JPS63289589A - アクティブマトリクスパネルの検査方法 - Google Patents
アクティブマトリクスパネルの検査方法Info
- Publication number
- JPS63289589A JPS63289589A JP62125416A JP12541687A JPS63289589A JP S63289589 A JPS63289589 A JP S63289589A JP 62125416 A JP62125416 A JP 62125416A JP 12541687 A JP12541687 A JP 12541687A JP S63289589 A JPS63289589 A JP S63289589A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- active matrix
- matrix panel
- signal
- signal line
- lines
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 title claims description 37
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 2
- 244000046146 Pueraria lobata Species 0.000 description 1
- 235000010575 Pueraria lobata Nutrition 0.000 description 1
- 244000062793 Sorghum vulgare Species 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 235000019713 millet Nutrition 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はアクティブマトリクスパネルの検査方法に関す
る。特に冗長性を持たせたアクティブマトリクスパネル
の検査方法に関する。
る。特に冗長性を持たせたアクティブマトリクスパネル
の検査方法に関する。
従来の冗長方式を採用したアクティブマトリクスパネル
の例としては、 「日経エレクトロニクス 1986
年12月15日号、no、410p、’193−209
Jに示されるようなものがあった。 第20(a)及び
(b)はその回路図の例である。 X、 、X、 、X
、は信号線、Yl、Y、 、Y、は走査線であり、その
交点にTFT 1、12.13及び絵素17がある。
絵素17は、絵素電極14と共通電極16、及びその間
に封入された液晶15とから成る。
の例としては、 「日経エレクトロニクス 1986
年12月15日号、no、410p、’193−209
Jに示されるようなものがあった。 第20(a)及び
(b)はその回路図の例である。 X、 、X、 、X
、は信号線、Yl、Y、 、Y、は走査線であり、その
交点にTFT 1、12.13及び絵素17がある。
絵素17は、絵素電極14と共通電極16、及びその間
に封入された液晶15とから成る。
これらのアクティブマトリクスパネルは、1つの絵素に
複数のTFTの備えており、不良TFTのアドレスを検
出し、レーザトリミングで切断することにより、点欠陥
のない画像を得ることができる。
複数のTFTの備えており、不良TFTのアドレスを検
出し、レーザトリミングで切断することにより、点欠陥
のない画像を得ることができる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、前述の従来技術では以下に述べるような問題点
がある。第2図(a)の例では、下側のTFT 12が
不良になると本来の絵素の左上の信号を与えることにな
り、キャラクタなどのデータ表示には使えない。第2図
(b)の例では、個々のTFTを検査するためには直接
絵素電極14にプロービングする必要があり、検査工程
に非常に長い時間を要する。
がある。第2図(a)の例では、下側のTFT 12が
不良になると本来の絵素の左上の信号を与えることにな
り、キャラクタなどのデータ表示には使えない。第2図
(b)の例では、個々のTFTを検査するためには直接
絵素電極14にプロービングする必要があり、検査工程
に非常に長い時間を要する。
本発明はこのような問題点を解決するものであり、その
目的とするところは、キャラクタなどのデータ表示が可
能な冗長性を持ったアクティブマトリクスパネルの検査
方法において、絵素電極に直接プロービングすることな
く足時間で正確に不良部分のアドレスを検出できるよう
にするところにある。
目的とするところは、キャラクタなどのデータ表示が可
能な冗長性を持ったアクティブマトリクスパネルの検査
方法において、絵素電極に直接プロービングすることな
く足時間で正確に不良部分のアドレスを検出できるよう
にするところにある。
本発明のアクティブマトリクスパネルの検査方法は、
同一絵素1!極に信号を送る2本を1組とし、画像を表
示する場合には前記1組の信号線には同一の信号を与え
、検査をする場合には独立した信号を与えて電気的ある
いは光学的に不良部分を検とすることを特徴とする。
同一絵素1!極に信号を送る2本を1組とし、画像を表
示する場合には前記1組の信号線には同一の信号を与え
、検査をする場合には独立した信号を与えて電気的ある
いは光学的に不良部分を検とすることを特徴とする。
本発明の上記の方法によれば、 絵素電極にプロービン
グすることな(不良部分のアドレスを一意的に求めるこ
とができる。したがって早くて正確な検査が可能となる
。
グすることな(不良部分のアドレスを一意的に求めるこ
とができる。したがって早くて正確な検査が可能となる
。
〔実施例1〕
一般にアクティブマトリクスパネルの不良モードは、大
別すると断線と短絡に分けることができる。前者につい
ては、TFTの断線があっても冗長性を備えたアクティ
ブマトリクスパネルでは同一絵素に接続された他のTF
Tが正常であれば何ら問題を生じない。また、配線の断
線についても両端から信号を与えることによって救うこ
とができる。一方、後者については不良部分を検出して
切断しなければならない。具体的には次のような項目に
分けることができる。
別すると断線と短絡に分けることができる。前者につい
ては、TFTの断線があっても冗長性を備えたアクティ
ブマトリクスパネルでは同一絵素に接続された他のTF
Tが正常であれば何ら問題を生じない。また、配線の断
線についても両端から信号を与えることによって救うこ
とができる。一方、後者については不良部分を検出して
切断しなければならない。具体的には次のような項目に
分けることができる。
■走査線と信号線のクロスポイント部の短絡。
■TFTのゲート′F!1極しソース電極間、またはゲ
ート電極とドレイン電極間の短絡。
ート電極とドレイン電極間の短絡。
■TFTのソース・ドレイン間の短絡。
■絵素電極と走査線間の短絡。
■絵素電極と信号線間の短絡。
このうち■、■、■は水平方向の短絡で、 パターン不
良やゴミ等によるものである。これらの不良はプロセス
技術の確立によりある程度減らすことができる。これに
対して■、■は垂直方向の短絡で、絶縁膜中のピンホー
ルや静電破壊によるものである。これらの不良は、アク
ティブマトリクスパネルの構造を変えない限り減少させ
るのは難しい。そこで本実施例では、おもにこれらの不
良の検出方法について述べる。
良やゴミ等によるものである。これらの不良はプロセス
技術の確立によりある程度減らすことができる。これに
対して■、■は垂直方向の短絡で、絶縁膜中のピンホー
ルや静電破壊によるものである。これらの不良は、アク
ティブマトリクスパネルの構造を変えない限り減少させ
るのは難しい。そこで本実施例では、おもにこれらの不
良の検出方法について述べる。
第1図(a)及び(b)は、本発明のアクティブマトリ
クスパネルの検査方法のtilの実施例を説明するため
の図である。アクティブマトリクスパネル10は、信号
線X1、Xl、X3、X4、走査$aY、 、Y、 、
Y、、及びそれらの交点に配置されたTFTI、2と絵
素7とから成る。絵素7は、絵素電極4と共通電極6、
及びその間に封入された液晶5とから成る。この構成の
アクティブマトリクスパネルは1つの絵素に2つのTF
Tを備えているため、一方のTFTが不良になっても他
のTFTが正常であれば不良TFTを切断して救済する
ことができる。しかも、信号線に冗長性があり、通常は
X、とX、 、X、とX4の様に隣接する2本の信号線
に同じ信号を与えるため、不良TFTを切断しても正規
の信号を絵素に与えることができる。
クスパネルの検査方法のtilの実施例を説明するため
の図である。アクティブマトリクスパネル10は、信号
線X1、Xl、X3、X4、走査$aY、 、Y、 、
Y、、及びそれらの交点に配置されたTFTI、2と絵
素7とから成る。絵素7は、絵素電極4と共通電極6、
及びその間に封入された液晶5とから成る。この構成の
アクティブマトリクスパネルは1つの絵素に2つのTF
Tを備えているため、一方のTFTが不良になっても他
のTFTが正常であれば不良TFTを切断して救済する
ことができる。しかも、信号線に冗長性があり、通常は
X、とX、 、X、とX4の様に隣接する2本の信号線
に同じ信号を与えるため、不良TFTを切断しても正規
の信号を絵素に与えることができる。
本実施例では、このアクティブマトリクスパネルの信号
線及び走査線にスイッチ8.9を介して信号発生器と検
出器を接続し、3良部分のアドレスを検とする。まず、
tJ1図(a)において、スイッチ8と9を全て閉じ、
走査MY、 1Y、 、Y、・・・に第3図に示すよう
なパルス波形を送る。この時信号線の全出力父に第3図
に示すような波形が検出されれば、走査!!iiY、及
びYn上に短絡部があることがわかる。次に、第1図(
b)において、スイッチ8をすべて奇数番目の信号線に
接続し、第4図(a) に示すようなパルス波形を送
る。この時スイッチ9については1回目はY、のみを閉
じ、2回目はYnのみを閉じる。このときの波形が同図
(a)のようであったとする。同様に、第1図(b)に
おいて、スイッチ8をすべて偶数番目の信号線に接続し
、第4図(b)に示すようなパルス波形を送り、Y/
、Ynの波形を得たとする。これらの結果から、短絡部
分はρ段目の走査線Y、とに列目の右側の信号ta X
−*のクロスポイントと、n段目の走査til Y
nとm列目の左側の信号線X−m−1のクロスポイント
であることがわかる。ただし、この短絡が、■走査線と
信号線のクロスポイント部で直接生じたものか、■同じ
アドレスに配置されたTFTのゲート電極とソース電極
間またはゲート電極とドレイン電極間で生じたものかを
電気的に識別するのは困難である。実際には■のTFT
部における短絡の方が多いため、まずTFTを切断し、
それでもまだ短絡している場合には、ドライバーと反対
側の端子部で、 同じ信号を与える信号線と短絡させて
おく。
線及び走査線にスイッチ8.9を介して信号発生器と検
出器を接続し、3良部分のアドレスを検とする。まず、
tJ1図(a)において、スイッチ8と9を全て閉じ、
走査MY、 1Y、 、Y、・・・に第3図に示すよう
なパルス波形を送る。この時信号線の全出力父に第3図
に示すような波形が検出されれば、走査!!iiY、及
びYn上に短絡部があることがわかる。次に、第1図(
b)において、スイッチ8をすべて奇数番目の信号線に
接続し、第4図(a) に示すようなパルス波形を送
る。この時スイッチ9については1回目はY、のみを閉
じ、2回目はYnのみを閉じる。このときの波形が同図
(a)のようであったとする。同様に、第1図(b)に
おいて、スイッチ8をすべて偶数番目の信号線に接続し
、第4図(b)に示すようなパルス波形を送り、Y/
、Ynの波形を得たとする。これらの結果から、短絡部
分はρ段目の走査線Y、とに列目の右側の信号ta X
−*のクロスポイントと、n段目の走査til Y
nとm列目の左側の信号線X−m−1のクロスポイント
であることがわかる。ただし、この短絡が、■走査線と
信号線のクロスポイント部で直接生じたものか、■同じ
アドレスに配置されたTFTのゲート電極とソース電極
間またはゲート電極とドレイン電極間で生じたものかを
電気的に識別するのは困難である。実際には■のTFT
部における短絡の方が多いため、まずTFTを切断し、
それでもまだ短絡している場合には、ドライバーと反対
側の端子部で、 同じ信号を与える信号線と短絡させて
おく。
本実施例の検査は、アクティブマトリクス基板伏態でも
行うことができ、修正後にパネル組み立てができるため
、修正部分の液晶の配向が乱される心配もない。
行うことができ、修正後にパネル組み立てができるため
、修正部分の液晶の配向が乱される心配もない。
第5図は、アクティブマトリクスパネルの平面図の例で
ある。40は透明導電膜から成る絵素電極。4、5)は
ゲート電極で走査1i1 Y nに接続されている。ソ
ース電極42.52はフンタクトホール44、S4を介
して信号線X−m−,、X2mに接続され、ドレイ/電
極43.53はコンタクトホール44.54を介して共
通の絵素電極40に接続されている。45〜48及び5
5〜58に示す部分はレーザトリミングによる切断部で
ある。たとえばTFTIを分離する場合には45及び4
6に示す部分を切断し、信号11X−rn−。
ある。40は透明導電膜から成る絵素電極。4、5)は
ゲート電極で走査1i1 Y nに接続されている。ソ
ース電極42.52はフンタクトホール44、S4を介
して信号線X−m−,、X2mに接続され、ドレイ/電
極43.53はコンタクトホール44.54を介して共
通の絵素電極40に接続されている。45〜48及び5
5〜58に示す部分はレーザトリミングによる切断部で
ある。たとえばTFTIを分離する場合には45及び4
6に示す部分を切断し、信号11X−rn−。
と走査線Ynとのクロスポイント部分を分離する場合に
は47及び48に示す部分を切断する。同様に、TFT
2を分離する場合には55及び56に示す部分を、信号
X!X X −mと走査線Ynとのクロスポイント部分
を分離する場合には57及び58に示す部分をそれぞれ
切断する。
は47及び48に示す部分を切断する。同様に、TFT
2を分離する場合には55及び56に示す部分を、信号
X!X X −mと走査線Ynとのクロスポイント部分
を分離する場合には57及び58に示す部分をそれぞれ
切断する。
第6図は、アクティブマトリクスパネルの断面図の例で
ある。60は絶縁基板、61はゲート電極、62はゲー
ト絶縁膜である。 チャネル部63、ソース部64、ド
レイン部65は、ゲート電極61をマスクにして半導体
薄膜中にイオン注入を行ない形成する場合と、チャネル
部だけ別の膜で形成する場合がある。66は居間絶R膜
、67は信号線、68は絵素電極、69は液晶、70は
共通電極である。
ある。60は絶縁基板、61はゲート電極、62はゲー
ト絶縁膜である。 チャネル部63、ソース部64、ド
レイン部65は、ゲート電極61をマスクにして半導体
薄膜中にイオン注入を行ない形成する場合と、チャネル
部だけ別の膜で形成する場合がある。66は居間絶R膜
、67は信号線、68は絵素電極、69は液晶、70は
共通電極である。
〔実施例2〕
第7図は、本発明のアクティブマトリクスパネルの検査
方法の?i2の実施例を説明するための図である。本実
施例においでは、ドライバーを実装した後、必要に応じ
て検査できるため、検査をするためのv4mは必要ない
、以下その方法を説明する。
方法の?i2の実施例を説明するための図である。本実
施例においでは、ドライバーを実装した後、必要に応じ
て検査できるため、検査をするためのv4mは必要ない
、以下その方法を説明する。
アクティブマトリクスパネル10の構成は第1の実施例
と同じである。Yドライバー 25は走査線駆動用ドラ
イバーで、走査1aY1、Y、 、Y。
と同じである。Yドライバー 25は走査線駆動用ドラ
イバーで、走査1aY1、Y、 、Y。
を順次選択する。 Xドライバー20は、信号線x、
、x、 、x、 、x、にデータを送る信号線駆動用ド
ライバーとスイッチ21及び22とから成る。通常はこ
れらのスイッチを全て閉じ、XIとX、 、X、とX4
の様に隣接する信号線には同じ信号を与えて駆動する。
、x、 、x、 、x、にデータを送る信号線駆動用ド
ライバーとスイッチ21及び22とから成る。通常はこ
れらのスイッチを全て閉じ、XIとX、 、X、とX4
の様に隣接する信号線には同じ信号を与えて駆動する。
不良部分を検とする場合には、まずスイッチ21を閉じ
22は開いて奇数番目の信号線のみを使って表示させ、
次にスイッチ21を開き22を閉じて偶数番目の走査線
のみを使って表示させ、不良部分のアドレスを検とする
。以下、この方法で表示させた場合の具体的な不良の例
と、それに対応する表示例を説明する。
22は開いて奇数番目の信号線のみを使って表示させ、
次にスイッチ21を開き22を閉じて偶数番目の走査線
のみを使って表示させ、不良部分のアドレスを検とする
。以下、この方法で表示させた場合の具体的な不良の例
と、それに対応する表示例を説明する。
まず、■走査線と信号線のクロスポイント部の短絡及び
■TFTのゲート電極とソース電極の短絡がある場合に
は縦ライン欠陥を生じる。走査線も信号線の電位に引っ
ばられるため、横ライン欠陥も薄く確認でき、アドレス
が求まる。■TFTのソース・ドレイン間の短絡や■絵
素電極と走査線間の短絡がある場合には、 絵素には短
絡した信号線のデータを積分したデータが与えられるた
め、上下にコントラストの異なるパターンを表示させれ
ばわかる。■a素電極と信号線間の短絡やTFTのゲー
ト電極とドレイン電極の短絡がある場合には点欠陥とな
る。
■TFTのゲート電極とソース電極の短絡がある場合に
は縦ライン欠陥を生じる。走査線も信号線の電位に引っ
ばられるため、横ライン欠陥も薄く確認でき、アドレス
が求まる。■TFTのソース・ドレイン間の短絡や■絵
素電極と走査線間の短絡がある場合には、 絵素には短
絡した信号線のデータを積分したデータが与えられるた
め、上下にコントラストの異なるパターンを表示させれ
ばわかる。■a素電極と信号線間の短絡やTFTのゲー
ト電極とドレイン電極の短絡がある場合には点欠陥とな
る。
〔実施例3〕
第8図は、本発明のアクティブマトリクスパネルの検査
方法の第8の実施例を説明するための図である。本実施
例は、第1とm2の実施例の検査機能を共に備えている
。
方法の第8の実施例を説明するための図である。本実施
例は、第1とm2の実施例の検査機能を共に備えている
。
アクティブマトリクスパネル1oの構成は第1の実施例
と同じである。Yドライバー35には走査線駆動用ドラ
イバーと、 スイッチ33とがあり、スイッチ33を切
り換えると走査線を不良アドレス検出器に接続すること
ができる。Xドライバー30には信号線駆動用ドライバ
ーと、スイッチ31及び32とがあり、信号線を不良ア
ドレス検出器に接続することができる。 検出器はXド
ライバー又はYドライバーに内蔵することもできる。
と同じである。Yドライバー35には走査線駆動用ドラ
イバーと、 スイッチ33とがあり、スイッチ33を切
り換えると走査線を不良アドレス検出器に接続すること
ができる。Xドライバー30には信号線駆動用ドライバ
ーと、スイッチ31及び32とがあり、信号線を不良ア
ドレス検出器に接続することができる。 検出器はXド
ライバー又はYドライバーに内蔵することもできる。
以上述べたように本発明のアクティブマトリクスパネル
の検査方法は、絵素電極に直接プロービングせずに不良
部分のアドレスを正確に求めることができるため、短い
時間で正確に検査及び修正をすることができる。 した
がって、無欠陥のアクティブマトリクスパネルを低コス
トで作製できる。
の検査方法は、絵素電極に直接プロービングせずに不良
部分のアドレスを正確に求めることができるため、短い
時間で正確に検査及び修正をすることができる。 した
がって、無欠陥のアクティブマトリクスパネルを低コス
トで作製できる。
また、第1の実施例に示す検査はアクティブマトリクス
パネル基板上で行なえるため、不良部分を切断後にパネ
ルを組み立てることになり、修正部分の液晶の配向が乱
されることもない。つまり修正によって画質は劣化せず
、修正部分の信頼性も高い。しかも、検査方法は全て電
気的に行うため、自動化が簡単で量産に適している。
パネル基板上で行なえるため、不良部分を切断後にパネ
ルを組み立てることになり、修正部分の液晶の配向が乱
されることもない。つまり修正によって画質は劣化せず
、修正部分の信頼性も高い。しかも、検査方法は全て電
気的に行うため、自動化が簡単で量産に適している。
一方、第2、第3の実施例の様に検査機能を備えたドラ
イバーを実装すれば、検査のためのMWが不要となり、
さらにコストを削減できる。
イバーを実装すれば、検査のためのMWが不要となり、
さらにコストを削減できる。
本発明のアクティブマトリクスパネルの検査方法は、絵
素欠陥だけでなく絵素ムラ、すなわち動作は正常だが素
子のバラツキにより透過率が周囲の絵素と多少異なるも
のに対しても応用できる。
素欠陥だけでなく絵素ムラ、すなわち動作は正常だが素
子のバラツキにより透過率が周囲の絵素と多少異なるも
のに対しても応用できる。
したがって階調表示を含むデータ表示などの高品質の画
像を再現性よく提供できるアクティブマトリクスを低コ
ストで作製できる。
像を再現性よく提供できるアクティブマトリクスを低コ
ストで作製できる。
第1図(a)及び(b)はアクティブマトリクスパネル
の検査方法を説明するための回路図。 第2図(a)及び(b)は従来のアクティブマトリクス
パネルの回路図。 第3図、第4図(a)及び(b)は、アクティブマトリ
クスパネルの検査方法を示すタイミング図。 第5図は、アクティブマトリクスパネルの平面図。 第6図は、アクティブマトリクスパネルの断面図。 第7図及び第8図はアクティブマトリクスパネルの検査
方法を説明するための回路図。 1,2,11,12.13・・・・・・TFTx、、x
、 、x、 、x、・・・・・・信号線Y、、Y、 、
Y、・・・・・・走査線以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 最 上 務 他1名第1 面 (す /、2 7FT ?、タ ヌイツナ /D アクナイフ゛Z卜り7ズ2やタリレ
×I、X)、X3.X+ オニ号ルY+ r Yx
+イ、 まン【、煉メI 図 (り 笛2圓(a) 、v;r 2 順ト2 葛3)図 名+徊(α) 笛4−爵e) ×2P−+
)/CM XxOnt+)−140−・琺手電腸 4/丈!−一一一むト 4z/7・・−・ ソース φ3.f3−・−ドレイン イF;1 メρ−−−−ル4黍床 /、3 −−−− ヂ1セン、りrルtf −−
−−ソース 絹Z11 L−、−−−J 片71fl
の検査方法を説明するための回路図。 第2図(a)及び(b)は従来のアクティブマトリクス
パネルの回路図。 第3図、第4図(a)及び(b)は、アクティブマトリ
クスパネルの検査方法を示すタイミング図。 第5図は、アクティブマトリクスパネルの平面図。 第6図は、アクティブマトリクスパネルの断面図。 第7図及び第8図はアクティブマトリクスパネルの検査
方法を説明するための回路図。 1,2,11,12.13・・・・・・TFTx、、x
、 、x、 、x、・・・・・・信号線Y、、Y、 、
Y、・・・・・・走査線以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 最 上 務 他1名第1 面 (す /、2 7FT ?、タ ヌイツナ /D アクナイフ゛Z卜り7ズ2やタリレ
×I、X)、X3.X+ オニ号ルY+ r Yx
+イ、 まン【、煉メI 図 (り 笛2圓(a) 、v;r 2 順ト2 葛3)図 名+徊(α) 笛4−爵e) ×2P−+
)/CM XxOnt+)−140−・琺手電腸 4/丈!−一一一むト 4z/7・・−・ ソース φ3.f3−・−ドレイン イF;1 メρ−−−−ル4黍床 /、3 −−−− ヂ1セン、りrルtf −−
−−ソース 絹Z11 L−、−−−J 片71fl
Claims (5)
- (1)絶縁基板上に、N本の走査線、2M本の信号線、
及びそれらの交点に配置された2M×N個の薄膜トラン
ジスタ(以下TFTと略記)と、隣接する2つのTFT
のドレイン電極に接続されたM×N個の絵素電極を有し
、前記2M本の信号線は、同一絵素電極に信号を送る2
本を1組とし、画像を表示する場合には前記1組の信号
線には同一の信号を与え、検査をする場合には独立した
信号を与えて電気的あるいは光学的に不良部分を検出す
ることを特徴とするアクティブマトリクスパネルの検査
方法。 - (2)前記走査線に順次信号を送り、前記信号線の少な
くとも1本に検出器を接続して短絡部の行アドレスを求
め、前記信号線に順次信号を送り、前記走査線の少なく
とも1本に検出器を接続して短絡部の列アドレスを求め
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のアクテ
ィブマトリクスパネルの検査方法。 - (3)前記走査線と前記信号線間の抵抗を測定し、短絡
部のアドレスを求めることを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載のアクティブマトリクスパネルの検査方法。 - (4)前記信号線に、奇数番目の信号線と偶数番目の信
号線とを独立に駆動できるドライバーを実装し、奇数番
目の信号線のみを駆動して表示させた場合と、偶数番目
の信号線のみを駆動して表示させた場合とを比較し、不
良部を検出することを特徴とする特許請求の範囲第1項
記載のアクティブマトリクスパネルの検査方法。 - (5)前記走査線及び信号線に不良部アドレス検知回路
付きドライバーを実装し、前記ドライバーを用いて不良
部を検出することを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載のアクティブマトリクスパネルの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62125416A JPS63289589A (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | アクティブマトリクスパネルの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62125416A JPS63289589A (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | アクティブマトリクスパネルの検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63289589A true JPS63289589A (ja) | 1988-11-28 |
Family
ID=14909562
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62125416A Pending JPS63289589A (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | アクティブマトリクスパネルの検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63289589A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06230418A (ja) * | 1992-12-17 | 1994-08-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マトリクス表示装置の製造方法 |
JP2004191603A (ja) * | 2002-12-10 | 2004-07-08 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置およびその検査方法 |
-
1987
- 1987-05-22 JP JP62125416A patent/JPS63289589A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06230418A (ja) * | 1992-12-17 | 1994-08-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マトリクス表示装置の製造方法 |
JP2004191603A (ja) * | 2002-12-10 | 2004-07-08 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置およびその検査方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3213472B2 (ja) | アクティブマトリクス基板又はアクティブマトリクス液晶パネルの欠陥検出検査方法、欠陥検出検査装置 | |
US20020047838A1 (en) | Array substrate of liquid crystal display device | |
EP0627722B1 (en) | Light valve device with failure detection circuit | |
KR20080010837A (ko) | 박막 트랜지스터 기판의 불량 검사 모듈 및 방법 | |
JPH0626987A (ja) | Lcdパネルにおける交差短絡欠陥の位置を決定する方法および装置 | |
JPH0318891A (ja) | 画像表示装置の検査方法 | |
KR0125465B1 (ko) | 활성 매트릭스 기판용 검사장치 및 방법과 결함 수정방법 | |
JPH01130131A (ja) | ドライバー内蔵アクティブマトリクスパネル | |
JP2003043980A (ja) | 表示装置の基板、アレイ基板、検査用回路、検査方法および液晶セルの製造方法 | |
JP2003157053A (ja) | 液晶表示装置およびその検査方法およびその検査装置 | |
JP4128677B2 (ja) | 液晶表示装置の検査方法 | |
JP3203971B2 (ja) | 表示素子 | |
JPH09152629A (ja) | 液晶表示装置のアレイ基板 | |
JPS63289589A (ja) | アクティブマトリクスパネルの検査方法 | |
JP2002258231A (ja) | 液晶表示基板、情報端末装置、液晶表示基板検査装置、液晶表示基板検査方法、およびプログラム | |
JPH01130132A (ja) | アクティブマトリクス基板 | |
JP2915725B2 (ja) | アクティブマトリクス基板の検査方法、検査装置及び欠陥修正方法 | |
JPH01130133A (ja) | ドライバー内蔵アクティブマトリクスパネル | |
JPH06118909A (ja) | アクティブマトリックス型表示装置及び故障している駆動トランジスタの検出方法 | |
JP3177702B2 (ja) | 液晶表示装置の検査方法 | |
JP3290602B2 (ja) | 液晶表示装置の検査方法および液晶表示装置 | |
KR100206568B1 (ko) | 게이트 라인 결함 감지 수단을 구비한 액정 표시 장치 | |
JPS63289590A (ja) | アクティブマトリクスパネルの検査方法 | |
JP3492203B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
JPH05307192A (ja) | アクティブマトリクス基板の検査方法及び検査装置 |