JPH06109446A - 配線パターン検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プリント基板やホトマスク等における配線パ
ターンの不良を検査するための配線パターン検査装置に
関するもので、デザインルール法に基づいた特徴比較に
おいて、比較判定時に対象となる候補が複数存在する場
合や細線化処理により特徴抽出を行う際にエッチングの
行程のばらつきによりスケルトン画像の発生が不安定と
なり虚報の原因となっていた。本発明は、配線パターン
の膨張収縮や歪および位置合わせ誤差などを吸収し虚報
が少なく安定した配線パターン検査装置を提供するする
ことを目的とする。 【構成】 プリント基板１０１上に形成された配線パタ
ーンを入力し、濃淡画像を２値画像に変換し、配線パタ
ーン特徴を特徴抽出手段１０６で抽出し、基準データを
予め記憶する基準情報記憶手段１０７と被検査基板から
の特徴を一時記憶する特徴情報記憶手段１０８からの双
方の特徴情報を、比較判定手段１０９で第１の判定処理
および第２の判定処理により比較判定し真の欠陥のみを
検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板やホトマ
スク等における配線パターンの不良を検査するための配
線パターン検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント基板等の不良の検査は人
間による目視検査に頼っていた。ところが、製品の小型
化や軽量化が進むにつれ、プリント基板の配線パターン
細密化や複雑化がより一層進んでいる。このような状況
の中で、人間が高い検査精度を保ちつつ非常に細密な配
線パターンを、しかも長時間続けることが難しくなって
きており、検査の自動化が強く望まれている。

【０００３】配線パターンの欠陥検出装置として、例え
ば、特開平０４−７３７５９号公報記載のものがある。
この欠陥検出方式は、デザインルール法に基づいた特徴
抽出方式で、２値画像を用いて配線パターンの背景側か
ら１画素ずつ削る処理をｎ回繰り返してスケルトン画像
を得スケルトン画像より端点およびＴ分岐の特徴点を抽
出し、予め良品基板で抽出した１つ以上の近傍の特徴を
付帯情報として付加した特徴情報と比較判定するもの
で、付帯情報に基づいて高速に検索できることおよび近
傍の特徴点との相対的な位置で比較することで位置合わ
せを容易すると説明している。

【０００４】図３１は従来の配線パターン検査装置の動
作を示すフローチャートである。図３１に基づき、以下
にその動作を説明する。

【０００５】（イ）まず、特徴抽出手段から検査データ
と特徴情報記憶手段から前学習データの付帯情報の示す
全ての学習データとの座標の相対値を演算する。

【０００６】（ロ）次に、特徴抽出手段からの検査デー
タと特徴情報記憶手段から前学習データの付帯情報の示
す全ての学習データとの座標の相対値および検出情報を
比較判定する。

【０００７】（ハ）比較した結果が一致していれば、学
習データに登録されている特徴情報であり欠陥としな
い。

【０００８】（ニ）比較した結果一致しなければ、欠陥
として通知または登録する。以上の処理を特徴情報デー
タがなくなるまで繰り返して行われるものである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、２値化
画像をデザインルール法に基づき配線パターンの欠陥を
検出する方式について説明した。この方法は、確実に欠
陥が検出でき有望な方法と言えよう。

【００１０】しかし、プリント基板の配線パターンは、
各製作工程において基板の変形（膨張収縮を含む）およ
び歪等により線幅や特徴点の座標にばらつきが発生する
ことは良く知られている。同様に、検査する際に、基準
データとの位置合わせの課題も見逃せない。また、比較
判定時に対象となる候補が複数存在する場合や細線化処
理により特徴抽出を行う際にエッチングの行程のばらつ
きによりスケルトン画像の発生が不安定となり虚報の原
因となっていた。

【００１１】本発明は上記課題に鑑み、配線パターンの
膨張収縮や歪および位置合わせ誤差などを吸収し虚報が
少なく安定した配線パターン検査装置を提供するもので
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明の技術的解決手段は、第１にプリント基板上に形
成された配線パターンを光電変換する画像入力手段と、
前記画像入力手段からの濃淡画像を２値画像に変換する
２値化手段と、前記２値化手段からの２値画像から配線
パターンの特徴を抽出する特徴抽出手段と、前記特徴抽
出手段からの配線パターンの特徴情報を一旦記憶する特
徴情報記憶手段と、前記特徴抽出手段からの配線パター
ンの特徴情報を予め良品基板から抽出し基準データとし
て記憶する基準情報記憶手段と、前記特徴情報記憶手段
からの被検査基板の配線パターンの特徴情報と前記基準
情報記憶手段からの良品基板の特徴情報とを、第１の判
定処理として被検査基板から抽出した注目特徴点ｔｎを
中心にある任意に定めた第１の判定領域に良品基板から
の特徴点ｒｎが対応するかを判定し、対応する特徴点が
存在しない場合は欠陥として登録し、対応する特徴点が
複数存在する場合は第２の判定処理として注目特徴点ｔ
ｎとすでに対応付けの終了した１つ以上の周辺特徴点ｔ
ｎ−ｉとの距離ｓｌを求め、良品基板のすでに周辺特徴
点ｔｎ−ｉと対応付けの終了した周辺特徴点ｒｎ−ｉか
らの距離ｓｌの点を中心に任意に定めた第２の判定領域
に注目特徴点ｔｎと対応する特徴点ｒｎが存在するかを
判定し、存在しない場合は欠陥として登録し真の欠陥の
みを検出する比較判定手段とから構成したものである。

【００１３】第２に比較判定手段において、第１の判定
処理として被検査基板から抽出した注目特徴点ｔｎを中
心にある任意に定めた第１の判定領域に良品基板からの
特徴点ｒｎが対応するかを判定し、対応する特徴点が存
在しない場合は欠陥として登録し、対応する候補点が複
数存在する場合は第２の判定処理として注目特徴点ｔｎ
と１つ以上の周辺特徴点との距離を求め、良品基板の各
候補点毎に周辺特徴点との距離の点を中心に任意の第２
判定領域に周辺特徴点が存在するかを判定し、特徴点が
存在する毎に点数を与え１番得点の高い候補点を対応す
る特徴点ｒｎとして選択するようにしたものである。

【００１４】第３に比較判定手段において、第１の判定
処理として被検査基板から抽出した注目特徴点ｔｎを中
心にある任意に定めた第１の判定領域に良品基板からの
特徴点ｒｎが対応するかを判定し、対応する特徴点が存
在しない場合は欠陥として登録し、対応する特徴点が複
数存在する場合は第２の判定処理として注目特徴点ｔｎ
とすでに対応付けの終了した１つ以上の周辺特徴点ｔｎ
−ｉとの距離ｓｌを求め、良品基板のすでに対応付けの
終了した周辺特徴点ｒｎ−ｉからの距離ｓｌの点を中心
に任意に定めた第２の判定領域に対応する特徴点ｒｎが
存在するかを判定し、存在しない場合は欠陥として登録
し、対応する候補点が複数存在し特定できない場合は第
３の判定処理として注目特徴点ｔｎと１つ以上の周辺特
徴点との距離を求め、良品基板の各候補点毎に周辺特徴
点との距離の点を中心に任意に定めた第３の判定領域に
周辺特徴点が存在するかを判定し、特徴点が存在する毎
に点数を与え１番得点の高い候補点を対応する特徴点ｒ
ｎとして選択するようにしたものである。

【００１５】第４に基準情報記憶手段において、前記特
徴抽出手段からの配線パターンの特徴情報として検出順
の一連の番号、座標、特徴の識別できるコード、複数の
周辺特徴点の一連番号からなるようにしたものである。

【００１６】第５に基準情報記憶手段の特徴情報の一つ
として登録する複数の周辺特徴点を得る際に、注目特徴
点を中心に領域を４分割しそれぞれの領域において一番
近い距離の特徴点を選択するようにしたものである。

【００１７】第６に比較判定手段において、プリント基
板の全体領域を任意のサイズに分割した特徴点マップを
設定し前記特徴抽出手段からの特徴情報を対応する領域
に登録するとともに、注目特徴点の周辺特徴点を特徴点
マップから検索するようにしたものである。

【００１８】第７に比較判定手段において、プリント基
板の全体領域を任意のサイズに分割した特徴点マップに
前記特徴抽出手段からの最初の特徴情報を対応する領域
に登録するとともに、分割された領域内に存在する２番
目以降の特徴点を登録する際は一つ前に検出された前記
基準情報記憶手段の特徴情報にマップ情報として特徴点
の一連番号を付加し、注目特徴点の周辺特徴点を特徴点
マップおよび前記基準情報記憶手段の特徴情報に付加さ
れたマップ情報から連鎖的に検索するようにしたもので
ある。

【００１９】第８に比較判定手段において、前記特徴情
報記憶手段からの注目特徴点を比較判定する際に周辺特
徴点を次検索候補として登録し、注目特徴点の比較判定
終了後次検索候補から次の注目特徴点を連鎖的に検索す
るようにしたものである。

【００２０】第９に比較判定手段において、すでに確定
した一つ以上の特徴点のずれ量の平均値で前記基準情報
記憶手段からの特徴点の座標を逐次補正するようにした
ものである。

【００２１】第１０に比較判定手段において、前記特徴
抽出手段で２値画像から細線化処理等によりスケルトン
画像に変換し端点や分岐点等の配線パターンの特徴を抽
出し、比較判定時に特徴点の任意の近傍領域内の特徴点
の組み合わせに応じて特徴の識別コードを付け直すよう
にしたものである。

【００２２】第１１に比較判定手段において、前記特徴
抽出手段で２値画像からｎ回の有限回の細線化処理等に
よりスケルトン画像に変換し端点や分岐点等の配線パタ
ーンの特徴を抽出する際に、ｎ−ｋ回目以降の細線化処
理時にその特徴点にフラグを付与し比較判定時にエラー
と判定された場合に除外するようにしたものである。

【００２３】

【作用】本発明は、第１に比較判定手段において、第１
の判定処理で被検査基板から抽出した注目特徴点ｔｎを
中心にある任意に定めた第１の判定領域に良品基板から
の特徴点ｒｎが対応するかを判定し、第２の判定処理で
注目特徴点ｔｎとすでに対応付けの終了した１つ以上の
周辺特徴点ｔｎ−ｉとの距離ｓｌを求め、良品基板のす
でに対応付けの終了した周辺特徴点ｒｎ−ｉからの距離
ｓｌの点を中心に任意に定めた第２の判定領域に対応す
る特徴点ｒｎが存在するかを判定することにより複数存
在する候補点を確実に対応付けできる。

【００２４】第２に比較判定手段において、第１の判定
処理として被検査基板から抽出した注目特徴点ｔｎを中
心にある任意に定めた第１の判定領域に良品基板からの
特徴点ｒｎが対応するかを判定し、対応する候補点が複
数存在する場合は第２の判定処理として注目特徴点ｔｎ
と１つ以上の周辺特徴点との距離を求め、良品基板の各
候補点毎に周辺特徴点との距離の点を中心に任意に定め
た第２判定領域に周辺特徴点が存在するかを判定し、特
徴点が存在する毎に点数を与え１番得点の高い候補点を
対応する特徴点ｒｎとして選択するようにしたもので複
数存在する候補点を確実に対応できる。

【００２５】第３に比較判定手段の第１の判定処理およ
び第２の判定処理において特定できなかった場合、第３
の判定処理として注目特徴点ｔｎと１つ以上の周辺特徴
点との距離を求め、良品基板の各候補点からの距離の点
を中心に任意に定めた第３の判定領域に特徴点が存在す
るかを判定し、特徴点が存在する毎に点数を与え１番得
点の高い候補点を対応する特徴点ｒｎとして選択するよ
うにしたもので複数存在する候補点を確実に対応付けで
きる。

【００２６】第４に配線パターンの特徴情報として検出
順の一連の番号、座標、特徴の識別できるコード、複数
の周辺特徴点の一連番号からなるようにしたもので周辺
点の検索を容易にするものである。

【００２７】第５に基準情報記憶手段の特徴情報の一つ
として登録する複数の周辺の特徴点を得る際に、注目特
徴点を中心に領域を４分割しそれぞれ領域において一番
近い距離の特徴点を選択するようにしたもので周辺特徴
点が一ヶ所に集中しないようにしたものである。

【００２８】第６に比較判定手段において、プリント基
板の全体領域を任意のサイズに分割した特徴点マップを
設定し前記特徴抽出手段からの特徴情報を対応する領域
に登録するとともに、注目特徴点の周辺特徴点を特徴点
マップから検索するようにしたもので高速に検索できる
ようにしている。

【００２９】第７に比較判定手段において、プリント基
板の全体領域を任意のサイズに分割した特徴点マップに
前記特徴抽出手段からの最初の特徴情報を対応する領域
に登録するとともに、分割された領域内に存在する２番
目以降の特徴点を登録する際は一つ前に検出された前記
基準情報記憶手段の特徴情報にマップ情報として特徴点
の一連番号を付加し、注目特徴点の周辺特徴点を特徴点
マップおよび前記基準情報記憶手段の特徴情報に付加さ
れたマップ情報から連鎖的に検索するようにしたもので
特徴点マップのメモリサイズの削減を図ったものであ
る。

【００３０】第８に比較判定手段において、前記特徴情
報記憶手段からの注目特徴点を比較判定する際に周辺特
徴点を次検索候補として登録し、注目特徴点の比較判定
終了後次検索候補から次の注目特徴点を連鎖的に検索す
るようにしたもので関連性の強いものから順次処理を行
うので効率的に処理できる。

【００３１】第９に比較判定手段において、すでに確定
した一つ以上の特徴点のずれ量の平均値で前記基準情報
記憶手段からの特徴点の座標を逐次補正するようにした
もので位置合わせを容易にしている。

【００３２】第１０に比較判定手段において、特徴抽出
手段で２値画像から細線化処理等によりスケルトン画像
に変換し端点や分岐点から配線パターンの特徴を抽出
し、比較判定時に特徴点の任意の近傍領域内の特徴点の
組み合わせに応じて特徴の識別コードを付け直すように
したものでエッチング工程のばらつきによる不安定性を
吸収し虚報のない検査装置を提供するものである。

【００３３】第１１に比較判定手段において、特徴抽出
手段で２値画像からｎ回の有限回の細線化処理等により
スケルトン画像に変換し端点や分岐点から配線パターン
の特徴を抽出する際に、ｎ−ｋ回目以降の細線化処理時
にその特徴点にフラグを付与し比較判定時にエラーと判
定された場合に除外するようにしたものでエッチング工
程のばらつきによる不安定性を吸収した虚報のない検査
装置を提供するものである。

【００３４】

【実施例】

（実施例１）以下、本発明の第１の実施例について説明
する。

【００３５】図１は本発明の配線パターン検査装置の１
実施例を示すブロック結線図である。図１において、１
０１はプリント基板、１０３は拡散照明装置１０４とＣ
ＣＤカメラのような撮影装置１０２を備えた画像入力手
段、１０５は濃淡画像を２値画像に変換する２値化手
段、１０６は２値画像から配線パターンの特徴を抽出す
る特徴抽出手段、１０７は配線パターンの特徴を予め良
品基板から抽出し基準データとして記憶する基準情報記
憶手段、１０８は被検査基板の特徴を抽出し一時的に記
憶する特徴情報記憶手段、１０９はＣＰＵ（セントラル
・プロセッサ・ユニット）１１０及びエラー情報メモリ
１１２から構成される比較判定手段である。

【００３６】以上のように構成された配線パターン検査
装置について、その動作を説明する。まず、検査対象で
あるプリント基板１０１を、ＣＣＤカメラ等を用いた画
像入力手段１０３で撮像し濃淡画像を得る。本実施例で
は、画像入力手段１０３としてＣＣＤラインセンサカメ
ラを用いた例について説明する。照明系は特に限定しな
いが、基材（ガラスエポキシ等）と銅パターンとの反射
輝度差の大きい６００ｎｍ付近の波長を用いると容易に
２値化できることは良く知られている。また、最近で
は、超高輝度ＬＥＤ（例えばＧａＡｌＡｓ ６６０ｎｍ
またはＩｎＧａＡｌＰ ６２０ｎｍ）が商品化されてお
り、ライン上に並べ多方向から照射するのも有効な照明
方法と言える。得られた濃淡画像を２値化手段１０５
で、予め濃度ヒストグラム等で求めた閾値レベルで２値
画像に変換する。ここでは、配線パターン側を”１”
に、基材側を”０”に２値化するものとする。欠陥抽出
手段１０６は、特に限定するものでないが画素単位で欠
陥が検出される検出方式であればよい。例えば、従来例
で示したように、配線パターンの背景から１画素ずつ削
りながら全画素に対して繰り返し細線化処理し、得られ
たスケルトン画像より配線パターンの特徴情報として座
標と特徴点の識別情報（端点や分岐）を抽出するもので
ある。基準情報記憶手段１０７は、予め良品基板で特徴
抽出手段１０６からの特徴情報を基準データとして記憶
するものである。特徴情報記憶手段１０８は、被検査基
板からの特徴情報を一時的に記憶するものである。比較
判定手段１０９は、ＣＰＵシステム１１０と欠陥情報を
記憶するエラー情報記憶メモリ１１２などから構成され
主にソフトウエア処理によって実現するもので、特徴情
報記憶手段１０８および基準情報記憶手段１０７からの
特徴情報を比較判定する際に、第１の判定処理で被検査
基板から抽出した注目特徴点ｔｎを中心にある任意に定
めた第１の判定領域を設定し良品基板からの特徴点ｒｎ
が対応するかを判定し、対応が付かない場合には第２の
判定処理で注目特徴点ｔｎとすでに対応付けの終了した
１つ以上の周辺特徴点ｔｎ−ｉとの距離ｓｌを求め、良
品基板のすでに対応付けの終了した特徴点ｒｎ−ｉから
の距離ｓｌの点を中心に任意の第２の判定領域を設定し
対応する特徴点ｒｎが存在するかを判定することにより
複数存在する候補点を確実に対応付けできる様にし真の
欠陥のみを抽出するものである。抽出された欠陥は、エ
ラー情報メモリ１１２に登録する。ここで距離とは、距
離と方向で表現されるものをいう。

【００３７】以上の動作を繰り返し、順次行うことによ
りプリント基板１０１の全面について検査することがで
きる。この一連の動作は、適当な信号により同期して行
うものである。

【００３８】次に、従来例と異なる比較判定手段１０９
について図２（ａ）〜（ｄ）、図３（ａ）（ｂ）、及び
図５を用いて詳しく説明する。図２（ａ）〜（ｄ）は、
良品基板と被検査基板の座標を示し、比較判定手段１０
９の第１の判定処理の概念を説明するもので、検出され
た注目特徴点ｔｎ(Xn,Yn)が良品基板の特徴点ｒｎと対
応するかどうかを比較判定するものである。基準情報の
座標系２０３において、注目特徴点ｔｎ２０２と同一の
座標(Xn,Yn)を中心に半径ｒ１の第１の判定領域２０５
に良品基板の特徴点ｒｎが対応するかを判定するもの
で、図２（ｂ）の様に良品基板の特徴点ｒｎ２０４が
１：１で対応していると判定できる。図２（ｃ）は、対
応する特徴点が存在しなかった場合を示しており、欠陥
としてエラー情報メモリ１１２に登録する。この場合、
座標が同じでも識別情報が異なっていればエラーとして
登録するものとする。

【００３９】図２（ｄ）は、対応する特徴点ｒｎ２０４
の他に特徴点２０６の複数の特徴点が存在する場合は第
１の判定処理では判定できないので第２の判定処理に委
ねるものとする。

【００４０】図３（ａ）（ｂ）は、比較判定処理１０９
の第２の判定処理の概念を説明するもので、前述した図
２（ｄ）の様に第１の判定領域内に複数の特徴点が存在
し第１の判定処理では判定できない場合に処理を行うも
のである。検出された注目特徴点ｔｎ３０２と既に対応
付けの終了した複数の特徴点３０３（ｔｎ−ｉ，ｔｎ−
ｊ）との距離ｓｌｉ３０４、ｓｌｊ３０５を求め、基準
情報の座標系３０６で既に対応付けの終了した特徴点３
０８（ｒｎ−ｉ，ｒｎ−ｊ）から先に求めたそれぞれの
距離を中心として半径ｒ２の第２の判定領域３１１を設
定する。そこで、第２の判定領域内に対応する特徴点ｒ
ｎが存在するかどうかで判定を行うものである。図３
（ｂ）では、第１の判定処理では判定領域内に２つの特
徴点が存在したが、第２の判定処理により対応する特徴
点として特徴点ｒｎ３０７が選ばれることになる。ここ
では任意に定めた判定領域を、半径ｒ１、ｒ２の範囲内
として説明したが矩形領域としても良い。次に、図５に
比較判定処理１０９の処理フローを示し説明する。処理
ａとして、注目特徴点を中心に複数の特徴情報を特徴情
報記憶手段１０８および基準情報記憶手段１０７から読
み込む。処理ｂとして、注目特徴点の同一座標点を中心
に第１の判定領域を設定する。処理ｃとして、任意に設
定した第１の判定領域内に良品基板の対応する特徴点が
存在するか比較判定する。対応する基準特徴点が存在す
れば処理ｇを実行し処理が終了するまで繰り返す。

【００４１】対応する点が存在しなけれ処理ｆを実行す
る。また、対応する点が複数存在する場合は処理ｄとし
て、注目特徴点と既に対応付けの終了した複数の周辺特
徴点との距離をそれぞれ求め、良品基板の対応する周辺
特徴点からのそれぞれの距離を中心に第２の判定領域を
求める。

【００４２】処理ｅとして、第２の判定領域内に良品基
板の対応する特徴点が存在するかを判定する。対応する
特徴点が存在すれば対応付け完了として処理ｇを実行
し、対応点がなければ欠陥として処理ｆを実行する。処
理ｆは、欠陥情報をエラー情報メモリに登録する。

【００４３】処理ｇは、判定処理が終了かを判定するも
ので、例えば特徴情報記憶手段の全ての特徴情報につい
て処理が終了した場合等である。そうでなければ、開始
点に戻る。

【００４４】以上の処理を特徴情報記憶手段からの特徴
情報データがなくなるまで繰り返して行われる。処理ｈ
は、前の処理で説明しなかったが対応付けの終了した特
徴点は基準情報記憶手段の特徴情報に照合フラグが付与
されているもので、最後の処理として基準情報記憶手段
の全特徴情報の照合フラグをチェックし、照合フラグが
付与されていない特徴情報をエラーとしてエラー情報メ
モリに登録し、終了する。

【００４５】なお、本実施例では、特徴情報記憶手段か
らの特徴情報データを注目特徴点として説明したが、基
準情報記憶手段からの基準情報データを注目特徴点とし
て基準にしても結果は同じである。

【００４６】（実施例２）以下、本発明の第２の実施例
について説明する。

【００４７】図３（ｃ）および図３（ｄ）は第２の実施
例を示す比較判定手段１０９における第２の判定処理の
概念図、図５は比較判定手段１０９の処理フローであ
る。比較判定手段１０９の第２の判定処理において、注
目特徴点と１つ以上の周辺特徴点との距離を求め、良品
基板の各候補点からの距離の点を中心に任意に定めた第
２の判定領域に特徴点が存在するかを判定し、特徴点の
存在する毎に点数を与え一番得点の高い候補点を対応す
る特徴点として選択するようにしたものである。比較判
定手段１０９において、第１の判定処理は（実施例１）
と同一であるので説明を省略し、第２の判定処理につい
て図３（ｃ）（ｄ）および図６を用いて詳しく説明す
る。

【００４８】第２の判定処理は、前述した図２（ｄ）の
様に第１の判定領域内に複数の特徴点が存在し第１の判
定処理では判定できない場合に処理を行うものである。
図３（ｃ）および図３（ｄ）において、注目特徴点３１
４と周辺特徴点３１５との距離ｌ１、ｌ２、ｌ３をそれ
ぞれ求め、基準情報の座標系３１６で各候補点３１７お
よび３１８から先に求めた距離ｌ１、ｌ２、ｌ３の点を
中心に第２の判定領域３２１を設定し、各候補点毎に第
２の判定領域内に対応する周辺特徴点が幾つ存在するか
で点数を与え得点の１番高い候補点を対応する特徴点と
するものである。 図３（ｄ）の実施例では、候補点３
１７の判定領域には３個の周辺特徴点が存在し、候補点
３１８の判定領域内には２個の周辺特徴点が存在するた
めに得点の高い候補点３１７が対応する特徴点として選
択されるものである。

【００４９】次に、図６に比較判定処理１０９の処理フ
ローを示し説明する。処理ａとして、注目特徴点を中心
に複数の特徴情報を特徴情報記憶手段１０８および基準
特徴情報記憶手段１０７から読み込む。処理ｂとして、
注目特徴点の同一座標点を中心に第１の判定領域を設定
する。処理ｃとして、設定した判定領域内に良品基板の
対応する特徴点が存在するか比較判定する。対応付けす
る特徴点が存在すれば処理ｇを実行し処理を繰り返す。
対応する点が存在しなけれ処理ｆを実行する。また、対
応する候補点が複数存在する場合は第２の判定処理ｄと
して、注目特徴点と１つ以上の周辺特徴点との距離をそ
れぞれ求め、良品基板の各候補点からのそれぞれの距離
を中心に第２の判定領域をそれぞれ求める。処理ｅとし
て、特徴点がそれぞれに設定された判定領域内に存在す
れば点数をそれぞれ与える。処理ｉは、得点の高い候補
点を対応する特徴点として選択する。また、得点が同点
等の場合は候補点の座標（距離）の近い方を選択するも
のとし、処理ｇを実行する。処理ｆは、欠陥情報をエラ
ー情報メモリ１１２に登録する。処理ｇは、判定処理が
終了かを判定するもので、例えば特徴情報記憶手段１０
８の全ての特徴情報について処理が終了した場合等であ
る。そうでなければ、開始点に戻る。

【００５０】以上の処理を特徴情報記憶手段１０８から
の特徴情報データがなくなるまで繰り返して行われる。
処理ｈは、前の処理で説明しなかったが対応付けの終了
した特徴点は基準情報記憶手段の特徴情報に照合フラグ
が付与されているもので、最後の処理として基準情報記
憶手段の全特徴情報の照合フラグをチェックし、照合フ
ラグが付与されていない特徴情報をエラーとしてエラー
情報メモリに登録し、終了する。

【００５１】なお、本実施例では、第２の判定処理を行
う際に注目特徴点と１つ以上の周辺特徴点との距離をそ
れぞれ求め、良品基板の各候補点からのそれぞれの距離
を中心に第２の判定領域をそれぞれ求めているが、注目
特徴点と既に対応付けの終了した周辺特徴点との距離を
求め同様の処理を行っても良い。この場合、精度は高く
なるが、周辺特徴点の数が減少することも考えられる。

【００５２】（実施例３）以下、本発明の第３の実施例
について説明する。図４は第２の実施例を示す比較判定
手段１０９における概念図、図７は比較判定手段１０９
の処理フローである。本実施例は、（実施例１）で説明
した比較判定手段１０９の第１の判定処理および第２の
判定処理において特定できなかった場合、第３の判定処
理として注目特徴点と１つ以上の周辺特徴点との距離を
求め、良品基板の候補点からの距離ｓｌの点を中心に任
意に定めた第３の判定領域に特徴点が存在するかを判定
し、特徴点が存在する毎に点数を与え一番得点の高い候
補点を対応する特徴点として選択するようにしたもので
ある。

【００５３】比較判定手段１０９において、第１の判定
処理および第２の判定処理は（実施例１）と同様である
ので説明は省略し、第３の判定処理について説明する。

【００５４】第３の判定処理は、図４に示すように第２
の判定処理において第２の判定領域３１１内に２つの候
補点３０７、３２２が存在し対応する特徴点と特定でき
ない場合に判定するもので、図７にその処理フローを示
す。全体の処理の流れとして第１の判定処理６０１、第
２の判定処理６０２および第３の判定処理６０３の３段
階で欠陥判定を行うもので、先に説明したように第１の
判定処理６０１および第２の判定処理６０２は（実施例
１）と同様であるので説明は省くものとする。

【００５５】処理ａは第１の判定処理、処理ｂは第２の
判定処理を行う。処理ｃは、第２の判定処理で特定でき
なかった場合に処理するもので、注目特徴点と１つ以上
の周辺特徴点との距離をそれぞれ求め、良品基板の各候
補点からのそれぞれの距離を中心に第３の判定領域を求
める。処理ｄとして、特徴点がそれぞれに設定された判
定領域内に存在すれば点数をそれぞれ与える。処理ｅ
は、得点の高い候補点を対応する特徴点として選択す
る。また、得点が同点等の場合は、候補点の座標の近い
方を選択し、処理ｇを実行する。処理ｆは、欠陥情報を
エラー情報メモリ１１２に登録する。処理ｇは、判定処
理が終了かを判定するもので、例えば特徴情報記憶手段
１０８の全ての特徴情報について処理が終了した場合等
である。そうでなければ、開始点に戻る。

【００５６】以上の処理を特徴情報記憶手段１０８から
の特徴情報データがなくなるまで繰り返して行われる。
処理ｈは、前の処理で説明しなかったが対応付けの終了
した特徴点は基準情報記憶手段の特徴情報に照合フラグ
が付与されているもので、最後の処理として基準情報記
憶手段の全特徴情報の照合フラグをチェックし、照合フ
ラグが付与されていない特徴情報をエラーとしてエラー
情報メモリに登録し、終了する。

【００５７】（実施例４）以下、本発明の第４の実施例
について説明する。図８は本発明の第４の実施例を示す
基準情報記憶手段１０７の特徴情報の形式である。基準
情報記憶手段１０７の特徴情報は、予め良品基板を用い
て特徴抽出手段１０６から抽出された配線パターンの特
徴を検出順の一連の番号、座標、特徴の識別できるコー
ドおよび複数の周辺点の一連番号の形式に変換して登録
するものである。図８では、特徴点数を４桁、周辺点数
を近傍１〜近傍４とした実施例を示している。

【００５８】（実施例５）以下、本発明の第５の実施例
について説明する。図９（ａ）は本発明の第５の実施例
を示すもので、基準情報記憶手段１０７の特徴情報の一
つとして登録する複数の周辺の特徴点を得る際の領域分
割を示す図である。

【００５９】図９（ａ）では、注目特徴点を中心に領域
を４分割してそれぞれの領域で一番近い特徴点を選択す
るもので、＋字に４分割した実施例を示している。注目
特徴点８０５に対して、領域１〜領域４に分割し、それ
ぞれの領域から一番近い特徴点を周辺特徴点８０６、８
０７として登録するものである。

【００６０】また、分割する領域を十字以外に図８
（ｂ）に示すように注目特徴点に対して領域を４５゜、
１３５゜、２２５゜、３１５゜の×字の４分割してそれ
ぞれ一番近い特徴点を選択してもよい。

【００６１】（実施例６）以下、本発明の第６の実施例
について説明する。図１０（ａ）は本発明の第６の実施
例を示す比較判定手段の特徴点マップの構成図を示すも
ので、以下に説明する。

【００６２】図１０（ａ）において、被検査基板のＭ×
Ｍの検査基板全領域９００を任意サイズの格子状の分割
領域９０１に分割する。特徴点マップは、図１０（ｂ）
のメモリ構成に示す如く、分割した領域である分割座標
９０５毎にその領域に検出された特徴点を登録する登録
特徴点領域９０６から構成されている。特徴点マップ
は、比較判定手段１０９において注目特徴点領域９０２
およびその注目特徴点領域を含む参照領域９０３を設定
し、例えば図８で示すような基準情報データに変換する
際の注目特徴点の周辺特徴点を選択する場合や被検査基
板での周辺特徴点を検索する場合にその特徴点を高速に
検索するものである。

【００６３】（実施例７）以下、本発明の第７の実施例
について説明する。第７の実施例は本発明の第６の実施
例の改良したもので、特徴点マップのメモリ容量を削減
を図るものである。図１０、図１１および図１２を用い
て、以下に説明する。

【００６４】特徴点マップのメモリ容量の削減を図るた
めに、第１に特徴点マップのメモリ構成を図１１（ｂ）
のように特徴点の登録をその領域の最初の特徴点のみを
登録する。第２に図１２に示すように、基準情報データ
にマップ１００１という項目を追加し同一の分割領域内
の特徴点は発生順に一つ後の特徴点の一連番号を記述す
る。これにより、図１２に示すように特徴点０００２が
最初の特徴点で特徴マップに登録されているもので、同
一分割領域内の特徴点０００４→特徴点０００９→特徴
点００２０→の検索順序１００２で示すように連鎖的に
検索しようというものである。これにより、実施例６と
同じ効果があり特徴点マップのメモリ容量を削減するこ
とができる。

【００６５】（実施例８）以下、本発明の第８の実施例
について説明する。図１３は本発明の第８の実施例の検
査を行う順番を示す概念図であり以下に説明する。

【００６６】比較判定手段１０９で注目特徴点の比較判
定を行う際に、発生順に注目特徴点を決めるのではなく
図１３に示すような最初の注目特徴点１１０１を比較判
定する時に参照した周辺特徴点を次候補特徴点１１０２
として登録し、最初の注目特徴点１１０１の判定が終了
したら次候補特徴点１１０２の中から注目特徴点として
選ぶもので、更に次候補特徴点１１０２から参照された
周辺特徴点を次々候補特徴点１１０３として登録し参照
された周辺特徴点を連鎖的に処理をしていくもので関連
する特徴点を用いながら処理を行うために効率的に判定
処理を行うことができる。

【００６７】なお、発生順に処理を行うと、改めて周辺
特徴点のデータを収集生成したり、近傍にあるにも関わ
らず遠くの特徴点の処理を行うなど無駄が多い。

【００６８】（実施例９）以下、本発明の第９の実施例
について説明する。図１４は本発明の第９の実施例を説
明する概念図であり以下に説明する。図１４において、
基準情報データの特徴点を、既に対応付けの終了した特
徴点の座標のズレ量から座標を補正して高精度に比較判
定しようというもので、既に確定した基準情報データの
特徴点１１０４、１１０６と特徴情報データの特徴点１
１０７、１１０５の座標ズレを（数１）で座標の補正量
を求め基準データの特徴点１１０８の座標を補正するも
のである。

【００６９】

【数１】

【００７０】なお、この補正処理は、比較判定手段１０
９で逐次行われ、プリント基板１０１の膨張収縮やエッ
チングのムラ等による位置誤差を補正し精度の良い検査
を行うものである。

【００７１】また、（数１）では座標補正の演算を平均
値で説明したが、最小値や最大値あるいは注目特徴点の
候補点との距離に応じた重み付け等を行っても良い。

【００７２】（実施例１０）以下、本発明の第１０の実
施例について説明する。図１５は第１０の実施例を示す
ブロック構成図、図２４は処理を具体的に示す図で以下
に説明する。図１５は特徴抽出手段１０６の具体的な一
実施例を示すブロック図である。

【００７３】まず、特徴抽出手段１０６は、２値化手段
１０５からの２値画像１２０３を入力し配線パターンの
外側より連結性を保ちながら一画素づつ削る細線化処理
１２０１を施しスケルトン画像を得、特徴抽出処理１２
０２で端点やＴ分岐などの特徴情報データ１２０４を得
るものである。得られた特徴情報データ１２０４は、比
較判定手段１０９により、比較判定処理に先だって処理
し、特徴点の近傍領域に他の特徴点が存在する時は後述
する特徴コードの組み合わせにより特徴情報データの書
換を行い特徴情報記憶手段１０８に記憶するものであ
る。また、図１５には記述していないが基準情報データ
作成時には、同じく特徴情報データの書換を行い基準情
報記憶手段に記憶するものである。

【００７４】次に、特徴抽出手段１０６および比較判定
手段１０９について詳しく説明する。特徴抽出手段１０
６は、細線化処理１２０１と特徴抽出処理１２０２から
構成されており、図１６〜図２１を用いて説明する。図
１６は、細線化処理の詳細ブロック図を示すもので、２
値化手段１０５からの２値画像１２０５を入力し配線パ
ターンの外側から連結性を保ちながら一画素削る細線化
処理ユニットを実時間で処理するためにユニット＃１
（１２０６）〜ユニット＃ｎ（１２０９）のｎ段パイプ
ラインに接続し、スケルトン画像１２１１を出力するも
のである。細線化処理は、線図形処理の一手法と良く知
られた画像処理であり、例えば、「田村：”細線化法に
ついての諸考察”．電子情報通信学会ＰＲＬ研究会資
料、ＰＲＬ７５ー６６（１９７５）」に詳しく述べられ
ている。また、従来例で説明した特開平０４−７３７５
９号公報にも詳しく述べられているので説明は省略す
る。ただし、一般的に細線化処理と言うのはパターンの
外側から一画素づづ削り完全に一画素幅の芯線になるま
で処理を行うが、ここでは実時間で処理することと経済
的な点からｎ回の有限回の処理を行うものである。

【００７５】特徴抽出処理１２０２は、細線化処理１２
０１からのスケルトン画像を入力し、スケルトン画像か
ら端点やＴ分岐の特徴を抽出するもので、図１７に特徴
抽出処理の詳細ブロック図を示し以下に説明する。図１
７において、細線化処理１２０１からのスケルトン画像
１２１５を入力しラインメモリ１２２１と走査窓１２１
６およびＬＵＴ１（ルックアップテーブル）１２１７に
より３×３のマスク処理を行う。ＬＵＴ１（１２１７）
には、図１９、図２０および図２１に示すようなパター
ンを検出するデータが書き込まれており端点検出１２１
８やＴ分岐検出１２１９および十字フラグの各検出信号
を出力する。また、同期信号１２２４を基に座標発生器
１２２５により端点やＴ分岐等の特徴識別コードと座標
１２２６を特徴情報データ１２２７として出力するもの
である。

【００７６】図１８に、座標（Ｘ：主走査、Ｙ：副走
査）と特徴識別コードからなる特徴情報データの形式の
一実施例を示す。十字フラグは、後述するように十字分
岐とＴ分岐とを区別するためのもので分岐は全てＴ分岐
として検出されるが十字分岐の時のみ十字フラグが検出
される。次に、比較判定手段１０９について説明するも
ので、図２２にその処理フローを示す。この処理は、比
較判定処理に先だって処理するもので、特徴点の近傍領
域に他の特徴点が存在する時は後述する特徴コードの組
み合わせにより特徴情報データの書換を行い特徴情報記
憶手段１０８に記憶するもので以下に説明する。

【００７７】処理ｉは、欠陥抽出手段からの特徴情報を
入力し一時記憶する。処理ｊは、注目特徴点の任意の近
傍領域に他の特徴点があるかチェックする。処理ｋは、
なければそのまま特徴情報記憶手段に記憶する。処理ｌ
は、他の特徴点があれば、特徴コードの組み合わせによ
って特徴情報の書換え後、特徴情報記憶手段に記憶す
る。

【００７８】なお、処理ａから処理ｈは、図５または図
６に示すフローに従って比較判定処理を行うものであ
る。特徴識別コードの組み合わせと、どう書き換えるか
についてはその一実施例を図２４〜図２９に記述する。
ただし、図では概念を説明するためにスケルトン画像を
書き換えているように記述しているが、実際には特徴情
報データの書換を行っている。

【００７９】例えば、図２４の実施例１では近傍領域内
１３０２にＴ分岐（３分岐）が１個と端点が１個検出さ
れたもので特徴点がなかったものとして削除するもの
で、配線パターンのエッジの形状によりヒゲが発生した
もので欠陥ではないためである。また、図２５、図２７
および図２８も同様である。図２９の場合は、配線パタ
ーンのエッジ形状により＋字（４分岐）になったりＴ分
岐（３分岐）が２個検出されたり不安定となるために、
４分岐が検出された場合は３分岐×２に分割して書き換
えるものである。

【００８０】なお、本実施例では、比較判定処理に先立
って処理をする実施例について説明したが、処理ｆのエ
ラー情報メモリ１１２に登録する前に特徴情報データの
識別コードの書き換えを行っても同様の効果が得られ
る。

【００８１】（実施例１１）以下、本発明の第１１の実
施例について説明する。図１５は本発明の第１１の実施
例を示すブロック構成図、図３０は処理を具体的様子を
示す図で以下に説明する。

【００８２】まず、図１５は上述の如く、欠陥検出手段
１０６の具体的な一実施例を示すブロック図である。

【００８３】欠陥検出手段１０６は、２値化手段１０５
からの２値画像１２０３を入力し、配線パターンの外側
より連結性を保ちながら一画素づつ削る細線化処理１２
０１を施しスケルトン画像を得るとともに、細線化処理
のｎ−ｋ段目以降より境界フラグを同時に出力する。特
徴抽出処理１２０２で端点やＴ分岐および境界フラグな
どの特徴情報データ１２０４を得るものである。得られ
た特徴情報データ１２０４は、比較判定手段１０９によ
り比較判定処理を行い、エラーを検出した際に境界フラ
グをチェックし検出されればエラーから除外するもので
ある。図１６は細線化処理の詳細ブロック図を示すもの
で、２値化手段１０５からの２値画像１２０５を入力
し、配線パターンの外側から連結性を保ちながら一画素
削る細線化処理ユニットを実時間で処理するためにユニ
ット＃１（１２０６）〜ユニット＃ｎ（１２０９）のｎ
段パイプラインに接続し、スケルトン画像１２１１を出
力するものである。また、同時に細線化処理ユニット＃
ｎ−ｋ（１２０８）からスケルトン画像１２１３を分岐
させ、最終段の細線化処理ユニット＃ｎのスケルトン画
像とタイミングを合わせるための遅延メモリ１２１０を
介して出力する。図１７は特徴抽出処理の詳細ブロック
図を示すもので、細線化処理１２０１からのスケルトン
画像１２１５を入力しラインメモリ１２２１と走査窓１
２１６およびＬＵＴ（ルックアップテーブル）１２１７
により３×３のマスク処理を行い、端点検出１２１８や
Ｔ分岐検出１２１９および端点検出とＴ分岐検出の論理
和信号である検出信号１２２８等の特徴を抽出する。ま
た、遅延されたスケルトン画像１２２１を入力し、ライ
ンメモリ１２２２と走査窓１２２９およびＬＵＴ２（１
２３０）によりマスク処理を行う。ここでのＬＵＴ２
（１２３０）は、走査窓１２２９の内容とＬＵＴ１（１
２１７）からの検出信号１２２８により境界フラグ検出
１２２０を出力するものである。ＬＵＴ２（１２３０）
は、細線化処理＃ｎ−ｋからの遅延されたスケルトン画
像１２２１から一画素幅であるかどうかをとＬＵＴ１
（１２１７）からの検出信号１２２８の有無から一画素
幅で検出信号のある場合は境界フラグ検出１２２０は”
０”とし一画素幅でなく検出信号のある場合は境界フラ
グ検出１２２０は”１”とする。端点検出１２１８やＴ
分岐検出１２１９および境界フラグ検出１２２０等の特
徴識別コードとともに同期信号１２２４を基に座標発生
器１２２５により発生した座標１２２６を特徴情報デー
タ１２２７として出力する。次に、比較判定手段１０９
について説明するもので、図２３にその処理フローを示
す。

【００８４】図２３において、処理ａ〜処理ｅおよび処
理ｇ〜処理ｈの比較判定処理は（実施例１）と同様であ
るので説明は省略する。（実施例１）と異なるｆの処理
についてのみ、以下説明する。

【００８５】まず、ａ〜ｅまでの比較判定処理で欠陥を
検出し、ｆの処理である特徴情報データに境界フラグが
付与されていればその特徴情報データは欠陥として登録
せず、境界フラグが付与されていない特徴情報データは
エラーとしてエラー情報記憶メモリ１１２に登録するも
のである。

【００８６】図３０に具体的な実施例を示し説明する。
図１４（ａ）、（ｂ）は端点の実施例を示しており、有
限回の細線化処理でプリント基板の製作工程のばらつき
によりスケルトン画像が完全に一画素幅になる場合１４
０１とならない場合１４０２が発生する。

【００８７】また、図３０（ｃ）、（ｄ）の場合でも、
完全に一画素幅となりＴ分岐として検出される場合と一
画素幅とならずにＴ分岐として検出されない場合があり
検査装置としては非常に不安定となる。このために、有
限回の細線化処理においては、一画素幅になる境界条件
付近の特徴点には境界フラグを付与し比較判定する際に
欠陥データから除外するようにすることにより虚報を抑
制することができる。

【００８８】

【発明の効果】以上述べてきたように本発明の効果は、
第１に比較判定手段において、第１の判定処理で被検査
基板から抽出した注目特徴点ｔｎを中心にある任意に定
めた第１の判定領域に良品基板からの特徴点ｒｎが対応
するかを判定し、第２の判定処理で注目特徴点ｔｎとす
でに対応付けの終了した１つ以上の特徴点ｔｎ−ｉとの
距離ｓｌを求め、良品基板のすでに対応付けの終了した
周辺特徴点ｒｎ−ｉからの距離ｓｌの点を中心に任意の
第２の判定領域に対応する特徴点ｒｎが存在するかを判
定することにより複数存在する候補点を確実に対応付け
でき信頼性の高い検査装置を提供することが可能となり
その効果は大なるものがある。

【００８９】第２に比較判定手段の第２の判定処理にお
いて、注目特徴点と１つ以上の周辺特徴点との距離を求
め、良品基板の各候補点からの距離の点を中心に任意の
第２の判定領域に特徴点が存在するかを判定し、存在す
る特徴点毎に点数を与え一番得点の高い候補点を対応す
る特徴点として選択するようにしたもので複数存在する
候補点を確実に対応付けでき信頼性の高い検査装置を提
供することが可能となる。

【００９０】第３に比較判定手段の第１の判定処理およ
び第２の判定処理において特定できなかった場合、第３
の判定処理として注目特徴点と１つ以上の周辺特徴点と
の距離を求め、良品基板の候補点からの距離ｓｌの点を
中心に任意の第３の判定領域に特徴点が存在するかを判
定し、存在した特徴点毎に点数を与え一番得点の高い候
補点を対応する特徴点として選択するようにしたもので
複数存在する候補点を確実に対応付けでき信頼性の高い
検査装置を提供することが可能となる。

【００９１】第４に配線パターンの特徴情報として検出
順の一連の番号、座標、特徴の識別できるコード、複数
の周辺の特徴点の一連番号からなるようにしたもので周
辺点の検索を容易にするもので効率がよく高速な検査装
置を提供することが可能となりその効果は大なるものが
ある。

【００９２】第５に基準情報記憶手段の特徴情報の一つ
として登録する複数の周辺の特徴点を得る際に、注目特
徴点に対して領域を４分割しそれぞれから一番近い距離
の特徴点を選択するようにしたもので周辺特徴点が一ヶ
所に集中しないようにしたもので信頼性の高い検査装置
を提供することが可能となりその効果は大なるものがあ
る。また、注目特徴点に対して領域を４５゜、１３５
゜、２２５゜、３１５゜の４分割しそれぞれから一番近
い距離の特徴点を選択するようにしたもので複数のＣＣ
Ｄカメラで領域を分割して検査する時の周辺特徴点の分
散を避けるためであり、信頼性の高い検査装置を提供す
ることが可能となりその効果は大なるものがある。

【００９３】第６に比較判定手段において、プリント基
板の全体座標を任意のサイズに分割した特徴点マップに
前記特徴抽出手段からの特徴情報を対応する領域に登録
するとともに、注目特徴点の周辺特徴点を特徴点マップ
から検索するようにしたもので周辺特徴点を検索する際
に総当たりで検索する必要がなく高速に検索できるため
に高速な検査装置を提供することが可能となりその効果
は大なるものがある。

【００９４】第７に比較判定手段において、プリント基
板の全体座標を任意のサイズに分割した特徴点マップに
前記特徴抽出手段からの最初の特徴情報を対応する領域
に登録するとともに、分割領域内に存在する２番目以降
の特徴点は一つ前に検出された特徴情報に一連番号を付
加し、注目特徴点の周辺特徴点を特徴点マップおよび特
徴情報に付加された一連番号から連鎖的に検索するよう
にしたもので特徴点マップのメモリサイズの削減を図っ
たものであり、小型で高速な検査装置を提供することが
可能となりその効果は大なるものがある。

【００９５】第８に比較判定手段において、前記特徴情
報記憶手段からの注目特徴点を比較判定する際に周辺特
徴点を次検索候補として登録し、注目特徴点の比較判定
終了後次検索候補から次の注目特徴点を連鎖的に検索す
るようにしたもので関連性の強いものから順次処理を行
うので効率的に処理できるために高速で信頼性の高い検
査装置を提供することが可能となりその効果は大なるも
のがある。

【００９６】第９に比較判定手段において、すでに確定
した一つ以上の特徴点のずれ量の平均値で前記基準情報
記憶手段からの特徴点の座標を逐次補正するようにした
もので位置合わせが容易となりかつ工程上のばらつきを
吸収し、安価で信頼性の高い検査装置を提供することが
可能となりその効果は大なるものがある。

【００９７】第１０に特徴抽出手段において、２値画像
から細線化処理等によりスケルトン画像に変換し端点や
分岐点から配線パターンの特徴を抽出する際に、特徴点
の任意の近傍領域内の特徴点の組み合わせに応じて特徴
の識別コードを付け直すようにしたものでエッチング工
程のばらつきによる不安定性を吸収し虚報のない信頼性
高い検査装置を提供するものでありその効果は大なるも
のがある。

【００９８】第１１に特徴抽出手段において、２値画像
からｎ回の有限回の細線化処理等によりスケルトン画像
に変換し端点や分岐点から配線パターンの特徴を抽出す
る際に、ｎ−ｋ回目以降の細線化処理時にその特徴点に
フラグを付与し比較判定時にエラーと判定された場合に
除外するようにしたものでエッチング工程のばらつきに
よる不安定性を吸収した虚報のない信頼性の高い検査装
置を提供するものでありその効果は大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例における配線パターン検
査装置の基本ブロック結線図

【図２】同第１の実施例における第１の判定処理を説明
する概念図

【図３】同第１、第２の実施例における第２の判定処理
を説明する概念図

【図４】同第３の実施例における第３の判定処理を説明
する概念図

【図５】同第１の実施例における比較判定手段の処理フ
ロー図

【図６】同第２の実施例における比較判定手段の処理フ
ロー図

【図７】同第３の実施例における比較判定手段の処理フ
ロー図

【図８】同第３の実施例における要部である基準情報記
憶手段の特徴情報の形式を示す概念図

【図９】同第４、第５の実施例における周辺特徴点の領
域分割を示す概念図

【図１０】同第６の実施例における比較判定手段の特徴
点マップの概念図

【図１１】同第６、第７の実施例における比較判定手段
の特徴点マップのメモリ概念構成図

【図１２】同第７の実施例における比較判定手段の特徴
点マップの連鎖的検索を示す図

【図１３】同第８の実施例における比較判定手段の検査
を行う順番を示す概念図

【図１４】同第９の実施例における比較判定手段の座標
の補正を示す概念図

【図１５】同第１０の実施例における欠陥抽出手段のブ
ロック結線図

【図１６】同第１０の実施例における細線化処理の詳細
ブロック結線図

【図１７】同第１０の実施例における特徴抽出処理の詳
細ブロック結線図

【図１８】同第１０の実施例における特徴情報データに
形式を示す図

【図１９】同第１０の実施例における特徴抽出処理の端
点検出パターン図

【図２０】同第１０の実施例における特徴抽出処理のＴ
分岐検出パターン図

【図２１】同第１０の実施例における特徴抽出処理の十
字分岐検出パターン図

【図２２】同第１０の実施例における比較判定手段の処
理フロー図

【図２３】同第１１の実施例における比較判定手段の処
理フロー図

【図２４】同第１０の実施例における特徴識別コードの
書換の概念図

【図２５】同第１０の実施例における特徴識別コードの
書換の概念図

【図２６】同第１０の実施例における特徴識別コードの
書換の概念図

【図２７】同第１０の実施例における特徴識別コードの
書換の概念図

【図２８】同第１０の実施例における特徴識別コードの
書換の概念図

【図２９】同第１０の実施例における特徴識別コードの
書換の概念図

【図３０】同第１１の実施例における有限個の細線化に
対する具体的な概念図

【図３１】従来の配線パターン検査装置の処理フロー図

【符号の説明】

１０１ プリント基板 １０２ ＣＣＤカメラ １０３ 画像入力手段 １０４ 照明手段 １０５ ２値化手段 １０６ 特徴抽出手段 １０７ 基準情報記憶手段 １０８ 特徴情報記憶手段 １０９ 比較判定手段 １１０ ＣＰＵシステム １１２ エラー情報記憶メモリ ２０１ 特徴情報の座標系 ２０２ 注目特徴点 ２０５ 第１の判定領域 ２０６ 周辺特徴点 ３０２ 注目特徴点 ３０３ 対応付けの終了した特徴点 ３０７ 第２の判定領域 ８０１〜８０４ 分割領域 ８０８〜８１１ 分割領域 ９０１ 分割領域 ９０２ 注目特徴点領域 ９０３ 参照領域 ９０４ 分割座標 ９０５ 分割座標 ９０６ 登録特徴点領域 １００１ マップ １００２ 検索順序 １１０１ 注目特徴点 １１０２ 次候補特徴点 １１０３ 次々候補特徴点 １２０１ 細線化処理 １２０２ 特徴抽出処理 １２０３ ２値画像 １２０４ 特徴情報データ １２０６〜１２０９ 細線化処理ユニット １２１０ 遅延メモリ １２１１ スケルトン画像 １２１６ 走査窓 １２１７ ＬＵＴ １２２５ 座標発生器 １３００ 配線パターン １３０１ スケルトン １３０２ 近傍領域 １３０３〜１３０７ 対象特徴点 １４００ 配線パターン １４０１ スケルトン １４０２〜１４０３ 対象特徴点

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０６Ｆ 15/70 ４５５ Ｚ 8837−5Ｌ Ｈ０１Ｌ 21/027 21/66 Ｊ 7377−4Ｍ Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｑ 6921−4Ｅ (72)発明者 松崎 高年 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プリント基板上に形成された配線パター
   ンを光電変換する画像入力手段と、前記画像入力手段か
   らの濃淡画像を２値画像に変換する２値化手段と、前記
   ２値化手段からの２値画像から配線パターンの特徴を抽
   出する特徴抽出手段と、前記特徴抽出手段からの配線パ
   ターンの特徴情報を一旦記憶する特徴情報記憶手段と、
   前記特徴抽出手段からの配線パターンの特徴情報を予め
   良品基板から抽出し基準データとして記憶する基準情報
   記憶手段と、前記特徴情報記憶手段からの被検査基板の
   配線パターンの特徴情報と前記基準情報記憶手段からの
   良品基板の特徴情報とを、第１の判定処理として被検査
   基板から抽出した注目特徴点ｔｎを中心にある任意に定
   めた第１の判定領域に良品基板からの特徴点ｒｎが対応
   するかを判定し、対応する特徴点が存在しない場合は欠
   陥として登録し、対応する特徴点が複数存在する場合は
   第２の判定処理として注目特徴点ｔｎとすでに対応付け
   の終了した１つ以上の周辺特徴点ｔｎ−ｉとの距離ｓｌ
   を求め、良品基板のすでに周辺特徴点ｔｎ−ｉと対応付
   けの終了した周辺特徴点ｒｎ−ｉからの距離ｓｌの点を
   中心に任意に定めた第２の判定領域に注目特徴点ｔｎと
   対応する特徴点ｒｎが存在するかを判定し、存在しない
   場合は欠陥として登録し真の欠陥のみを検出する比較判
   定手段とからなることを特徴とする配線パターン検査装
   置。
2. 【請求項２】 比較判定手段は、第１の判定処理として
   被検査基板から抽出した注目特徴点ｔｎを中心にある任
   意に定めた第１の判定領域に良品基板からの特徴点ｒｎ
   が対応するかを判定し、対応する特徴点が存在しない場
   合は欠陥として登録し、対応する候補点が複数存在する
   場合は第２の判定処理として注目特徴点ｔｎと１つ以上
   の周辺特徴点との距離を求め、良品基板の各候補点毎に
   周辺特徴点との距離の点を中心に任意に定めた第２判定
   領域に周辺特徴点が存在するかを判定し、特徴点が存在
   する毎に点数を与え１番得点の高い候補点を対応する特
   徴点ｒｎとして選択することを特徴とする請求項１記載
   の配線パターン検査装置。
3. 【請求項３】 比較判定手段は、第１の判定処理として
   被検査基板から抽出した注目特徴点ｔｎを中心にある任
   意に定めた第１の判定領域に良品基板からの特徴点ｒｎ
   が対応するかを判定し、対応する特徴点が存在しない場
   合は欠陥として登録し、対応する特徴点が複数存在する
   場合は第２の判定処理として注目特徴点ｔｎとすでに対
   応付けの終了した１つ以上の周辺特徴点ｔｎ−ｉとの距
   離ｓｌを求め、良品基板のすでに対応付けの終了した周
   辺特徴点ｒｎ−ｉからの距離ｓｌの点を中心に任意に定
   めた第２の判定領域に対応する特徴点ｒｎが存在するか
   を判定し、存在しない場合は欠陥として登録し、対応す
   る候補点が複数存在し特定できない場合は第３の判定処
   理として注目特徴点ｔｎと１つ以上の周辺特徴点との距
   離を求め、良品基板の各候補点毎に周辺特徴点との距離
   の点を中心に任意に定めた第３の判定領域に周辺特徴点
   が存在するかを判定し、特徴点が存在する毎に点数を与
   え１番得点の高い候補点を対応する特徴点ｒｎとして選
   択することを特徴とする請求項１、２いずれか記載の配
   線パターン検査装置。
4. 【請求項４】 基準情報記憶手段は、前記特徴抽出手段
   からの配線パターンの特徴情報として検出順の一連の番
   号、座標、特徴の識別できるコード、複数の周辺特徴点
   の一連番号からなることを特徴とする請求項１、２、３
   いずれか記載の配線パターン検査装置。
5. 【請求項５】 基準情報記憶手段の特徴情報の一つとし
   て登録する複数の周辺の特徴点を得る際に、注目特徴点
   を中心に領域を４分割しそれぞれの領域において一番近
   い距離の特徴点を選択することを特徴とする請求項４記
   載の配線パターン検査装置。
6. 【請求項６】 比較判定手段は、プリント基板の全体領
   域を任意のサイズに分割した特徴点マップを設定し前記
   特徴抽出手段からの特徴情報を対応する領域に登録する
   とともに、注目特徴点の周辺特徴点を特徴点マップから
   検索することを特徴とする請求項１、２、３、４、５い
   ずれか記載の配線パターン検査装置。
7. 【請求項７】 比較判定手段は、プリント基板の全体領
   域を任意のサイズに分割した特徴点マップに前記特徴抽
   出手段からの最初の特徴情報を対応する領域に登録する
   とともに、分割された領域内に存在する２番目以降の特
   徴点を登録する際は一つ前に検出された前記基準情報記
   憶手段の特徴情報にマップ情報として特徴点の一連番号
   を付加し、注目特徴点の周辺特徴点を特徴点マップおよ
   び前記基準情報記憶手段の特徴情報に付加されたマップ
   情報から連鎖的に検索することを特徴とする請求項６記
   載の配線パターン検査装置。
8. 【請求項８】 比較判定手段は、特徴記憶手段からの注
   目特徴点を比較判定する際に周辺特徴点を次検索候補と
   して登録し、注目特徴点の比較判定終了後次検索候補か
   ら次の注目特徴点を連鎖的に検索することを特徴とする
   請求項１、２、３、４、５、６、７いずれか記載の配線
   パターン検査装置。
9. 【請求項９】 比較判定手段は、すでに確定した一つ以
   上の特徴点のずれ量の平均値で前記基準情報記憶手段か
   らの特徴点の座標を逐次補正することを特徴とする請求
   項１、２、３いずれか記載の配線パターン検査装置。
10. 【請求項１０】 比較判定手段は、特徴抽出手段で２値
    画像から細線化処理等によりスケルトン画像に変換し端
    点や分岐点等の配線パターンの特徴を抽出し、比較判定
    時に特徴点の任意の近傍領域内の特徴点の組み合わせに
    応じて特徴の識別コードを付け直すことを特徴とする請
    求項１、２、３、４、５、６、７、８、９いずれか記載
    の配線パターン検査装置。
11. 【請求項１１】 比較判定手段は、特徴抽出手段で２値
    画像からｎ回の有限回の細線化処理等によりスケルトン
    画像に変換し端点や分岐点等の配線パターンの特徴を抽
    出する際に、ｎ−ｋ回目以降の細線化処理時にその特徴
    点にフラグを付与し比較判定時にエラーと判定された場
    合に除外することを特徴とする請求項１０記載の配線パ
    ターン検査装置。