JPS6050733A - 光学式記録媒体及びその原盤の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はプリグループ及びアドレスピットを有する光学
的に記録及び再生の可能な光学式記録媒体及びその原盤
の製造装置に関する。

背景技術とその問題点 先ず第１図及び第２図を参照して、従来の記録及び再生
の可能な光学式記録媒体について説明する。第１図及び
第２図において（１）は光学式記録媒体（ディスク）を
全体として示し、第１図においてＰＧはプリグループ（
図示の場合は同心円プリグループであるが、円に近い渦
巻き状プリブループでも良い）、ｓｃはその各プリグル
ープＰＧのセクタ、ＡＰはそのプリグループＰＧの番号
及びセクタＳＣの番号を表わすべくプリグループＰＧ内
に於いて各セクタｓｃの端部に形成されたアドレスピッ
トである。尚、プリグループＰＧのピッチが２．０μｍ
１その幅が０．８μｍである。

この光学式記録媒体Ｉｌ＋は第２図に示すごとく、アク
リル等の透明なプラスチック基板＋２）上に情報を光学
的に記録すべきプリグループＰＧの形成された一層又は
多層の低融点金輌層（反射金属層）（３）が形成されて
いる。尚、ＬＤは金属層（３１０ランド部である。（４
１は金属層（３）上に被着形成されたプラスチックから
成る保護層である。かかる光学式記録媒体（１；に於い
ては、レーザ光源よりのレーザビームを金属層（３）の
プリグループＰＧにトラッキングをとりながら走査させ
、そのプリグループＰＧ内に情報を光学的に記録してい
くものである。その記録の仕方は、プリグループＰＧに
レーザビームを照射することによって、その金属層（３
）の構造を変化させてその反射率を高めることにより、
音声、ビデオ、データ信号等を周波数変調、位相変調、
ＰＣＭ等による光学的ドツトの列として記録トラックを
形成する如く記録する。尚、金属層（３）をレーザビー
ムによって融解してその反射率を低下させることによっ
て、又はその下層の他の金属層を露呈させてそれにより
反射率を高めることによって光学的ドツトを形成するこ
ともできる。

次に第３図を参照して、上述した光学式記録媒体を製造
するーための原盤（１）について説明する。第３図の人
はその原盤（１）の部分的上面図、Ｂはその部分的断面
図である。（５）は例えばガラス基板であって、上述の
光学式記録媒体（１１に対する記録及び再生用ビームの
波長なλ、記録及び再生用ビームの透過する光透過層、
即ち透明基板（２１の屈折率を、λ ｎとするとき、厚さか而となるごとくフォトレジスト層
（６１を均一に被着形成し、これをガラス基板（５）上
に至るまでのカッティングを行ない、即ちレーザビーム
を照射し、これを現像することによりλ 夫々共ＶＣ８ｎの位相深さのプリグループＰＧ及びアド
レスピッ）ＡＰを形成する。

そして、その後は従来周知のごとく、この原盤（１１の
ガラス基板（５）上に残存したフォトレジスト層（６１
の上にメッキを行ない、これを素にしてメタルマスクを
作り、このメタルマスクからマザーを作る。そして、こ
のマザーからスタンパを作り、このスタンバを用いてア
クリル等の光透過性樹脂をスタンプして透明基板（２１
を形成し、その上に光反射金属層（３）を被着形成し、
その上に保睦層（４）を被着形成するものである（第２
図参照）。

ところで、この第３図に図示の光学式記録媒体（１１の
原盤１１＋においては、ガラス基板（５）上に塗布する
フォトレジスト層（６）の厚さが６００〜８００Ｘ程度
と極く薄く、厚さが不均一となり、ピンホールも生じる
という欠点がある他、プリグループＰＧの位相深さも、
アドレスピットＡＰの位相深さも共に人であるために、
次のような間趙が生じる。即ｎ ち、先ず最終的に形成される第１図及び第２図に示した
光学式記録媒体（ディスク）…の金属層（３１による反
射光量を第４図を用いて説明する。光反射金属層（３１
が理想的な鏡面である場合の反射光量をＩＯとすると、
金属層（３）のランド部Ｔ、Ｄ上の反射光量ＩＴＯＰは
略■０に匹敵する。ＳＡＰはアドレスピッ）ＡＰによる
反射光景の変調部分を示し、そのピークレベルをＴＰＰ
とする。ＳＲＰは、プリグルーブＰＧ内に情報信号の記
録を行ない、それを再生した場合の反射光量の変調を示
し、ＩＲＰはそのピーク値を示す。プリグループＰＣの
位相深さが主であるので、トラッキングエラー信号（プ
ツシｎ ニブル信号）のレベルは犬となるが、その反面、アドレ
スピットＡＰの位相深さがプリグループＰＧλ のそれと同様に茄であるために、この第４図から分かる
ように、アドレスピットＡＰからの再生光量のピーク値
はＩＯの２０〜３０％と頗る少ないことが分かる。

逆に、アドレスピッ）ＡＰからの再生光量のピーク値Ｉ
ＰＰを大にするために、アドレスピットＡＰ及びプリグ
ループＰＧの位相深さを共に石にすると、トラッキング
ニジ−信号のレベルが小さくなると共に、プリグループ
ＰＧの変調度が太きくなって再生情報信号のＳ／Ｎが低
下してしまう。

そこで両要求を満足させるためには、原盤（１′）のλ 製造時において、ガラス基板（５）上に茹厚の７オトレ
ジスト層（６）を被着形成しておき、同一ビームの形成
のための崩光において異ならしめて、夫々プなるように
することも考えられる。しかし、この場合には、フォト
レジスト層がプリグループＰＧの部分に於いてハーフト
ーンで露光されるため、そのプロセスコントロールが困
難であり、しかもハーフトーンで露光されたフォトレジ
スト層は現像の不均一性から、アドレスピッ）ＡＰの位
相深さが不均一となり、これを基にして作ったディスク
Ｉｌ＋に記録を行ない、これからアドレスピット、什を
再生ｌ−た場合、ぞの再生信号のＳ／Ｎが悪くなるとい
う欠点がある。

又、従来は光学式記録媒体（１）のプリグループＰＧ内
に情報を記録していたため、再生情報信号のＳ／Ｎが小
さく、しかもドロップアウトの可能性が高かった。

発明の目的 斯る点に鑑み第１の本発明は、プリグループ及びアドレ
スピットを有し、光学的に記録及び再生の可能な光学式
記録媒体において、トラッキングエラー信号のレベルが
大で、アドレスピットの再生信号のＳ／Ｎが良好で、且
つドロップアウトが少なく、Ｓ／Ｎの良好な情報信号を
再生することのできるものを提案しようとするものであ
る。

第２の本発明は、第１の本発明による光学式記録媒体の
原盤を容易に製造することのできる光学式記録媒体の原
盤の製造装置を得んとするものである。

発明の概要 本発明による光学式記録媒体は、記録及び再生用ビーム
の波長をλ、記録及び再生用ビームの透過する光透過層
の屈折率をｎと夫々したとき、光学的に記録及び再生の
可能な金属層のビーム入射λ の間の石の位相深さを有するアドレスピットとが形成さ
れて成るものである。

期る本発明によれば、プリグループ及びアドレスピット
を有し、光学的に記録及び再生の可能な光学式記録媒体
において、トラッキングエラー信号のレベルが大で、ア
ドレスピットの再生信号のＳ／Ｎが良好で、且つドロッ
プアウトが少なく、Ｓ／Ｎの良好な情報信号を再生する
ことのできるものを得ることができる。

本発明による光学式記録媒体の原盤の製造装置は、光源
と、この光源からの出射ビームを第１及び第２のビーム
に２分する光分割手段と、第２のビームを記録すべきア
ドレス情報に応じて光変調する光変調器と、第１のビー
ム及び光変調器によりて光変調された第２のビームの供
給される対物レンズを有し、フォトレジスト層の被着形
成された基板上のそのフォトレジスト層を対物レンズに
よって集束されｔ−第１及び第２のビームによって走査
して、光学式記録媒体に対する記録及び再生用ビームの
波長なλ、記録及び再生用ビームの透過ス する光透過層の屈折率をｎと夫々したとき、踊の位相深
さを有するプリグループ及びその間に配さλ れた扁の位相深さを有するアドレスピットを上記フォト
レジスト層に形成して、光学式記録媒体の原盤を製造す
るようにしたものである。

斯る本発明によれば第１の本発明による光学式記録媒体
の原盤を容易に製造することのできる光学式記録媒体の
原盤の製造装置を得ることができる。

実施例 以下に第５図を参照して、本発明による光学式記録媒体
の原盤の構成について説明する。上述の第１図及び第２
図と同様に、ガラス基板（５）上にフォトレジスト層（
６１を被着形成するが、その場合のλ 厚さを石とする。そして、後述するところから明らかに
なるが、２本のビームを用いて、アドレスピットＡＰと
してはそのフォトレジスト層（６）をガラス基板（５）
の表面に達するまで露光及び現像によリカツテイングし
、プリグループＰＧはアドレスピッ）ＡＰを形成するビ
ームに比らべて光値の少λ ないビームを用いて福の位相深さに形成する。

そして、このようにして形成した原盤＋Ｉ＋を用い冒頭
に述べたような手順をふんで第６図に示すごとき光学式
記録媒体（１１を得る。即ち、アクリル等形成された低
融点金属層（３；が被着形成される。（４１は保護層で
ある。この場合、プリグループＰＧは金属層（３１のラ
ンド部ＬＤ上に形成され、そのピッチは２μｍ、プリグ
ループＰＧ及びアドレスピットＡＰ間の間隔は１μｍ、
夫々の幅は０．５μｍである。

情報信号は金属層（３）のランド部ＬＤの中央に記録さ
れる。

尚、記録及び再生時共光学系よりのビームは透明基板１
２＋側から媒体（１）の金属層（３１に入射するのは勿
論である。このようにして得られた光学式記録媒体１１
＋の反射光量を第７図を参照して説明するも、第７図に
おいて第４図と対応する部分には同一符号を付して重複
説明を省略する。この場合にはアドレスピットの反射光
量の変調によるピークレベルＩＰＰはＩｏの５０〜６０
％とＳ４図の場合に比し大幅に大となっていることが分
かる。

爵、このようにして形成された光学式記録媒体は１本の
ビームを用い、ランド部上のアドレスピットＡＰの再生
及びトラッキングエラー信号の検出と共に、ドツ、トに
よるランド部ＬＤへの情報信号の記録を行なう。また、
３本のビームを用いてトラッキングエラーの検出と、ア
ドレスピットの再生、情報信号の記録を行なうようにし
てもよい。

再生時においても、同じ装置を用いてランド部ＬＤに記
録されたドツトの位相変調、或いは胸波数変調、ＰＣＭ
された情報信号を再生することができる。

上述せる光学式記録媒体によれば、トラッキングエラー
信号のレベルが大で、プリグループの変調度に多少バラ
ツキがあっても、再生情報信号への影響は少なく、アド
レスピットをＳ／Ｎ良く再生でき、歩留りが模く、Ｓ７
どＮが良好でドロップアウトの可能性の少ない情報信号
を再生できる。又、アドレスピットに対するトラッキン
グエラー信号は零なので、アドレスピットによってトラ
ッキングエラー信号に外乱が混入しない。プリグループ
には情報４ａ号を記録しないので、その幅を狭くするこ
とができ、記録密度の向上につながる。

次に第８図を参照して上述の光学式記録媒体の原盤の製
造装置について説明する。（７）はレーザ光源（例えば
Ａｒ又はＨｅ−Ｃｄレーザ光源）であってこれより例え
ばＳ偏光のレーザビームＬＢｏを発射させ、これをビー
ムスプリッタ（８）に入射して第１及び第２のビームＬ
Ｂｉ　、ＬＢ２に分離する。第１のビームＬＢムはビー
ムスプリッタ（８１によってその光路が９０　偏向せし
められ、第２のビームＬＢｓは直進した後、ミラー（９
）によってその光路が９０偏向せしめられる。

これら第１及び第２のビームＬＢ１、ＬＢ２は夫々レン
ズａ〔、ａｕを介して第１及び第２の光変調器（電気−
光学素子）Ｑ２１１Ｑ３１に供給される。第１の光変調
器（１２１には直流電源（１４＋よりの直流電圧が与え
られる。第２の光変調器（１３には信号源（１５１より
のパル２信号、即ちトラック番号及びセクタ番号を示す
アドレス信号が供給されて、第２のビームＬＢ２が光変
調される。第９図及び第１０図は夫々第１及び第２の光
変調器α２、α３）から得られたビームの波形を示す。

尚、第１及び第２の光変調器（＋２１、（１′５に加え
る電圧によって、フォトレジスト層（６）を露光するビ
ームの強さを、前者が弱く、稜渚が強くなるように調整
できる。

これら採ｌ及び第２の光変調器ｔ１２１．　＋１３１か
ら得られた夫々ｓ、、ｐ偏光のビームＬＢ　ｔ、Ｌ］１
２は夫々凸レンズ＋１６１．、ａηを介して夫々ミラー
（＋８１．０１に入射して、その光路が９０　偏向せし
められる。第１のビームＬＢ１は更にミラー（イ）によ
ってその光路は９０　偏向せしめられて偏光ビームスプ
リッタＣｌ１ｌに入射せしめられる。又、ミラー（１１
によって９０　偏向せしめられた第２のビームＬＢ２も
偏向ビームスプリッタｔ２ｎに入射せしめられる。

そして、偏光ビームスプリッタ１２１１を出射した第１
及び第２のビームＬＢ、、ＬＢ２が凸レンズ■を介して
ミラー（ハ）に入射してその光路が９０　偏向せしめら
れた後、対物レンズｃ！４１に入射して集束ビームとな
され、これら・ビームＬＢＩ、ＬＢ２が１μｍの間隔を
以って上述のガラス基板（５）上に形成されたフオトレ
ジス）　Ｊｂ　ｆ（ｉｌ　、１：に照射ぜしめられ、そ
のフォトレジスト層（６）が照光せしめられる。この露
光されたフォトレジスト鳩（６）は現像さＪすることに
より、光に感光した部分が除去され゛Ｃ１第５図に示し
た如きプリグループＰ　Ｇ及びアドレスピットＡＰ　が
形成される。

」二連せる光学式記録媒体の原盤の製造装置によれば、
」：述の光学式記録媒体のＪｊＡ盤を容易に製造するこ
とができる。

尚、トラッキングサーボ回路の極性を入れ替えることに
より、従来の光学式記録ディスクを用いて本発明による
光学式記録ディスクのトラッキングは容易である。

発明の効果 上述せる第１の本発明によれば、プリグループ及びアド
レスピットを有し、光学的に記録及び再生の可能な光学
式記録媒体において、トラッキンクエラー信号のレベル
が大で、アドレスピットの再生４Ｎ−リのＳ／Ｎが良好
で、１つドロップが少なく、Ｓ／Ｎの良好な情報信号を
再生することのできるものを得ることができる。

第２の本発明によれば第１０本発ゆ」による光学式記録
媒体の原盤を容易に製造することのできる光学式配録媒
体の原盤の製造装置をイ！することかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は従来の記録再生可能な光学式記録媒
体の平面図及び断面図、第３図Ａ、Ｕは第１図及び第２
図の光学式記録媒体の原盤を示す平面図及び断面図、第
４図は従来の光学式記録媒体の反射光の特性を示す曲線
図、第５図Ａ、　Ｂは本発明による光学式記録媒体の原
盤を示す平面図及び断面図、第６図はその原盤を用いて
得られた本発明による光学式記録媒体を示す断面図、第
７図はその光学式記録媒体の反射光の特性を示す曲線図
、第８図は本発明による光学式記録媒体の原盤の製造装
置を示す配置図、第９図及び第１０図は第８図の装置の
第１及び第２の光変調器の出力ビームの波形を示す波形
図である。 （１）は光学式記録媒体、（２１は光透過層としての透
明基板、（３１はその上に形成された反射金属層、（４
１はその上に形成された保一層、ＰＧはプリグループ、
ＡＩ’はアドレスピッ）、＋７１は光諒、（８）は分割
手段、＋１２１．　＋１３は第１及び第２の光変調器、
０．ＩＩは対物レンズ、（１）は原盤である。　５ 第１図 イ 第１０図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　記録及び拘止用ビームの波長をλ、該記録及び再
   生用ビームの透過する光透過層の屈折率をｎと夫々した
   とき、光学的に記録及び再生の可λ 有するプリグループと、その間の石の位相深さを有する
   アドレスピットとが形成されて成るととを特徴とする光
   学式記録媒体。 ２、光源と、該光源からの出射ビームを第１及び第２の
   ビームに２分する光分割手段と、上記第２のビームを記
   録すべきアドレス情報に応じて光変調する光変調器と、
   」二記第１のビーム及び上記光変調器によって光変調さ
   れた上記第２のビームの供給される対物レンズとを有し
   、フォトレジスト層の被着形成された基板上の該フォト
   レジスト層を上記対物レンズによって集束された上記第
   １及び第２のビームによって走査して、光学式記録媒体
   に対する記録及び再生用ビームの波長をλ、該記録及び
   再生用ビームの透過する光透過層の屈折率をｎと夫々し
   たとき、λ に配された石の位相深さを有するアドレスピットを上記
   フォトレジスト層に形成して、光学式記録媒体の原盤を
   製造することを特徴とする光学式記録媒体の原盤の製造
   装置。