JPH01282834A - ウェハ移載用の吸着ハンド - Google Patents
ウェハ移載用の吸着ハンドInfo
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- JPH01282834A JPH01282834A JP63112264A JP11226488A JPH01282834A JP H01282834 A JPH01282834 A JP H01282834A JP 63112264 A JP63112264 A JP 63112264A JP 11226488 A JP11226488 A JP 11226488A JP H01282834 A JPH01282834 A JP H01282834A
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- suction
- wafer
- hand
- suction plate
- pressing
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- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 47
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 69
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
この発明は例えば半導体ウェハを搬送用のキャリアから
電極板等の他の保持装置に自動移載する際に使用される
ウェハ移載用の吸着ハンドに関する。
電極板等の他の保持装置に自動移載する際に使用される
ウェハ移載用の吸着ハンドに関する。
(従来の技術)
現在半導体チップを製造する工程において、半導体ウェ
ハを直接吸引保持して移載する装置が使用されつつある
。このウェハの移載装置は例えば第5図に示されるよう
に構成されており、−射的に使用されているロボット1
のアーム2の先端に吸着ハンド3が設けられている。
ハを直接吸引保持して移載する装置が使用されつつある
。このウェハの移載装置は例えば第5図に示されるよう
に構成されており、−射的に使用されているロボット1
のアーム2の先端に吸着ハンド3が設けられている。
そして、キャリア4に複数枚立掛けられたウェハ5のう
ちの一枚を上記吸着ハンド3により吸着保持し電極板6
に移載するようになっている。
ちの一枚を上記吸着ハンド3により吸着保持し電極板6
に移載するようになっている。
ここで、上記キャリア4は複数枚のウェハ5を一度に搬
送するための保持具であり、また電極板6はウェハ5を
保持してプラズマCVD法による蒸着を施す際の電極板
である。
送するための保持具であり、また電極板6はウェハ5を
保持してプラズマCVD法による蒸着を施す際の電極板
である。
上述の吸着ハンド3は第6図に示されるように構成され
ている。上記ロボット1のアーム2の先端に設けられた
ハンド本体7は矩形箱状に形成されており、このハンド
本体7の内部からは吸若体としての吸着板8が延出され
ている。
ている。上記ロボット1のアーム2の先端に設けられた
ハンド本体7は矩形箱状に形成されており、このハンド
本体7の内部からは吸若体としての吸着板8が延出され
ている。
この吸着板8は長手方向を有して第7図に示されるよう
に形成されており、先端部の表面には吸着部としての吸
着口9が形成されている。この吸着口9は上記吸着板8
の基端側に向かって同吸着板8内に連通孔を形成して延
長され、中途部で他側面に開口されている。この開口部
分には図示しないチューブを通して制御弁を有するコン
プレッサーの吸込側に接続されている。これにより、上
記ウェハ5を吸着板8の表面に吸着するようになってい
る。
に形成されており、先端部の表面には吸着部としての吸
着口9が形成されている。この吸着口9は上記吸着板8
の基端側に向かって同吸着板8内に連通孔を形成して延
長され、中途部で他側面に開口されている。この開口部
分には図示しないチューブを通して制御弁を有するコン
プレッサーの吸込側に接続されている。これにより、上
記ウェハ5を吸着板8の表面に吸着するようになってい
る。
そして、吸着板8は上記ハンド本体7に支軸10によっ
て支持され揺動できるようになっており、この揺動の方
向は吸着口9が開口される表面が進退する方向である。
て支持され揺動できるようになっており、この揺動の方
向は吸着口9が開口される表面が進退する方向である。
また、上記ハンド本体7内に位置される吸着板8には、
同吸着板8を挟んで対峙する第1および第2の押圧手段
11.12が設けられている。これらの押圧手段11.
12はそれぞれ同一型式のコイルばね13.14によっ
て形成されており、互いに同一の力で押圧するようにな
っている。さらに、上記吸着板8の上端部側には、同吸
着板8が揺動したことを検知して駆動側のスイッチ操作
を行なう2つのリミットスイッチ15.16が設けられ
ている。
同吸着板8を挟んで対峙する第1および第2の押圧手段
11.12が設けられている。これらの押圧手段11.
12はそれぞれ同一型式のコイルばね13.14によっ
て形成されており、互いに同一の力で押圧するようにな
っている。さらに、上記吸着板8の上端部側には、同吸
着板8が揺動したことを検知して駆動側のスイッチ操作
を行なう2つのリミットスイッチ15.16が設けられ
ている。
このように構成された吸着ハンド3は上記ロボット1の
アーム2が駆動されキャリア4に保持されたウェハ5を
移載する場合、まず、同キャリア4の縁部に上記吸着板
8の裏面側、つまり吸着口9が開口された表面側に対す
る裏面側が第6図に示されるように接触される。そして
、この接触により上記吸着板8が傾き上記2つのリミッ
トスイッチ15.16のうち、裏面側に対向して設けら
れたリミットスイッチ16に接触される。このスイッチ
16のスイッチ操作により、このロボット1の図示しな
い制御装置は上記キャリア4の位置を検知し、この検知
位置をもとに上記キャリア4に載置されたウェハ5を吸
着保持して電極板6に移載する。なお、上記吸着板8は
裏面側にも揺動するように構成されているが、これは作
業の教示中において簡単なミスで破損することを防止す
るための逃げでもある。上記吸着板8は極力薄く作られ
ており、破損しやすいのでこのような逃げがある。
アーム2が駆動されキャリア4に保持されたウェハ5を
移載する場合、まず、同キャリア4の縁部に上記吸着板
8の裏面側、つまり吸着口9が開口された表面側に対す
る裏面側が第6図に示されるように接触される。そして
、この接触により上記吸着板8が傾き上記2つのリミッ
トスイッチ15.16のうち、裏面側に対向して設けら
れたリミットスイッチ16に接触される。このスイッチ
16のスイッチ操作により、このロボット1の図示しな
い制御装置は上記キャリア4の位置を検知し、この検知
位置をもとに上記キャリア4に載置されたウェハ5を吸
着保持して電極板6に移載する。なお、上記吸着板8は
裏面側にも揺動するように構成されているが、これは作
業の教示中において簡単なミスで破損することを防止す
るための逃げでもある。上記吸着板8は極力薄く作られ
ており、破損しやすいのでこのような逃げがある。
上述のようなウェハ5の移載装置は、吸着板8が基準の
位置に正確に復帰しなければウェハ5の移載を正確に行
なうことができないものである。
位置に正確に復帰しなければウェハ5の移載を正確に行
なうことができないものである。
そして、現在までに製作されているものは上記コイルば
ね13.14の力のつり合いによって吸着板8の基準位
置が決定されていた。これらのコイルばね13.14の
力のつり合いは不安定なものであり、繰返し移載作業を
行なうと、吸着板8の基準位置にずれを生じてしまうこ
とがあった。このため、精度の高い位置決めができなく
なり、キャリア4や電極板6に正確に収納および載置で
きなくなることがあった。
ね13.14の力のつり合いによって吸着板8の基準位
置が決定されていた。これらのコイルばね13.14の
力のつり合いは不安定なものであり、繰返し移載作業を
行なうと、吸着板8の基準位置にずれを生じてしまうこ
とがあった。このため、精度の高い位置決めができなく
なり、キャリア4や電極板6に正確に収納および載置で
きなくなることがあった。
そして、ウェハ5が上記電極板6に載置される場合には
、第8図に示されるように上記電極板6にウェハ5が密
着することが必要である。ところが、上記電極板6は支
持状態により、傾きを生じてしまい第9図中に示される
ようにウェハ5を正確に移載することがでいなくなるも
のであった。
、第8図に示されるように上記電極板6にウェハ5が密
着することが必要である。ところが、上記電極板6は支
持状態により、傾きを生じてしまい第9図中に示される
ようにウェハ5を正確に移載することがでいなくなるも
のであった。
そして、ウェハ5が電極板6に密着されていないと蒸着
処理を行なったときに形成されるシリコン窒化膜の品質
が低くなるという問題点があった。
処理を行なったときに形成されるシリコン窒化膜の品質
が低くなるという問題点があった。
ここで、上記電極板6を垂直状態に調整することが難し
く、多少の傾きを生じることが多いため、上述のような
問題を生じていた。このため電極板6にウェハ5を密着
させることができず、電極板6に載置することすらでき
なくなることがあった。
く、多少の傾きを生じることが多いため、上述のような
問題を生じていた。このため電極板6にウェハ5を密着
させることができず、電極板6に載置することすらでき
なくなることがあった。
なお、第9図に示す電極板6の傾きは説明のため大きめ
に傾けである。
に傾けである。
(発明が解決しようとする課題)
ウェハの移載装置は、吸着体の基準位置を同一のコイル
ばねによって対向する二方向から押圧することで行なっ
ているが、コイルばねの押圧力は繰返し作動することで
むらを生じやすく、基準位置が不安定となり正確な移載
ができなくなることがあった。また、傾いた電極板に載
置する際には、ウェハを密着させる状態に載置できなく
なることがあった。
ばねによって対向する二方向から押圧することで行なっ
ているが、コイルばねの押圧力は繰返し作動することで
むらを生じやすく、基準位置が不安定となり正確な移載
ができなくなることがあった。また、傾いた電極板に載
置する際には、ウェハを密着させる状態に載置できなく
なることがあった。
この発明は上記課題に着目してなされたものであり、ウ
ェハを正確に移載できるウェハ移載用の吸着ハンドを提
供することを目的とし、請求項第1項記載の発明は吸着
板を基準位置に正確に位置させることができるウェハ移
載用の吸着ハンドを提供することを目的とする。
ェハを正確に移載できるウェハ移載用の吸着ハンドを提
供することを目的とし、請求項第1項記載の発明は吸着
板を基準位置に正確に位置させることができるウェハ移
載用の吸着ハンドを提供することを目的とする。
また、請求項第2項の発明は、ウェハを傾いた保持対象
物に対して正確に密着するように移載することができる
ウェハ移載用の吸着ハンドを提供することを目的とする
。
物に対して正確に密着するように移載することができる
ウェハ移載用の吸着ハンドを提供することを目的とする
。
(課題を解決するための手段)
請求項第1項の発明はハンド本体を設け、表面にウェハ
を吸着する吸着部を形成した吸着体を上記ハンド本体内
から延出するように設け、この吸着体の一方の側面を所
定の押圧力で弾性的に押圧する第1の抑圧手段を設け、
この第1の押圧手段よりも強い力で弾性的に押圧する第
2の抑圧手段を上記吸着体を挟んで第1の抑圧手段に対
峙するように設け、この第2の抑圧手段の押圧力を上記
吸着体の基準位置で規制する規制手段を設け、上記吸着
体が基準位置から移動したことを検知する検知手段を設
けたウェハ移載用の吸着ハンドにある。
を吸着する吸着部を形成した吸着体を上記ハンド本体内
から延出するように設け、この吸着体の一方の側面を所
定の押圧力で弾性的に押圧する第1の抑圧手段を設け、
この第1の押圧手段よりも強い力で弾性的に押圧する第
2の抑圧手段を上記吸着体を挟んで第1の抑圧手段に対
峙するように設け、この第2の抑圧手段の押圧力を上記
吸着体の基準位置で規制する規制手段を設け、上記吸着
体が基準位置から移動したことを検知する検知手段を設
けたウェハ移載用の吸着ハンドにある。
また、請求項第2項の発明はハンド本体を設け、このハ
ンド本体内から吸着体を延出して同吸着体の延出部の表
面にウェハを吸着する吸着部を設け、上記吸着体を基準
位置に押圧するように一対の抑圧手段を対峙して設け、
上記吸着体が一対の抑圧手段によって押圧される方向に
円弧運動できるように同吸着体を支持する支持部を設け
、上記吸着体が基準位置から移動されたことを検知する
検知手段を設け、上記吸着体の吸着部にウェハが吸着保
持された状態で上記支持部を支点として上記吸着体を傾
ける傾斜駆動手段を設けたウェハの移載装置にある。
ンド本体内から吸着体を延出して同吸着体の延出部の表
面にウェハを吸着する吸着部を設け、上記吸着体を基準
位置に押圧するように一対の抑圧手段を対峙して設け、
上記吸着体が一対の抑圧手段によって押圧される方向に
円弧運動できるように同吸着体を支持する支持部を設け
、上記吸着体が基準位置から移動されたことを検知する
検知手段を設け、上記吸着体の吸着部にウェハが吸着保
持された状態で上記支持部を支点として上記吸着体を傾
ける傾斜駆動手段を設けたウェハの移載装置にある。
(作用)
請求項第1項の発明では、吸着体の一方の側面に第1の
抑圧手段が設けられ、これに対向する他方の側面には第
2の押圧手段が設けられ、上記第1の押圧手段よりも第
2の押圧手段の押圧力を大きくし、この第2の抑圧手段
の押圧力を上記吸着体の基準位置で規制する規制手段を
設けることで、上記第1および第2の押圧手段に押圧力
のむらが生じても正確に吸着体が基準位置に位置される
。
抑圧手段が設けられ、これに対向する他方の側面には第
2の押圧手段が設けられ、上記第1の押圧手段よりも第
2の押圧手段の押圧力を大きくし、この第2の抑圧手段
の押圧力を上記吸着体の基準位置で規制する規制手段を
設けることで、上記第1および第2の押圧手段に押圧力
のむらが生じても正確に吸着体が基準位置に位置される
。
請求項第2項の発明では吸着体がウェハを吸着したとき
に同吸着体を傾斜する傾斜駆動手段を設けることで、傾
いた載置対象物に対しても正確にウェハを載置できる。
に同吸着体を傾斜する傾斜駆動手段を設けることで、傾
いた載置対象物に対しても正確にウェハを載置できる。
(実施例)
この発明における第1実施例を第1図および第2図を参
照して説明するが、吸着ハンド17が設けられるロボッ
トのアーム等は従来のものと同様に形成されているので
吸着ハンド17の構成についてのみ説明する。
照して説明するが、吸着ハンド17が設けられるロボッ
トのアーム等は従来のものと同様に形成されているので
吸着ハンド17の構成についてのみ説明する。
図中に示す吸着ハンド17のハンド本体18は矩形箱状
に形成されており、このハンド本体18の上部は図示し
ないロボットのアームの先端に結合されている。
に形成されており、このハンド本体18の上部は図示し
ないロボットのアームの先端に結合されている。
また、ハンド本体18の下面中央部からは吸着体として
の吸着板19が延出されている。この吸着板19の中途
部は上記ハンド本体18に支軸20により回動自在に支
持されている。この吸着板19は下端部の表面部に吸着
口21が開口さねており、この吸着口21に連通ずる吸
引路22が上記吸着板19の内部に長手方向に沿って、
上記支軸20の下部まで延長され裏面側に接続部23を
有して開口されている。この接続部23には図示しない
制御弁を介してコンプレッサーが接続されている。ここ
で、上記吸着板19は図示しない制御弁が制御装置によ
って駆動されることで、ウェハ5を吸着保持し、また開
放するように制御される。
の吸着板19が延出されている。この吸着板19の中途
部は上記ハンド本体18に支軸20により回動自在に支
持されている。この吸着板19は下端部の表面部に吸着
口21が開口さねており、この吸着口21に連通ずる吸
引路22が上記吸着板19の内部に長手方向に沿って、
上記支軸20の下部まで延長され裏面側に接続部23を
有して開口されている。この接続部23には図示しない
制御弁を介してコンプレッサーが接続されている。ここ
で、上記吸着板19は図示しない制御弁が制御装置によ
って駆動されることで、ウェハ5を吸着保持し、また開
放するように制御される。
一方、上記吸着板19のハンド本体18内に位置する上
部には第1および第2の押圧手段24.25が設けられ
ている。このうち第1の抑圧手段24は吸着板19の吸
着口21が開口された表面側上部を押圧するように設け
られており第1のコイルばね26によって形成されてい
る。
部には第1および第2の押圧手段24.25が設けられ
ている。このうち第1の抑圧手段24は吸着板19の吸
着口21が開口された表面側上部を押圧するように設け
られており第1のコイルばね26によって形成されてい
る。
そして、この第1の抑圧手段24が設けられた吸着板1
9の裏面側には、第1の押圧手段24に対向されるよう
に上記吸着板19を挟んで第2の押圧手段25が設けら
れている。この第2の押圧手段25は2本の第2のコイ
ルばね27.27によって形成されており、これらの第
2のコイルばね27.27の先端部にはスライドブロッ
ク28が結合され、このスライドブロック28を介し吸
着板19を押圧するようになっている。ここで、第2の
コイルばね27.27の押圧力は上記第1のコイルばね
26の押圧力よりも大きく設定されている。
9の裏面側には、第1の押圧手段24に対向されるよう
に上記吸着板19を挟んで第2の押圧手段25が設けら
れている。この第2の押圧手段25は2本の第2のコイ
ルばね27.27によって形成されており、これらの第
2のコイルばね27.27の先端部にはスライドブロッ
ク28が結合され、このスライドブロック28を介し吸
着板19を押圧するようになっている。ここで、第2の
コイルばね27.27の押圧力は上記第1のコイルばね
26の押圧力よりも大きく設定されている。
そして、上記スライドブロック28は上記ハンド本体1
8に一体に形成されたスライドレール29.30に沿っ
て移動されるようになっており、上記吸着板19が基準
位置にある状態で上記スライドブロック28の端部前面
が当接する規制手段としてのストッパ部31.32が形
成されている。
8に一体に形成されたスライドレール29.30に沿っ
て移動されるようになっており、上記吸着板19が基準
位置にある状態で上記スライドブロック28の端部前面
が当接する規制手段としてのストッパ部31.32が形
成されている。
ここで、基準位置は吸着板19が例えば垂直状態にある
ときの姿勢位置である。
ときの姿勢位置である。
また、上記吸着板19の上端部には、上記支軸20によ
って円弧運動される方向に、それぞれ位置するリミット
スイッチ33.34が設けられている。
って円弧運動される方向に、それぞれ位置するリミット
スイッチ33.34が設けられている。
このように押圧力の異なる第1および第2の押圧手段2
4.25を設け、押圧力の大きい第2の抑圧手段25に
ストッパ部31.32を設けることにより、吸着板19
の基準位置への付勢を正確に行なうことができる。つま
り、上記第2の付勢手段25は第1の付勢手段24によ
る押圧力では後退しないので、吸着板19が基準位置に
ある場合には第1の抑圧手段24によってのみ押圧され
ており、この第1の抑圧手段24に押圧力のむらを生じ
ても、吸着板19の位置には変化を生じることがないの
で、移載工程を繰返して行なっても常に正確に吸着板1
9が基準の位置に復帰される。
4.25を設け、押圧力の大きい第2の抑圧手段25に
ストッパ部31.32を設けることにより、吸着板19
の基準位置への付勢を正確に行なうことができる。つま
り、上記第2の付勢手段25は第1の付勢手段24によ
る押圧力では後退しないので、吸着板19が基準位置に
ある場合には第1の抑圧手段24によってのみ押圧され
ており、この第1の抑圧手段24に押圧力のむらを生じ
ても、吸着板19の位置には変化を生じることがないの
で、移載工程を繰返して行なっても常に正確に吸着板1
9が基準の位置に復帰される。
これにより移載作業を高精度で行なうことができる。ま
た、ウェハ5、・・・が正確に整列されていない場合に
、吸着板がウェハを吸着できずにウェハ5方向にそのま
ま進んだ場合、上記コイルばね13の押圧力が弱く設定
されているので、ウェハ5を割ることなくリミットスイ
ッチ清ニーをONすることができる。
た、ウェハ5、・・・が正確に整列されていない場合に
、吸着板がウェハを吸着できずにウェハ5方向にそのま
ま進んだ場合、上記コイルばね13の押圧力が弱く設定
されているので、ウェハ5を割ることなくリミットスイ
ッチ清ニーをONすることができる。
なお、上記第1実施例では、第1および第2の押圧手段
24.25は第1および第2のコイルばね26.27.
27であるが、これに限定されず第2の抑圧手段の押圧
力が第1の抑圧手段の押圧力よりも大きく設定されてい
ればよく、例えば板ばね等によって構成されていてもよ
い。また、リミットスイッチ本4、與=は接触式である
が非接触式のものを使用してもよい。さらに、吸着板8
は支軸+0により揺動できるようになっているがこれに
限定されず、平行に移動する機構でも同様の効果を得る
ことができる。
24.25は第1および第2のコイルばね26.27.
27であるが、これに限定されず第2の抑圧手段の押圧
力が第1の抑圧手段の押圧力よりも大きく設定されてい
ればよく、例えば板ばね等によって構成されていてもよ
い。また、リミットスイッチ本4、與=は接触式である
が非接触式のものを使用してもよい。さらに、吸着板8
は支軸+0により揺動できるようになっているがこれに
限定されず、平行に移動する機構でも同様の効果を得る
ことができる。
以下、この発明における第2実施例を第3図および第4
図を参照して説明する。図中に示されるハンド本体35
は図示しないロボットのアームの先端に設けられており
、矩形箱状に形成されている。このハンド本体35の中
央下部からは吸着体としての吸着板36が延出されてい
る。この吸着板36は下端部の表面側に吸着口37が開
口されており、この吸着口37に連通ずる吸引路38が
同吸着板36の内部に長手方向に沿って延長され、裏面
側に接続部23を形成して開口されている。
図を参照して説明する。図中に示されるハンド本体35
は図示しないロボットのアームの先端に設けられており
、矩形箱状に形成されている。このハンド本体35の中
央下部からは吸着体としての吸着板36が延出されてい
る。この吸着板36は下端部の表面側に吸着口37が開
口されており、この吸着口37に連通ずる吸引路38が
同吸着板36の内部に長手方向に沿って延長され、裏面
側に接続部23を形成して開口されている。
この接続部23には図示しないコンプレッサーが制御弁
を介して接続され上記吸着口37の開口された表面部分
でウェハ5を吸着保持できるようになっている。
を介して接続され上記吸着口37の開口された表面部分
でウェハ5を吸着保持できるようになっている。
また、吸着板36の中途部は上記ハンド本体35側に支
軸39により回動自在に支持され、同吸着板36は吸着
口37が開口された表面側とこれに対応する裏面側とに
揺動するようになっている。
軸39により回動自在に支持され、同吸着板36は吸着
口37が開口された表面側とこれに対応する裏面側とに
揺動するようになっている。
さらに、上記支軸39の上部に位置する吸着板36には
、上記揺動方向から互いに上記吸着板36を挟んで押圧
する第1および第2の押圧手段40.41が設けられて
いる。これらの第1および第2の押圧手段40.41は
2つの同一型式の第1および第2のコイルばね42.4
3からなり、互いの押圧力がつり合うことによって上記
吸着板36が基準位置にあるように支持している。
、上記揺動方向から互いに上記吸着板36を挟んで押圧
する第1および第2の押圧手段40.41が設けられて
いる。これらの第1および第2の押圧手段40.41は
2つの同一型式の第1および第2のコイルばね42.4
3からなり、互いの押圧力がつり合うことによって上記
吸着板36が基準位置にあるように支持している。
さらに、上記第1および第2のコイルばね42.43の
それぞれの上側にはリミットスイッチ44.45がそれ
ぞれ設けられている。
それぞれの上側にはリミットスイッチ44.45がそれ
ぞれ設けられている。
また、上記吸着板36の支軸39の近傍には後述する傾
斜駆動手段としてのピストン46に連結された連接棒4
7の端部が連結されている。そして、上記ピストン46
は基準位置にある吸着板36に対して直交するように設
けられたシリンダ48内に設けられており、このシリン
ダ48に対してピストン46が進退することにより上記
吸着板36を揺動方向に移動できるようになっている。
斜駆動手段としてのピストン46に連結された連接棒4
7の端部が連結されている。そして、上記ピストン46
は基準位置にある吸着板36に対して直交するように設
けられたシリンダ48内に設けられており、このシリン
ダ48に対してピストン46が進退することにより上記
吸着板36を揺動方向に移動できるようになっている。
そして、上記シリンダ48には上記図示しないコンプレ
ッサーに接続される真空回路が接続されている。
ッサーに接続される真空回路が接続されている。
上述のように構成されたウェハ移載装置はウェハを吸着
することにより上記吸引路38に続く真空回路中が負圧
状態となり、上記ピストン46を吸引する。これにより
ウェハ5を吸着保持した状態においては上記吸着板36
の下端側は上記シリンダ48が設けられた方向に傾けら
れる。
することにより上記吸引路38に続く真空回路中が負圧
状態となり、上記ピストン46を吸引する。これにより
ウェハ5を吸着保持した状態においては上記吸着板36
の下端側は上記シリンダ48が設けられた方向に傾けら
れる。
このように構成されることで、ウェハ5を吸着保持した
状態では吸着板36が傾斜されるので、例えば図示しな
いキャリアから電極板6にウェハ5を移載する際には、
上記電極板6に対してつエバ5を傾けて移動し、同電極
板6の支持台49の部分に上記ウェハ5の下側から当接
するように載置できるので、最初にウェハ5の下部が上
記支持台49の隅に当接させることができ、その後、電
極板6側に吸着板36が移動しながら吸着を開放するこ
とで、ウェハ5を電極板6に密着状態に載置することが
できる。
状態では吸着板36が傾斜されるので、例えば図示しな
いキャリアから電極板6にウェハ5を移載する際には、
上記電極板6に対してつエバ5を傾けて移動し、同電極
板6の支持台49の部分に上記ウェハ5の下側から当接
するように載置できるので、最初にウェハ5の下部が上
記支持台49の隅に当接させることができ、その後、電
極板6側に吸着板36が移動しながら吸着を開放するこ
とで、ウェハ5を電極板6に密着状態に載置することが
できる。
このようにウェハ5を下部から載置できることにより、
電極板6にウェハ5を気密に当接できるので、例えばプ
ラズマCVD法等による蒸着を行なう場合には品質の高
い半導体ウェハ5を得るのにを効である。これは電極板
6が傾いていない場合でも安定して電極板6にウェハ5
を密着して載置することができる。さらに、ウェハ5を
吸着保持するための吸引力を利用するため、特別の駆動
源を必要とせず、また吸着板36を傾けるタイミングも
ウェハ5を吸着すると同時に傾き、ウェハ5をはなすと
第1のコイルばね42の押圧力により基準の位置に戻る
ようになっているので、単純な機構で傾斜駆動ができる
。
電極板6にウェハ5を気密に当接できるので、例えばプ
ラズマCVD法等による蒸着を行なう場合には品質の高
い半導体ウェハ5を得るのにを効である。これは電極板
6が傾いていない場合でも安定して電極板6にウェハ5
を密着して載置することができる。さらに、ウェハ5を
吸着保持するための吸引力を利用するため、特別の駆動
源を必要とせず、また吸着板36を傾けるタイミングも
ウェハ5を吸着すると同時に傾き、ウェハ5をはなすと
第1のコイルばね42の押圧力により基準の位置に戻る
ようになっているので、単純な機構で傾斜駆動ができる
。
なお、上記実施例では吸着板36を傾斜させるための傾
斜駆動手段はウェハ5を吸着保持するための真空回路に
シリンダ48を接続することで駆動源をウェハ5の吸着
のためのコンプレッサーで共有して構造の合理化を図っ
ているが、これに限定されず、吸着板36にウェハ5を
吸着した状態で同吸着板36を傾斜させるものであれば
よく。
斜駆動手段はウェハ5を吸着保持するための真空回路に
シリンダ48を接続することで駆動源をウェハ5の吸着
のためのコンプレッサーで共有して構造の合理化を図っ
ているが、これに限定されず、吸着板36にウェハ5を
吸着した状態で同吸着板36を傾斜させるものであれば
よく。
さらに、電極板6等の載置対象物にウェハ5を載置する
ときにのみ吸着板36を傾斜させる構造でもよい。
ときにのみ吸着板36を傾斜させる構造でもよい。
請求項第1項の発明によれば、吸着体の基準位置で規制
される第2の押圧手段と、この第2の抑圧手段に対向し
て設けられ、同第2の抑圧手段よりも小さな力で上記吸
着体を押圧する第1の抑圧手段とにより、互いに押圧さ
れることで、基準位置に正確に復帰して、ウェハの正確
な移載の安定を可能にできる。
される第2の押圧手段と、この第2の抑圧手段に対向し
て設けられ、同第2の抑圧手段よりも小さな力で上記吸
着体を押圧する第1の抑圧手段とにより、互いに押圧さ
れることで、基準位置に正確に復帰して、ウェハの正確
な移載の安定を可能にできる。
また請求項第2項の発明によれば、ウェハを吸着保持し
た吸着体を傾斜することで載置対象物に対してウェハを
密着して正確に載置することができる。
た吸着体を傾斜することで載置対象物に対してウェハを
密着して正確に載置することができる。
第1図および第2図はこの発明におけるTJl実施例で
あり、第1図は吸着ハンドの側断面図、′M2図は第2
図中に示される■−■線部分の断面図、第3図およびM
4図はこの発明における第2実施例であり、第3図は吸
着ハンドの側断面図、第4図は吸着板が傾斜状態にある
吸着ハンドの側断面図、第5図はウェハの移載装置の斜
視図、第6図は従来の吸着ハンドの側断面図、第7図は
吸着板の構造を断面を形成して示す斜視図、第8図は電
極板にウェハを載置する状態を示す即断面図、第9図は
傾いて設置された電極板にウェハを載置しようとする状
態を示す側断面図である。 18・・・ハンド本体、19・・・吸着板(吸着体)、
24・・・第1の押圧手段、25・・・第2の抑圧手段
、31.32・・・ストッパ部(規制手段)、33゜3
4・・・リミットスイッチ(検知手段)、35・・・ハ
ンド本体、36・・・吸着板(吸着体)、39・・・支
軸(支持部)、40・・・第1の抑圧手段(抑圧手段)
、41・・・第2の抑圧手段(抑圧手段)、44,45
10.リミットスイッチ(検知手段)、46・・・ピス
トン(傾斜駆動手段)、47・・・連接棒(傾斜駆動手
段)、48・・・シリンダ(傾斜駆動手段)。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第3図 第5図 第7図 第6図 第8母 第9図
あり、第1図は吸着ハンドの側断面図、′M2図は第2
図中に示される■−■線部分の断面図、第3図およびM
4図はこの発明における第2実施例であり、第3図は吸
着ハンドの側断面図、第4図は吸着板が傾斜状態にある
吸着ハンドの側断面図、第5図はウェハの移載装置の斜
視図、第6図は従来の吸着ハンドの側断面図、第7図は
吸着板の構造を断面を形成して示す斜視図、第8図は電
極板にウェハを載置する状態を示す即断面図、第9図は
傾いて設置された電極板にウェハを載置しようとする状
態を示す側断面図である。 18・・・ハンド本体、19・・・吸着板(吸着体)、
24・・・第1の押圧手段、25・・・第2の抑圧手段
、31.32・・・ストッパ部(規制手段)、33゜3
4・・・リミットスイッチ(検知手段)、35・・・ハ
ンド本体、36・・・吸着板(吸着体)、39・・・支
軸(支持部)、40・・・第1の抑圧手段(抑圧手段)
、41・・・第2の抑圧手段(抑圧手段)、44,45
10.リミットスイッチ(検知手段)、46・・・ピス
トン(傾斜駆動手段)、47・・・連接棒(傾斜駆動手
段)、48・・・シリンダ(傾斜駆動手段)。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第3図 第5図 第7図 第6図 第8母 第9図
Claims (2)
- (1)ハンド本体と、このハンド本体内から延出されこ
の延出部の表面にウェハを吸着する吸着部が形成された
吸着体と、上記ハンド本体内に位置する吸着体の吸着部
が設けられた側面を所定の押圧力で弾性的に押圧する第
1の押圧手段と、上記吸着体を挾んで上記第1の押圧手
段に対峙するように設けられ上記吸着体を上記第1の押
圧手段よりも強い力で弾性的に押圧する第2の押圧手段
と、この第2の押圧手段を上記吸着体の基準位置で規制
する押圧力の規制手段と、上記吸着体が上記基準位置か
ら移動したことを検知する検知手段とを具備することを
特徴とするウェハ移載用の吸着ハンド。 - (2)ハンド本体と、このハンド本体内から延出されこ
の延出部の表面にウェハを吸着する吸着部が形成された
吸着体と、上記ハンド本体内に位置する吸着体を挟んで
対峙するように設けられ上記吸着体を基準位置に押圧す
る一対の押圧手段と、上記吸着体が一対の押圧手段によ
って押圧される方向に円弧運動できるように同吸着体を
支持する支持部と、上記吸着体が移動したことを検知す
る検知手段と、上記吸着体の吸着部にウェハが吸着保持
された状態で上記支持部を支点として上記吸着体を傾け
る傾斜駆動手段とを具備することを特徴とするウェハ移
載用の吸着ハンド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63112264A JPH01282834A (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | ウェハ移載用の吸着ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63112264A JPH01282834A (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | ウェハ移載用の吸着ハンド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01282834A true JPH01282834A (ja) | 1989-11-14 |
JPH0566021B2 JPH0566021B2 (ja) | 1993-09-20 |
Family
ID=14582351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63112264A Granted JPH01282834A (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | ウェハ移載用の吸着ハンド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01282834A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02291144A (ja) * | 1989-05-01 | 1990-11-30 | Nidek Co Ltd | ウェーハ搬送装置 |
JPH04247638A (ja) * | 1991-02-04 | 1992-09-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 着脱移送装置 |
JP2007329506A (ja) * | 2003-03-31 | 2007-12-20 | Asml Netherlands Bv | 支持構造体、リソグラフィ投影装置、およびデバイス製造方法 |
-
1988
- 1988-05-09 JP JP63112264A patent/JPH01282834A/ja active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02291144A (ja) * | 1989-05-01 | 1990-11-30 | Nidek Co Ltd | ウェーハ搬送装置 |
JPH04247638A (ja) * | 1991-02-04 | 1992-09-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 着脱移送装置 |
JP2007329506A (ja) * | 2003-03-31 | 2007-12-20 | Asml Netherlands Bv | 支持構造体、リソグラフィ投影装置、およびデバイス製造方法 |
JP4625059B2 (ja) * | 2003-03-31 | 2011-02-02 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 支持構造体、リソグラフィ投影装置、ロボットおよびデバイス製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0566021B2 (ja) | 1993-09-20 |
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