y2 JP2607280 Y2 JP 2607280Y2
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Description
決めするためのチャック装置に関し、例えば半導体デバ
イスなど電子部品の搬送に使用される。
所定の位置まで搬送するために、真空圧(負圧)を利用
した吸着装置がしばしば使用されている。このような吸
着装置は、上下方向に移動可能な軸部材の先端にワーク
を吸着するためのパッドが取り付けられて構成されてお
り、搬入位置にあるワーク上で軸部材が下降し、パッド
によってワークを吸着して上昇し、適当なトラバーサに
よって搬出位置まで移動し、そこで軸部材が下降して所
定の位置で真空を開放してワークをパッドから離脱させ
る。
置では、ワークを搬出位置で離脱したときに、ワークの
位置精度が悪いという問題がある。
と、真空圧によってパッドが撓んで変形するため、軸部
材に対するワークの位置にばらつきが発生する。そのた
め、真空圧を開放してワークをパッドから離脱したとき
にワークの位置にばらつきが生じ、ワークの搬入位置が
一定であっても搬出位置における位置決め精度は悪かっ
た。
置精度を向上させるために、種々の複雑な位置決め機構
を別途設けなければならず、装置が大型化し且つコスト
の上昇を招いていた。
ので、簡単な構造によって高精度でワークの位置決めを
行うことのできるチャック装置を提供することを目的と
する。
置は、ワークを保持して位置決めするためのチャック装
置であって、本体と、前記本体の中央部において収縮位
置と伸長位置との間を移動可能に設けられ、先端にワー
クを吸着するためのパッドが取り付けられた吸着用軸部
材と、前記吸着用軸部材の両側において開閉可能に設け
られ、前記吸着用軸部材の収縮位置において前記パッド
により吸着されたワークを水平方向にクリアランスを有
して保持するための爪部材と、前記吸着用軸部材を移動
駆動するための移動駆動機構と、前記爪部材を開閉駆動
するための、前記移動駆動機構とは独立して動作可能な
開閉駆動機構と、前記爪部材が前記ワークの保持のため
に閉じたときに前記爪部材と前記ワークとの間に水平方
向のクリアランスを有するように、前記爪部材が閉じた
ときに当接してその位置を規制するストッパ部材と、を
有し、前記吸着用軸部材、前記移動駆動機構、前記開閉
駆動機構、および前記ストッパ部材は、それらの軸心が
互いに一致するように設けられて構成される。
駆動機構は、前記吸着用軸部材の伸縮方向に往復駆動
し、ロッドによって前記吸着用軸部材を移動させる流体
圧シリンダと、前記ロッドと前記吸着用軸部材との間に
設けられ、前記吸着用軸部材が伸長方向に移動する際に
前記吸着用軸部材に過大な負荷が加わった場合に弾性的
に変形して前記ロッドと前記吸着用軸部材との摺動を許
容するバネ部材と、を有して構成される。
に往復駆動される。吸着用軸部材を伸長させた状態で、
パッドによってワークを吸着し、その後吸着用軸部材を
収縮させる。吸着用軸部材の収縮位置において、爪部材
によってワークを把持(保持)する。このとき、爪部材
はストッパ部材によって閉じたときの位置が規制され
る。したがって、ワークとの間に水平方向にクリアラン
スを有するようになる。そのため、ワークには爪部材に
よる押圧力は作用しない。爪部材によりワークを把持し
た状態で、パッドによる吸着を解除することにより、ワ
ークは爪部材上に載って爪部材のみによって保持され
る。
爪部材を開き、吸着用軸部材を伸長させた後に吸着を解
除してワークを離脱させる。
面図、図2は図1のチャック装置1のパッドの部分の拡
大断面図、図3はチャック装置1が閉じた状態を示す拡
大断面図、図4は図1のチャック装置1の底面図、図5
は図1のチャック装置1の平面図である。
本体11、本体11の中央部において収縮位置PC(図
3参照)と伸長位置PE(図2参照)との間を移動可能
に設けられた軸部材12、軸部材12の先端に取り付け
られたパッド14、軸部材12の両側において開閉可能
に設けられ軸部材12の収縮位置PCにおいてパッド1
4により吸着されているワークWを把持するための爪部
材15、軸部材12を移動駆動するための移動駆動機構
16、爪部材15を開閉駆動するための開閉駆動機構1
7などから構成されている。
1部材11a、第2部材11b、及び第3部材11cが
ボルトなどにより一体的に連結されて構成されている。
軸部材12は、軸穴13aを有した中空状の軸棒12a
と、軸棒12aの上端において圧入され一体化された管
部材12bとからなっている。
の溝が設けられており、第3部材11cに取り付けられ
たガイド26と回転不能に係合している。管部材12b
の上端には真空源(負圧源)からのホースを接続するた
めのタケノコ13bが取り付けられている。パッド14
は、弾性を有する合成ゴムからなり、接続部材14aを
介して軸棒12aの下端に取り付けられている。
けられたリニアガイド21によって図4の半径方向に移
動可能に設けられた4つの爪台22、及び各爪台22に
ボルト23によって取り付けられた爪24からなる。爪
24は、第3部材11cの下面中央に取り付けられたス
トッパ部材25の外周に当接することによって、閉じた
ときの位置決めが行われる。爪24が閉じたときには、
爪24の内側の面である把持面24aが、ワークWの外
面との間に少しのクリアランスCLを有するようになっ
ている。このクリアランスCLの大きさが、実質的にワ
ークWの位置決め精度とほぼ等しくなる。
リンダチューブとする空気圧シリンダ装置であり、ピス
トン31、ピストン31と一体の中空状のロッド32、
及びスペーサ38,39などから構成されている。ロッ
ド32の先端中央部には穴32aが設けられており、上
述の管部材12bがこの穴32aに摺動可能に貫通して
いる。ロッド32の上面は、タケノコ13bの下端に取
り付けられたワシャ13cに当接可能であり、したがっ
て、当接した状態ではロッド32が上方へ移動する際に
軸部材12も一体的に上方へ移動する。ロッド32の内
部において、ロッド32と管部材12bとの間に圧縮バ
ネ33が装着されており、ロッド32に対して軸部材1
2を下方へ付勢している。したがって、ロッド32が下
方へ移動する際に、通常はそれとともに軸部材12が下
方へ移動するが、パッド14がワークWに当接するなど
して軸部材12に上方向への過大な負荷が加わった場合
には、圧縮バネ33が圧縮され、ロッド32と管部材1
2bとは摺動する。なお、ピストン31を駆動するため
の圧縮空気は、第1部材11aの端面に設けられたポー
ト34,35から供給される(図5参照)。また、第1
部材11a、ピストン31、及びロッド32などの各摺
動部分にはパッキンが装着されている。
リンダチューブとする同軸状の2つのピストンを有した
空気圧シリンダ装置と、その空気圧シリンダ装置の直線
往復移動を開閉移動に変換する動力変換装置とからなっ
ている。
小ピストン42、及び軸チューブ43などからなる。軸
チューブ43は、第2部材11bと第3部材11cとの
間に装着され、その内部を上述の軸棒12aが移動可能
である。大ピストン41及び小ピストン42の各内周面
は、軸チューブ43に対して気密に摺動可能である。小
ピストン42の外周面は、大ピストン41の内部におい
て気密に摺動可能である。空気室44に圧縮空気が供給
されると、大ピストン41は図1の下方へ、小ピストン
42は上方へ、それぞれ移動する。空気室45に圧縮空
気が供給されると、大ピストン41は上方へ、小ピスト
ン42は下方へ、それぞれ移動する。空気室44,45
への圧縮空気の供給は、第1部材11aの端面に設けら
れたポート37,36から行われる(図5参照)。
の4箇所において軸部材12と平行な軸を中心に回転可
能に設けられたピン51、ピン51の回転軸と直角方向
に延びる軸ピン52、軸ピン52を中心に回転可能に設
けられたレバー53、レバー53の先端に回転可能に取
り付けられ小ピストン42の下端面に当接して転動する
ローラ54、一端がレバー53の中央部においてピン5
5を介して回転可能に取り付けられ、他端が爪台22に
挿入された駆動棒56などからなっている。大ピストン
41及び小ピストン42などの各摺動部分にはパッキン
が装着されている。
トン41が下方へ移動すると、軸ピン52が下方へ押し
やられるため、ピン55は半径方向の内方へ向かって移
動し、ローラ54は小ピストン42の下端面を上方へ押
し上げる。このとき、爪台22は閉じる方向に移動す
る。また、空気室45に圧縮空気が供給されると、上述
とは逆にローラ54が下方へ押しやられ、ピン55は半
径方向の外方へ移動し、これによって爪台22は開く方
向に移動する。したがって、ポート36,37に圧縮空
気を供給することにより、爪24が開閉駆動される。
チャック装置1は、例えば図示しない適当なトラバーサ
に取り付けられ、水平方向に往復移動される。チャック
装置1がワークWの搬入位置にあるときに、収縮位置P
Cにある軸部材12が伸長して下降し、パッド14がワ
ークWの上面に当接した時点で真空圧を供給し、パッド
14でワークWを吸着する(図2の状態)。その後、軸
部材12が収縮して上昇し、収縮位置PCに到ると、爪
24が閉じ、爪24によってワークWを把持する(図3
の状態)。真空圧を開放してパッド14による吸着を解
除する。これによってワークWは爪24の中で自由状態
となり、爪24の把持面24aによって規制される位置
で安定する。その後、再度真空圧を供給し、パッド14
によってワークWを吸着する。これによってワークWの
位置決めが行われる。
1がワークWの搬出位置まで移動され、そこで爪24が
開かれ、軸部材12が伸長して下降し、所定の位置にお
いて真空圧を開放してワークWを離脱する。これによっ
て、ワークWが正しい位置に搬出される。爪24によっ
てワークWの位置決めが行われているので、パッド14
の変形があった場合でもワークWの位置が安定し、高精
度でワークWの位置決めを行うことができる。
きの位置がストッパ部材25との当接によって決定され
るので、ワークWの位置を規制する把持面24aの位置
精度が高く維持される。また、ストッパ部材25を交換
することによって把持面24aの位置を容易に変更する
ことができる。
6として軸部材12と同心状の空気圧シリンダ装置を用
いたが、軸部材12と平行に配置された空気圧シリンダ
装置を用い、そのロッドと軸部材12とを連結部材によ
り連結して一体に移動するように構成してもよい。爪2
4を4つ設けたが、2つ、3つ、又は5つ以上でもよ
い。パッド14に真空圧を供給するタイミング、又は真
空圧を開放するタイミング、爪24を開閉するタイミン
グなどは、適宜変更することができる。また、そのよう
なタイミングを得るために、適当なセンサーを必要に応
じて設けておけばよい。その他、本体11、軸部材1
2、パッド14、爪部材15、移動駆動機構16、開閉
駆動機構17、及びチャック装置1の構造、形状、寸
法、材質、動作シーケンスなどは、本考案の主旨に沿っ
て種々変更することができる。
構造によって高精度でワークの位置決めを行うことがで
きる。
る。
図である。
ある。
Claims (2)
- 【請求項1】ワークを保持して位置決めするためのチャ
ック装置であって、 本体と、 前記本体の中央部において収縮位置と伸長位置との間を
移動可能に設けられ、先端にワークを吸着するためのパ
ッドが取り付けられた吸着用軸部材と、 前記吸着用軸部材の両側において開閉可能に設けられ、
前記吸着用軸部材の収縮位置において前記パッドにより
吸着されたワークを水平方向にクリアランスを有して保
持するための爪部材と、 前記吸着用軸部材を移動駆動するための移動駆動機構
と、 前記爪部材を開閉駆動するための、前記移動駆動機構と
は独立して動作可能な開閉駆動機構と、 前記爪部材が前記ワークの保持のために閉じたときに前
記爪部材と前記ワークとの間に水平方向のクリアランス
を有するように、前記爪部材が閉じたときに当接してそ
の位置を規制するストッパ部材と、を有し、 前記吸着用軸部材、前記移動駆動機構、前記開閉駆動機
構、および前記ストッパ部材は、それらの軸心が互いに
一致するように設けられている、 ことを特徴とするチャック装置。 - 【請求項2】前記移動駆動機構は、 前記吸着用軸部材の伸縮方向に往復駆動し、ロッドによ
って前記吸着用軸部材を移動させる流体圧シリンダと、 前記ロッドと前記吸着用軸部材との間に設けられ、前記
吸着用軸部材が伸長方向に移動する際に前記吸着用軸部
材に過大な負荷が加わった場合に弾性的に変形して前記
ロッドと前記吸着用軸部材との摺動を許容するバネ部材
と、 を有してなることを特徴とする請求項1記載のチャック
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993065552U JP2607280Y2 (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | チャック装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993065552U JP2607280Y2 (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | チャック装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0737589U JPH0737589U (ja) | 1995-07-11 |
JP2607280Y2 true JP2607280Y2 (ja) | 2001-05-28 |
Family
ID=13290292
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1993065552U Expired - Fee Related JP2607280Y2 (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | チャック装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2607280Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6383537B2 (ja) * | 2013-12-10 | 2018-08-29 | 川崎重工業株式会社 | ロボットハンド、ロボット、およびロボットセル |
-
1993
- 1993-12-08 JP JP1993065552U patent/JP2607280Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0737589U (ja) | 1995-07-11 |
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