JPH09226935A - 部品吸着方法と、吸着ヘッドおよび部品移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、例えば、ダイオード等の部品を製
品検査するために、部品を吸着して検査装置の所定の位
置に搬送して載置等するための部品吸着方法に関し、複
数個の吸着ヘッドを装備して部品を吸着させた場合に、
部品の有無によって吸引作用の付与を切り替えることに
ある。 【解決手段】 吸着ヘッド１を介し吸引手段７ａによっ
て部品４を吸着する方法であって、前記吸着ヘッド１に
部品吸引用の吸引流路３ｃを備えたノズル３を摺動自在
に装備し、前記吸引流路３ｃは、前記部品４が存在する
ことで該部品４の一部に当接して摺動するノズル３の移
動よって前記吸引手段７ａと連通状態となり、前記ノズ
ル３に吸引作用が付与されて前記部品４を吸着するよう
にしたことである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、ダイオー
ド等の部品を製品検査するために、部品を吸着して検査
装置の所定の位置に搬送して載置又は移載するための部
品吸着方法と、その方法に使用する吸着ヘッドおよび部
品移載装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、部品吸着方法は、部品供給位置
と、例えば、製品検査装置の部品検査位置との間を往復
するアームの先端部に吸着ヘッドが備えられ、該吸着ヘ
ッドに摺動自在に内包されたノズルを下降させて部品に
当接させ、該ノズルの先端に開口している吸引流路と該
吸引流路に連通している吸引手段によって前記部品をノ
ズルに吸着している。

【０００３】そして、前記ノズルを上昇させて前記アー
ムを所要回転させ、部品検査位置に吸着ヘッドを位置さ
せて、前記ノズルを下降させ前記吸引手段による吸引作
用を解除し部品を所定の位置に載置して、再びノズルを
上昇させ前記アームを回転させて吸着ヘッドを部品供給
位置に戻すものである。

【０００４】また、部品を一度に複数個を吸着すること
で、部品移載作業の効率を向上させる方法として、前記
吸着ヘッドを細長い水平アームに複数個装備させ、その
複数の吸着ヘッドと吸引配管を介して、例えば、一つの
真空装置等の吸引手段とを接続させてなる部品移載装置
を使用して、複数個の部品を吸着する方法が知られてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
吸引装置で複数個の吸着ヘッドを一度に吸引作用させた
時に、複数個の吸着ヘッドのうち、一つの吸着ヘッドに
おいて部品が存在しないと、その部品の無い箇所の吸着
ヘッドにも吸引配管を介して吸引作用するので、外気が
ノズルから侵入してリークしてしまうことになる。ま
た、吸引作用の切替を、部品の有無を検出するセンサー
と切替電磁弁とで構成すると製造コストが嵩み装置全体
が複雑になると言う問題がある。

【０００６】このように、従来の部品吸着方法と吸着ヘ
ッド及び部品移載装置には、複数個の吸着ヘッドを装備
して部品を吸着させた場合に、部品の有無によってリー
クして吸引作用が減退することがあると言う課題を有し
ていた。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係る部品吸着方
法の上記課題を解決するための要旨は、吸着ヘッドを介
し吸引手段によって部品を吸着する方法であって、前記
吸着ヘッドに部品吸引用の吸引流路を備えたノズルを摺
動自在に装備し、前記吸引流路は、前記部品が存在する
ことで該部品の一部に当接して摺動するノズルの移動よ
って前記吸引手段と連通状態となり、前記ノズルに吸引
作用が付与されて前記部品を吸着することである。

【０００８】また、本発明に係る吸着ヘッドの上記課題
を解決するための要旨は、筒状のヘッド本体と、該ヘッ
ド本体に摺動自在に内挿して保持されるノズルと、該ノ
ズルに吸引流路を介して吸引作用させる吸引手段と、か
らなり、前記ノズルの先端で部品を吸着する吸着ヘッド
であって、前記部品が存在することで該部品の一部に当
接して摺動するノズルの移動よって前記吸引手段とノズ
ルの吸引流路とが連通状態になるように設けられている
ことである。

【０００９】本発明に係る部品移載装置の要旨は、筒状
のヘッド本体と、該ヘッド本体に摺動自在に内挿して保
持されるノズルと、該ノズルに吸引流路を介して吸引作
用させる吸引手段とを有し、前記部品が存在することで
該部品の一部に当接して摺動するノズルの移動によって
前記吸引手段とノズルの吸引流路とが連通状態になり前
記ノズルの先端で部品を吸着する吸着ヘッドが、部品吸
着箇所と部品供給箇所との間を往復移動するアームに複
数個設けられ、各ノズルの吸引流路がまとめられて一つ
の吸引手段に接続されていることである。

【００１０】本発明に係る部品吸着方法によれば、吸着
対象の部品の有無によって吸着ヘッドにおけるノズルの
吸引流路は、部品が存在するとノズルの移動により吸引
手段と連通状態になり、部品が不存在であるとノズルの
移動が生ぜず吸引手段と不通状態となる。よって、吸着
ヘッドにおいて吸着対象の部品が無いときには、部品を
吸着しようとして部品供給位置で降下させても、当該吸
着ヘッドのノズルには吸引作用が付与されず、該ノズル
から外気を吸い込んで吸引力が低下すると言う不都合が
防止される。

【００１１】このように、部品の有無を簡易な構造で自
動的に吸着ヘッドの吸引作用を付与するか否かが切り替
えられて、吸引手段におけるエネルギーロスを防止する
ことが出来る。また、本発明に係る吸着ヘッドによれ
ば、部品の有無によってノズルが移動するか否かで、ノ
ズルに吸引作用を付与する・しないの切り替えるができ
る。更に、本発明に係る部品移載装置によれば、複数個
の吸着ヘッドのうち、部品の無い箇所の吸着ヘッドは、
部品吸着動作において吸引作用が付与されず、他の部品
の存在する箇所の吸着ヘッドは、吸引力が減退されるこ
となく吸引作用することになる。

【００１２】

【発明の実施の形態】次に、本発明に係る実施形態につ
いて図面を参照して詳細に説明する。本発明に係る吸着
ヘッド１の概略構成は、図１に示すように、円筒状のヘ
ッド本体２と、該ヘッド本体２の内部空間に摺動自在に
装備されたノズル３と、ダイオード等の部品４をソケッ
ト５から取り出すため前記ノズル３の軸芯と直交する方
向に開閉自在な取出し爪６，６と、前記ノズル３に吸引
作用を付与するための吸引手段たる吸引装置７とからな
る。

【００１３】前記ヘッド本体２は、例えば、水平な板状
のアーム８に垂設され、該アーム８の部品４に対する昇
降動作によって当該ヘッド本体２が所定量で昇降するも
のである。

【００１４】また、前記ヘッド本体２とノズル３とにお
いては、ノズル３の後端側にヘッド本体２の内周壁面
と、ノズル後端面３ａと、アーム８の内表面８ａとで形
成される空間部９が設けられる。

【００１５】前記空間部９は、ノズル３が、後述する、
部品４が存在することによるヘッド本体２に対する相対
的な移動と、同様に後述する、ノズル３が部品４を吸着
した後に前記取出し爪６から離隔するための移動とが可
能となるように、十分な移動空間を有している。

【００１６】そして、前記空間部９に、ノズル３をヘッ
ド本体２から突出させるように常時付勢する付勢手段と
してのコイルスプリング１０が内装され、更に、前記ア
ーム８の内表面８ａにノズル３の移動を規制するストッ
パー１１が突設され、該ストッパー１１の先端面にゴ
ム，スポンジ等の弾性緩衝体１２が貼着されている。

【００１７】また、ヘッド本体２の内周壁面には、摺動
自在なノズル３が抜け出さないように、凸状リング１３
が設けられ、該凸状リング１３に係止するようにノズル
３の後端部にフランジ３ｂが設けられている。

【００１８】なお、ヘッド本体２の内周壁面とノズル３
の外周壁面とは、摺接自在であるとともに外気の侵入を
防止するため気密性が保持されている。

【００１９】前記ヘッド本体２の側壁に、前記吸引装置
７の吸引配管７ａに接続された吸引流路２ａが内外に貫
通して設けられ、その内壁面側ではリング状の凹部にし
て形成されている。

【００２０】また、ノズル３に、その一端がノズル先端
に開口され、他端が、ノズル３のヘッド本体２との相対
的な移動によって、前記吸引装置７及びヘッド本体２の
吸引流路２ａと連通する位置に開口されている吸引流路
３ｃが設けられている。

【００２１】更に、前記ノズル３の吸引流路３ｃは、ノ
ズル後端側に延設されて空間部９に連通している。これ
により、空間部９内を真空にしてヘッド本体２に対して
ノズル３を移動させる（図１では上方）ことが可能とな
るものである。

【００２２】なお、空間部９を真空にしてノズル３を移
動させた際に、ノズル後端部のフランジ３ｂとヘッド本
体２の凸状リング１３との両当接面の間が真空空間とな
って余分な負荷が生じないように、前記凸状リング１３
に外気導入孔１３ａが設けられている。

【００２３】ノズル３の先端部には、吸着対象である部
品４の形状種類に応じて、適宜にアタッチメントとして
交換可能なチャック３ｄが装着されている。

【００２４】次に、取出し爪６は、図２に示すように、
全体が細長い板状体であり、ノズル３の先端部に臨む位
置で、例えば、水平方向に対向配置に配設されている。
そして、アーム８の両端部で略９０゜回転可能に支持さ
れ、エアー，真空引き，油圧等の駆動源を制御装置によ
る電磁弁制御等で作動させ、開閉自在に構成されてい
る。

【００２５】その使用の際には、部品４の下側に爪先端
部が入り込んで閉状態となり、ヘッド本体２の上昇とと
もに上昇してソケット５から部品４を取り出し、ノズル
３の先端部との間で該部品４を保持するものである。そ
の後、アーム８が回転移動され、例えば、所定の部品検
査位置等の移載位置に到達して、部品４を載置する態勢
になったら開状態となるものである。

【００２６】以上のようにして形成される吸着ヘッド１
を、図２乃至図３に示すように、例えば、ホルダー８ｃ
で水平方向と鉛直方向とに回転自在にされているアーム
８ｂの先端部に取り付けられた板状のアーム８に、例え
ば、１０個の吸着ヘッド１を並べて固設する。

【００２７】そして、前記アーム８の長手方向の両端部
に、Ｌ型ブラケット１４を介してチャッキング装置１５
が設けられている。該チャッキング装置１５には、細長
いバー状の取出し爪６，６が固設されている。

【００２８】また、前記アーム８に固設された１０個の
吸着ヘッド１，１、…に吸引用配管７ａが枝管として配
設され、それが一つにまとめられて吸引配管７ｂとな
り、該吸引配管７ｂが図示していない吸引装置７に接続
されている。

【００２９】このようにして、複数の吸着ヘッド１をア
ーム８に装備した本発明に係る部品移載装置１６が形成
されるものである。

【００３０】次に、前記部品移載装置１６を使用して、
ソケットに複数載置された部品４を一度に吸着し、例え
ば、検査装置の検査位置に移載する、本発明に係る部品
吸着方法について説明する。

【００３１】まず、図１に示す状態が、部品移載装置１
６の初期状態であり、この状態からホルダー８ｃを回動
させてアーム８ｂを回転させ、アーム８を介して複数の
吸着ヘッド１を降下させる。このときは、ヘッド本体２
とともにノズル３も同時に降下する。

【００３２】次に、ヘッド本体２の降下により所定位置
に達すると、ノズル３のチャック３ｄが部品４に一部、
例えば、部品４のフランジに当接する。ここで、ノズル
３の降下が停止するが、この降下した位置では取出し爪
６，６が部品４の下側にもぐり込めないので、更に、ア
ーム８を、図１に示す部品４のフランジ厚さに対応する
ストローク差ｓ分だけ降下させる。よって、吸着ヘッド
１のヘッド本体２および取出し爪６，６が、空間部９の
コイルスプリング１０の付勢力に抗して降下する。

【００３３】そして、チャッキング装置１５を作動させ
て前記取出し爪６，６を略９０゜回転させて閉状態にす
る。この状態が図４に示す状態である。前記取出し爪６
の上面と部品４のフランジ下面との間には、わずかな隙
間があるだけである。

【００３４】また、前記ノズル３の降下が部品４に当接
して停止した後、ヘッド本体２が更に降下するのでヘッ
ド本体２の吸引流路２ａの位置が下がって、初期状態で
は連通していなかった該吸引流路２ａとノズル３の吸引
流路３ｃとが連通する。

【００３５】そして、図４に示す部品当接状態から、ア
ーム８を上昇させる。同時にヘッド本体２と取出し爪６
とが上昇し、摺動自在なノズル３はコイルスプリング１
０の付勢力によって部品４のフランジ下面が取出し爪６
の上面に当接するまで、若干ではあるが突出する。な
お、この状態でも、前記吸引流路２ａと吸引流路３ｃの
連通状態は維持されている。

【００３６】次に、吸引装置７を作動させて、吸引配管
７ａ，７ｂを介して、部品４をノズル３先端のチャック
３ｄに吸着せしめる。これと同時に、吸引流路３ｃの一
端が連通している空間部９も真空状態にされ、ノズル３
がストッパー１１側に引き寄せられる。

【００３７】前記ノズル３が引き寄せられて、ノズル後
端面３ａがストッパー１１の弾性緩衝体１２に当接した
状態が、図５において示している状態である。なお、空
間部９が真空にされたことによるノズル３の相対的な移
動により、ノズル後端部のフランジ３ｂの下面とヘッド
本体２の凸状リング１３の上面とにできる空間部１６に
は、外気導入孔１３ａを介して外気が流入して、余分な
負荷がノズル３に生じないものである。

【００３８】そして、前記ノズル３の移動により、図５
に示すように、ノズル３先端に吸着された部品４のフラ
ンジ下面と、取出し爪６，６の上面との間に、接触によ
る傷を防止するには十分な間隙が設けられる。

【００３９】一方、複数の吸着ヘッド１のうち、部品４
がソケットに載置されていない場合は、図６に示すよう
に、ヘッド本体２とノズル及び取出し爪６，６が所定量
で降下する。よって、ヘッド本体２とノズル３との間
で、部品４が存在することによる相対的な移動（図１に
おいてしめすストローク差ｓの分）がないので、ヘッド
本体２の吸引流路２ａとノズル３の吸引流路３ｃとが、
部品移載装置１６の初期状態における、吸引流路不通の
ままとなっている。

【００４０】よって、吸着ヘッド１が上昇し、その後に
吸引装置７が作動しても、前記ヘッド本体２の吸引流路
２ａ内が真空にされるだけで、ノズル３の吸引流路３ｃ
を介して外気が侵入することもない。それにより、この
部品移載装置１６におけるアーム８に固設された複数の
吸着ヘッド１のうち、部品４が存在してこれを吸着した
吸着ヘッドにおける吸引力を減少させることがない。

【００４１】こうして、複数の部品をこれに対応して配
設した複数の吸着ヘッドで一度に吸着して移載する場合
に、部品を載置するソケットにおいてその一部に部品が
存在しない時であってもリークが生ぜず、吸着対象の部
品が存在している吸着ヘッドには何等の影響を与えず所
定の吸引力を維持させることが出来る部品移載装置１６
となるものである。

【００４２】その後、複数の吸着ヘッド１の各々に部品
４を吸着させたアーム８をアーム８ｂで所定量水平回転
させ、例えば、検査装置の検査位置にセットする。その
後、前記アーム８両端部のチャッキング装置１５を作動
させて、取出し爪６，６を前述の吸着時とは逆に離隔す
るように９０゜回転させて開状態にする。

【００４３】そして、アーム８をアーム８ｂで鉛直方向
に回転させて複数の吸着ヘッド１を降下させ、所定位置
に前記吸着ヘッド１が達したら、吸引装置７の吸引作用
を停止させる。

【００４４】これにより、吸引力が消勢しコイルスプリ
ング１０の付勢力でノズル３が突出され、その後、ノズ
ル３先端のチャック３ｄから部品４が落下して所定の検
査位置に載置されるものである。また、ノズル３が突出
して移動したことで、ヘッド本体２の吸引流路２ａとノ
ズル３の吸引流路３ｃとの連通状態が遮断されて、不通
状態となる。

【００４５】その後、吸着ヘッド１を昇降させて、再び
アーム８を水平方向に回転させて、部品移載装置１６の
初期状態に戻るものである。

【００４６】本発明に係る部品移載装置１６の他の実施
例として、複数配設する吸着ヘッド１において、図１に
おいて示す、空間部９内のストッパー１１と弾性緩衝材
１２とを省いてコイルスプリング１０によってノズル３
の移動規制させるように兼用させることもできる。ま
た、ヘッド本体２の吸引流路２ａとノズル３の吸引流路
３ｃとを連通させる構造の他の例として、部品４が存在
することによるノズル３の移動で吸引流路２ａに設けた
開閉蓋がレバー等で開くような機械的構造でも良い。こ
のようにして、複数の部品を吸着する部品移載装置にお
いて、部品が一部に存在しない時でも、安定した部品吸
着作業を遂行できるものである。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る部品
吸着方法は、吸着ヘッドを介し吸引手段によって部品を
吸着する方法であって、前記吸着ヘッドに部品吸引用の
吸引流路を備えたノズルを摺動自在に装備し、前記吸引
流路は、前記部品が存在することで該部品の一部に当接
して摺動するノズルの移動よって前記吸引手段と連通状
態となり、前記ノズルに吸引作用が付与されて前記部品
を吸着する方法なので、吸着しようとする部品が存在し
ないときには、吸引流路を連通させることがないのでノ
ズルを通じて外気が侵入せずに吸引力の減退を招くこと
が防止され、部品が存在するときにはノズルに吸引作用
が付与されるので、吸引作用が効率的に作用すると言う
優れた効果を奏する。

【００４８】前記ノズルの後端側には、部品が存在する
ことで該部品の一部に当接して摺動する当該ノズルの吸
着ヘッドに対する相対的な移動を許容する空間部が設け
られているので、機械的な動作で吸引流路の連通状態の
切替えが可能となって製造コストの低減となると言う優
れた効果を奏する。

【００４９】前記吸引流路は、その一端がノズル先端に
開口され、他端が、ノズルの移動によって少なくとも吸
引手段と連通する位置に開口されているので、簡易な構
成で部品の有無による吸引流路の連通状態の切替えがで
きると言う優れた効果を奏する。

【００５０】前記吸引手段は、ノズル先端と取出し爪と
の間で部品を保持した後に、作動されて吸引作用を行う
ので、部品の取り出しミスが無くなり、確実な吸着作業
となると言う優れた効果を奏する。

【００５１】前記ノズルの後端側の空間部をノズルの吸
引流路に連通させ、吸引手段で部品を吸着した際に、前
記吸引手段の吸引作用を受け、前記ノズルが取出し爪か
ら離隔するように移動されるので、ノズルに吸着した部
品と開閉自在な取出し爪との接触による、部品の傷つき
が確実に防止されると言う優れた効果を奏する。

【００５２】前記ノズルと、ノズルを摺動自在に保持し
たヘッド本体とからなる吸着ヘッドが、部品吸着箇所と
部品供給箇所との間を往復移動するアームに複数個設け
られ、各ノズルの吸引流路がまとめられて一つの吸引手
段に接続されていることとすれば、複数の部品をこれに
対応する複数の吸着ヘッドで一度に吸着作業した場合
に、部品の存在する箇所の吸着ヘッドのみ吸引作用が付
与されるので、部品が存在しないことによる吸引作用の
リークが生ぜず、安価でかつ安定した吸引作用が得られ
ると言う優れた効果を奏する。

【００５３】本発明に係る吸着ヘッドは、筒状のヘッド
本体と、該ヘッド本体に摺動自在に内挿して保持される
ノズルと、該ノズルに吸引流路を介して吸引作用させる
吸引手段と、からなり、前記ノズルの先端で部品を吸着
する吸着ヘッドであって、吸着時にノズルが部品に当接
して摺動することによって、前記吸引手段とノズルの吸
引流路とが連通状態になるように設けられているので、
部品が存在するときのみ吸引作用するので、効率的な吸
引作用する吸着ヘッドとなると言う優れた効果を奏す
る。

【００５４】本発明に係る部品移載装置は、筒状のヘッ
ド本体と、該ヘッド本体に摺動自在に内挿して保持され
るノズルと、該ノズルに吸引流路を介して吸引作用させ
る吸引手段とを有し、前記部品が存在することで該部品
の一部に当接して摺動するノズルの移動によって前記吸
引手段とノズルの吸引流路とが連通状態になり前記ノズ
ルの先端で部品を吸着する吸着ヘッドが、部品吸着箇所
と部品供給箇所との間を往復移動するアームに複数個設
けられ、各ノズルの吸引流路がまとめられて一つの吸引
手段に接続されているので、複数の部品を一度に移載す
る際に、一部に部品が存在しなくとも、部品の存在して
いる箇所の吸着ヘッドのみに吸引作用が付与されるの
で、吸引手段のエネルギーロスがなく、吸引作用のリー
クも防止されて安定した吸引力が発揮され、確実な吸着
作業する部品移載装置となると言う優れた効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る部品移載装置の一部における吸着
ヘッドの構成を示す断面図である。

【図２】同本発明に係る部品移載装置の平面図である。

【図３】同本発明に係る部品移載装置の正面図である。

【図４】同本発明に係る部品移載装置の使用状態を示
し、部品に吸着ヘッドのノズルが当接した様子を示す断
面図である。

【図５】同本発明に係る部品移載装置の使用状態を示
し、部品をノズルで吸着して吸着ヘッドが昇降している
様子を示す断面図である。

【図６】同本発明に係る部品移載装置の使用状態を示
し、部品が存在していない状態の様子を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 吸着ヘッド、２ ヘッド本体、２ａ 吸引流路、３
ノズル、３ｂ フランジ、３ｃ 吸引流路、３ｄ チ
ャック、４ 部品、５ ソケット、６ 取出し爪、７
吸引装置、７ａ，７ｂ 吸引配管、８，８ｂ アーム、
８ａ 内表面、８ｃ ホルダー、９ 空間部、１０ コ
イルスプリング、１１ ストッパー、１２ 弾性緩衝
材、１３ 凸状リング、１５ チャッキング装置。

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吸着ヘッドを介し吸引手段によって部品
   を吸着する方法であって、 前記吸着ヘッドに部品吸引用の吸引流路を備えたノズル
   を摺動自在に装備し、 前記吸引流路は、前記部品が存在することで該部品の一
   部に当接して摺動するノズルの移動によって前記吸引手
   段と連通状態となり、 前記ノズルに吸引作用が付与されて前記部品を吸着する
   こと、 を特徴とする部品吸着方法。
2. 【請求項２】 ノズルの後端側には、部品が存在するこ
   とで該部品の一部に当接して摺動する当該ノズルの吸着
   ヘッドに対する相対的な移動を許容する空間部が設けら
   れていること、 を特徴とする請求項１に記載の部品吸着方法。
3. 【請求項３】 吸引流路は、その一端がノズル先端に開
   口され、 他端が、ノズルの移動によって少なくとも吸引手段と連
   通する位置に開口されていること、 を特徴とする請求項１に記載の部品吸着方法。
4. 【請求項４】 吸着ヘッドには、該吸着ヘッドの昇降と
   共に移動し、 かつ、ノズル先端との間で部品を保持すべく前記ノズル
   の軸芯と直交する方向に開閉自在な取出し爪が備えられ
   ていること、 を特徴とする請求項１に記載の部品吸着方法。
5. 【請求項５】 吸引手段は、ノズル先端と取出し爪との
   間で部品を保持した後に、作動されて吸引作用を行うこ
   と、 を特徴とする請求項４に記載の部品吸着方法。
6. 【請求項６】 ノズルの後端側の空間部をノズルの吸引
   流路に連通させ、 吸引手段で部品を吸着した際に、前記吸引手段の吸引作
   用を受け、前記ノズルが取出し爪から離隔するように移
   動されること、 を特徴とする請求項２に記載の部品吸着方法。
7. 【請求項７】 ノズルの空間部に該ノズルを突出させる
   方向に作用する付勢手段を設け、 ノズルの先端に部品を吸着した後に吸引手段の吸引作用
   を解除した際に、 ノズルの先端から前記部品が離脱する前にノズルを突出
   させること、 を特徴とする請求項６に記載の部品吸着方法。
8. 【請求項８】 ノズルと、 ノズルを摺動自在に保持したヘッド本体とからなる吸着
   ヘッドが、 部品吸着箇所と部品供給箇所との間を往復移動するアー
   ムに複数個設けられ、 各ノズルの吸引流路がまとめられて一つの吸引手段に接
   続されていること、 を特徴とする請求項１に記載の部品吸着方法。
9. 【請求項９】 筒状のヘッド本体と、該ヘッド本体に摺
   動自在に内挿して保持されるノズルと、 該ノズルに吸引流路を介して吸引作用させる吸引手段
   と、からなり、 前記ノズルの先端で部品を吸着する吸着ヘッドであっ
   て、 前記部品が存在することで該部品の一部に当接して摺動
   するノズルの移動よって前記吸引手段とノズルの吸引流
   路とが連通状態になるように設けられていること、 を特徴とする吸着ヘッド。
10. 【請求項１０】 ノズルの後端側には、部品が存在する
    ことで該部品の一部に当接して摺動する当該ノズルの吸
    着ヘッドに対する相対的な移動を許容する空間部が設け
    られると共に、 該空間部がノズルの吸引流路に連通されていること、 を特徴とする請求項９に記載の吸着ヘッド。
11. 【請求項１１】 筒状のヘッド本体と、該ヘッド本体に
    摺動自在に内挿して保持されるノズルと、 該ノズルに吸引流路を介して吸引作用させる吸引手段と
    を有し、 前記部品が存在することで該部品の一部に当接して摺動
    するノズルの移動によって前記吸引手段とノズルの吸引
    流路とが連通状態になり前記ノズルの先端で部品を吸着
    する吸着ヘッドが、 部品吸着箇所と部品供給箇所との間を往復移動するアー
    ムに複数個設けられ、各ノズルの吸引流路がまとめられ
    て一つの吸引手段に接続されていること、 を特徴とする部品移載装置。