JPH0642585A

JPH0642585A - アクティブ振動絶縁装置

Info

Publication number: JPH0642585A
Application number: JP19721492A
Authority: JP
Inventors: Hidetoshi Yamazoe; 秀敏山添
Original assignee: Showa Electric Wire and Cable Co
Current assignee: SWCC Corp
Priority date: 1992-07-23
Filing date: 1992-07-23
Publication date: 1994-02-15

Abstract

(57)【要約】【目的】空気バネで支持されている制御対象物の変位応
答特性を良好にする。【構成】振動センサと、変位センサと、振動信号から得
られた加速度信号、速度信号および変位信号により駆動
され制御対象物に制御力を注入するアクチュエータとに
より振動制御ループを形成すると共に、変位信号および
変位信号から得られた変位量信号により駆動され空気バ
ネの空圧を調整する電気空圧アナログ弁により変位制御
ループを形成したものである。【効果】制御対象物の振動の制御は振動センサ、変位セ
ンサから空気バネの振動制御ループによって行なわれ、
変位の制御は変位センサから空気バネの変位制御ループ
によって行なわれ、ミクロン単位の垂直方向の変位制御
を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はアクティブ振動絶縁装置
に関し、特に、空気バネの空圧制御の精度を高めて振動
絶縁性能を向上したアクティブ振動絶縁装置に係わる。

【０００２】

【従来の技術】従来から、図７に示すようにベロフラム
３０で囲繞された空気タンク３１、空気タンク３１とオ
リフィス３２により連通した付加タンク３３からなる空
気バネで支持された制御対象物３４をパッシブに制御す
るパッシブ振動絶縁装置は周知である。

【０００３】最近、パッシブ振動絶縁装置に代えて、同
じく図７に示すような空気バネを使用して制御対象物を
アクティブに制御するアクティブまたはセミアクティブ
振動絶縁装置が採用されつつある（特開昭６０−１２１
３４０号公報）。このアクティブ振動絶縁装置は、制御
対象物に振動センサを搭載して振動を検出し、この振動
信号によって振動絶縁装置にアクチュエータからエネル
ギーを注入し、線形フィードバック制御や線形フィード
フォワード制御の理論を用いて振動絶縁装置の除振或い
は絶縁効果を積極的に高めようとするものである。

【０００４】さらに、このアクティブ振動絶縁装置のア
クチュエータとして空気バネを使用し、この空気バネを
空圧制御する手法が採用されている。そして、空気バネ
を空圧制御するための空圧制御器としてはサーボバルブ
が用いられている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなアクティブ振動絶縁装置において、空気バネを空圧
制御するためのサーボバルブには数種類の型式のものが
知られているが、何れの型式のサーボバルブにおいても
浮上高さでミクロンオーダーの制御を行なうには精度が
良くない。

【０００６】これらのサーボバルブは、バルブ内部で機
械損失等があり、分解能が悪い。これら空圧の微制御を
行なうサーボバルブは、周波数に対するゲインと位相を
示すボード線図を測定した場合、ある決められた周波数
帯域までゲインが一定であり、かつ入力電圧の大小に拘
らず上記特性が保持されるリニアリティが必要である。
知られている幾つかのサーボバルブは、０〜１０Ｈｚ
までゲインの一定な性能を呈しない。しかしながら、入
力電圧の変化に拘らずゲイン特性が変化しないでリニア
リティの優れた性能をもつものもある。このようなサー
ボバルブは、現在空圧制御アクティブ振動絶縁装置に使
用されている。そこでサーボバルブの特性をさらに向上
させることが要求される。

【０００７】また、従来からアクティブ振動絶縁装置へ
の入力空気圧は、レギュレータ１台によって調空機能が
賄なわれてきた。しかしながら、レギュレータの設定す
る２次空力は精度が悪く、ばらつきが大きい。しかも、
空圧源の容量が小さく、レギュレータの１次空力がばら
つく場合は、２次空力がさらに不安定になる。この空圧
制御アクティブ振動絶縁装置は、制御対象物の振動及び
（又は）変位をセンサにより検出し、検出された信号に
より、制御対象物の振動及び（又は）変位を打消すよう
にサーボバルブを駆動し空気バネをアクティブ制御する
ものである。このようなフィードバック制御ループは、
供給空気圧が一定であるとして構成されているため、こ
のように供給空気圧が不安定になると誤差の原因となっ
てしまう。

【０００８】この空圧制御アクティブ振動絶縁装置は、
浮上高さ及び振動についてミクロンオーダーの制御が求
められている。このため、制御対象外である上記の誤差
は未然に防止しなければならない。そこで空気バネを空
圧制御するために用いられているサーボバルブに供給さ
れる空気圧力を一定に制御することが要求される。

【０００９】

【目的】本発明は叙上の難点に鑑みなされたもので、そ
の目的は、電気空圧アナログ弁の特性を良好なものに
し、電気空圧アナログ弁に供給される空気圧力を一定に
制御し、空気バネの空圧制御の精度を高めて振動絶縁性
能を向上したアクティブ振動絶縁装置を提供せんとする
ものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のアクティブ振動絶縁装置は、架台に搭載した
空気バネにより制御対象物を支持し、空気バネを電気空
圧アナログ弁を介して空圧源に接続し、制御対象物の振
動及び（又は）変位を検出し、検出された信号により電
気空圧アナログ弁を駆動し空気バネをアクティブ制御し
て制御対象物の振動を絶縁するアクティブ振動絶縁装置
において、電気空圧アナログ弁から空気バネへの出力配
管の流体抵抗を前記電気空圧アナログ弁からの排気配管
の流体抵抗より小さくした配管系を構築したものであ
る。

【００１１】また、本発明のアクティブ振動絶縁装置
は、架台に搭載した空気バネにより制御対象物を支持
し、空気バネを電気空圧アナログ弁を介して空圧源に接
続し、制御対象物の振動及び（又は）変位を検出し、検
出された信号により電気空圧アナログ弁を駆動し空気バ
ネをアクティブ制御して制御対象物の振動を絶縁するア
クティブ振動絶縁装置において、空圧源から電気空圧ア
ナログ弁への入力配管と電気空圧アナログ弁から空気バ
ネへの出力配管との圧力差を大きくした配管系を構築し
たものである。

【００１２】さらに、本発明のアクティブ振動絶縁装置
は、架台に搭載した空気バネにより制御対象物を支持
し、空気バネを電気空圧アナログ弁を介して空圧源に接
続し、制御対象物の振動及び（又は）変位を検出し、検
出された信号により電気空圧アナログ弁を駆動し空気バ
ネをアクティブ制御して制御対象物の振動を絶縁するア
クティブ振動絶縁装置において、空圧源と電気空圧アナ
ログ弁との間に、電気空圧アナログ弁に供給される空気
圧力を一定に制御する圧力フィードバック制御系を介在
したものである。

【００１３】

【作用】このアクティブ振動絶縁装置によれば、基礎又
は床である設置面上に架台が設置され、架台に搭載した
空気バネにより被除振台または制御対象物が支持されて
いる。制御対象物上に搭載された加速度センサ、非接触
変位センサにより制御対象物の振動、相対変位が検出さ
れる。この検出された信号から加速度信号、速度信号、
相対変位信号が得られる。これらの信号は、駆動回路に
より電気空圧アナログ弁を駆動制御する。電気空圧アナ
ログ弁を駆動制御することによって空圧源としてのコン
プレッサから圧縮空気が空気バネに給気され、また駆動
回路の制御により空気バネ中の空気は電気空圧アナログ
弁を介して排気されて、空気バネ中の内空が制御される
ことにより除振のためのフィードバック制御が可能とな
る。

【００１４】このようにしてアクティブ振動絶縁装置は
制御対象物の振動及び（又は）変位を検出し、この検出
信号で空気バネをアクチュエータとして駆動することに
よりアクティブ空圧制御を加えて制御対象物の振動を絶
縁する。一方、電気空圧アナログ弁から空気バネへの出
力配管の流体抵抗を前記電気空圧アナログ弁からの排気
配管の流体抵抗より小さくした配管系を構築し、或いは
空圧源から電気空圧アナログ弁への入力配管と電気空圧
アナログ弁から空気バネへの出力配管との圧力差を大き
くすることにより、電気空圧アナログ弁の特性を最大限
引出すことができ、空気バネの空圧制御の精度を高めて
アクティブ振動絶縁性能を大幅に高めることができる。

【００１５】また、空圧源と電気空圧アナログ弁との間
に、電気空圧アナログ弁に供給される空気圧力を一定に
制御する電気的または機械的な圧力フィードバック制御
系を介在したことにより、電気空圧アナログ弁に供給さ
れる空気圧力を一定に制御し、空気バネの空圧制御の精
度を高めてアクティブ振動絶縁性能を大幅に高めること
ができる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明のアクティブ振動絶縁装置を適
用した実施例につき図面を参照して説明する。図１にお
いて、このアクティブ振動絶縁装置は、基礎または床で
ある設置面１０上に架台１１が設置され、架台１１に搭
載した空気バネ１２により被除振台または制御対象物１
３が支持される。

【００１７】空気バネ１２は、図７に示すようなベロフ
ラムで囲繞された空気タンクと、この空気タンクにオリ
フィスにより連通した付加タンクとからなる。なお、空
気バネ１２をアクティブ振動制御させる場合の応答性を
高めるためにはオリフィスおよび付加タンクは不要であ
るが、空気バネ１２をパッシブ制御するパッシブ振動制
御のときにはむしろ空気タンクにオリフィスにより連通
した付加タンクを付加するのが好ましい。

【００１８】また、このアクティブ振動絶縁装置には加
速度センサ１４が制御対象物１３に搭載されている。加
速度センサ１４は制御対象物１３の振動を検出して加速
度信号Ｓ₁を出力する。なお、ここで、制御対象物１３
とは、定盤のような被除振台のみならず、これに搭載さ
れた電子顕微鏡やＩＣ、ＬＳＩの製造装置であるステッ
パ等の精密機器が含まれるものであり、この場合、加速
度センサ１４はこのような精密機器自体に搭載してもよ
い。

【００１９】さらに、このアクティブ振動絶縁装置は、
制御対象物１３と空気バネ１２の設置面１０間の相対変
位を検出して相対変位信号Ｓ₃を出力する非接触近接セ
ンサまたは変位センサ１５が架台１１、制御対象物１３
の何れかに搭載されている。この変位センサ１５として
は、例えば、渦電流素子、差動トランス、ＬＥＤ、レー
ザー素子等が採用できる。

【００２０】また、加速度信号Ｓ₁を加速度を１回積分
することにより速度信号Ｓ₂を得る積分器１６と、速度
信号Ｓ₂を増幅する増幅器１７と、加速度信号Ｓ₁を増幅
する増幅器１８と、相対変位信号Ｓ₃を増幅する増幅器
１９とを備え、さらにこれらの信号を加算する加算器２
０と、位相反転器２１と、駆動回路２２と、電気空圧ア
ナログ弁２３とを有する。なお、この実施例では、加速
度センサ１４からの加速度信号Ｓ₁を加速度を１回積分
することにより速度信号Ｓ₂を得たが、速度センサを使
用し、その速度信号を１回微分することによって加速度
信号Ｓ₁を得ることもできる。

【００２１】これらの増幅器１７、１８、１９は、加速
度信号Ｓ₁、速度信号Ｓ₂、相対変位信号Ｓ₃を調整して
制御対象物１２の動きに忠実な電気信号を出力するセン
サ用ゲイン・位相調整回路を含ませてもよい。駆動回路
２２の制御により空圧源としてのコンプレッサ２５から
圧縮空気がレギュレータ２６で調整され入力配管２７、
電気空圧アナログ弁２３、出力配管２４を介して空気バ
ネ１２に給気され、また駆動回路２２の制御により空気
バネ１２中の空気は電気空圧アナログ弁２３から排気配
管２８を介して排気される。

【００２２】この電気空圧アナログ弁２３としては、サ
ーボ弁（ノズルフラッパー）、電気空圧比例弁（スプー
ル弁）、電気空圧レギュレータ（ノズルフラッパー他）
などが採用され、例えば図２（ａ）に示すような構造を
もっている。図２（ａ）において、Ｐ、Ｃ、Ｒは入力配
管２７、空気バネ１２、排気配管２８に接続されるポー
トをそれぞれ示し、Ｍは電磁コイルを表している。この
電気空圧アナログ弁の特性を図２（ｂ）に示す。

【００２３】図１に示す空圧源としてのコンプレッサ２
５→電気空圧アナログ弁２３→空気バネ１２の制御系統
を図３（ａ）に示す。図３（ａ）に示すように、空圧源
としてのコンプレッサ２５から圧縮空気がレギュレータ
２６で調整され入力配管２７、電気空圧アナログ弁２３
を介して空気バネ１２に給気される。空気バネ１２の空
気圧は圧力検出器３５で検出され設定器３６で設定され
た信号と比較されてサーボ増幅器３７から電気空圧アナ
ログ弁２３の電磁コイルＭに印加される。なお、例えば
空圧源としてのコンプレッサ２５の空気圧Ｐs=5kgf/c
m²、空気バネ１２の容量は１リットルとする。電気空圧アナ
ログ弁２３からの出力配管２４への出力空気圧Ｐc=3.1
〜2.5kgf/cm²、排気配管２８への空気圧Ｐo=2.5kgf/cm²
であって、その制御波形を図３（ｂ）に示す。

【００２４】このアクティブ振動絶縁装置において、電
気空圧アナログ弁２３の特性を最大限に引出すために、
電気空圧アナログ弁２３から空気バネ１２への出力配管
２４の流体抵抗を排気配管２８の流体抵抗より小さくし
た配管系が構築されている。出力配管２４の流体抵抗を
排気配管２８の流体抵抗より小さくするには、継手を含
め出力配管２４を継手を含め排気配管２８よりも長さを
短く、径を太くすればよい。

【００２５】このように構成されたアクティブ振動絶縁
装置において、基礎又は床である設置面１０上に架台１
１が設置され、架台１１に搭載した空気バネ１２により
被除振台または制御対象物１３が支持されている。制御
対象物１３上に搭載された加速度センサ１４により制御
対象物１３の振動が検出される。この検出された加速度
信号Ｓ₁は積分器１６により加速度信号を１回積分する
ことにより速度信号Ｓ₂が得られ、増幅器１７にて増幅
され、加速度信号Ｓ₁は増幅器１８にて増幅される。

【００２６】非接触変位センサ１５により制御対象物１
３と空気バネ１２の設置面１０間の相対変位を検出して
相対変位信号Ｓ₃を出力する。この検出された相対変位
信号Ｓ₃は増幅器１９で増幅される。これらの加速度信
号Ｓ₁、速度信号Ｓ₂、相対変位信号Ｓ₃は、加算器２０
で加算され、さらに位相反転器２１で位相反転される。
この位相反転された信号は、駆動回路２２により電気空
圧アナログ弁２３を駆動制御する。電気空圧アナログ弁
２３を駆動制御することによって空圧源としてのコンプ
レッサ２５から圧縮空気がレギュレータ２６で調整され
て空気バネ１２に給気され、また駆動回路２２の制御に
より空気バネ１２中の空気は電気空圧アナログ弁２３を
介して排気されて、空気バネ１２中の内空が制御される
ことにより除振のためのフィードバック制御が可能とな
る。

【００２７】この場合、電気空圧アナログ弁２３から空
気バネ１２への出力配管２４の流体抵抗を排気配管２８
の流体抵抗より小さくした配管系が構築されているの
で、電気空圧アナログ弁２３の特性を最大限に引出すこ
とができる。このようにしてアクティブ振動絶縁装置は
制御対象物の振動及び（又は）変位を検出し、この検出
信号で空気バネ１２をアクチュエータとして駆動するこ
とにより３自由度の空圧制御をかけて、即ちＺ軸方向の
みアクティブ空圧制御を加えて制御対象物１３の垂直方
向の振動を絶縁する。

【００２８】ここで、このアクティブ振動絶縁装置が振
幅1mm(0.5〜-0.5mm)、1Hzで制御対象物１３を動かした
ときの電気空圧アナログ弁２３の流量を求めると、図３
（ａ）、（ｂ）を参照して空気バネ１２の給排気流量Ｑ
はＱ＝Ｖ・Ｐ＝１〔リットル〕ｘ0.2〔リットル〕ｘ60ｘ2〔1/min〕＝24〔Nリットル/min〕電気空圧アナログ弁２３の定格流量ＱRはＱR=Ｑ・√（△ＰR／△Ｐ）ただし、△Ｐは差圧、△ＰRは定格圧力降下＝7kgf/cm²
である。したがって、圧力上昇制御の場合はＱR1=24√（7／(5-3.1)）＝46〔Nリットル/min〕圧力降下制御の場合はＱR2=24√（7／2.5）＝40〔Nリットル/min〕ＱR1、ＱR2の値から明らかなように、圧力上昇制御の場
合の方が空気流量は多く必要とするので、圧力上昇制御
は配管等による影響を受けやすい。そこで電気空圧アナ
ログ弁２３の出力配管２４側の配管断面積をＳ₁、長さ
をl₁、排気配管２８側の配管断面積をＳ₂、長さをl₂と
すれば、

【００２９】

【数１】

【００３０】である。電気空圧アナログ弁２３としてサ
ーボバルブを使用して各条件における周波数に対するゲ
インと位相を表すボード線図を測定したので、その結果
を図４（ａ）、（ｂ）に示す。排気配管２８の配管径、
長さをφ4mmｘ2000mmとする。出力配管２４の配管径、
長さをφ1mmｘ2000mmとしたときの結果を図４（ａ）に
示す。この場合、式は成立しておらず、かつゲイン特
性は悪化している。出力配管２４の配管径、長さをφ6m
mｘ500mmとしたときの結果を図４（ｂ）に示す。この場
合、式は成立しており、かつ広い周波数帯域までゲイ
ン特性、位相特性が変化しないでリニアリティの優れた
ゲイン特性を呈している。

【００３１】なお、以上の例では出力配管２４の流体抵
抗を排気配管２８の流体抵抗より小さくしたが、ＱRの
式から明らかなように、空圧源としてのコンプレッサ２
５から電気空圧アナログ弁２３への入力配管２７と電気
空圧アナログ弁２３から空気バネ１２への出力配管２４
との圧力差を大きくした配管系を構築すれば、効率が上
がって図４（ｂ）に示すようにゲイン特性が良好になる
ので同じ効果が得られる。

【００３２】さらに、本発明のアクティブ振動絶縁装置
は、図１、図３に示すように空圧源としてのコンプレッ
サ２５と電気空圧アナログ弁２３との間に、電気空圧ア
ナログ弁２３に供給される空気圧力を一定に制御する圧
力フィードバック制御系２９を介在している。この圧力
フィードバック制御系２９は、図１に示すように入力配
管２７に設けた圧力センサー３０と、圧力センサーに接
続された圧力フィードバック回路３１と、圧力フィード
バック回路に接続され入力配管２７に設けた電気制御バ
ルブまたは電空レギュレータ３０とで構成することがで
きる。

【００３３】或いは、図５に示すように、圧力センサー
３０を内蔵し圧力フィードバックが形成されている電子
レギュレータ３２を使用することができる。図５におい
て、入力配管２７には、空圧源としてのコンプレッサ２
５→レシーバタンク４０→エアドライヤ４１→フィルタ
４２→マイクロエレッサ４３→レギュレータ２６→電子
レギュレータ３２で圧力フィードバック制御系が構成さ
れている。この電子レギュレータ３２は入力配管２７を
介して電気空圧アナログ弁２３に給気される。図６に示
すように、この電子レギュレータ３２は、入力信号が印
加される制御回路４５、圧電バイモルフ４６、ノズルフ
ラッパ４７、ボリュームブースタ４８を順次接続してな
り、ノズルフラッパ４７、ボリュームブースタ４８には
空圧源からの空圧が給気され、ボリュームブースタ４８
は圧力センサー４９を介して制御回路４５に接続されて
いる。

【００３４】図５に示す圧力フィードバック制御系にお
いて、空圧源としてのコンプレッサ２５から入力配管２
７を通ってレシーバタンク４０に圧縮空気が貯まり、こ
こでドレン排出がなされる。レシーバタンク４０からの
圧縮空気はエアドライヤ４１で乾燥され、フィルタ４２
でゴミなどが除去され、さらにマイクロエレッサ４３で
油分が除去される。そしてレギュレータ２６で圧力調整
され、電子レギュレータ３２で圧力フィードバック制御
がかけられる。この電子レギュレータ３２は、図６に示
すように、制御回路４５に制御入力信号が印加され、制
御回路４５は圧電バイモルフ４６に出力電圧を印加し、
空圧源からの空圧が給気されているノズルフラッパ４７
を圧電バイモルフ４６により駆動変位させる。ノズルフ
ラッパ４７は、同じく空圧源からの空圧が給気されてい
るボリュームブースタ４８を調圧する。ボリュームブー
スタ４８は圧力センサー４９を介して制御回路４５に接
続され圧力フィードバック制御がなされる。この電子レ
ギュレータ３２のボリュームブースタ４８は入力配管２
７を介して電気空圧アナログ弁２３に給気される。

【００３５】別法として、圧力フィードバック制御系２
９の代りに、通常のレギュレータ２６を複数台直列に接
続して空圧源の圧力変動を小さくしてもよい。また、出
力圧精度の高い機械的なベロフラムレギュレータを使用
して空圧源の圧力変動を小さくしてもよい。このように
本発明のアクティブ振動絶縁装置は、空圧源と電気空圧
アナログ弁２９との間に、電気空圧アナログ弁２３に供
給される空気圧力を一定に制御する圧力フィードバック
制御系２９を介在させたことにより、浮上高さ及び振動
についてミクロンオーダーの制御が可能となる。

【００３６】以上の例では加速度信号、速度信号、相対
変位信号の３信号をフィードバック制御信号として用い
たが、所期の振動絶縁効果を得るための用途に応じて加
速度信号に速度信号または相対変位信号を組合せた信号
を用いて制御することもできる。

【００３７】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明のアクティブ振動絶縁装置によれば、電気空圧アナロ
グ弁から空気バネへの出力配管の流体抵抗を前記電気空
圧アナログ弁からの排気配管の流体抵抗より小さくした
配管系を構築し、或いは空圧源から電気空圧アナログ弁
への入力配管と電気空圧アナログ弁から空気バネへの出
力配管との圧力差を大きくした配管系を構築し、又は空
圧源と電気空圧アナログ弁との間に、電気空圧アナログ
弁に供給される空気圧力を一定に制御する圧力フィード
バック制御系を介在したことにより、電気空圧アナログ
弁の特性を良好なものにし、電気空圧アナログ弁に供給
される空気圧力を一定に制御し、空気バネの空圧制御の
精度を高めてアクティブ振動絶縁性能を大幅に高めるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるアクティブ振動絶縁装置の説明図

【図２】図２（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１のアクティ
ブ振動絶縁装置に使用される電気空圧アナログ弁の説明
図および特性図

【図３】図３（ａ）、（ｂ）はそれぞれアクティブ振動
絶縁装置の制御系統図および制御波形図

【図４】図４（ａ）、（ｂ）は図１のアクティブ振動絶
縁装置の周波数に対するゲインと位相を表すボード線図

【図５】図１のアクティブ振動絶縁装置に使用される圧
力フィードバック制御系の空気圧回路図

【図６】図５の圧力フィードバック制御系に使用される
電子レギュレータの回路図

【図７】従来のパッシブ振動絶縁装置に使用される空気
バネを示す説明図

【符号の説明】

１１……架台１２……空気バネ１３……制御対象物１３……加速度センサ１５……変位センサ２４……ダンパー２３……電気空圧アナログ弁２５……空圧源２４……出力配管２８……排気配管２７……入力配管２９……圧力フィードバック制御系

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】架台に搭載した空気バネにより制御対象物
を支持し、前記空気バネを電気空圧アナログ弁を介して
空圧源に接続し、前記制御対象物の振動及び（又は）変
位を検出し、検出された信号により前記電気空圧アナロ
グ弁を駆動し前記空気バネをアクティブ制御して前記制
御対象物の振動を絶縁するアクティブ振動絶縁装置にお
いて、前記電気空圧アナログ弁から前記空気バネへの出
力配管の流体抵抗を前記電気空圧アナログ弁からの排気
配管の流体抵抗より小さくした配管系を構築したことを
特徴とするアクティブ振動絶縁装置。
【請求項２】架台に搭載した空気バネにより制御対象物
を支持し、前記空気バネを電気空圧アナログ弁を介して
空圧源に接続し、前記制御対象物の振動及び（又は）変
位を検出し、検出された信号により前記電気空圧アナロ
グ弁を駆動し前記空気バネをアクティブ制御して前記制
御対象物の振動を絶縁するアクティブ振動絶縁装置にお
いて、前記空圧源から前記電気空圧アナログ弁への入力
配管と前記電気空圧アナログ弁から前記空気バネへの出
力配管との圧力差を大きくした配管系を構築したことを
特徴とするアクティブ振動絶縁装置。
【請求項３】架台に搭載した空気バネにより制御対象物
を支持し、前記空気バネを電気空圧アナログ弁を介して
空圧源に接続し、前記制御対象物の振動及び（又は）変
位を検出し、検出された信号により前記電気空圧アナロ
グ弁を駆動し前記空気バネをアクティブ制御して前記制
御対象物の振動を絶縁するアクティブ振動絶縁装置にお
いて、前記空圧源と前記電気空圧アナログ弁との間に、
前記電気空圧アナログ弁に供給される空気圧力を一定に
制御する圧力フィードバック制御系を介在したことを特
徴とするアクティブ振動絶縁装置。