JPH0534737B2 - - Google Patents
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- JPH0534737B2 JPH0534737B2 JP58159457A JP15945783A JPH0534737B2 JP H0534737 B2 JPH0534737 B2 JP H0534737B2 JP 58159457 A JP58159457 A JP 58159457A JP 15945783 A JP15945783 A JP 15945783A JP H0534737 B2 JPH0534737 B2 JP H0534737B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/2407—Tracks or pits; Shape, structure or physical properties thereof
- G11B7/24085—Pits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Optical Head (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はプリグルーブ及びアドレスピツトを有
する光学的に記録及び再生の可能な光学式記録媒
体及びその原盤の製造装置に関する。
する光学的に記録及び再生の可能な光学式記録媒
体及びその原盤の製造装置に関する。
背景技術とその問題点
先ず第１図及び第２図を参照して、従来の記録
及び再生の可能な光学式記録媒体について説明す
る。第１図及び第２図において１は光学式記録媒
体（デイスク）を全体として示し、第１図におい
てPGはプリグルーブ（図示の場合は同心円プリ
グルーブであるが、円に近い渦巻き状プリブルー
ブでも良い）、SCはその各プリグルーブPGのセ
クタ、APはそのプリグルーブPGの番号及びセク
タSCの番号を表わすべくプリグルーブPG内に於
いて各セクタSCの端部に形成されたアドレスピ
ツトである。尚、プリグルーブPGのピツチが
2.0μｍ、その幅が0.8μｍである。
及び再生の可能な光学式記録媒体について説明す
る。第１図及び第２図において１は光学式記録媒
体（デイスク）を全体として示し、第１図におい
てPGはプリグルーブ（図示の場合は同心円プリ
グルーブであるが、円に近い渦巻き状プリブルー
ブでも良い）、SCはその各プリグルーブPGのセ
クタ、APはそのプリグルーブPGの番号及びセク
タSCの番号を表わすべくプリグルーブPG内に於
いて各セクタSCの端部に形成されたアドレスピ
ツトである。尚、プリグルーブPGのピツチが
2.0μｍ、その幅が0.8μｍである。
この光学式記録媒体１は第２図に示すごとく、
アクリル等の透明なプラスチツク基板２上に情報
を光学的に記録すべきプリグルーブPGの形成さ
れた一層又は多層の低融点金属層（反射金属層）
３が形成されている。尚、LDは金属層３のラン
ド部である。４は金属層３上に被着形成されたプ
ラスチツクから成る保護層である。かかる光学式
記録媒体１に於いては、レーザ光源よりのレーザ
ビームを金属層３のプリグルーブPGにトラツキ
ングをとりながら走査させ、そのプリグルーブ
PG内に情報を光学的に記録していくものである。
その記録の仕方は、プリグルーブPGにレーザビ
ームを照射することによつて、その金属層３の構
造を変化させてその反射率を高めることにより、
音声、ビデオ、データ信号等を周波数変調、位相
変調、PCM等による光学的ドツトの列として記
録トラツクを形成する如く記録する。尚、金属層
３をレーザビームによつて融解してその反射率を
低下させることによつて、又はその下層の他の金
属層を露呈させてそれにより反射率を高めること
によつて光学的ドツトを形成することもできる。
アクリル等の透明なプラスチツク基板２上に情報
を光学的に記録すべきプリグルーブPGの形成さ
れた一層又は多層の低融点金属層（反射金属層）
３が形成されている。尚、LDは金属層３のラン
ド部である。４は金属層３上に被着形成されたプ
ラスチツクから成る保護層である。かかる光学式
記録媒体１に於いては、レーザ光源よりのレーザ
ビームを金属層３のプリグルーブPGにトラツキ
ングをとりながら走査させ、そのプリグルーブ
PG内に情報を光学的に記録していくものである。
その記録の仕方は、プリグルーブPGにレーザビ
ームを照射することによつて、その金属層３の構
造を変化させてその反射率を高めることにより、
音声、ビデオ、データ信号等を周波数変調、位相
変調、PCM等による光学的ドツトの列として記
録トラツクを形成する如く記録する。尚、金属層
３をレーザビームによつて融解してその反射率を
低下させることによつて、又はその下層の他の金
属層を露呈させてそれにより反射率を高めること
によつて光学的ドツトを形成することもできる。
次に第３図を参照して、上述した光学式記録媒
体を製造するための原盤１′について説明する。
第３図のＡはその原盤１′の部分的上面図、Ｂは
その部分的断面図である。５は例えばガラス基板
であつて、上述の光学式記録媒体１に対する記録
及び再生用ビームの波長をλ、記録及び再生用ビ
ームの透過する光透過層、即ち透明基板２の屈折
率をｎとするとき、厚さがλ／8nとなるごとくフオ トレジスト層６を均一に被着形成し、これをガラ
ス基板５上に至るまでのカツテイングを行ない、
即ちレーザビームを照射し、これを現像すること
により夫々共にλ／8nの位相深さのプリグルーブ PG′及びアドレスピツトAP′を形成する。
体を製造するための原盤１′について説明する。
第３図のＡはその原盤１′の部分的上面図、Ｂは
その部分的断面図である。５は例えばガラス基板
であつて、上述の光学式記録媒体１に対する記録
及び再生用ビームの波長をλ、記録及び再生用ビ
ームの透過する光透過層、即ち透明基板２の屈折
率をｎとするとき、厚さがλ／8nとなるごとくフオ トレジスト層６を均一に被着形成し、これをガラ
ス基板５上に至るまでのカツテイングを行ない、
即ちレーザビームを照射し、これを現像すること
により夫々共にλ／8nの位相深さのプリグルーブ PG′及びアドレスピツトAP′を形成する。
そして、その後は従来周知のごとく、この原盤
１′のガラス基板５上に残存したフオトレジスト
層６の上にメツキを行ない、これを素にしてメタ
ルマスタを作り、このメタルマスタからマザーを
作る。そして、このマザーからスタンパを作り、
このスタンパを用いてアクリル等の光透過性樹脂
をスタンプして透明基板２を形成し、その上に光
反射金属層３を被着形成し、その上に保護層４を
被着形成するものである（第２図参照）。
１′のガラス基板５上に残存したフオトレジスト
層６の上にメツキを行ない、これを素にしてメタ
ルマスタを作り、このメタルマスタからマザーを
作る。そして、このマザーからスタンパを作り、
このスタンパを用いてアクリル等の光透過性樹脂
をスタンプして透明基板２を形成し、その上に光
反射金属層３を被着形成し、その上に保護層４を
被着形成するものである（第２図参照）。
ところで、この第３図に図示の光学式記録媒体
１の原盤１′においては、ガラス基板５上に塗布
するフオトレジスト層６の厚さが600〜800Å程度
と極く薄く、厚さが不均一となり、ピンホールも
生じるという欠点がある他、プリグルーブPG′の
位相深さも、アドレスピツトAP′の位相深さも共
にλ／8nであるために、次のような問題が生じる。
１の原盤１′においては、ガラス基板５上に塗布
するフオトレジスト層６の厚さが600〜800Å程度
と極く薄く、厚さが不均一となり、ピンホールも
生じるという欠点がある他、プリグルーブPG′の
位相深さも、アドレスピツトAP′の位相深さも共
にλ／8nであるために、次のような問題が生じる。
即ち、先ず最終的に形成される第１図及び第２図
に示した光学式記録媒体（デイスク）１の金属層
３による反射光量を第４図を用いて説明する。光
反射金属層３が理想的な鏡面である場合の反射光
量をIoとすると、金属層３のランド部LD上の反
射光量ITOPは略Ioに匹敵する。SAPはアドレスピツ
トAPによる反射光量の変調部分を示し、そのピ
ークレベルをIPPとする。SRPは、プリグルーブPG
内に情報信号の記録を行ない、それを再生した場
合の反射光量の変調を示し、IRPはそのピーク値
を示す。プリグルーブPGの位相深さがλ／8nである ので、トラツキングエラー信号（プツシユブル信
号）のレベルは大となるが、その反面、アドレス
ピツトAPの位相深さがプリグルーブPGのそれと
同様にλ／8nであるために、この第４図から分かる ように、アドレスピツトAPからの再生光量のピ
ーク値はIoの20〜30％と頗る少ないことが分か
る。
に示した光学式記録媒体（デイスク）１の金属層
３による反射光量を第４図を用いて説明する。光
反射金属層３が理想的な鏡面である場合の反射光
量をIoとすると、金属層３のランド部LD上の反
射光量ITOPは略Ioに匹敵する。SAPはアドレスピツ
トAPによる反射光量の変調部分を示し、そのピ
ークレベルをIPPとする。SRPは、プリグルーブPG
内に情報信号の記録を行ない、それを再生した場
合の反射光量の変調を示し、IRPはそのピーク値
を示す。プリグルーブPGの位相深さがλ／8nである ので、トラツキングエラー信号（プツシユブル信
号）のレベルは大となるが、その反面、アドレス
ピツトAPの位相深さがプリグルーブPGのそれと
同様にλ／8nであるために、この第４図から分かる ように、アドレスピツトAPからの再生光量のピ
ーク値はIoの20〜30％と頗る少ないことが分か
る。
逆に、アドレスピツトAPからの再生光量のピ
ーク値IPPを大にするために、アドレスピツトAP
及びプリグルーブPGの位相深さを共にλ／4nにする と、トラツキングエラー信号のレベルが小さくな
ると共に、プリグルーブPGの変調度が大きくな
つて再生情報信号のＳ／Ｎが低下してしまう。
ーク値IPPを大にするために、アドレスピツトAP
及びプリグルーブPGの位相深さを共にλ／4nにする と、トラツキングエラー信号のレベルが小さくな
ると共に、プリグルーブPGの変調度が大きくな
つて再生情報信号のＳ／Ｎが低下してしまう。
そこで両要求を満足させるためには、原盤１′
の製造時において、ガラス基板５上にλ／4n厚のフ オトレジスト層６を被着形成しておき、同一ビー
ムの光量をプリグルーブPG′とアドレスピツト
AP′の形成のための露光において異ならしめて、
夫々プリグルーブPG′においてはその位相深さが
λ／8n、アドレスピツトAP′に於いてはその位相深 さがλ／4nになるようにすることも考えられる。し かし、この場合には、フオトレジスト層がプリグ
ルーブPG′の部分に於いてハーフトーンで露光さ
れるため、そのプロセスコントロールが困難であ
り、しかもハーフトーンで露光されたフオトレジ
スト層は現像の不均一性から、アドレスピツト
AP′の位相深さが不均一となり、これを基にして
作つたデイスク１に記録を行ない、これからアド
レスピツトAPを再生した場合、その再生信号の
Ｓ／Ｎが悪くなるという欠点がある。
の製造時において、ガラス基板５上にλ／4n厚のフ オトレジスト層６を被着形成しておき、同一ビー
ムの光量をプリグルーブPG′とアドレスピツト
AP′の形成のための露光において異ならしめて、
夫々プリグルーブPG′においてはその位相深さが
λ／8n、アドレスピツトAP′に於いてはその位相深 さがλ／4nになるようにすることも考えられる。し かし、この場合には、フオトレジスト層がプリグ
ルーブPG′の部分に於いてハーフトーンで露光さ
れるため、そのプロセスコントロールが困難であ
り、しかもハーフトーンで露光されたフオトレジ
スト層は現像の不均一性から、アドレスピツト
AP′の位相深さが不均一となり、これを基にして
作つたデイスク１に記録を行ない、これからアド
レスピツトAPを再生した場合、その再生信号の
Ｓ／Ｎが悪くなるという欠点がある。
又、従来は光学式記録媒体１のプリグルーブ
PG内に情報を記録していたため、再生情報信号
のＳ／Ｎが小さく、しかもドロツプアウトの可能
性が高かつた。
PG内に情報を記録していたため、再生情報信号
のＳ／Ｎが小さく、しかもドロツプアウトの可能
性が高かつた。
発明の目的
斯る点に鑑み第１の本発明は、プリグルーブ及
びアドレスピツトを有し、光学的に記録及び再生
の可能な光学式記録媒体において、トラツキング
エラー信号のレベルが大で、アドレスピツトの再
生信号のＳ／Ｎが良好で、且つドロツプアウトが
少なく、Ｓ／Ｎの良好な情報信号を再生すること
のできるものを提案しようとするものである。
びアドレスピツトを有し、光学的に記録及び再生
の可能な光学式記録媒体において、トラツキング
エラー信号のレベルが大で、アドレスピツトの再
生信号のＳ／Ｎが良好で、且つドロツプアウトが
少なく、Ｓ／Ｎの良好な情報信号を再生すること
のできるものを提案しようとするものである。
第２の本発明は、第１の本発明による光学式記
録媒体の原盤を容易に製造することのできる光学
式記録媒体の原盤の製造装置を得んとするもので
ある。
録媒体の原盤を容易に製造することのできる光学
式記録媒体の原盤の製造装置を得んとするもので
ある。
発明の概要
本発明による光学式記録媒体は、記録及び再生
用ビームの波長をλ、その記録及び再生用ビーム
の透過する光透過層の屈折率をｎと夫々したと
き、光学的に記録及び再生の可能な記録層のビー
ム入射面側に同心円状もしくは渦巻き状のλ／8nの 位相深さを有するプリグルーブを形成すると共
に、そのプリグルーブによつて挟まれた領域に
λ／4nの位相深さを有するアドレスピツトを形成し て成るものである。
用ビームの波長をλ、その記録及び再生用ビーム
の透過する光透過層の屈折率をｎと夫々したと
き、光学的に記録及び再生の可能な記録層のビー
ム入射面側に同心円状もしくは渦巻き状のλ／8nの 位相深さを有するプリグルーブを形成すると共
に、そのプリグルーブによつて挟まれた領域に
λ／4nの位相深さを有するアドレスピツトを形成し て成るものである。
斯る本発明によれば、プリグルーブ及びアドレ
スピツトを有し、光学的に記録及び再生の可能な
光学式記録媒体において、トラツキングエラー信
号のレベルが大で、アドレスピツトの再生信号の
Ｓ／Ｎが良好で、且つドロツプアウトが少なく、
Ｓ／Ｎの良好な情報信号を再生することのできる
ものを得ることができる。
スピツトを有し、光学的に記録及び再生の可能な
光学式記録媒体において、トラツキングエラー信
号のレベルが大で、アドレスピツトの再生信号の
Ｓ／Ｎが良好で、且つドロツプアウトが少なく、
Ｓ／Ｎの良好な情報信号を再生することのできる
ものを得ることができる。
本発明による光学式記録媒体の原盤の製造方法
は、光源と、その光源からの出射ビームを第１及
び第２のビームに２分する光分割手段と、第１の
ビームの強度を制御する第１の光変調器と、第２
のビームを記録すべきアドレス情報に応じてパル
ス的に光変調する第２の光変調器と、第１のビー
ム及び第２の変調器によつて光変調された第２の
ビームの供給される対物レンズとを有し、フオト
レジスト層の被着形成された基板上のそのフオト
レジスト層を対物レンズによつて集束された第１
及び第２のビームによつて走査して、光学式記録
媒体に対する記録及び再生用ビームの波長をλ、
その記録及び再生用ビームの透過する光透過層の
屈折率をｎと夫々したとき、上記第１のビームに
よつてλ／8nの位相深さを有するプリグルーブを、 第２のビームによつてλ／4nの位相深さを有するア ドレスピツトを互いに隣合うように各々フオトレ
ジスト層に形成して光学式記録媒体の原盤を製造
するようにしたものである。
は、光源と、その光源からの出射ビームを第１及
び第２のビームに２分する光分割手段と、第１の
ビームの強度を制御する第１の光変調器と、第２
のビームを記録すべきアドレス情報に応じてパル
ス的に光変調する第２の光変調器と、第１のビー
ム及び第２の変調器によつて光変調された第２の
ビームの供給される対物レンズとを有し、フオト
レジスト層の被着形成された基板上のそのフオト
レジスト層を対物レンズによつて集束された第１
及び第２のビームによつて走査して、光学式記録
媒体に対する記録及び再生用ビームの波長をλ、
その記録及び再生用ビームの透過する光透過層の
屈折率をｎと夫々したとき、上記第１のビームに
よつてλ／8nの位相深さを有するプリグルーブを、 第２のビームによつてλ／4nの位相深さを有するア ドレスピツトを互いに隣合うように各々フオトレ
ジスト層に形成して光学式記録媒体の原盤を製造
するようにしたものである。
斯る本発明によれば第１の本発明による光学式
記録媒体の原盤を容易に製造することのできる光
学式記録媒体の原盤の製造装置を得ることができ
る。
記録媒体の原盤を容易に製造することのできる光
学式記録媒体の原盤の製造装置を得ることができ
る。
実施例
以下に第５図を参照して、本発明による光学式
記録媒体の原盤の構成について説明する。上述の
第１図及び第２図と同様に、ガラス基板５上にフ
オトレジスト層６を被着形成するが、その場合の
厚さをλ／4nとする。そして、後述するところから 明らかになるが、２本のビームを用いて、アドレ
スピツトAP′としてはそのフオトレジスト層６を
ガラス基板５の表面に達するまで露光及び現像に
よりカツテイングし、プリグルーブPG′はアドレ
スピツトAP′を形成するビームに比らべて光量の
少ないビームを用いてλ／8nの位相深さに形成す る。
記録媒体の原盤の構成について説明する。上述の
第１図及び第２図と同様に、ガラス基板５上にフ
オトレジスト層６を被着形成するが、その場合の
厚さをλ／4nとする。そして、後述するところから 明らかになるが、２本のビームを用いて、アドレ
スピツトAP′としてはそのフオトレジスト層６を
ガラス基板５の表面に達するまで露光及び現像に
よりカツテイングし、プリグルーブPG′はアドレ
スピツトAP′を形成するビームに比らべて光量の
少ないビームを用いてλ／8nの位相深さに形成す る。
そして、このようにして形成した原盤１′を用
い冒頭に述べたような手順をふんで第６図に示す
ごとき光学式記録媒体１を得る。即ち、アクリル
等の透明基板２上に位相深さがλ／8nのプリグルー ブPGと、位相深さがλ／4nのアドレスピツトAPと が形成された低融点金属層３が被着形成される。
４は保護層である。この場合、プリグルーブPG
は金属層３のランド部LD上に形成され、そのピ
ツチは2μｍ、プリグルーブPG及びアドレスピツ
トAP間の間隔は1μｍ、夫々の幅は0.5μｍである。
情報信号は金属層３のランド部LDの中央に記録
される。
い冒頭に述べたような手順をふんで第６図に示す
ごとき光学式記録媒体１を得る。即ち、アクリル
等の透明基板２上に位相深さがλ／8nのプリグルー ブPGと、位相深さがλ／4nのアドレスピツトAPと が形成された低融点金属層３が被着形成される。
４は保護層である。この場合、プリグルーブPG
は金属層３のランド部LD上に形成され、そのピ
ツチは2μｍ、プリグルーブPG及びアドレスピツ
トAP間の間隔は1μｍ、夫々の幅は0.5μｍである。
情報信号は金属層３のランド部LDの中央に記録
される。
尚、記録及び再生時共光学系よりのビームは透
明基板２側から媒体１の金属層３に入射するのは
勿論である。このようにして得られた光学式記録
媒体１の反射光量を第７図を参照して説明する
も、第７図において第４図と対応する部分には同
一符号を付して重複説明を省略する。この場合に
はアドレスピツトの反射光量の変調によるピーク
レベルIPPはIoの50〜60％と第４図の場合に比し
大幅に大となつていることが分かる。
明基板２側から媒体１の金属層３に入射するのは
勿論である。このようにして得られた光学式記録
媒体１の反射光量を第７図を参照して説明する
も、第７図において第４図と対応する部分には同
一符号を付して重複説明を省略する。この場合に
はアドレスピツトの反射光量の変調によるピーク
レベルIPPはIoの50〜60％と第４図の場合に比し
大幅に大となつていることが分かる。
尚、このようにして形成された光学式記録媒体
は１本のビームを用い、ランド部上のアドレスピ
ツトAPの再生及びトラツキングエラー信号の検
出と共に、ドツトによるランド部LDへの情報信
号の記録を行なう。また、３本のビームを用いて
トラツキングエラーの検出と、アドレスピツトの
再生、情報信号の記録を行なうようにしてもよ
い。再生時においても、同じ装置を用いてランド
部LDに記録されたドツトの位相変調、或いは周
波数変調、PCMされた情報信号を再生すること
ができる。
は１本のビームを用い、ランド部上のアドレスピ
ツトAPの再生及びトラツキングエラー信号の検
出と共に、ドツトによるランド部LDへの情報信
号の記録を行なう。また、３本のビームを用いて
トラツキングエラーの検出と、アドレスピツトの
再生、情報信号の記録を行なうようにしてもよ
い。再生時においても、同じ装置を用いてランド
部LDに記録されたドツトの位相変調、或いは周
波数変調、PCMされた情報信号を再生すること
ができる。
上述せる光学式記録媒体によれば、トラツキン
グエラー信号のレベルが大で、プリグルーブの変
調度に多少バラツキがあつても、再生情報信号へ
の影響は少なく、アドレスピツトをＳ／Ｎ良く再
生でき、歩留りが良く、Ｓ／Ｎが良好でドロツプ
アウトの可能性の少ない情報信号を再生できる。
又、アドレスピツトに対するトラツキングエラー
信号は零なので、アドレスピツトによつてトラツ
キングエラー信号に外乱が混入しない。プリグル
ーブには情報信号を記録しないので、その幅を狭
くすることができ、記録密度の向上につながる。
グエラー信号のレベルが大で、プリグルーブの変
調度に多少バラツキがあつても、再生情報信号へ
の影響は少なく、アドレスピツトをＳ／Ｎ良く再
生でき、歩留りが良く、Ｓ／Ｎが良好でドロツプ
アウトの可能性の少ない情報信号を再生できる。
又、アドレスピツトに対するトラツキングエラー
信号は零なので、アドレスピツトによつてトラツ
キングエラー信号に外乱が混入しない。プリグル
ーブには情報信号を記録しないので、その幅を狭
くすることができ、記録密度の向上につながる。
次に第８図を参照して上述の光学式記録媒体の
原盤の製造装置について説明する。７はレーザ光
源（例えばAr又はHe−Cdレーザ光源）であつて
これより例えばＳ偏光のレーザビームLBoを発射
させ、これをビームスプリツタ８に入射して第１
及び第２のビームLB1，LB2に分離する。第１の
ビームLB1はビームスプリツタ８によつてその光
路が90°偏向せしめられ、第２のビームLB2は直
進した後、ミラー９によつてその光路が90°偏向
せしめられる。
原盤の製造装置について説明する。７はレーザ光
源（例えばAr又はHe−Cdレーザ光源）であつて
これより例えばＳ偏光のレーザビームLBoを発射
させ、これをビームスプリツタ８に入射して第１
及び第２のビームLB1，LB2に分離する。第１の
ビームLB1はビームスプリツタ８によつてその光
路が90°偏向せしめられ、第２のビームLB2は直
進した後、ミラー９によつてその光路が90°偏向
せしめられる。
これら第１及び第２のビームLB1，LB2は夫々
レンズ１０，１１を介して第１及び第２の光変調
器（電気−光学素子）１２，１３に供給される。
第１の光変調器１２には直流電源１４よりの直流
電圧が与えられる。第２の光変調器１３には信号
源１５よりのパルス信号、即ちトラツク番号及び
セクタ番号を示すアドレス信号が供給されて、第
２のビームLB2が光変調される。第９図及び第１
０図は夫々第１及び第２の光変調器１２，１３か
ら得られたビームの波形を示す。尚、第１及び第
２の光変調器１２，１３に加える電圧によつて、
フオトレジスト層６を露光するビームの強さを、
前者が弱く、後者が強くなるように調整できる。
レンズ１０，１１を介して第１及び第２の光変調
器（電気−光学素子）１２，１３に供給される。
第１の光変調器１２には直流電源１４よりの直流
電圧が与えられる。第２の光変調器１３には信号
源１５よりのパルス信号、即ちトラツク番号及び
セクタ番号を示すアドレス信号が供給されて、第
２のビームLB2が光変調される。第９図及び第１
０図は夫々第１及び第２の光変調器１２，１３か
ら得られたビームの波形を示す。尚、第１及び第
２の光変調器１２，１３に加える電圧によつて、
フオトレジスト層６を露光するビームの強さを、
前者が弱く、後者が強くなるように調整できる。
これら第１及び第２の光変調器１２，１３から
得られた夫々Ｓ，Ｐ偏光のビームLB1，LB2は
夫々凸レンズ１６，１７を介して夫々ミラー１
８，１９に入射して、その光路が90°偏向せしめ
られる。第１のビームLB1は更にミラー２０によ
つてその光路は90°偏向せしめられて偏光ビーム
スプリツタ２１に入射せしめられる。又、ミラー
１９によつて90°偏向せしめられた第２のビーム
LB2も偏向ビームスプリツタ２１に入射せしめら
れる。
得られた夫々Ｓ，Ｐ偏光のビームLB1，LB2は
夫々凸レンズ１６，１７を介して夫々ミラー１
８，１９に入射して、その光路が90°偏向せしめ
られる。第１のビームLB1は更にミラー２０によ
つてその光路は90°偏向せしめられて偏光ビーム
スプリツタ２１に入射せしめられる。又、ミラー
１９によつて90°偏向せしめられた第２のビーム
LB2も偏向ビームスプリツタ２１に入射せしめら
れる。
そして、偏光ビームスプリツタ２１を出射した
第１及び第２のビームLB1，LB2が凸レンズ２２
を介してミラー２３に入射してその光路が90°偏
向せしめられた後、対物レンズ２４に入射して集
束ビームとなされ、これらビームLB1，LB2が1μ
ｍの間隔を以つて上述のガラス基板５上に形成さ
れたフオトレジスト層６上に照射せしめられ、そ
のフオトレジスト層６が露光せしめられる。この
露光されたフオトレジスト層６は現像されること
により、光に感光した部分が除去されて、第５図
に示した如きプリグルーブPG′及びアドレスピツ
トAP′が形成される。
第１及び第２のビームLB1，LB2が凸レンズ２２
を介してミラー２３に入射してその光路が90°偏
向せしめられた後、対物レンズ２４に入射して集
束ビームとなされ、これらビームLB1，LB2が1μ
ｍの間隔を以つて上述のガラス基板５上に形成さ
れたフオトレジスト層６上に照射せしめられ、そ
のフオトレジスト層６が露光せしめられる。この
露光されたフオトレジスト層６は現像されること
により、光に感光した部分が除去されて、第５図
に示した如きプリグルーブPG′及びアドレスピツ
トAP′が形成される。
上述せる光学式記録媒体の原盤の製造装置によ
れば、上述の光学式記録媒体の原盤を容易に製造
することができる。
れば、上述の光学式記録媒体の原盤を容易に製造
することができる。
尚、トラツキングサーボ回路の極性を入れ替え
ることにより、従来の光学式記録再生装置を用い
て本発明による光学式記録デイスクのトラツキン
グは容易である。
ることにより、従来の光学式記録再生装置を用い
て本発明による光学式記録デイスクのトラツキン
グは容易である。
発明の効果
上述せる第１の本発明によれば、プリグルーブ
及びアドレスピツトを有し、光学的に記録及び再
生の可能な光学式記録媒体において、トラツキン
グエラー信号のレベルが大で、アドレスピツトの
再生信号のＳ／Ｎが良好で、且つドロツプが少な
く、Ｓ／Ｎの良好な情報信号を再生することので
きるものを得ることができる。
及びアドレスピツトを有し、光学的に記録及び再
生の可能な光学式記録媒体において、トラツキン
グエラー信号のレベルが大で、アドレスピツトの
再生信号のＳ／Ｎが良好で、且つドロツプが少な
く、Ｓ／Ｎの良好な情報信号を再生することので
きるものを得ることができる。
第２の本発明によれば第１の本発明による光学
式記録媒体の原盤を容易に製造することのできる
光学式記録媒体の原盤の製造装置を得ることがで
きる。
式記録媒体の原盤を容易に製造することのできる
光学式記録媒体の原盤の製造装置を得ることがで
きる。
第１図及び第２図は従来の記録再生可能な光学
式記録媒体の平面図及び断面図、第３図Ａ，Ｂは
第１図及び第２図の光学式記録媒体の原盤を示す
平面図及び断面図、第４図は従来の光学式記録媒
体の反射光の特性を示す曲線図、第５図Ａ，Ｂは
本発明による光学式記録媒体の原盤を示す平面図
及び断面図、第６図はその原盤を用いて得られた
本発明による光学式記録媒体を示す断面図、第７
図はその光学式記録媒体の反射光の特性を示す曲
線図、第８図は本発明による光学式記録媒体の原
盤の製造装置を示す配置図、第９図及び第１０図
は第８図の装置の第１及び第２の光変調器の出力
ビームの波形を示す波形図である。 １は光学式記録媒体、２は光透過層としての透
明基板、３はその上に形成された反射金属層、４
はその上に形成された保護層、PGはプリグルー
ブ、APはアドレスピツト、７は光源、８は分割
手段、１２，１３は第１及び第２の光変調器、２
４は対物レンズ、１′は原盤である。
式記録媒体の平面図及び断面図、第３図Ａ，Ｂは
第１図及び第２図の光学式記録媒体の原盤を示す
平面図及び断面図、第４図は従来の光学式記録媒
体の反射光の特性を示す曲線図、第５図Ａ，Ｂは
本発明による光学式記録媒体の原盤を示す平面図
及び断面図、第６図はその原盤を用いて得られた
本発明による光学式記録媒体を示す断面図、第７
図はその光学式記録媒体の反射光の特性を示す曲
線図、第８図は本発明による光学式記録媒体の原
盤の製造装置を示す配置図、第９図及び第１０図
は第８図の装置の第１及び第２の光変調器の出力
ビームの波形を示す波形図である。 １は光学式記録媒体、２は光透過層としての透
明基板、３はその上に形成された反射金属層、４
はその上に形成された保護層、PGはプリグルー
ブ、APはアドレスピツト、７は光源、８は分割
手段、１２，１３は第１及び第２の光変調器、２
４は対物レンズ、１′は原盤である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 記録及び再生用ビームの波長をλ、該記録及
び再生用ビームの透過する光透過層の屈折率をｎ
と夫々したとき、光学的に記録及び再生の可能な
記録層のビーム入射面側に同心円状もしくは渦巻
状のλ／8nの位相深さを有するプリグルーブを形成 すると共に、該プリグルーブによつて挟まれた領
域にλ／4nの位相深さを有するアドレスピツトを形 成して成ることを特徴とする光学式記録媒体。 ２ 光源と、該光源からの出射ビームを第１及び
第２のビームに２分する光分割手段と、上記第１
のビームの強度を制御する第１の光変調器と、上
記第２のビームを記録すべきアドレス情報に応じ
てパルス的に光変調する第２の光変調器と、上記
第１のビーム及び上記第２の変調器によつて光変
調された上記第２のビームの供給される対物レン
ズとを有し、フオトレジスト層の被着形成された
基板上の該フオトレジスト層を上記対物レンズに
よつて集束された上記第１及び第２のビームによ
つて走査して、光学式記録媒体に対する記録及び
再生用ビームの波長をλ、該記録及び再生用ビー
ムの透過する光透過層の屈折率をｎと夫々したと
き、上記第１のビームによつてλ／8nの位相深さを 有するプリグルーブを、上記第２のビームによつ
てλ／4nの位相深さを有するアドレスピツトを互い に隣合うように各々上記フオトレジスト層に形成
して光学式記録媒体の原盤を製造するようにした
ことを特徴とする光学式記録媒体の原盤の製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58159457A JPS6050733A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | 光学式記録媒体及びその原盤の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58159457A JPS6050733A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | 光学式記録媒体及びその原盤の製造装置 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6334465A Division JP2611681B2 (ja) | 1994-12-19 | 1994-12-19 | 光学式記録媒体 |
| JP9049034A Division JP2998681B2 (ja) | 1997-03-04 | 1997-03-04 | 光学式記録媒体及びその原盤の作成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6050733A JPS6050733A (ja) | 1985-03-20 |
| JPH0534737B2 true JPH0534737B2 (ja) | 1993-05-24 |
Family
ID=15694179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58159457A Granted JPS6050733A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | 光学式記録媒体及びその原盤の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6050733A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2613199B2 (ja) * | 1986-12-10 | 1997-05-21 | 株式会社日立製作所 | 情報再生方法および光ディスク |
| JP2613200B2 (ja) * | 1987-01-09 | 1997-05-21 | 株式会社日立製作所 | 光デイスク原盤作製装置 |
| JPH01107336A (ja) * | 1987-10-21 | 1989-04-25 | Hitachi Ltd | 光デイスク |
| JPH04286736A (ja) * | 1991-03-15 | 1992-10-12 | Sharp Corp | 光メモリ素子のマスター原盤用基板の製造方法 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53103715A (en) * | 1977-02-23 | 1978-09-09 | Victor Co Of Japan Ltd | Grooveless disc for information recording medium |
| JPS56145535A (en) * | 1980-04-15 | 1981-11-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Disc for optical recording |
| JPS5733441A (en) * | 1980-08-07 | 1982-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical information recorder and reproducer |
| JPS57138065A (en) * | 1981-01-12 | 1982-08-26 | Philips Nv | Recording carrier |
| JPS5841446A (ja) * | 1981-09-04 | 1983-03-10 | Hitachi Ltd | 光学的情報追跡方式 |
| JPS5850638A (ja) * | 1981-09-18 | 1983-03-25 | Fujitsu Ltd | 光デイスク用プリグル−プ原盤の製造方法 |
| JPS5873026A (ja) * | 1981-10-26 | 1983-05-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 溝付光デイスク |
| JPS5877048A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-10 | Pioneer Electronic Corp | 光磁気記録再生方式における読取装置 |
| JPS58100249A (ja) * | 1981-12-09 | 1983-06-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学情報記録用担体 |
| JPS58102347A (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-17 | Mitsubishi Electric Corp | 光デイスク記録担体 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58165794U (ja) * | 1982-04-27 | 1983-11-04 | 株式会社東芝 | 光学式情報記憶媒体 |
-
1983
- 1983-08-31 JP JP58159457A patent/JPS6050733A/ja active Granted
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53103715A (en) * | 1977-02-23 | 1978-09-09 | Victor Co Of Japan Ltd | Grooveless disc for information recording medium |
| JPS56145535A (en) * | 1980-04-15 | 1981-11-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Disc for optical recording |
| JPS5733441A (en) * | 1980-08-07 | 1982-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical information recorder and reproducer |
| JPS57138065A (en) * | 1981-01-12 | 1982-08-26 | Philips Nv | Recording carrier |
| JPS5841446A (ja) * | 1981-09-04 | 1983-03-10 | Hitachi Ltd | 光学的情報追跡方式 |
| JPS5850638A (ja) * | 1981-09-18 | 1983-03-25 | Fujitsu Ltd | 光デイスク用プリグル−プ原盤の製造方法 |
| JPS5873026A (ja) * | 1981-10-26 | 1983-05-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 溝付光デイスク |
| JPS5877048A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-10 | Pioneer Electronic Corp | 光磁気記録再生方式における読取装置 |
| JPS58100249A (ja) * | 1981-12-09 | 1983-06-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学情報記録用担体 |
| JPS58102347A (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-17 | Mitsubishi Electric Corp | 光デイスク記録担体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6050733A (ja) | 1985-03-20 |
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