JPH06131648A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH06131648A JPH06131648A JP30467092A JP30467092A JPH06131648A JP H06131648 A JPH06131648 A JP H06131648A JP 30467092 A JP30467092 A JP 30467092A JP 30467092 A JP30467092 A JP 30467092A JP H06131648 A JPH06131648 A JP H06131648A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- recording medium
- magnetic recording
- layer
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】情報記録機器や、音響あるいは映像機器等に利
用することのできるフレキシブルディスク（以下ＦＤと
略す）やテープとなる高密度の垂直磁気記録に適した二
層膜磁気記録媒体を得ることである。 【構成】非磁性体と、その上にもうけられたＦｅを主成
分とする第１磁性層と、その上のＣｏ−Ｃｒを主成分と
する第２磁性層とを有する磁気記録媒体におけて、第１
磁性層が重量比で１．０重量％から３．０重量％までの
Ｓｉ及び１０重量％から２０重量％のＮｉを同時に含む
ことを特徴とする磁気記録媒体。
用することのできるフレキシブルディスク（以下ＦＤと
略す）やテープとなる高密度の垂直磁気記録に適した二
層膜磁気記録媒体を得ることである。 【構成】非磁性体と、その上にもうけられたＦｅを主成
分とする第１磁性層と、その上のＣｏ−Ｃｒを主成分と
する第２磁性層とを有する磁気記録媒体におけて、第１
磁性層が重量比で１．０重量％から３．０重量％までの
Ｓｉ及び１０重量％から２０重量％のＮｉを同時に含む
ことを特徴とする磁気記録媒体。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体に関す
る。さらに詳しくは、情報記録機器や、音響あるいは映
像機器等に利用することのできるフレキシブルディスク
（以下ＦＤと略す）やテープとなる高密度の垂直磁気記
録に適した二層膜磁気記録媒体に関する。
る。さらに詳しくは、情報記録機器や、音響あるいは映
像機器等に利用することのできるフレキシブルディスク
（以下ＦＤと略す）やテープとなる高密度の垂直磁気記
録に適した二層膜磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来技術】垂直磁気記録方式は、短波長記録特性の優
れた磁気記録方式である。これは、磁気記録媒体の膜面
に対して垂直方向に媒体を磁化させるものである。従っ
て、本方式では、媒体面の垂直方向に残留磁化が残る垂
直磁化膜を用いる必要がある。垂直磁化膜としては、コ
バルト（以下Ｃｏと略す）とクロム（以下Ｃｒと略す）
を主成分とするＣｏ−Ｃｒ合金膜が優れた特性を持って
いる。一方、主磁極励磁型ヘッドを用いて、高密度記録
を行うためには、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜内部で磁束の集中が
必要であり、そのため裏打ち層（以下Ｂ．Ｌ．と略す）
として軟磁性層を設ける。軟磁性Ｂ．Ｌ．としてはパー
マロイ（例えば重量比で８０Ｎｉ＋２０Ｆｅの合金）を
用いる。各々の膜厚は、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜が、０．１μ
ｍ、軟磁性Ｂ．Ｌ．０．５μｍである。上記膜厚におい
て最も優れた高密度記録がなされる。従来の垂直磁気記
録媒体は、耐熱性高分子材料（例えばポリイミドフィル
ム）である基板上にＢ．Ｌ．として０．５μｍ程度のパ
ーマロイ層、その上に、垂直磁化膜としてのＣｏ−Ｃｒ
層が０．１μｍ程度形成されている。
れた磁気記録方式である。これは、磁気記録媒体の膜面
に対して垂直方向に媒体を磁化させるものである。従っ
て、本方式では、媒体面の垂直方向に残留磁化が残る垂
直磁化膜を用いる必要がある。垂直磁化膜としては、コ
バルト（以下Ｃｏと略す）とクロム（以下Ｃｒと略す）
を主成分とするＣｏ−Ｃｒ合金膜が優れた特性を持って
いる。一方、主磁極励磁型ヘッドを用いて、高密度記録
を行うためには、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜内部で磁束の集中が
必要であり、そのため裏打ち層（以下Ｂ．Ｌ．と略す）
として軟磁性層を設ける。軟磁性Ｂ．Ｌ．としてはパー
マロイ（例えば重量比で８０Ｎｉ＋２０Ｆｅの合金）を
用いる。各々の膜厚は、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜が、０．１μ
ｍ、軟磁性Ｂ．Ｌ．０．５μｍである。上記膜厚におい
て最も優れた高密度記録がなされる。従来の垂直磁気記
録媒体は、耐熱性高分子材料（例えばポリイミドフィル
ム）である基板上にＢ．Ｌ．として０．５μｍ程度のパ
ーマロイ層、その上に、垂直磁化膜としてのＣｏ−Ｃｒ
層が０．１μｍ程度形成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のよう
に、Ｂ．Ｌ．としてのパーマロイ層を０．５μｍ形成す
る場合、次の問題が発生した。第１に、ＤＣマグネトロ
ン式高速スパッタ法により、垂直磁気記録媒体を製造す
る場合、その膜堆積速度が、およそ、２０Å／ｓｅｃで
ある。一方、パーマロイを０．５μｍ形成させるために
は、およそ、２５０秒間、基板をプラズマにさらす必要
があり、製膜に長い時間を要するという問題があり、高
速で媒体の作製を行うことが困難である。長時間プラズ
マにさらされた基板は温度が高くなり、製膜されたパー
マロイ層の抗磁力は高く、透磁率は小さくなり軟磁気特
性の性質は失ってしまう。
に、Ｂ．Ｌ．としてのパーマロイ層を０．５μｍ形成す
る場合、次の問題が発生した。第１に、ＤＣマグネトロ
ン式高速スパッタ法により、垂直磁気記録媒体を製造す
る場合、その膜堆積速度が、およそ、２０Å／ｓｅｃで
ある。一方、パーマロイを０．５μｍ形成させるために
は、およそ、２５０秒間、基板をプラズマにさらす必要
があり、製膜に長い時間を要するという問題があり、高
速で媒体の作製を行うことが困難である。長時間プラズ
マにさらされた基板は温度が高くなり、製膜されたパー
マロイ層の抗磁力は高く、透磁率は小さくなり軟磁気特
性の性質は失ってしまう。
【０００４】第２に、Ｃｏ−Ｃｒ層とパーマロイ層の合
わせた金属の膜厚が０．６μｍ以上あり、たとえばテー
プ媒体などにした場合、フレキシブル性が落ちる。第３
に、ハイビジョン対応型テープにした場合、記録量が多
いいためテープ量が長くなり、膜厚が厚い媒体ではカセ
ットテープの小型化が難しい。第４に、単にパーマロイ
層の製膜速度を短くするために高電力を投入し堆積速度
を速くした場合、パーマロイ層の抗磁力が大きくなる。
第５に、優れた軟磁気特性を示す第１磁性層としてＦｅ
−Ｓｉなどを用いるとその上に製膜されたＣｏ−Ｃｒ膜
の結晶が良好なものが得られず、高記録密度媒体として
は適さない。本発明は、上記問題点、すなわち、Ｂ．
Ｌ．としてのパーマロイやＦｅ−Ｓｉ層によって発生す
る多くの問題を解決することを目的とするものである。
わせた金属の膜厚が０．６μｍ以上あり、たとえばテー
プ媒体などにした場合、フレキシブル性が落ちる。第３
に、ハイビジョン対応型テープにした場合、記録量が多
いいためテープ量が長くなり、膜厚が厚い媒体ではカセ
ットテープの小型化が難しい。第４に、単にパーマロイ
層の製膜速度を短くするために高電力を投入し堆積速度
を速くした場合、パーマロイ層の抗磁力が大きくなる。
第５に、優れた軟磁気特性を示す第１磁性層としてＦｅ
−Ｓｉなどを用いるとその上に製膜されたＣｏ−Ｃｒ膜
の結晶が良好なものが得られず、高記録密度媒体として
は適さない。本発明は、上記問題点、すなわち、Ｂ．
Ｌ．としてのパーマロイやＦｅ−Ｓｉ層によって発生す
る多くの問題を解決することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の特徴は、非磁性基板体とその上にもうけら
れるＦｅを主成分とする第１磁性層とその上のＣｏ−Ｃ
ｒを主成分とする第２磁性層とを有する磁気記録媒体に
おいて、前記第１磁性層が重量比で１．０重量％から
３．０重量％までのＳｉと１０重量％から２０重量％の
Ｎｉを含む磁気記録媒体にある。
めの本発明の特徴は、非磁性基板体とその上にもうけら
れるＦｅを主成分とする第１磁性層とその上のＣｏ−Ｃ
ｒを主成分とする第２磁性層とを有する磁気記録媒体に
おいて、前記第１磁性層が重量比で１．０重量％から
３．０重量％までのＳｉと１０重量％から２０重量％の
Ｎｉを含む磁気記録媒体にある。
【０００６】磁気記録媒体の基板としては、プラスッチ
クフィルム、ガラス板等をあげることができる。プラス
ッチクフィルムとして具体的には、ポリイミドフィル
ム、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリアミ
ドフィルムをあげることができる。第１層としてＦｅ以
外を主成分にした場合、飽和磁化密度が小さくなってし
まうためにＢ．Ｌ．の膜厚を厚くする必要があり、薄く
すると記録再生した際に再生出力は小さい。
クフィルム、ガラス板等をあげることができる。プラス
ッチクフィルムとして具体的には、ポリイミドフィル
ム、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリアミ
ドフィルムをあげることができる。第１層としてＦｅ以
外を主成分にした場合、飽和磁化密度が小さくなってし
まうためにＢ．Ｌ．の膜厚を厚くする必要があり、薄く
すると記録再生した際に再生出力は小さい。
【０００７】第１磁性層でＮｉの重量比が１．０重量％
未満３．０重量％よりも大きい場合軟磁性の性質が失わ
れる欠点がある。Ｎｉの含有量が１０重量％未満２０重
量％よりも多いとその上の第２磁性層のＣｏ−Ｃｒの結
晶が乱れ、再生出力が小さくなる欠点を生じる。第１磁
性層の厚みは０．１μｍ〜０．４μｍが望ましく、０．
１μｍ以下では再生電圧低過ぎ、０．４μｍ以上におい
ては、特に磁気記録媒体の基板にプラスッチクフィルム
を用いた場合にフレキシビリを損なう。また、第１磁性
層の抗磁力が１００Ｏｅ以下である場合、再生出力が小
さくなる欠点を生じる。
未満３．０重量％よりも大きい場合軟磁性の性質が失わ
れる欠点がある。Ｎｉの含有量が１０重量％未満２０重
量％よりも多いとその上の第２磁性層のＣｏ−Ｃｒの結
晶が乱れ、再生出力が小さくなる欠点を生じる。第１磁
性層の厚みは０．１μｍ〜０．４μｍが望ましく、０．
１μｍ以下では再生電圧低過ぎ、０．４μｍ以上におい
ては、特に磁気記録媒体の基板にプラスッチクフィルム
を用いた場合にフレキシビリを損なう。また、第１磁性
層の抗磁力が１００Ｏｅ以下である場合、再生出力が小
さくなる欠点を生じる。
【０００８】
実施例１〜３ バッチ式スパッタリング装置でマグネトロン式直流スパ
ッタ装置を用い、真空槽内を真空に排気し、基板を２０
０℃に加熱、脱ガス処理した後、スパッタリング前に、
３×１０-7Ｔｏｒｒ以下に排気し基板温度を１５０℃に
加熱し、高純度アルゴンガスを導入して、磁気記録媒体
の基板には厚さ４０μｍのポリイミドフィルムを用いて
表１に示す組成のＦｅ−Ｎｉ−Ｓｉ膜を作成しさらに基
板温度を１５０℃でＣｏ−Ｃｒ層（８０：２０で０．１
μｍ）を製膜し、磁気記録媒体を得た。媒体の電磁変換
特性は３．５インチのフロッピーディスクに切り出し、
ディスク評価装置（主磁極励磁極ヘッドであり、主磁
極：ＣｏＺｒＮｂ（Ｂｓ＝１２５０００Ｇａｕｓｓ）、
主磁極膜厚０．３μｍ、トラック幅１００μｍ、捲線数
５０Ｔｕｒｎｓ、相対速度２ｍ／Ｓｅｃ）にて測定し
た。
ッタ装置を用い、真空槽内を真空に排気し、基板を２０
０℃に加熱、脱ガス処理した後、スパッタリング前に、
３×１０-7Ｔｏｒｒ以下に排気し基板温度を１５０℃に
加熱し、高純度アルゴンガスを導入して、磁気記録媒体
の基板には厚さ４０μｍのポリイミドフィルムを用いて
表１に示す組成のＦｅ−Ｎｉ−Ｓｉ膜を作成しさらに基
板温度を１５０℃でＣｏ−Ｃｒ層（８０：２０で０．１
μｍ）を製膜し、磁気記録媒体を得た。媒体の電磁変換
特性は３．５インチのフロッピーディスクに切り出し、
ディスク評価装置（主磁極励磁極ヘッドであり、主磁
極：ＣｏＺｒＮｂ（Ｂｓ＝１２５０００Ｇａｕｓｓ）、
主磁極膜厚０．３μｍ、トラック幅１００μｍ、捲線数
５０Ｔｕｒｎｓ、相対速度２ｍ／Ｓｅｃ）にて測定し
た。
【０００９】比較例１〜４ 実施例１と同様にして表１に示す磁気記録媒体を得た。
また、同様にして、媒体の電磁変換特性を測定した。
また、同様にして、媒体の電磁変換特性を測定した。
【００１０】
【表１】
【００１１】
【発明の効果】本発明により、次のような効果が確認さ
れた。（１）Ｂ．Ｌ．の効果を損なうことなく、Ｂ．
Ｌ．の膜厚を薄くすることができる。（２）Ｂ．Ｌ．の
上に製膜したＣｏ−Ｃｒ層の結晶性は従来のパーマロイ
層の上に作製するよりも良好な膜になることが判った。
よって、記録再生したときに高い記録密度で高い再生電
圧が得られる。
れた。（１）Ｂ．Ｌ．の効果を損なうことなく、Ｂ．
Ｌ．の膜厚を薄くすることができる。（２）Ｂ．Ｌ．の
上に製膜したＣｏ−Ｃｒ層の結晶性は従来のパーマロイ
層の上に作製するよりも良好な膜になることが判った。
よって、記録再生したときに高い記録密度で高い再生電
圧が得られる。
Claims (3)
- 【請求項１】非磁性体と、その上にもうけられたＦｅを
主成分とする第１磁性層と、その上のＣｏ−Ｃｒを主成
分とする第２磁性層とを有する磁気記録媒体におけて、
第１磁性層が重量比で１．０重量％から３．０重量％ま
でのＳｉ及び１０重量％から２０重量％のＮｉを同時に
含むことを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】第１磁性層の抗磁力が１００Ｏｅ以下であ
る請求項１記載の磁気記録媒体。 - 【請求項３】第１磁性層が０．１から０．４μｍである
請求項１ないし２いずれか記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30467092A JPH06131648A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30467092A JPH06131648A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06131648A true JPH06131648A (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=17935815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30467092A Pending JPH06131648A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06131648A (ja) |
-
1992
- 1992-10-16 JP JP30467092A patent/JPH06131648A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS58165306A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| EP0105705B1 (en) | Perpendicular magnetic recording medium | |
| JP2780588B2 (ja) | 積層型磁気ヘッドコア | |
| JPS60239916A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| KR890003038B1 (ko) | 자기기록 매체 | |
| JPS60132305A (ja) | 鉄−窒素系積層磁性体膜およびそれを用いた磁気ヘツド | |
| JPH06131648A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6142717A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS6177125A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2561455B2 (ja) | 磁気記録再生装置 | |
| JP3132254B2 (ja) | 軟磁性膜および軟磁性多層膜の製造方法 | |
| US4859501A (en) | Method for providing a perpendicular recording medium for use with a ring-shaped recording and reproducing head | |
| JP2782994B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS59157828A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| KR950001603B1 (ko) | 적층자기헤드 | |
| JPH03132005A (ja) | 磁性薄膜およびこれを用いた磁気ヘッド | |
| JPH0483313A (ja) | 軟磁性薄膜並びに磁気ヘッド | |
| JPH0570205B2 (ja) | ||
| JPS5975428A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH01173312A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH071535B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH06282834A (ja) | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH05325165A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS61255510A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS61122919A (ja) | 垂直磁気記録媒体 |