JPH05331386A - 帯電防止性透明塗料 - Google Patents
帯電防止性透明塗料Info
- Publication number
- JPH05331386A JPH05331386A JP14171692A JP14171692A JPH05331386A JP H05331386 A JPH05331386 A JP H05331386A JP 14171692 A JP14171692 A JP 14171692A JP 14171692 A JP14171692 A JP 14171692A JP H05331386 A JPH05331386 A JP H05331386A
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- JP
- Japan
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- weight
- resin
- surfactant
- antistatic
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 透明性と帯電防止機能に優れ、長期保存が可
能な帯電防止性透明塗料を得る。 【構成】 ポリビニルブチラール樹脂100重量部、平
均粒径0.1ミクロンの酸化錫を主成分とする粉末20
0重量部、メチルエチルケトン200重量部、シクロヘ
キサノン1000重量部、非イオン系の界面活性剤(ポ
リオキシエチレンドデシルアルコールエーテル)80重
量部(全塗料の5重量%)を、ボールミルに仕込み、4
8時間混練分散して、帯電防止性透明塗料を調製する。
この塗料を透明なポリエステルフィルム(PET)上に
厚さ1μm に塗布する。このフィルムの表面抵抗率は3
×106 、全光線透過率は90%、曇り度(ヘイズ)は
12%で、塗料は2箇月静置しても粒子の沈降はない。
能な帯電防止性透明塗料を得る。 【構成】 ポリビニルブチラール樹脂100重量部、平
均粒径0.1ミクロンの酸化錫を主成分とする粉末20
0重量部、メチルエチルケトン200重量部、シクロヘ
キサノン1000重量部、非イオン系の界面活性剤(ポ
リオキシエチレンドデシルアルコールエーテル)80重
量部(全塗料の5重量%)を、ボールミルに仕込み、4
8時間混練分散して、帯電防止性透明塗料を調製する。
この塗料を透明なポリエステルフィルム(PET)上に
厚さ1μm に塗布する。このフィルムの表面抵抗率は3
×106 、全光線透過率は90%、曇り度(ヘイズ)は
12%で、塗料は2箇月静置しても粒子の沈降はない。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、塗膜が透明で、しか
も帯電防止機能を有する帯電防止性透明塗料に関する。
も帯電防止機能を有する帯電防止性透明塗料に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体製造工場の床材や壁材、半導体ウ
エハー保存容器、クリーンルーム等には、内部を透視す
ることができ、しかも帯電防止機能を有する透明材料が
使用されている。このような帯電防止性の透明材料は、
通常の透明材料の表面に、帯電防止性透明塗料による塗
膜を形成させて得ることができる。
エハー保存容器、クリーンルーム等には、内部を透視す
ることができ、しかも帯電防止機能を有する透明材料が
使用されている。このような帯電防止性の透明材料は、
通常の透明材料の表面に、帯電防止性透明塗料による塗
膜を形成させて得ることができる。
【0003】この種の塗料として、透明なバインダー樹
脂に、酸化錫又は/及び酸化インジウムを主成分とし、
平均粒径が可視光の波長よりも小さい0.2μm の酸化
錫又は酸化インジウムを主成分とする導電性微粉末を配
合した塗料が、知られている(例えば、特開昭61−5
7660号公報、特公昭61−9343号公報、特公平
2−19150号公報参照)。
脂に、酸化錫又は/及び酸化インジウムを主成分とし、
平均粒径が可視光の波長よりも小さい0.2μm の酸化
錫又は酸化インジウムを主成分とする導電性微粉末を配
合した塗料が、知られている(例えば、特開昭61−5
7660号公報、特公昭61−9343号公報、特公平
2−19150号公報参照)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
電防止性透明塗料にあっては、導電性微粉末を高度に分
散させることが困難で、分散不良により導電性微粉末が
二次凝集して大きな粒子となって塗料中に沈降してゲル
化するため、長期保存ができないという問題がある。ま
た、得られる塗膜は、透明性の点でも充分に満足のいく
ものではない。
電防止性透明塗料にあっては、導電性微粉末を高度に分
散させることが困難で、分散不良により導電性微粉末が
二次凝集して大きな粒子となって塗料中に沈降してゲル
化するため、長期保存ができないという問題がある。ま
た、得られる塗膜は、透明性の点でも充分に満足のいく
ものではない。
【0005】この発明は、上記の問題を解決するもの
で、その目的とするところは、透明性と帯電防止機能に
優れ、長期保存が可能な帯電防止性透明塗料を提供する
ことにある。
で、その目的とするところは、透明性と帯電防止機能に
優れ、長期保存が可能な帯電防止性透明塗料を提供する
ことにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明では、透明なバインダー樹脂として水酸基
を有する樹脂を用いる。そして、この樹脂100重量部
に対して、酸化錫又は/及び酸化インジウムを主成分と
し、平均粒径が0.2μm 以下の導電性微粉末を100
〜350重量部含有させ、さらに塗料全量に対して界面
活性剤又は/及びカップリング剤を2〜10重量%含有
させる。
め、この発明では、透明なバインダー樹脂として水酸基
を有する樹脂を用いる。そして、この樹脂100重量部
に対して、酸化錫又は/及び酸化インジウムを主成分と
し、平均粒径が0.2μm 以下の導電性微粉末を100
〜350重量部含有させ、さらに塗料全量に対して界面
活性剤又は/及びカップリング剤を2〜10重量%含有
させる。
【0007】この発明においては、種々のバインダー樹
脂の中から、特に水酸基を有する樹脂を選んで用いる。
水酸基を有する樹脂としては、ポリビニルブチラール等
のポリビニルアセタール樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂を鹸
化して得られるポリビニルアルコール、ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)
アクリレート等の水酸基を有するモノマーと他のモノマ
ーとの共重合体、水酸基含有の飽和熱可塑性ポリエステ
ル等が好適である。
脂の中から、特に水酸基を有する樹脂を選んで用いる。
水酸基を有する樹脂としては、ポリビニルブチラール等
のポリビニルアセタール樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂を鹸
化して得られるポリビニルアルコール、ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)
アクリレート等の水酸基を有するモノマーと他のモノマ
ーとの共重合体、水酸基含有の飽和熱可塑性ポリエステ
ル等が好適である。
【0008】導電性微粉末としては、酸化錫又は/及び
酸化インジウムを主成分とし、その平均粒径は0.2μ
m 以下、好ましくは0.1μm 以下のものを用いる。酸
化錫又は酸化インジウムのいずれか一方を単独で用いて
もよく、両方を混合して用いてもよい。また、酸化錫又
は酸化インジウムには、導電性を高めるために、アンチ
モン、錫、リン、亜鉛、フッ素などの元素が少量、例え
ば0.1〜20重量%程度含有されていてもよい。
酸化インジウムを主成分とし、その平均粒径は0.2μ
m 以下、好ましくは0.1μm 以下のものを用いる。酸
化錫又は酸化インジウムのいずれか一方を単独で用いて
もよく、両方を混合して用いてもよい。また、酸化錫又
は酸化インジウムには、導電性を高めるために、アンチ
モン、錫、リン、亜鉛、フッ素などの元素が少量、例え
ば0.1〜20重量%程度含有されていてもよい。
【0009】塗膜の優れた透明性と帯電防止機能を確保
するうえで、この導電性微粉末は、上記の水酸基を有す
る樹脂100重量部に対して100〜350重量部、好
ましくは120〜300重量部の割合で含有される。
するうえで、この導電性微粉末は、上記の水酸基を有す
る樹脂100重量部に対して100〜350重量部、好
ましくは120〜300重量部の割合で含有される。
【0010】導電性微粉末の量が100重量部未満であ
ると、塗料中での分散度合いが充分であっても、充分な
帯電防止機能を有する塗膜が得られない。逆に、導電性
微粉末の量が350重量部を越えると、塗料中での分散
が悪くなり、充分な透明性を有する塗膜が得られない。
ると、塗料中での分散度合いが充分であっても、充分な
帯電防止機能を有する塗膜が得られない。逆に、導電性
微粉末の量が350重量部を越えると、塗料中での分散
が悪くなり、充分な透明性を有する塗膜が得られない。
【0011】さらに、この発明においては、導電性微粉
末の分散性を高めるために、界面活性剤又は/及びカッ
プリング剤を用いる。界面活性剤又はカップリング剤い
ずれか一方を単独で用いてもよく、両方を混合して用い
てもよい。
末の分散性を高めるために、界面活性剤又は/及びカッ
プリング剤を用いる。界面活性剤又はカップリング剤い
ずれか一方を単独で用いてもよく、両方を混合して用い
てもよい。
【0012】界面活性剤としては、陰イオン系、陽イオ
ン系、両性イオン系、非イオン系、その他フッ素系な
ど、いずれも使用可能であるが、特に非イオン系の界面
活性剤は、親水基である水酸基の数を多く調節すること
が可能で、しかも気泡の発生が極めて少なく好適であ
る。
ン系、両性イオン系、非イオン系、その他フッ素系な
ど、いずれも使用可能であるが、特に非イオン系の界面
活性剤は、親水基である水酸基の数を多く調節すること
が可能で、しかも気泡の発生が極めて少なく好適であ
る。
【0013】非イオン系の界面活性剤としては、ポリオ
キシエチレンドデシルアルコールエーテル、ポリオキシ
エチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンモノラ
ウレート、ソルビタンモノステアレート等が挙げられ
る。カップリング剤としては、シラン系、チタン系、ア
ルミニウム系、その他ジルコニウム系、マグネシウム系
などいずれも使用可能である。
キシエチレンドデシルアルコールエーテル、ポリオキシ
エチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンモノラ
ウレート、ソルビタンモノステアレート等が挙げられ
る。カップリング剤としては、シラン系、チタン系、ア
ルミニウム系、その他ジルコニウム系、マグネシウム系
などいずれも使用可能である。
【0014】これ等の界面活性剤又は/及びカップリン
グ剤は、塗料全量の2〜10重量%、好ましくは3〜5
重量%の割合で含有される。界面活性剤又は/及びカッ
プリング剤の量が、塗料全量に対して2重量%未満の場
合は、導電性微粉末の分散性が充分でなく、導電性微粉
末が短期間で塗料中に沈降してゲル化し、また充分な透
明性を有する塗膜が得られない。
グ剤は、塗料全量の2〜10重量%、好ましくは3〜5
重量%の割合で含有される。界面活性剤又は/及びカッ
プリング剤の量が、塗料全量に対して2重量%未満の場
合は、導電性微粉末の分散性が充分でなく、導電性微粉
末が短期間で塗料中に沈降してゲル化し、また充分な透
明性を有する塗膜が得られない。
【0015】逆に、界面活性剤又は/及びカップリング
剤の量が、塗料全量に対して10重量%を越えると、こ
の場合も、導電性微粉末が短期間で塗料中に沈降しやす
くなり、また塗膜の帯電防止機能も低下し、さらにコス
トも高くなる。
剤の量が、塗料全量に対して10重量%を越えると、こ
の場合も、導電性微粉末が短期間で塗料中に沈降しやす
くなり、また塗膜の帯電防止機能も低下し、さらにコス
トも高くなる。
【0016】なお、この発明の帯電防止性透明塗料に
は、この発明の目的が達成される範囲内で、必要に応じ
て紫外線吸収剤、透明着色剤、コロイダルシリカ等の平
均粒径が0.1μm 以下の導電性を持たないコロイド粒
子からなる充填剤などを含有させることができる。
は、この発明の目的が達成される範囲内で、必要に応じ
て紫外線吸収剤、透明着色剤、コロイダルシリカ等の平
均粒径が0.1μm 以下の導電性を持たないコロイド粒
子からなる充填剤などを含有させることができる。
【0017】この発明の塗料を調製するには、例えば、
前記のバインダー樹脂を適当な有機溶剤に溶解させ、こ
れに界面活性剤又は/及びカップリング剤を加え、さら
に前記の導電性微粉末を、ボールミル、サンドミル、、
高速回転攪拌器、三本ロール等により混合して均一に分
散させる。
前記のバインダー樹脂を適当な有機溶剤に溶解させ、こ
れに界面活性剤又は/及びカップリング剤を加え、さら
に前記の導電性微粉末を、ボールミル、サンドミル、、
高速回転攪拌器、三本ロール等により混合して均一に分
散させる。
【0018】有機溶剤は、バインダー樹脂、界面活性
剤、カップリング剤を溶解させることができればよく、
例えば、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケト
ン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン、トルエン、酢
酸エチル、イソプロパノール、n−ブタノール等の中か
ら一種以上が選定される。
剤、カップリング剤を溶解させることができればよく、
例えば、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケト
ン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン、トルエン、酢
酸エチル、イソプロパノール、n−ブタノール等の中か
ら一種以上が選定される。
【0019】こうして、この発明の帯電防止性透明塗料
が得られる。この塗料は、スプレー法、ロールコート
法、バーコート法、ディッピング法などの一般的な塗布
方法により帯電防止を施す対象物、例えば塩化ビニル樹
脂、アクリル樹脂、スチレン樹脂、ポリカーボネート樹
脂、ポリエステル樹脂等からなる透明な板、容器等に塗
布される。
が得られる。この塗料は、スプレー法、ロールコート
法、バーコート法、ディッピング法などの一般的な塗布
方法により帯電防止を施す対象物、例えば塩化ビニル樹
脂、アクリル樹脂、スチレン樹脂、ポリカーボネート樹
脂、ポリエステル樹脂等からなる透明な板、容器等に塗
布される。
【0020】
【作用】バインダー樹脂として、水酸基を有する樹脂を
用いると、この水酸基は酸化錫又は/及び酸化インジウ
ムを主成分とする導電性微粉末との親和性が良好である
ため、導電性微粉末の分散性向上に寄与する。しかも、
この水酸基は親水性であるので、帯電防止性向上に寄与
する。
用いると、この水酸基は酸化錫又は/及び酸化インジウ
ムを主成分とする導電性微粉末との親和性が良好である
ため、導電性微粉末の分散性向上に寄与する。しかも、
この水酸基は親水性であるので、帯電防止性向上に寄与
する。
【0021】また、界面活性剤又は/及びカップリング
剤は、親水基と親油基を持つので、水酸基を有する樹脂
及び上記導電性微粉末との親和性が良好で、導電性微粉
末の一次粒子の表面に界面活性剤又は/及びカップリン
グ剤の膜が形成され、それにより粒子の二次凝集が防止
され、導電性微粉末を塗料中に効果的に分散させる。し
かも、親水基が帯電防止性の向上にも寄与する。
剤は、親水基と親油基を持つので、水酸基を有する樹脂
及び上記導電性微粉末との親和性が良好で、導電性微粉
末の一次粒子の表面に界面活性剤又は/及びカップリン
グ剤の膜が形成され、それにより粒子の二次凝集が防止
され、導電性微粉末を塗料中に効果的に分散させる。し
かも、親水基が帯電防止性の向上にも寄与する。
【0022】
【実施例】以下、この発明の実施例と比較例を示す。実施例1 ポリビニルブチラール樹脂(エスレックE−HA:積水
化学社製)100重量部、平均粒径0.1ミクロンの酸
化錫を主成分とする粉末(T−1:三菱マテリアル社
製)200重量部、メチルエチルケトン200重量部、
シクロヘキサノン1000重量部、非イオン系の界面活
性剤(ポリオキシエチレンドデシルアルコールエーテ
ル)30重量部(全塗料の2重量%)を、ボールミルに
仕込み、48時間混練分散して、帯電防止性透明塗料を
調製した。
化学社製)100重量部、平均粒径0.1ミクロンの酸
化錫を主成分とする粉末(T−1:三菱マテリアル社
製)200重量部、メチルエチルケトン200重量部、
シクロヘキサノン1000重量部、非イオン系の界面活
性剤(ポリオキシエチレンドデシルアルコールエーテ
ル)30重量部(全塗料の2重量%)を、ボールミルに
仕込み、48時間混練分散して、帯電防止性透明塗料を
調製した。
【0023】この塗料をバーコーター(♯6)で透明な
ポリエステルフィルム(PET)上に塗布し室温で1時
間乾燥して、厚さ1ミクロンの透明な塗膜をポリエステ
ルフィルム上に形成して、ポリエステルフィルムの帯電
防止処理を行った。
ポリエステルフィルム(PET)上に塗布し室温で1時
間乾燥して、厚さ1ミクロンの透明な塗膜をポリエステ
ルフィルム上に形成して、ポリエステルフィルムの帯電
防止処理を行った。
【0024】この帯電防止処理ポリエステルフィルムに
ついて、ASTM D257の試験法に準拠して表面抵
抗率(Ω/□)を測定した。この帯電防止処理ポリエス
テルフィルムについてASTM D1003の試験法に
準拠して全光線透過率及び曇り度(ヘイズ)を測定し
た。なお、帯電防止処理をする前の上記ポリエステルフ
ィルム(PET)の表面抵抗率は1014(Ω/□)、全
光線透過率は92%、曇り度(ヘイズ)は1%であっ
た。
ついて、ASTM D257の試験法に準拠して表面抵
抗率(Ω/□)を測定した。この帯電防止処理ポリエス
テルフィルムについてASTM D1003の試験法に
準拠して全光線透過率及び曇り度(ヘイズ)を測定し
た。なお、帯電防止処理をする前の上記ポリエステルフ
ィルム(PET)の表面抵抗率は1014(Ω/□)、全
光線透過率は92%、曇り度(ヘイズ)は1%であっ
た。
【0025】さらに、導電性微粉末の分散性を評価する
ために、前記塗料を透明なガラス瓶に入れ室内に静置
し、期間の経過とともに塗料の分離、沈降状態を目視で
観察した。以上の結果をまとめて表1に示す。
ために、前記塗料を透明なガラス瓶に入れ室内に静置
し、期間の経過とともに塗料の分離、沈降状態を目視で
観察した。以上の結果をまとめて表1に示す。
【0026】実施例2 実施例1において、非イオン系の界面活性剤30gを、
45g(全塗料の3重量%)に変更した。それ以外は実
施例1と同様に行った。その結果をまとめて表1に示
す。
45g(全塗料の3重量%)に変更した。それ以外は実
施例1と同様に行った。その結果をまとめて表1に示
す。
【0027】実施例3 実施例1において、非イオン系の界面活性剤30gを、
80g(全塗料の5重量%)に変更した。それ以外は実
施例1と同様に行った。その結果をまとめて表1に示
す。
80g(全塗料の5重量%)に変更した。それ以外は実
施例1と同様に行った。その結果をまとめて表1に示
す。
【0028】実施例4 実施例1において、非イオン系の界面活性剤30gを、
170g(全塗料の10重量%)に変更した。それ以外
は実施例1と同様に行った。その結果をまとめて表1に
示す。
170g(全塗料の10重量%)に変更した。それ以外
は実施例1と同様に行った。その結果をまとめて表1に
示す。
【0029】比較例1 比較例1において、非イオン系の界面活性剤を全く配合
しなかった。それ以外は実施例1と同様に行った。その
結果をまとめて表1に示す。
しなかった。それ以外は実施例1と同様に行った。その
結果をまとめて表1に示す。
【0030】比較例2 実施例1において、非イオン系の界面活性剤30gを、
15g(全塗料の1重量%)に変更した。それ以外は実
施例1と同様に行った。その結果をまとめて表1に示
す。
15g(全塗料の1重量%)に変更した。それ以外は実
施例1と同様に行った。その結果をまとめて表1に示
す。
【0031】比較例3 実施例1において、非イオン系の界面活性剤30gを、
205g(全塗料の12重量%)に変更した。それ以外
は実施例1と同様に行った。その結果をまとめて表1に
示す。
205g(全塗料の12重量%)に変更した。それ以外
は実施例1と同様に行った。その結果をまとめて表1に
示す。
【0032】
【表1】
【0033】
【発明の効果】上述の通り、この発明の帯電防止性透明
塗料には、水酸基を含有する樹脂100重量部に対し
て、酸化錫又は及び酸化インジウムを主成分とし、平均
粒径が0.2μm 以下の導電性微粉末が100〜350
重量部含有され、さらに界面活性剤又は/及びカップリ
ング剤が塗料全量の2〜10重量%含有されており、こ
れ等の各材料及びその量的効果が相まって寄与し、それ
により、透明性と帯電防止機能に優れ、長期保存が可能
な帯電防止性透明塗料が得られる。また、耐久性も優れ
ている。
塗料には、水酸基を含有する樹脂100重量部に対し
て、酸化錫又は及び酸化インジウムを主成分とし、平均
粒径が0.2μm 以下の導電性微粉末が100〜350
重量部含有され、さらに界面活性剤又は/及びカップリ
ング剤が塗料全量の2〜10重量%含有されており、こ
れ等の各材料及びその量的効果が相まって寄与し、それ
により、透明性と帯電防止機能に優れ、長期保存が可能
な帯電防止性透明塗料が得られる。また、耐久性も優れ
ている。
【0034】したがって、この発明の帯電防止性透明塗
料は、半導体製造工場の床材や壁材、配管材、半導体ウ
エハー保存容器、クリーンルーム等の帯電防止に好適に
使用される。
料は、半導体製造工場の床材や壁材、配管材、半導体ウ
エハー保存容器、クリーンルーム等の帯電防止に好適に
使用される。
Claims (1)
- 【請求項1】 透明なバインダー樹脂と、酸化錫又は/
及び酸化インジウムを主成分とし、平均粒径が0.2μ
m 以下の導電性微粉末とを含有する帯電防止性透明塗料
において、透明なバインダー樹脂として水酸基を有する
樹脂を用い、この樹脂100重量部に対して上記の導電
性微粉末を100〜350重量部含有し、さらに塗料全
量に対して界面活性剤又は/及びカップリング剤を2〜
10重量%含有することを特徴とする帯電防止性透明塗
料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14171692A JPH05331386A (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | 帯電防止性透明塗料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14171692A JPH05331386A (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | 帯電防止性透明塗料 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05331386A true JPH05331386A (ja) | 1993-12-14 |
Family
ID=15298539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14171692A Pending JPH05331386A (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | 帯電防止性透明塗料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05331386A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001032792A1 (fr) * | 1999-10-29 | 2001-05-10 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Materiau de revetement pour la formation d'un film transparent conducteur |
US6277203B1 (en) | 1998-09-29 | 2001-08-21 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for cleaning low K dielectric and metal wafer surfaces |
JP2009132909A (ja) * | 2007-11-07 | 2009-06-18 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 光学部材用粘着剤及び光学部材 |
TWI498401B (zh) * | 2007-11-07 | 2015-09-01 | Nippon Synthetic Chem Ind | 光學構件用黏著劑及光學構件 |
-
1992
- 1992-06-02 JP JP14171692A patent/JPH05331386A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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