JPH05302640A - アクティブ振動絶縁装置 - Google Patents
アクティブ振動絶縁装置Info
- Publication number
- JPH05302640A JPH05302640A JP10472392A JP10472392A JPH05302640A JP H05302640 A JPH05302640 A JP H05302640A JP 10472392 A JP10472392 A JP 10472392A JP 10472392 A JP10472392 A JP 10472392A JP H05302640 A JPH05302640 A JP H05302640A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- controlled
- vibration
- article
- air spring
- controlled object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 23
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 19
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】制御対象物の水平方向の共振を抑制して振動絶
縁性能を向上する。 【構成】架台11に搭載した空気バネ12により制御対
象物13を支持し、制御対象物の振動及び(又は)変位
を検出して空気バネをアクティブ制御して制御対象物の
垂直方向の振動を絶縁するアクティブ振動絶縁装置にお
いて、架台と制御対象物との間に制御対象物の水平方向
の共振を抑制するダンパー24を介在したものである。 【効果】3自由度の空圧制御をかけ、Z軸方向のみアク
ティブ空圧制御を加えて制御対象物の垂直方向の振動を
絶縁することができ、かつダンパーにより制御対象物の
水平方向の共振は抑制され振動絶縁性能を大幅に高める
ことができる。
縁性能を向上する。 【構成】架台11に搭載した空気バネ12により制御対
象物13を支持し、制御対象物の振動及び(又は)変位
を検出して空気バネをアクティブ制御して制御対象物の
垂直方向の振動を絶縁するアクティブ振動絶縁装置にお
いて、架台と制御対象物との間に制御対象物の水平方向
の共振を抑制するダンパー24を介在したものである。 【効果】3自由度の空圧制御をかけ、Z軸方向のみアク
ティブ空圧制御を加えて制御対象物の垂直方向の振動を
絶縁することができ、かつダンパーにより制御対象物の
水平方向の共振は抑制され振動絶縁性能を大幅に高める
ことができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はアクティブ振動絶縁装置
に関し、特に、制御対象物の水平方向の共振を抑制して
振動絶縁性能を向上できるアクティブ振動絶縁装置に係
わる。
に関し、特に、制御対象物の水平方向の共振を抑制して
振動絶縁性能を向上できるアクティブ振動絶縁装置に係
わる。
【0002】
【従来の技術】従来から、図4に示すようにベロフラム
30で囲繞された空気タンク31、空気タンク31とオ
リフィス32により連通した付加タンク33からなる空
気バネで支持された制御対象物34をパッシブに制御す
るパッシブ振動絶縁装置は周知である。
30で囲繞された空気タンク31、空気タンク31とオ
リフィス32により連通した付加タンク33からなる空
気バネで支持された制御対象物34をパッシブに制御す
るパッシブ振動絶縁装置は周知である。
【0003】最近、パッシブ振動絶縁装置に代えて、同
じく図4に示すような空気バネを使用して制御対象物を
アクティブに制御するアクティブまたはセミアクティブ
振動絶縁装置が採用されつつある(特開昭60−121
340号公報)。このアクティブ振動絶縁装置は、制御
対象物に振動センサを搭載して振動を検出し、この振動
信号によって振動絶縁装置にアクチュエータからエネル
ギーを注入し、線形フィードバック制御や線形フィード
フォワード制御の理論を用いて振動絶縁装置の除振或い
は絶縁効果を積極的に高めようとするものである。
じく図4に示すような空気バネを使用して制御対象物を
アクティブに制御するアクティブまたはセミアクティブ
振動絶縁装置が採用されつつある(特開昭60−121
340号公報)。このアクティブ振動絶縁装置は、制御
対象物に振動センサを搭載して振動を検出し、この振動
信号によって振動絶縁装置にアクチュエータからエネル
ギーを注入し、線形フィードバック制御や線形フィード
フォワード制御の理論を用いて振動絶縁装置の除振或い
は絶縁効果を積極的に高めようとするものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなアクティブ振動絶縁装置において、制御対象物の振
動及び変位を検出して制御対象物をアクティブ制御する
ので、制御対象物の垂直方向の振動は比較的に絶縁する
ことができるが、制御対象物の水平方向の振動を防止す
ることができないという難点を惹起している。
うなアクティブ振動絶縁装置において、制御対象物の振
動及び変位を検出して制御対象物をアクティブ制御する
ので、制御対象物の垂直方向の振動は比較的に絶縁する
ことができるが、制御対象物の水平方向の振動を防止す
ることができないという難点を惹起している。
【0005】
【目的】本発明は叙上の難点に鑑みなされたもので、そ
の目的は、制御対象物の水平方向の共振を抑制して振動
絶縁性能を向上できるアクティブ振動絶縁装置を提供せ
んとするものである。
の目的は、制御対象物の水平方向の共振を抑制して振動
絶縁性能を向上できるアクティブ振動絶縁装置を提供せ
んとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のアクティブ振動絶縁装置は、架台に搭載した
空気バネにより制御対象物を支持し、制御対象物の振動
及び(又は)変位を検出して空気バネをアクティブ制御
して制御対象物の垂直方向の振動を絶縁するアクティブ
振動絶縁装置において、架台と制御対象物との間に制御
対象物の水平方向の共振を抑制するダンパーを介在した
ものである。
に本発明のアクティブ振動絶縁装置は、架台に搭載した
空気バネにより制御対象物を支持し、制御対象物の振動
及び(又は)変位を検出して空気バネをアクティブ制御
して制御対象物の垂直方向の振動を絶縁するアクティブ
振動絶縁装置において、架台と制御対象物との間に制御
対象物の水平方向の共振を抑制するダンパーを介在した
ものである。
【0007】
【作用】このアクティブ振動絶縁装置によれば、基礎又
は床である設置面上に架台が設置され、架台に搭載した
空気バネにより被除振台または制御対象物が支持されて
いる。制御対象物上に搭載された加速度センサ、非接触
変位センサにより制御対象物の振動、相対変位が検出さ
れる。この検出された信号から加速度信号、速度信号、
相対変位信号が得られる。これらの信号は、駆動回路に
より電気空圧アナログ弁を駆動制御する。電気空圧アナ
ログ弁を駆動制御することによって空圧源としてのコン
プレッサから圧縮空気が空気バネに給気され、また駆動
回路の制御により空気バネ中の空気は電気空圧アナログ
弁を介して排気されて、空気バネ中の内空が制御される
ことにより除振のためのフィードバック制御が可能とな
る。
は床である設置面上に架台が設置され、架台に搭載した
空気バネにより被除振台または制御対象物が支持されて
いる。制御対象物上に搭載された加速度センサ、非接触
変位センサにより制御対象物の振動、相対変位が検出さ
れる。この検出された信号から加速度信号、速度信号、
相対変位信号が得られる。これらの信号は、駆動回路に
より電気空圧アナログ弁を駆動制御する。電気空圧アナ
ログ弁を駆動制御することによって空圧源としてのコン
プレッサから圧縮空気が空気バネに給気され、また駆動
回路の制御により空気バネ中の空気は電気空圧アナログ
弁を介して排気されて、空気バネ中の内空が制御される
ことにより除振のためのフィードバック制御が可能とな
る。
【0008】このようにしてアクティブ振動絶縁装置は
制御対象物の振動及び(又は)変位を検出し、この検出
信号で空気バネをアクチュエータとして駆動することに
より3自由度の空圧制御をかけて、即ちZ軸方向のみア
クティブ空圧制御を加えて制御対象物の垂直方向の振動
を絶縁する。一方、架台に固定され粘性液が充填された
タンクと、この粘性液が充填されたタンクに装着され制
御対象物に固定された胴体とから構成されたダンパー
は、制御対象物の水平方向(X軸方向、Y軸方向)の共
振を抑制する。
制御対象物の振動及び(又は)変位を検出し、この検出
信号で空気バネをアクチュエータとして駆動することに
より3自由度の空圧制御をかけて、即ちZ軸方向のみア
クティブ空圧制御を加えて制御対象物の垂直方向の振動
を絶縁する。一方、架台に固定され粘性液が充填された
タンクと、この粘性液が充填されたタンクに装着され制
御対象物に固定された胴体とから構成されたダンパー
は、制御対象物の水平方向(X軸方向、Y軸方向)の共
振を抑制する。
【0009】
【実施例】以下、本発明のアクティブ振動絶縁装置を適
用した実施例につき図面を参照して説明する。図1にお
いて、このアクティブ振動絶縁装置は、基礎または床で
ある設置面10上に架台11が設置され、架台11に搭
載した空気バネ12により被除振台または制御対象物1
3が支持される。
用した実施例につき図面を参照して説明する。図1にお
いて、このアクティブ振動絶縁装置は、基礎または床で
ある設置面10上に架台11が設置され、架台11に搭
載した空気バネ12により被除振台または制御対象物1
3が支持される。
【0010】空気バネ12は、図4に示すようなベロフ
ラムで囲繞された空気タンクと、この空気タンクにオリ
フィスにより連通した付加タンクとからなる。なお、空
気バネ12をアクティブ振動制御させる場合の応答性を
高めるためにはオリフィスおよび付加タンクは不要であ
るが、空気バネ12をパッシブ制御するパッシブ振動制
御のときにはむしろ空気タンクにオリフィスにより連通
した付加タンクを付加するのが好ましい。
ラムで囲繞された空気タンクと、この空気タンクにオリ
フィスにより連通した付加タンクとからなる。なお、空
気バネ12をアクティブ振動制御させる場合の応答性を
高めるためにはオリフィスおよび付加タンクは不要であ
るが、空気バネ12をパッシブ制御するパッシブ振動制
御のときにはむしろ空気タンクにオリフィスにより連通
した付加タンクを付加するのが好ましい。
【0011】また、このアクティブ振動絶縁装置には加
速度センサ14が制御対象物13に搭載されている。加
速度センサ14は制御対象物13の振動を検出して加速
度信号S1を出力する。なお、ここで、制御対象物13
とは、定盤のような被除振台のみならず、これに搭載さ
れた電子顕微鏡やIC、LSIの製造装置であるステッ
パ等の精密機器が含まれるものであり、この場合、加速
度センサ14はこのような精密機器自体に搭載してもよ
い。
速度センサ14が制御対象物13に搭載されている。加
速度センサ14は制御対象物13の振動を検出して加速
度信号S1を出力する。なお、ここで、制御対象物13
とは、定盤のような被除振台のみならず、これに搭載さ
れた電子顕微鏡やIC、LSIの製造装置であるステッ
パ等の精密機器が含まれるものであり、この場合、加速
度センサ14はこのような精密機器自体に搭載してもよ
い。
【0012】さらに、このアクティブ振動絶縁装置は、
制御対象物13と空気バネ12の設置面10間の相対変
位を検出して相対変位信号S3を出力する非接触近接セ
ンサまたは変位センサ15が架台11、制御対象物13
の何れかに搭載されている。この変位センサ15として
は、例えば、渦電流素子、差動トランス、LED、レー
ザー素子等が採用できる。
制御対象物13と空気バネ12の設置面10間の相対変
位を検出して相対変位信号S3を出力する非接触近接セ
ンサまたは変位センサ15が架台11、制御対象物13
の何れかに搭載されている。この変位センサ15として
は、例えば、渦電流素子、差動トランス、LED、レー
ザー素子等が採用できる。
【0013】また、加速度信号S1を加速度を1回積分
することにより速度信号S2を得る積分器16と、速度
信号S2を増幅する増幅器17と、加速度信号S1を増幅
する増幅器18と、相対変位信号S3を増幅する増幅器
19とを備え、さらにこれらの信号を加算する加算器2
0と、位相反転器21と、駆動回路22と、電気空圧ア
ナログ弁23とを有する。なお、この実施例では、加速
度センサ14からの加速度信号S1を加速度を1回積分
することにより速度信号S2を得たが、速度センサを使
用し、その速度信号を1回微分することによって加速度
信号S1を得ることもできる。
することにより速度信号S2を得る積分器16と、速度
信号S2を増幅する増幅器17と、加速度信号S1を増幅
する増幅器18と、相対変位信号S3を増幅する増幅器
19とを備え、さらにこれらの信号を加算する加算器2
0と、位相反転器21と、駆動回路22と、電気空圧ア
ナログ弁23とを有する。なお、この実施例では、加速
度センサ14からの加速度信号S1を加速度を1回積分
することにより速度信号S2を得たが、速度センサを使
用し、その速度信号を1回微分することによって加速度
信号S1を得ることもできる。
【0014】これらの増幅器17、18、19は、加速
度信号S1、速度信号S2、相対変位信号S3を調整して
制御対象物12の動きに忠実な電気信号を出力するセン
サ用ゲイン・位相調整回路を含ませてもよい。電気空圧
アナログ弁23としてはサーボ弁(ノズルフラッパ
ー)、電気空圧比例弁(スプール弁)、電気空圧レギュ
レータ(ノズルフラッパー他)などが使用される。
度信号S1、速度信号S2、相対変位信号S3を調整して
制御対象物12の動きに忠実な電気信号を出力するセン
サ用ゲイン・位相調整回路を含ませてもよい。電気空圧
アナログ弁23としてはサーボ弁(ノズルフラッパ
ー)、電気空圧比例弁(スプール弁)、電気空圧レギュ
レータ(ノズルフラッパー他)などが使用される。
【0015】駆動回路22の制御により空圧源としての
コンプレッサ25から圧縮空気がレギュレータ26で調
整されて空気バネ12に給気され、また駆動回路22の
制御により空気バネ12中の空気は電気空圧アナログ弁
23を介して排気される。さらに、このアクティブ振動
絶縁装置は、架台11と制御対象物13との間には制御
対象物13の水平方向の共振を抑制するダンパー24が
介在されている。
コンプレッサ25から圧縮空気がレギュレータ26で調
整されて空気バネ12に給気され、また駆動回路22の
制御により空気バネ12中の空気は電気空圧アナログ弁
23を介して排気される。さらに、このアクティブ振動
絶縁装置は、架台11と制御対象物13との間には制御
対象物13の水平方向の共振を抑制するダンパー24が
介在されている。
【0016】このダンパー24は、図1、図2に示すよ
うに架台11に固定されシリコンオイルなどの粘性液2
9が充填されたタンク27と、この粘性液が充填された
タンクに装着され制御対象物13に固定された胴体28
とから構成されている。胴体28には粘性液29の一部
をバイパスして逃がす導孔30を穿設してもよい。この
ように構成されたアクティブ振動絶縁装置において、基
礎又は床である設置面10上に架台11が設置され、架
台11に搭載した空気バネ12により被除振台または制
御対象物13が支持されている。制御対象物13上に搭
載された加速度センサ14により制御対象物13の振動
が検出される。この検出された加速度信号S1は積分器
16により加速度信号を1回積分することにより速度信
号S2が得られ、増幅器17にて増幅され、加速度信号
S1は増幅器18にて増幅される。
うに架台11に固定されシリコンオイルなどの粘性液2
9が充填されたタンク27と、この粘性液が充填された
タンクに装着され制御対象物13に固定された胴体28
とから構成されている。胴体28には粘性液29の一部
をバイパスして逃がす導孔30を穿設してもよい。この
ように構成されたアクティブ振動絶縁装置において、基
礎又は床である設置面10上に架台11が設置され、架
台11に搭載した空気バネ12により被除振台または制
御対象物13が支持されている。制御対象物13上に搭
載された加速度センサ14により制御対象物13の振動
が検出される。この検出された加速度信号S1は積分器
16により加速度信号を1回積分することにより速度信
号S2が得られ、増幅器17にて増幅され、加速度信号
S1は増幅器18にて増幅される。
【0017】非接触変位センサ15により制御対象物1
3と空気バネ12の設置面10間の相対変位を検出して
相対変位信号S3を出力する。この検出された相対変位
信号S3は増幅器19で増幅される。これらの加速度信
号S1、速度信号S2、相対変位信号S3は、加算器20
で加算され、さらに位相反転器21で位相反転される。
この位相反転された信号は、駆動回路22により電気空
圧アナログ弁23を駆動制御する。電気空圧アナログ弁
23を駆動制御することによって空圧源としてのコンプ
レッサ25から圧縮空気がレギュレータ26で調整され
て空気バネ12に給気され、また駆動回路22の制御に
より空気バネ12中の空気は電気空圧アナログ弁23を
介して排気されて、空気バネ12中の内空が制御される
ことにより除振のためのフィードバック制御が可能とな
る。
3と空気バネ12の設置面10間の相対変位を検出して
相対変位信号S3を出力する。この検出された相対変位
信号S3は増幅器19で増幅される。これらの加速度信
号S1、速度信号S2、相対変位信号S3は、加算器20
で加算され、さらに位相反転器21で位相反転される。
この位相反転された信号は、駆動回路22により電気空
圧アナログ弁23を駆動制御する。電気空圧アナログ弁
23を駆動制御することによって空圧源としてのコンプ
レッサ25から圧縮空気がレギュレータ26で調整され
て空気バネ12に給気され、また駆動回路22の制御に
より空気バネ12中の空気は電気空圧アナログ弁23を
介して排気されて、空気バネ12中の内空が制御される
ことにより除振のためのフィードバック制御が可能とな
る。
【0018】このようにしてアクティブ振動絶縁装置は
制御対象物の振動及び(又は)変位を検出し、この検出
信号で空気バネ12をアクチュエータとして駆動するこ
とにより3自由度の空圧制御をかけて、即ちZ軸方向の
みアクティブ空圧制御を加えて制御対象物13の垂直方
向の振動を絶縁する。一方、架台11に固定されシリコ
ンオイルなどの粘性液29が充填されたタンク27と、
この粘性液が充填されたタンクに装着され制御対象物1
3に固定された胴体28とから構成されたダンパー24
は、制御対象物13の水平方向(X軸方向、Y軸方向)
の共振を抑制する。
制御対象物の振動及び(又は)変位を検出し、この検出
信号で空気バネ12をアクチュエータとして駆動するこ
とにより3自由度の空圧制御をかけて、即ちZ軸方向の
みアクティブ空圧制御を加えて制御対象物13の垂直方
向の振動を絶縁する。一方、架台11に固定されシリコ
ンオイルなどの粘性液29が充填されたタンク27と、
この粘性液が充填されたタンクに装着され制御対象物1
3に固定された胴体28とから構成されたダンパー24
は、制御対象物13の水平方向(X軸方向、Y軸方向)
の共振を抑制する。
【0019】このダンパー24に充填される粘性液の粘
度を変えることによりダンピングが変化し水平方向(X
軸方向、Y軸方向)の共振倍率或いは減衰特性を任意に
設定することが可能である。また、ダンパー24の胴体
28に粘性液29の一部をバイパスして逃がす導孔30
を穿設することにより、制御対象物13に垂直方向のダ
ンピングを付与する効果をもたせることもできる。
度を変えることによりダンピングが変化し水平方向(X
軸方向、Y軸方向)の共振倍率或いは減衰特性を任意に
設定することが可能である。また、ダンパー24の胴体
28に粘性液29の一部をバイパスして逃がす導孔30
を穿設することにより、制御対象物13に垂直方向のダ
ンピングを付与する効果をもたせることもできる。
【0020】このように本発明のアクティブ振動絶縁装
置は、3自由度の空圧制御をかけて、垂直方向(Z軸方
向)は共振を抑えるためにフィードバック制御が加えら
れている。その結果、このアクティブ振動絶縁装置は、
制御対象物13の垂直方向では共振倍率1.6dBが達
成されている。制御対象物13の水平方向ではダンパー
24を装着しないときは制御が加えられていないので、
共振倍率15dB程度であったが、ダンパー24を装着
すれば、除振性能は若干悪化したものの共振倍率は低く
なった。図3(a)、(b)にダンパー24を装着しな
いときと、ダンパー24を装着したときの周波数、伝達
関数の変化をそれぞれ示す。
置は、3自由度の空圧制御をかけて、垂直方向(Z軸方
向)は共振を抑えるためにフィードバック制御が加えら
れている。その結果、このアクティブ振動絶縁装置は、
制御対象物13の垂直方向では共振倍率1.6dBが達
成されている。制御対象物13の水平方向ではダンパー
24を装着しないときは制御が加えられていないので、
共振倍率15dB程度であったが、ダンパー24を装着
すれば、除振性能は若干悪化したものの共振倍率は低く
なった。図3(a)、(b)にダンパー24を装着しな
いときと、ダンパー24を装着したときの周波数、伝達
関数の変化をそれぞれ示す。
【0021】以上の例では加速度信号、速度信号、相対
変位信号の3信号をフィードバック制御信号として用い
たが、所期の振動絶縁効果を得るための用途に応じて加
速度信号に速度信号または相対変位信号を組合せた信号
を用いて制御することもできる。
変位信号の3信号をフィードバック制御信号として用い
たが、所期の振動絶縁効果を得るための用途に応じて加
速度信号に速度信号または相対変位信号を組合せた信号
を用いて制御することもできる。
【0022】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明のアクティブ振動絶縁装置によれば、架台に搭載した
空気バネにより制御対象物を支持し、制御対象物の振動
及び(又は)変位を検出して空気バネをアクティブ制御
して制御対象物の垂直方向の振動を絶縁する手段を設け
ると共に、架台と制御対象物との間に制御対象物の水平
方向の共振を抑制するダンパーを介在したことにより、
制御対象物の振動及び(又は)変位を検出し、この検出
信号で空気バネをアクチュエータとして駆動することに
より3自由度の空圧制御をかけて、即ちZ軸方向のみア
クティブ空圧制御を加えて制御対象物の垂直方向の振動
を絶縁することができ、かつ架台と制御対象物間に設け
られたダンパーにより、制御対象物の水平方向(X軸方
向、Y軸方向)の共振は抑制され振動絶縁性能を大幅に
高めることができる。
明のアクティブ振動絶縁装置によれば、架台に搭載した
空気バネにより制御対象物を支持し、制御対象物の振動
及び(又は)変位を検出して空気バネをアクティブ制御
して制御対象物の垂直方向の振動を絶縁する手段を設け
ると共に、架台と制御対象物との間に制御対象物の水平
方向の共振を抑制するダンパーを介在したことにより、
制御対象物の振動及び(又は)変位を検出し、この検出
信号で空気バネをアクチュエータとして駆動することに
より3自由度の空圧制御をかけて、即ちZ軸方向のみア
クティブ空圧制御を加えて制御対象物の垂直方向の振動
を絶縁することができ、かつ架台と制御対象物間に設け
られたダンパーにより、制御対象物の水平方向(X軸方
向、Y軸方向)の共振は抑制され振動絶縁性能を大幅に
高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるアクティブ振動絶縁装置の説明
図。
図。
【図2】図1におけるアクティブ振動絶縁装置に使用さ
れるダンパーを示す説明図。
れるダンパーを示す説明図。
【図3】図3(a)、(b)はアクティブ振動絶縁装置
の特性説明図。
の特性説明図。
【図4】従来のパッシブ振動絶縁装置に使用される空気
バネを示す説明図。
バネを示す説明図。
11……架台 12……空気バネ 13……制御対象物 13……加速度センサ 24……ダンパー
Claims (1)
- 【請求項1】架台に搭載した空気バネにより制御対象物
を支持し、前記制御対象物の振動及び(又は)変位を検
出して前記空気バネをアクティブ制御して前記制御対象
物の垂直方向の振動を絶縁するアクティブ振動絶縁装置
において、前記架台と前記制御対象物との間に前記制御
対象物の水平方向の共振を抑制するダンパーを介在した
ことを特徴とするアクティブ振動絶縁装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10472392A JPH05302640A (ja) | 1992-04-23 | 1992-04-23 | アクティブ振動絶縁装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10472392A JPH05302640A (ja) | 1992-04-23 | 1992-04-23 | アクティブ振動絶縁装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05302640A true JPH05302640A (ja) | 1993-11-16 |
Family
ID=14388419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10472392A Pending JPH05302640A (ja) | 1992-04-23 | 1992-04-23 | アクティブ振動絶縁装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05302640A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006250291A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 防振装置 |
KR100796896B1 (ko) * | 2007-02-01 | 2008-01-22 | 창원대학교 산학협력단 | 테이블의 수평유지 시스템 |
-
1992
- 1992-04-23 JP JP10472392A patent/JPH05302640A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006250291A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 防振装置 |
KR100796896B1 (ko) * | 2007-02-01 | 2008-01-22 | 창원대학교 산학협력단 | 테이블의 수평유지 시스템 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0767320B1 (en) | Vibration damping apparatus | |
US6959795B2 (en) | Hybrid pneumatic-magnetic isolator-actuator | |
US5042784A (en) | Damping support structure | |
JP2001271868A (ja) | 除振装置 | |
JPH05340444A (ja) | 防振装置及びその制御方法 | |
JP2978162B1 (ja) | アクティブ除振装置 | |
KR100870108B1 (ko) | 보이스코일모터를 사용한 능동수동제진기 | |
JP4940472B2 (ja) | アクティブ除振装置及び制振装置 | |
JPH05302640A (ja) | アクティブ振動絶縁装置 | |
JP3296973B2 (ja) | 磁気浮上除振装置 | |
JPH0821482A (ja) | 振動絶縁装置 | |
JPH0666346A (ja) | アクティブ振動絶縁装置 | |
JP2913064B2 (ja) | 能動制振台 | |
JP3292505B2 (ja) | アクティブ振動絶縁装置 | |
JPH06200978A (ja) | アクティブ振動絶縁装置 | |
JPH08270725A (ja) | 反発型磁気ダンパ、反発型磁気アクチュエータ及び反発型磁気防振台 | |
JPS60164520A (ja) | 免震装置 | |
JP2000170827A (ja) | アクティブ型除振装置 | |
JPH0533826A (ja) | アクテイブ振動絶縁装置 | |
JPH0642585A (ja) | アクティブ振動絶縁装置 | |
JPH09177872A (ja) | 精密除振装置 | |
JPH0419439A (ja) | アクティブ振動絶縁装置 | |
WO2024172028A1 (ja) | 流体制御システム、及び、制御方法 | |
JPH04262145A (ja) | アクティブ振動絶縁装置 | |
JP2003021190A (ja) | 能動除振装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011211 |