JPH06103204B2 - 半導体形電磁流量計 - Google Patents
半導体形電磁流量計Info
- Publication number
- JPH06103204B2 JPH06103204B2 JP199488A JP199488A JPH06103204B2 JP H06103204 B2 JPH06103204 B2 JP H06103204B2 JP 199488 A JP199488 A JP 199488A JP 199488 A JP199488 A JP 199488A JP H06103204 B2 JPH06103204 B2 JP H06103204B2
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- Japan
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- electrode
- type
- substrate
- semiconductor
- exciting coil
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Description
【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は半導体形電磁流量計に関するものである。
更に詳述すれば、ソリッドステート形の電磁流量計に関
するものである。
するものである。
〈従来の技術〉 第８図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
図において、１は測定流体の流れる流路を構成する測定
管である。11は測定管１に設けられた測定電極である。
２は励磁コイルである。
管である。11は測定管１に設けられた測定電極である。
２は励磁コイルである。
以上の構成において、励磁コイル２に励磁電流が流さ
れ、これにより発生した磁束の変動を測定電極11により
測定することにより測定流体の流量を測定することが出
来る。
れ、これにより発生した磁束の変動を測定電極11により
測定することにより測定流体の流量を測定することが出
来る。
〈発明が解決しようとする問題点〉 しかしながら、この様な装置においては、第９図に示す
ごとく、 （１）励磁コイル２はエナメル線等からなり、この励磁
コイル２は容積が大きく、測定管１の測定流体の流れる
管路の直径が小さくなっても、ある程度の大きさが必要
で、流量計全体の大きさは小さくできず、測定管１の測
定流体の流れる管路の直径が小さくなるのに比例してコ
ストが低下しない。
ごとく、 （１）励磁コイル２はエナメル線等からなり、この励磁
コイル２は容積が大きく、測定管１の測定流体の流れる
管路の直径が小さくなっても、ある程度の大きさが必要
で、流量計全体の大きさは小さくできず、測定管１の測
定流体の流れる管路の直径が小さくなるのに比例してコ
ストが低下しない。
（２）同様に、測定電極や測定電極の支持機構も、測定
管１の測定流体の流れる管路の直径が小さくなるのに比
例して、小さくならず、コストが低下しない。
管１の測定流体の流れる管路の直径が小さくなるのに比
例して、小さくならず、コストが低下しない。
本発明は、この問題点を解決するものである。
本発明の目的は、小形化、低価格、高信頼性の半導体形
電磁流量計を提供するにある。
電磁流量計を提供するにある。
〈問題点を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本発明は、励磁コイルと測
定電極とを具備する半導体形電磁流量計において、Ｎ形
またはＰ形の一方の伝導形のシリコン半導体基板に他方
の伝導形の半導体よりなる測定電極が形成されてなり互
いに対向して配置されてなる２個の電極基板と、該電極
基板と共に測定流体が流れる流路を形成し表面上にエッ
チングによりアルミパターンの励磁コイルが形成されて
なる励磁コイル基板とを具備してなる半導体形電磁流量
計を構成したものである。
定電極とを具備する半導体形電磁流量計において、Ｎ形
またはＰ形の一方の伝導形のシリコン半導体基板に他方
の伝導形の半導体よりなる測定電極が形成されてなり互
いに対向して配置されてなる２個の電極基板と、該電極
基板と共に測定流体が流れる流路を形成し表面上にエッ
チングによりアルミパターンの励磁コイルが形成されて
なる励磁コイル基板とを具備してなる半導体形電磁流量
計を構成したものである。
〈作用〉 以上の構成において、励磁コイルに励磁電流が流され、
これにより発生した磁束の変動を測定電極により測定す
ることにより測定流体の流量を測定することが出来る。
これにより発生した磁束の変動を測定電極により測定す
ることにより測定流体の流量を測定することが出来る。
以下、実施例に基づき詳細に説明する。
〈実施例〉 第１図は本発明の一実施例の構成説明図、第２図は第１
図の要部構成説明図である。
図の要部構成説明図である。
図において、３はＮ形またはＰ形の一方の伝導形のシリ
コン半導体基板に他方の伝導形の半導体よりなる測定電
極31が形成されてなり互いに対向して配置されてなる２
個の電極基板である。
コン半導体基板に他方の伝導形の半導体よりなる測定電
極31が形成されてなり互いに対向して配置されてなる２
個の電極基板である。
この場合は、Ｐ形のシリコン半導体基板32の測定流体接
触面側に、Ｎ形エピタキシャル層33を形成後測定電極31
となるＰ形不純物を拡散して形成する。
触面側に、Ｎ形エピタキシャル層33を形成後測定電極31
となるＰ形不純物を拡散して形成する。
４は電極基板３と共に測定流体Ａが流れる流路５を形成
し表面上にエッチングによりアルミパターンの励磁コイ
ル41が形成されてなる励磁コイル基板である。
し表面上にエッチングによりアルミパターンの励磁コイ
ル41が形成されてなる励磁コイル基板である。
この場合は、ガラス材よりなる励磁コイル基板４上にア
ルミパターンコイルを蒸着、スパッタ等で形成し、エッ
チングにより整形する。
ルミパターンコイルを蒸着、スパッタ等で形成し、エッ
チングにより整形する。
しかして、電極基板３と励磁コイル基板４とは、第３図
にしめすごとく、陽極接合Ｂにより接合され流路５が形
成される。
にしめすごとく、陽極接合Ｂにより接合され流路５が形
成される。
６は保護部で、プラスチック材よりなり、モールド等に
より作る。
より作る。
61は測定流体接触面側の電極基板３と励磁コイル基板４
とに設けられたパシベーション膜である。
とに設けられたパシベーション膜である。
以上の構成において、励磁コイル41に励磁電流が流さ
れ、これにより発生した磁束の変動を測定電極31により
測定することにより測定流体の流量を測定することが出
来る。
れ、これにより発生した磁束の変動を測定電極31により
測定することにより測定流体の流量を測定することが出
来る。
この場合、 （１）測定電極31は、電極基板３に半導体技術を利用し
て形成されている。
て形成されている。
（２）励磁コイル41が励磁コイル基板４に蒸着等による
アルミ等で形成されており、半導体技術で作られてお
り、ソリッドステート化されている。
アルミ等で形成されており、半導体技術で作られてお
り、ソリッドステート化されている。
（３）流路５は陽極接合で作られており、接着剤は使用
されていない。
されていない。
この結果、 （１）励磁コイル41が平面上にある為め、小型となる。
（２）測定電極31が電極基板３中に一体で作られるの
で、小型となる。
で、小型となる。
（３）ソリッドステートで、頑丈で、信頼性が高い。
（４）半導体技術で作ることができ、大量生産出来、コ
ストが安くなる。
ストが安くなる。
（５）電極位置を容易に正確に設けることができ、高精
度な装置が構成できる。
度な装置が構成できる。
（６）部品数が少なく、コストが安くなる。
第４図は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例では、Ｐ形のシリコン半導体基板32面に、Ｎ形
エピタキシャル層33を形成後、測定電極31と外部へのリ
ードの取出し端子となる部分34に、Ｐ形不純物を拡散し
て形成したものである。
エピタキシャル層33を形成後、測定電極31と外部へのリ
ードの取出し端子となる部分34に、Ｐ形不純物を拡散し
て形成したものである。
必要部分のみが電極あるいは端子として露出することに
なり、耐汚染、耐ノイズの良好なものが得られる。
なり、耐汚染、耐ノイズの良好なものが得られる。
第５図は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例では、電極基板３のリードの取出し側に、信号
処理回路35を設けたもので、いわゆる、集積型が構成さ
れている。
処理回路35を設けたもので、いわゆる、集積型が構成さ
れている。
第６図は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例では、測定電極31を多数設けたものである。い
わゆる、他電極電磁流量計が容易に構成でき、精度の高
いものが得られる。
わゆる、他電極電磁流量計が容易に構成でき、精度の高
いものが得られる。
本実施例では、Ｐ形のシリコン半導体基板の両面に、Ｎ
形エピタキシャル層33を形成後、測定電極31と外部への
リードの取出し端子となる部分34をＰ形不純物を拡散し
て形成したものである。
形エピタキシャル層33を形成後、測定電極31と外部への
リードの取出し端子となる部分34をＰ形不純物を拡散し
て形成したものである。
第７図は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例では、電極基板３と励磁コイル基板４の、測定
流体接触側の面を球面状にしたものである。
流体接触側の面を球面状にしたものである。
なお、電極基板３と励磁コイル基板４の測定流体接触側
の面は、平面状、あるいは、球面状に限ることはないの
は勿論である。
の面は、平面状、あるいは、球面状に限ることはないの
は勿論である。
また、Ｐ形不純物による測定電極31の形成は、イオン注
入でもよい。
入でもよい。
また、電極基板３は、Ｎ形のシリコン半導体基板の測定
流体接触面側に、Ｐ形エピタキシャル層を形成後、測定
電極31となるＮ形不純物を拡散して形成してもよい。
流体接触面側に、Ｐ形エピタキシャル層を形成後、測定
電極31となるＮ形不純物を拡散して形成してもよい。
また、励磁コイル基板４はガラス材の代りに、セラミッ
クス、あるいは、シリコン等でもよく、要するに、絶縁
材であればよい。
クス、あるいは、シリコン等でもよく、要するに、絶縁
材であればよい。
〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明は、励磁コイルと測定電極
とを具備する半導体形電磁流量計において、 Ｎ形またはＰ形の一方の伝導形のシリコン半導体基板に
他方の伝導形の半導体よりなる測定電極が形成されてな
り互いに対向して配置されてなる２個の電極基板と、該
電極基板と共に測定流体が流れる流路を形成し表面上に
エッチングによりアルミパターンの励磁コイルが形成さ
れてなる励磁コイル基板とを具備してなる半導体形電磁
流量計を構成したので、 この結果、 （１）励磁コイルが平面上にある為め、小型となる。
とを具備する半導体形電磁流量計において、 Ｎ形またはＰ形の一方の伝導形のシリコン半導体基板に
他方の伝導形の半導体よりなる測定電極が形成されてな
り互いに対向して配置されてなる２個の電極基板と、該
電極基板と共に測定流体が流れる流路を形成し表面上に
エッチングによりアルミパターンの励磁コイルが形成さ
れてなる励磁コイル基板とを具備してなる半導体形電磁
流量計を構成したので、 この結果、 （１）励磁コイルが平面上にある為め、小型となる。
（２）測定電極が電極基板中に一体で作られるので、小
型となる。
型となる。
（３）ソリッドステートで、頑丈で、信頼性が高い。
（４）半導体技術で作ることができ、大量生産出来、コ
ストが安くなる。
ストが安くなる。
（５）電極位置を容易に正確に設けることができ、高精
度な装置が構成できる。
度な装置が構成できる。
（６）部品数が少なく、コストが安くなる。
（７）増幅回路部を集積化でき、小形化が出来る。
従って、本発明によれば、小形化、低価格、高信頼性の
半導体形電磁流量計を実現することが出来る。
半導体形電磁流量計を実現することが出来る。
第１図は本発明の一実施例の構成説明図、第２図は第１
図の要部構成説明図、第３図は第１図の要部断面図、第
４図は本発明の他の実施例の要部構成説明図、第５図は
本発明の他の実施例の要部構成説明図、第６図は本発明
の他の実施例の要部構成説明図、第７図は本発明の他の
実施例の要部構成説明図、第８図，第９図は従来より一
般に使用されている従来例の構成説明図である。 １…測定管、３…電極基板、31…測定電極、32…基板、
33…Ｎエピタキシャル層、34…リード取出し端子、35…
信号処理回路、４…励磁コイル基板、41…励磁コイル、
５…流路、６…保護部、61…パシベーション膜。
図の要部構成説明図、第３図は第１図の要部断面図、第
４図は本発明の他の実施例の要部構成説明図、第５図は
本発明の他の実施例の要部構成説明図、第６図は本発明
の他の実施例の要部構成説明図、第７図は本発明の他の
実施例の要部構成説明図、第８図，第９図は従来より一
般に使用されている従来例の構成説明図である。 １…測定管、３…電極基板、31…測定電極、32…基板、
33…Ｎエピタキシャル層、34…リード取出し端子、35…
信号処理回路、４…励磁コイル基板、41…励磁コイル、
５…流路、６…保護部、61…パシベーション膜。
Claims (1)
- 【請求項１】励磁コイルと測定電極とを具備する半導体
形電磁流量計において、 Ｎ形またはＰ形の一方の伝導形のシリコン半導体基板に
他方の伝導形の半導体よりなる測定電極が形成されてな
り互いに対向して配置されてなる２個の電極基板と、該
電極基板と共に測定流体が流れる流路を形成し表面上に
エッチングによりアルミパターンの励磁コイルが形成さ
れてなる励磁コイル基板とを具備してなる半導体形電磁
流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP199488A JPH06103204B2 (ja) | 1988-01-08 | 1988-01-08 | 半導体形電磁流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP199488A JPH06103204B2 (ja) | 1988-01-08 | 1988-01-08 | 半導体形電磁流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01178822A JPH01178822A (ja) | 1989-07-17 |
| JPH06103204B2 true JPH06103204B2 (ja) | 1994-12-14 |
Family
ID=11517013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP199488A Expired - Lifetime JPH06103204B2 (ja) | 1988-01-08 | 1988-01-08 | 半導体形電磁流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06103204B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007315763A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Aichi Tokei Denki Co Ltd | 電磁式流量計測装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19604004C1 (de) | 1996-02-05 | 1997-06-05 | Elsag Int Nv | Magnetisch-induktiver Durchflußmesser |
| DE102005043718B3 (de) * | 2005-09-13 | 2007-04-19 | Fachhochschule Kiel | Verfahren zur Messung der Fliessgeschwindigkeit eines Mediums |
| GB2575253B (en) * | 2018-06-29 | 2021-12-08 | Flodatix Ltd | Magnetic induction tomography apparatus with tubular member having outer surface of polygonal cross-section for monitoring a multiphase flow in a pipe |
| GB2575104B (en) * | 2018-06-29 | 2022-11-30 | Flodatix Ltd | Method and apparatus for monitoring a multiphase flow in a pipe using magnetic induction tomography apparatus comprising planar coils |
-
1988
- 1988-01-08 JP JP199488A patent/JPH06103204B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007315763A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Aichi Tokei Denki Co Ltd | 電磁式流量計測装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01178822A (ja) | 1989-07-17 |
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