JPH0821482A - 振動絶縁装置 - Google Patents
振動絶縁装置Info
- Publication number
- JPH0821482A JPH0821482A JP15240694A JP15240694A JPH0821482A JP H0821482 A JPH0821482 A JP H0821482A JP 15240694 A JP15240694 A JP 15240694A JP 15240694 A JP15240694 A JP 15240694A JP H0821482 A JPH0821482 A JP H0821482A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- signal
- displacement
- sensor
- damper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 43
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 8
- 238000013016 damping Methods 0.000 abstract description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 9
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】アクチュエータとは別に可変ダンパを設け、こ
の可変ダンパの減衰量を制御することにより振動絶縁性
能を向上させる。 【構成】アクチュエータ３で支持されている制御対象物
４に搭載され振動を検出して絶対速度信号Ｓ1を出力す
る振動センサ５と、振動センサ５の振動信号としての絶
対速度信号Ｓ1により駆動され減衰量が変化する可変ダ
ンパとしての磁性流体ダンパ６と、磁性流体ダンパ６に
高周波成分がカットされた絶対速度信号Ｓ1を入力させ
る制御回路Ｃ1と、制御回路Ｃ1からの制御信号により駆
動信号を生成するドライバＤ1とを備えている。 【効果】これにより振動に対する応答を高速にでき、ま
た制御対象物に外乱が作用した時の低周波帯域の制御対
象物の揺れを低減化させることができる。更には、発振
や加振状態になることを防止できる。
の可変ダンパの減衰量を制御することにより振動絶縁性
能を向上させる。 【構成】アクチュエータ３で支持されている制御対象物
４に搭載され振動を検出して絶対速度信号Ｓ1を出力す
る振動センサ５と、振動センサ５の振動信号としての絶
対速度信号Ｓ1により駆動され減衰量が変化する可変ダ
ンパとしての磁性流体ダンパ６と、磁性流体ダンパ６に
高周波成分がカットされた絶対速度信号Ｓ1を入力させ
る制御回路Ｃ1と、制御回路Ｃ1からの制御信号により駆
動信号を生成するドライバＤ1とを備えている。 【効果】これにより振動に対する応答を高速にでき、ま
た制御対象物に外乱が作用した時の低周波帯域の制御対
象物の揺れを低減化させることができる。更には、発振
や加振状態になることを防止できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は振動絶縁装置に係り、特
に、振動センサ又は変位センサからの信号に基づき制御
対象物を制御する振動絶縁装置に関する。
に、振動センサ又は変位センサからの信号に基づき制御
対象物を制御する振動絶縁装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、図４に示すようにベロフラム
３１で囲繞された空気タンク３２、空気タンク３２とオ
リフィス３３により連通した付加タンク３４からなる空
気バネ３０で支持された制御対象物３５をパッシブに制
御するパッシブ振動絶縁装置は周知である。
３１で囲繞された空気タンク３２、空気タンク３２とオ
リフィス３３により連通した付加タンク３４からなる空
気バネ３０で支持された制御対象物３５をパッシブに制
御するパッシブ振動絶縁装置は周知である。
【０００３】また、上述した空気バネ３０を使用して制
御対象物をアクティブに制御するアクティブ又はセミア
クティブ振動絶縁装置が採用されつつある。このアクテ
ィブ振動絶縁装置は、制御対象物に振動センサを搭載し
て振動を検出し、この振動信号によって振動絶縁装置に
アクチュエータからエネルギを注入し、線形フィードバ
ック制御や線形フィードフォワード制御の理論を用いて
振動絶縁装置の除振或いは絶縁効果を積極的に高めよう
とするものである。
御対象物をアクティブに制御するアクティブ又はセミア
クティブ振動絶縁装置が採用されつつある。このアクテ
ィブ振動絶縁装置は、制御対象物に振動センサを搭載し
て振動を検出し、この振動信号によって振動絶縁装置に
アクチュエータからエネルギを注入し、線形フィードバ
ック制御や線形フィードフォワード制御の理論を用いて
振動絶縁装置の除振或いは絶縁効果を積極的に高めよう
とするものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらパッシブ
振動絶縁装置においては、空気バネの固有振動数のほか
に絶縁部材（制御対象物たる定盤やそれに搭載された精
密機器、除振台のフレーム等）により共振周波数などが
発生する。また、絶縁部材に外乱が作用すると大きな変
位を生じる。
振動絶縁装置においては、空気バネの固有振動数のほか
に絶縁部材（制御対象物たる定盤やそれに搭載された精
密機器、除振台のフレーム等）により共振周波数などが
発生する。また、絶縁部材に外乱が作用すると大きな変
位を生じる。
【０００５】一方、アクティブ振動絶縁装置において
は、アクチュエータとしての空気バネに逆位相の振動を
加振して振動を絶縁させるが、この際、必要以上に加振
する虞れがあるので、この加振に対する安全対策が必要
になる。また、制御周波数帯域が広いために発振する虞
があるので、この発振対策も必要になる。このため、制
御回路及びドライバが複雑になるので、（１）制御系の
調整が煩雑になる、（２）制御の安定化が難しくなる、
（３）装置が高価になる等の問題点がある。なお、アク
チュエータは空気バネに限らず、ＶＣＭ（ボイス・コイ
ル・モータ）等においても上記と同様の問題点がある。
は、アクチュエータとしての空気バネに逆位相の振動を
加振して振動を絶縁させるが、この際、必要以上に加振
する虞れがあるので、この加振に対する安全対策が必要
になる。また、制御周波数帯域が広いために発振する虞
があるので、この発振対策も必要になる。このため、制
御回路及びドライバが複雑になるので、（１）制御系の
調整が煩雑になる、（２）制御の安定化が難しくなる、
（３）装置が高価になる等の問題点がある。なお、アク
チュエータは空気バネに限らず、ＶＣＭ（ボイス・コイ
ル・モータ）等においても上記と同様の問題点がある。
【０００６】
【目的】本発明は、このような従来の問題点を解決する
ためになされたもので、アクチュエータとは別に可変ダ
ンパを設け、この可変ダンパの減衰量を制御することに
より振動絶縁性能を向上させることができる振動絶縁装
置。
ためになされたもので、アクチュエータとは別に可変ダ
ンパを設け、この可変ダンパの減衰量を制御することに
より振動絶縁性能を向上させることができる振動絶縁装
置。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
る本発明の振動絶縁装置は、アクチュエータで支持され
ている制御対象物に搭載され振動を検出して振動信号を
出力する振動センサ及び制御対象物とアクチュエータの
設置面間の変位を検出して変位信号を出力する変位セン
サの１つと、振動センサの振動信号及び変位センサの変
位信号の１つにより駆動され減衰量が変化する可変ダン
パと、可変ダンパに高周波成分がカットされた振動信号
及び変位信号の１つを入力させる制御回路とを備えたも
のである。
る本発明の振動絶縁装置は、アクチュエータで支持され
ている制御対象物に搭載され振動を検出して振動信号を
出力する振動センサ及び制御対象物とアクチュエータの
設置面間の変位を検出して変位信号を出力する変位セン
サの１つと、振動センサの振動信号及び変位センサの変
位信号の１つにより駆動され減衰量が変化する可変ダン
パと、可変ダンパに高周波成分がカットされた振動信号
及び変位信号の１つを入力させる制御回路とを備えたも
のである。
【０００８】また、本発明の振動絶縁装置において、可
変ダンパは磁性流体ダンパが使用されている。更に、本
発明の振動絶縁装置において、可変ダンパは空気タンク
とオリフィスにより連通した付加タンクから成る空気バ
ネが使用されている。
変ダンパは磁性流体ダンパが使用されている。更に、本
発明の振動絶縁装置において、可変ダンパは空気タンク
とオリフィスにより連通した付加タンクから成る空気バ
ネが使用されている。
【０００９】
【作用】この振動絶縁装置によれば、制御対象物上に搭
載された振動センサ及び制御対象物とアクチュエータの
設置面間の変位を検出して変位信号を出力する変位セン
サの１つにより制御対象物の振動及び変位の１つが検出
される。この検出された振動信号及び変位信号の１つは
可変ダンパを駆動させ減衰量を変化させて振動制御が行
なわれる。また、高周波成分がカットされた振動信号及
び変位信号の１つのみを可変ダンパに入力させて、低周
波帯域の制御対象物の揺れを低減化させる。
載された振動センサ及び制御対象物とアクチュエータの
設置面間の変位を検出して変位信号を出力する変位セン
サの１つにより制御対象物の振動及び変位の１つが検出
される。この検出された振動信号及び変位信号の１つは
可変ダンパを駆動させ減衰量を変化させて振動制御が行
なわれる。また、高周波成分がカットされた振動信号及
び変位信号の１つのみを可変ダンパに入力させて、低周
波帯域の制御対象物の揺れを低減化させる。
【００１０】このような可変ダンパは磁性流体ダンパ又
は空気タンクとオリフイスにより連通した付加タンクか
ら成る空気バネを使用することにより、揺れに対する応
答速度を速くすることができる。
は空気タンクとオリフイスにより連通した付加タンクか
ら成る空気バネを使用することにより、揺れに対する応
答速度を速くすることができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明による振動絶縁装置の一実施例
について図面を参照して説明する。本発明の振動絶縁装
置は図１に示すように、基礎または床である設置面２上
に空気バネ、ＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）等の防
振又は除振用のアクチュエータ３で支持された被除振台
または制御対象物４が設けられている。制御対象物４に
は振動を検出して振動信号Ｓ1を出力する振動センサ５
が搭載されている。この振動センサ５としては、例え
ば、公知の加速度センサもしくは速度センサ等が採用で
きる。なお、振動センサ５として速度センサが使用され
ている場合に、絶対加速度信号は、速度を１回微分する
ことにより得られる。また、振動センサ５として加速度
センサが使用されている場合に、絶対速度信号は加速度
を１回積分することにより得られる。
について図面を参照して説明する。本発明の振動絶縁装
置は図１に示すように、基礎または床である設置面２上
に空気バネ、ＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）等の防
振又は除振用のアクチュエータ３で支持された被除振台
または制御対象物４が設けられている。制御対象物４に
は振動を検出して振動信号Ｓ1を出力する振動センサ５
が搭載されている。この振動センサ５としては、例え
ば、公知の加速度センサもしくは速度センサ等が採用で
きる。なお、振動センサ５として速度センサが使用され
ている場合に、絶対加速度信号は、速度を１回微分する
ことにより得られる。また、振動センサ５として加速度
センサが使用されている場合に、絶対速度信号は加速度
を１回積分することにより得られる。
【００１２】ここで、制御対象物４とは、定盤のような
被除振台のみならず、これに搭載された電子顕微鏡やＩ
Ｃ、ＬＳＩの製造装置であるステッパ等の精密機器が含
まれるものであり、この場合、振動センサ５はこのよう
な精密機器自体に搭載してもよい。また、この振動絶縁
装置１は、振動センサ５からの振動信号Ｓ1により駆動
され制御対象物４に加わる振動を減衰する可変ダンパで
ある磁性流体ダンパ６を備えている。この磁性流体ダン
パ６は図２に示すように、コイル９は遮蔽磁気路１０に
包囲収納されて磁束の漏れを最小限にしている。このコ
イル９と同軸上に設けられたピストン部１１は、コイル
９の内部を貫通する非磁性シリンダ８の内部に設けられ
ている。更に、コイル９の内部を貫通する非磁性シリン
ダ８の内部には磁性流体７が充填されている。ピストン
部１１の上下それぞれにピストンロッド１２が固着して
いる。ピストン部１１との固着部分のピストンロッド１
２は、磁性流体７内にあり、ピストン部１１の上方に固
着しているピストンロッド１２の先端は、非磁性シリン
ダ８の外部に出て制御対象物４を制動する。ピストン部
１１の下方に固着しているピストンロッド１２の先端１
２ｂは、非磁性シリンダ８の底部空間１３を上下に移動
自由である。ピストン部１１の上下にあるピストンロッ
ド１２の中間部分１２ｃは、磁性流体７内および非磁性
シリンダ８間を上下に移動する。ここで用いられるピス
トン部１１およびピストンロッド１２は、磁気抵抗の小
さい鉄系、さらには純鉄系の材料が好ましい。
被除振台のみならず、これに搭載された電子顕微鏡やＩ
Ｃ、ＬＳＩの製造装置であるステッパ等の精密機器が含
まれるものであり、この場合、振動センサ５はこのよう
な精密機器自体に搭載してもよい。また、この振動絶縁
装置１は、振動センサ５からの振動信号Ｓ1により駆動
され制御対象物４に加わる振動を減衰する可変ダンパで
ある磁性流体ダンパ６を備えている。この磁性流体ダン
パ６は図２に示すように、コイル９は遮蔽磁気路１０に
包囲収納されて磁束の漏れを最小限にしている。このコ
イル９と同軸上に設けられたピストン部１１は、コイル
９の内部を貫通する非磁性シリンダ８の内部に設けられ
ている。更に、コイル９の内部を貫通する非磁性シリン
ダ８の内部には磁性流体７が充填されている。ピストン
部１１の上下それぞれにピストンロッド１２が固着して
いる。ピストン部１１との固着部分のピストンロッド１
２は、磁性流体７内にあり、ピストン部１１の上方に固
着しているピストンロッド１２の先端は、非磁性シリン
ダ８の外部に出て制御対象物４を制動する。ピストン部
１１の下方に固着しているピストンロッド１２の先端１
２ｂは、非磁性シリンダ８の底部空間１３を上下に移動
自由である。ピストン部１１の上下にあるピストンロッ
ド１２の中間部分１２ｃは、磁性流体７内および非磁性
シリンダ８間を上下に移動する。ここで用いられるピス
トン部１１およびピストンロッド１２は、磁気抵抗の小
さい鉄系、さらには純鉄系の材料が好ましい。
【００１３】この実施例において振動センサ５としては
例えば速度センサが使用されており、制御対象物４の振
動を検出して絶対速度信号Ｓ1を出力し、この絶対速度
信号Ｓ1を処理して制御信号を生成する制御回路Ｃ1と、
制御回路Ｃ1からの制御信号により駆動信号を生成する
ドライバＤ1とを介して磁性流体ダンパ６を駆動させ
る。ドライバＤ1は電圧信号、電流信号、磁気信号又は
これらの複合信号の何れかひとつの信号を駆動信号とし
て磁性流体ダンパ６を駆動させ、制御対象物４に加わる
振動を絶対速度信号Ｓ1に応じた減衰量で減衰させる。
例えば速度センサが使用されており、制御対象物４の振
動を検出して絶対速度信号Ｓ1を出力し、この絶対速度
信号Ｓ1を処理して制御信号を生成する制御回路Ｃ1と、
制御回路Ｃ1からの制御信号により駆動信号を生成する
ドライバＤ1とを介して磁性流体ダンパ６を駆動させ
る。ドライバＤ1は電圧信号、電流信号、磁気信号又は
これらの複合信号の何れかひとつの信号を駆動信号とし
て磁性流体ダンパ６を駆動させ、制御対象物４に加わる
振動を絶対速度信号Ｓ1に応じた減衰量で減衰させる。
【００１４】なお、制御回路Ｃ1は１５〜２０Ｈｚ以上
の高周波成分をカットするローパスフィルタを有し、制
御回路Ｃ1において予め設定されている振動レベルと、
振動センサ５から入力される振動レベルとを比較し、設
定されている振動レベル（１５Ｈｚ以下の低周波の周波
数帯域）まで補正した制御信号をドライバＤ1に出力す
るものである。これにより磁性流体ダンパ６によって振
動制御する周波数帯域が１５Ｈｚ以下の低周波成分にな
るので、低周波帯域の制御対象物４の揺れを低減化させ
ることができる。
の高周波成分をカットするローパスフィルタを有し、制
御回路Ｃ1において予め設定されている振動レベルと、
振動センサ５から入力される振動レベルとを比較し、設
定されている振動レベル（１５Ｈｚ以下の低周波の周波
数帯域）まで補正した制御信号をドライバＤ1に出力す
るものである。これにより磁性流体ダンパ６によって振
動制御する周波数帯域が１５Ｈｚ以下の低周波成分にな
るので、低周波帯域の制御対象物４の揺れを低減化させ
ることができる。
【００１５】このように構成された振動絶縁装置１の動
作について説明する。いま、制御対象物４が外乱等によ
り振動すると、振動センサ５は制御対象物４の振動を検
出して絶対速度信号Ｓ1を制御回路Ｃ1に出力する。制御
回路Ｃ1は予め設定されている振動レベルと、絶対速度
信号Ｓ1（振動センサ５から入力される振動レベル）と
を比較し、設定されている振動レベルまで補正するよう
に制御信号をドライバＤ1に出力する。ドライバＤ1はこ
の制御信号に基づき例えば電流信号を磁性流体ダンパ６
に入力させ駆動させる。
作について説明する。いま、制御対象物４が外乱等によ
り振動すると、振動センサ５は制御対象物４の振動を検
出して絶対速度信号Ｓ1を制御回路Ｃ1に出力する。制御
回路Ｃ1は予め設定されている振動レベルと、絶対速度
信号Ｓ1（振動センサ５から入力される振動レベル）と
を比較し、設定されている振動レベルまで補正するよう
に制御信号をドライバＤ1に出力する。ドライバＤ1はこ
の制御信号に基づき例えば電流信号を磁性流体ダンパ６
に入力させ駆動させる。
【００１６】この磁性流体ダンパ６のコイル９に電流が
流れて磁場が印加されると、フェライト粒子が磁場によ
って配向し、液のすべり方向に従い、回転する仕事量に
変化をきたすため、見かけ粘性が増大し、ピストン部１
１の動きを押え振動エネルギを吸収する。従って、磁性
流体ダンパ６は磁性流体７への磁場の掛けかた、即ち電
流の強弱調整によってダンピング係数を制御することが
できるので、揺れに対する応答速度を速くすることがで
きる。
流れて磁場が印加されると、フェライト粒子が磁場によ
って配向し、液のすべり方向に従い、回転する仕事量に
変化をきたすため、見かけ粘性が増大し、ピストン部１
１の動きを押え振動エネルギを吸収する。従って、磁性
流体ダンパ６は磁性流体７への磁場の掛けかた、即ち電
流の強弱調整によってダンピング係数を制御することが
できるので、揺れに対する応答速度を速くすることがで
きる。
【００１７】また、本実施例においては可変ダンパに磁
性流体ダンパ６を使用していたが、空気バネでもよい。
可変ダンパに使用される空気バネは、図４に示すような
ベロフラム３１で囲繞された空気タンク３２と、この空
気タンク３２にオリフィス３３により連通した付加タン
ク３４とからなる。この空気バネ３０は制御回路Ｃ1の
制御により空気バネ３０中の空圧を変化させてダンピン
グ係数を制御することができるので、磁性流体ダンパ６
と同様に揺れに対する応答速度を速くすることができ
る。
性流体ダンパ６を使用していたが、空気バネでもよい。
可変ダンパに使用される空気バネは、図４に示すような
ベロフラム３１で囲繞された空気タンク３２と、この空
気タンク３２にオリフィス３３により連通した付加タン
ク３４とからなる。この空気バネ３０は制御回路Ｃ1の
制御により空気バネ３０中の空圧を変化させてダンピン
グ係数を制御することができるので、磁性流体ダンパ６
と同様に揺れに対する応答速度を速くすることができ
る。
【００１８】更に、本実施例においては制御対象物４に
搭載された振動センサ５から出力される振動信号Ｓ1を
制御回路Ｃ1、ドライバＤ1を介して磁性流体ダンパ６、
空気バネ３０等の可変ダンパを制御していたが、これに
限らず、変位センサによって制御してもよい。変位セン
サは図３に示すように、制御対象物４と空気バネ、ＶＣ
Ｍ（ボイス・コイル・モータ）等の防振又は除振用のア
クチュエータ３の設置面２間の絶対変位又は相対変位を
検出して絶対変位信号Ｓ2又は相対変位信号Ｓ3を出力す
る非接触変位センサ５０で、制御対象物４又はアクチュ
エータ３、設置面２間の何れかに搭載されている。この
ような非接触変位センサ５０としては、例えば、渦電流
素子、差動トランス、ＬＥＤ、レーザー素子等が採用で
きる。
搭載された振動センサ５から出力される振動信号Ｓ1を
制御回路Ｃ1、ドライバＤ1を介して磁性流体ダンパ６、
空気バネ３０等の可変ダンパを制御していたが、これに
限らず、変位センサによって制御してもよい。変位セン
サは図３に示すように、制御対象物４と空気バネ、ＶＣ
Ｍ（ボイス・コイル・モータ）等の防振又は除振用のア
クチュエータ３の設置面２間の絶対変位又は相対変位を
検出して絶対変位信号Ｓ2又は相対変位信号Ｓ3を出力す
る非接触変位センサ５０で、制御対象物４又はアクチュ
エータ３、設置面２間の何れかに搭載されている。この
ような非接触変位センサ５０としては、例えば、渦電流
素子、差動トランス、ＬＥＤ、レーザー素子等が採用で
きる。
【００１９】これにより、非接触変位センサ５０から出
力される絶対変位信号Ｓ2又は相対変位Ｓ3に基づき制御
回路Ｃ1、ドライバＤ1を介して磁性流体ダンパ６、空気
バネ３０等の可変ダンパを制御させることができる。
力される絶対変位信号Ｓ2又は相対変位Ｓ3に基づき制御
回路Ｃ1、ドライバＤ1を介して磁性流体ダンパ６、空気
バネ３０等の可変ダンパを制御させることができる。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の振動絶縁装置によれば、アクチュエータで支持され
ている制御対象物に搭載され振動を検出して振動信号を
出力する振動センサ及び制御対象物とアクチュエータの
設置面間の変位を検出して変位信号を出力する変位セン
サの１つと、振動センサの振動信号及び変位センサの変
位信号の１つにより駆動され減衰量が変化する可変ダン
パと、可変ダンパに高周波成分がカットされた振動信号
及び変位信号の１つを入力させる制御回路とを備えたこ
とにより、制御対象物に外乱が作用した時の制御対象物
の揺れを低減化させることができ、またアクティブに制
御しないので制御回路及びドライバをシンプルに構成で
きる。
明の振動絶縁装置によれば、アクチュエータで支持され
ている制御対象物に搭載され振動を検出して振動信号を
出力する振動センサ及び制御対象物とアクチュエータの
設置面間の変位を検出して変位信号を出力する変位セン
サの１つと、振動センサの振動信号及び変位センサの変
位信号の１つにより駆動され減衰量が変化する可変ダン
パと、可変ダンパに高周波成分がカットされた振動信号
及び変位信号の１つを入力させる制御回路とを備えたこ
とにより、制御対象物に外乱が作用した時の制御対象物
の揺れを低減化させることができ、またアクティブに制
御しないので制御回路及びドライバをシンプルに構成で
きる。
【００２１】更に、高周波成分がカットされた振動信号
又は変位信号を入力させる制御回路を備えているので発
振を防止でき、また可変ダンパによって制御しているの
で加振状態になることを防止できる。なお、本発明の振
動絶縁装置は装置自体が複雑に構成されていないので安
価に製造することができる。
又は変位信号を入力させる制御回路を備えているので発
振を防止でき、また可変ダンパによって制御しているの
で加振状態になることを防止できる。なお、本発明の振
動絶縁装置は装置自体が複雑に構成されていないので安
価に製造することができる。
【図１】本発明における振動絶縁装置の一実施例を示す
説明図。
説明図。
【図２】本発明における振動絶縁装置に使用される磁性
流体ダンパを示す断面図。
流体ダンパを示す断面図。
【図３】本発明における振動絶縁装置の他の実施例を示
す説明図。
す説明図。
【図４】従来のパッシブ振動絶縁装置と本実施例の振動
絶縁装置に使用される空気バネを示す説明図。
絶縁装置に使用される空気バネを示す説明図。
１…振動絶縁装置 ２…設置面 ３…アクチュエータ ４…制御対象物 ５…振動センサ ３０…空気バネ ３２…空気タンク ３３…オリフィス ３４…付加タンク ５０…非接触変位センサ Ｓ1…絶対速度信号（振動信号） Ｓ2…絶対変位信号（変位信号） Ｓ3…相対変位信号（変位信号） Ｃ1…制御回路 Ｄ1…ドライバ
Claims (3)
- 【請求項１】アクチュエータで支持されている制御対象
物に搭載され振動を検出して振動信号を出力する振動セ
ンサ及び前記制御対象物と前記アクチュエータの設置面
間の変位を検出して変位信号を出力する変位センサの１
つと、前記振動センサの前記振動信号及び前記変位セン
サの前記変位信号の１つにより駆動され減衰量が変化す
る可変ダンパと、前記可変ダンパに高周波成分がカット
された前記振動信号及び前記変位信号の１つを入力させ
る制御回路とを備えたことを特徴とする振動絶縁装置。 - 【請求項２】前記可変ダンパは磁性流体ダンパであるこ
とを特徴とする請求項１記載の振動絶縁装置。 - 【請求項３】前記可変ダンパは空気タンクとオリフィス
により連通した付加タンクから成る空気バネであること
を特徴とする請求項１記載の振動絶縁装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15240694A JPH0821482A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 振動絶縁装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15240694A JPH0821482A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 振動絶縁装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0821482A true JPH0821482A (ja) | 1996-01-23 |
Family
ID=15539818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15240694A Pending JPH0821482A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 振動絶縁装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0821482A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009535594A (ja) * | 2006-05-01 | 2009-10-01 | ロード・コーポレーション | 制御可能な磁性流体の支柱体を備えた制御可能な車両サスペンションシステム |
| JP2010184068A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Toshiba Corp | ドラム式洗濯機 |
| WO2011104977A1 (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-01 | 株式会社 東芝 | ダンパ、洗濯機及び洗濯乾燥機 |
| JP2011172719A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Toshiba Corp | ドラム式洗濯機 |
| JP2012011163A (ja) * | 2010-06-03 | 2012-01-19 | Toshiba Corp | 洗濯機用のダンパ |
| US8851247B2 (en) | 2010-05-21 | 2014-10-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Damper, washing machine and washing/drying machine |
| US9359705B2 (en) | 2010-04-26 | 2016-06-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Washing machine and drying machine |
| CN111021548A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-04-17 | 清华大学 | 具有自检测功能的隔震支座及其自检测方法 |
-
1994
- 1994-07-04 JP JP15240694A patent/JPH0821482A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009535594A (ja) * | 2006-05-01 | 2009-10-01 | ロード・コーポレーション | 制御可能な磁性流体の支柱体を備えた制御可能な車両サスペンションシステム |
| JP2010184068A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Toshiba Corp | ドラム式洗濯機 |
| WO2011104977A1 (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-01 | 株式会社 東芝 | ダンパ、洗濯機及び洗濯乾燥機 |
| JP2011172719A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Toshiba Corp | ドラム式洗濯機 |
| CN102770594A (zh) * | 2010-02-24 | 2012-11-07 | 株式会社东芝 | 减震器、洗涤机以及洗涤干燥机 |
| KR101411148B1 (ko) * | 2010-02-24 | 2014-06-23 | 가부시끼가이샤 도시바 | 댐퍼, 세탁기 및 세탁 건조기 |
| US8757335B2 (en) | 2010-02-24 | 2014-06-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Damper, washing machine, and washer/dryer |
| US9359705B2 (en) | 2010-04-26 | 2016-06-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Washing machine and drying machine |
| US8851247B2 (en) | 2010-05-21 | 2014-10-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Damper, washing machine and washing/drying machine |
| JP2012011163A (ja) * | 2010-06-03 | 2012-01-19 | Toshiba Corp | 洗濯機用のダンパ |
| CN111021548A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-04-17 | 清华大学 | 具有自检测功能的隔震支座及其自检测方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Benassi et al. | Active vibration isolation using an inertial actuator with local displacement feedback control | |
| Hong et al. | Vibration control of a structural system using magneto-rheological fluid mount | |
| Paulitsch et al. | Active vibration control using an inertial actuator with internal damping | |
| EP2732181B1 (en) | A magnetorheological fluid-based mount apparatus including rate dip track passage | |
| WO1998044275A9 (en) | Active dual reaction mass absorber for vibration control | |
| JPS59187124A (ja) | 制振装置 | |
| JPH0821482A (ja) | 振動絶縁装置 | |
| JP2003065384A (ja) | 振動吸収装置及び液体封入式振動吸収装置 | |
| JP2003028232A (ja) | 被動系における振動を抑制する装置 | |
| KR20110055212A (ko) | 자기장 및 전자기장 차폐장치를 구비한 엠알댐퍼를 사용한 방진마운트 | |
| JP2978162B1 (ja) | アクティブ除振装置 | |
| JP2006177547A (ja) | 車両用振動制御装置の動吸振器構造 | |
| JP3548990B2 (ja) | 防振装置 | |
| JPH05231469A (ja) | 防振支持装置 | |
| JPH028528A (ja) | 振動減衰装置 | |
| KR100347554B1 (ko) | 엠알유체를이용한반능동마운트 | |
| US20070137954A1 (en) | Inertial actuator | |
| Tao | A novel kind of proportional electromagnetic dynamic vibration absorber | |
| JP3292505B2 (ja) | アクティブ振動絶縁装置 | |
| JP3681072B2 (ja) | アクティブ除振装置 | |
| JPH05302640A (ja) | アクティブ振動絶縁装置 | |
| JPH03265734A (ja) | 精密機械を設置するテーブル等の精密振動制御方法 | |
| KR100456769B1 (ko) | 차량의 능동형 진동 제어장치 | |
| JP2005121135A (ja) | 磁性流体ダンパ装置 | |
| Billoud | Active control at Lord Corporation–A reality |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040518 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |