JP3292505B2 - アクティブ振動絶縁装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、アクティブ振動絶縁装
置に関し、特に制御対象物に水平方向の制御力を注入し
て水平方向の振動絶縁性能を向上できるアクティブ振動
絶縁装置に係わる。

【０００２】

【従来の技術】従来から、空気バネとダッシュポットを
使用し、空気バネで支持された精密機器が搭載された定
盤のような制御対象物をパッシブに制御するパッシブ振
動絶縁装置が周知である。

【０００３】最近、パッシブ振動絶縁装置に代えて、制
御対象物をアクティブに制御するアクティブまたはセミ
アクティブ振動絶縁装置が採用されつつある。

【０００４】このアクティブ振動絶縁装置は、制御対象
物に振動センサを搭載して振動を検出し、この振動信号
によって振動絶縁装置にアクチュエータからエネルギー
を注入し、線形フィードバック制御や線形フィードフォ
ワード制御の理論を用いて振動絶縁装置の除振或いは絶
縁効果を積極的に高めようとするものである。

【０００５】現在、市販されているアクティブ振動絶縁
装置は極めて少ないが、これを使用するアクチュエータ
に着目して分類すると、下記の２種類に分けられる。

【０００６】〈電気式〉 制御対象物に振動センサを搭載して振動を検出し、この
振動信号をドライバを介してＶＣＭ（ボイス・コイル・
モータ）等の電気によって駆動するアクチュエータから
振動絶縁装置にエネルギーを注入し、振動絶縁装置の除
振或いは絶縁効果を積極的に高めるものである（特開昭
６０−１２１３４０号公報）。

【０００７】〈空圧式〉 制御対象物に振動センサを搭載して振動を検出し、この
振動信号を電気空圧変換器によって電気空圧信号に変
え、サーボ弁を開閉し、空気を空気バネに注入すること
により空気バネをアクチュエータとして使用し、振動絶
縁装置の除振或いは絶縁効果を積極的に高めるものであ
る（特開平２−２１３１１号公報）。

【０００８】この空圧式アクティブ振動絶縁装置におい
ては、一対のエアータンクどうしをオリフィス配管を介
して連通接続し、その一方のエアータンクにのみサーボ
弁を介してコンプレッサーに連通接続し、装置載置台に
付設された水平方向の振動センサからの信号に応じて制
御装置からサーボ弁に制御信号を出力することにより、
装置載置台の水平方向の変位を一対のエアータンクの各
々に連通接続された空気バネにより弾性的に水平方向に
支持して振動を緩和しながら、装置載置台が振動したと
きに両空気バネをアクチュエータとして膨張または収縮
して装置載置台に動的な力を付与し、装置載置台を水平
方向に変位させて装置載置台に絶対的な水平方向静止状
態を維持させんとしている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この空
圧式アクティブ振動絶縁装置では、一対のエアータン
ク、空気バネをそれぞれ個別に組付けるのが煩雑であ
り、その設置スペースが大きくなり、また一対のエアー
タンクどうしをオリフィス配管を介して連通接続するた
めに空気バネ振動系間に遅れが発生し振動系全体の支持
バランスがくずれてしまうことから水平方向の振動絶縁
性能が低下するという難点がある。

【００１０】

【目的】本発明は叙上の難点に鑑みなされたもので、そ
の目的は、アクチュエータとして使用する空圧手段を組
付けるのが容易であり、その設置スペースが小さくな
り、また振動系全体をバランスよく支持できて水平方向
の振動絶縁性能を向上できるアクティブ振動絶縁装置を
提供せんとするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のアクティブ振動絶縁装置は、空気バネで支持
されている制御対象物に搭載され水平方向の振動を検出
して水平方向の振動信号を出力する水平方向振動センサ
と、制御対象物、空気バネの何れかに搭載され制御対象
物、空気バネの設置面間の水平方向の相対変位を検出し
て水平方向の相対変位信号を出力する水平方向変位セン
サと、振動信号および相対変位信号を加算する加算器
と、加算器からの出力が入力され空圧源から圧縮された
空気が印加されている第１の電気空圧アナログ弁と、加
算器からの出力が信号反転器を介して入力され空圧源か
ら圧縮された空気が印加されている第２の電気空圧アナ
ログ弁と、第１の電気空圧アナログ弁からの信号により
駆動され制御対象物に一方の水平方向の制御力を注入す
る第１の水平方向空圧アクチュエータと、第２の電気空
圧アナログ弁からの信号により駆動され制御対象物に他
方の水平方向の制御力を注入する第２の水平方向空圧ア
クチュエータとを備え、水平方向振動センサおよび加算
器間には、水平方向振動センサが温度によってゼロ点が
ドリフトするためＤＣ成分をカットし温度特性を向上さ
せるハイパスフイルタを介して水平方向の振動信号から
増幅された加速度信号を生成する増幅器、高周波成分を
カットし発振を防止するローパスフイルタと、水平方向
の振動信号から速度信号を生成する積分器、積分器から
の速度信号を増幅する増幅器、高周波成分をカットし発
振を防止するローパスフイルタとの並列回路が介在さ
れ、水平方向変位センサおよび加算器間には、水平方向
の相対変位信号を増幅する前置増幅器と、水平方向変位
センサが発生する０〜＋数ｖの電圧のゼロ点を境にして
±の電圧を発生するようにゼロ点調整を行なう減算器
と、減算器からの水平方向の相対変位信号を増幅する増
幅器との直列回路が介在されている。

【００１２】

【作用】このように構成されたアクティブ振動絶縁装置
によれば、制御対象物における水平方向の静止基準点に
おいて、制御対象物が水平方向に変位すると、第１のア
クチュエータの内圧が上昇し、第１のアクチュエータの
水平方向の制御力は水平逆方向に作用し、振動センサは
制御対象物の水平方向の変位を検知して振動信号はアナ
ログ弁に印加され、アナログ弁により第１のアクチュエ
ータが駆動されることにより制御対象物には水平方向の
制御力が注入されて内圧が上がり制御力は水平逆方向に
作用し、制御対象物を水平逆方向に戻そうとする。その
際、第２のアクチュエータの内圧は低下し、第１のアク
チュエータの、制御対象物への水平逆方向に戻そうとす
る動きを助ける。このようにして振動絶縁装置の水平方
向の振動絶縁性能が総合的に向上する。

【００１３】

【実施例】以下、本発明のアクティブ振動絶縁装置をそ
の好ましい実施例について図面を参照して説明する。

【００１４】図１において、このアクティブ振動絶縁装
置は、基礎または床である設置面１０上に空気バネ１１
で支持された被除振台または制御対象物１２が設けられ
ている。

【００１５】制御対象物１２には水平方向の振動を検出
して水平方向の振動信号Ｓ1を出力する水平方向振動セ
ンサ１３が搭載されている。

【００１６】この水平方向振動センサ１３としては、例
えば、公知の加速度センサもしくは速度センサ等が採用
できる。なお、水平方向振動センサ１３として速度セン
サが使用されている場合に、加速度信号は、速度を１回
微分することにより得られる。また、水平方向振動セン
サ１３として加速度センサが使用されている場合に、速
度信号は加速度を１回積分することにより得られる。こ
こで、制御対象物１２とは、定盤のような被除振台のみ
ならず、これに搭載された電子顕微鏡やＩＣ、ＬＳＩの
製造装置であるステッパ等の精密機器が含まれるもので
あり、この場合、水平方向振動センサ１３はこのような
精密機器自体に搭載してもよい。

【００１７】なお、このアクティブ振動絶縁装置におい
て使用される空気バネ１１は、図２に示されるようにピ
ストン１１ｂが付加タンク部分（図示せず）に固定さ
れ、ベロフラム１１ａがピストン１１ｂを覆ってチャン
バー１１ｃを構成し、チャンバー１１ｃにより制御対象
物１２を支持している。この空気バネ１１によれば、制
御対象物１２のピストン１１ｂに対する偏心ｅによって
チャンバー１１ｃの部分の復元力Ｆは Ｆ＝（π²/8）Ｐ・Ｄ_P・ｅ （但し、Ｐ：チャンバー１１ｃ内の圧力、Ｄ_P：ピスト
ン１１ｂの径） で与えられ、制御対象物１２の水平方向の変位に応じて
空気バネ１１の復元力によってこの変位を元へ戻す力が
作用する。

【００１８】また、このアクティブ振動絶縁装置は、水
平方向の振動信号Ｓ1により駆動され制御対象物１２に
互に逆向きの水平方向の制御力ＦA、ＦBを注入する第
１、第２の水平方向空圧アクチュエータ１５ａ、１５ｂ
とを備えている。第１、第２の水平方向空圧アクチュエ
ータ１５ａ、１５ｂは制御対象物１２に設けた操作片１
２ａと設置面１０上に設けた支持片１０ａ、１０ｂとの
間にそれぞれ設けられ、操作片１２ａを挟んで対向配置
されている。この水平方向空圧アクチュエータ１５とし
ては空気バネ、空圧シリンダ等が採用される。

【００１９】さらに、振動センサ１３からの振動信号Ｓ
1を処理して制御信号を生成する制御回路Ｃ、制御回路
Ｃからの制御信号により駆動信号を生成する空圧アナロ
グ弁駆動回路Ｄａおよび信号反転器２８を介して空圧ア
ナログ弁駆動回路Ｄｂ、空圧アナログ弁駆動回路Ｄａ、
Ｄｂからの駆動信号により空気を第１、第２の水平方向
空圧アクチュエータ１５ａ、１５ｂに給排気する第１、
第２の空圧アナログ弁１７ａ、１７ｂが設けられてい
る。この第１、第２のアナログ弁１７ａ、１７ｂとして
はサーボ弁、電気空圧比例弁が採用できる。この第１、
第２の電気空圧アナログ弁１７ａ、１７ｂにはコンプレ
ッサ（図示せず）などの空圧源から圧縮された空気が印
加されている。

【００２０】この実施例において振動センサ１３として
は加速度センサが使用されており、図３に示すように振
動センサ１３からの加速度振動信号Ｓ1は制御回路Ｃ、
空圧アナログ弁駆動回路Ｄａ、Ｄｂのハイパスフイルタ
１８に入力され、ハイパスフイルタ１８の出力部は増幅
器１９と、積分器２０を介して増幅器２１とに接続され
ている。このハイパスフイルタ１８は、加速度センサが
温度によってゼロ点がドリフトするのでＤＣ成分をカッ
トし温度特性を向上させるために使用される。また、積
分器２０は、加速度振動信号Ｓ1から速度信号を生成す
るために使用される。増幅器１９および増幅器２１から
の増幅された加速度信号および速度信号はそれぞれロー
パスフイルタ２２、２３に入力されている。これらのロ
ーパスフイルタ２２、２３は高周波成分をカットし発振
を防止するために使用されている。

【００２１】一方、図１に示すように制御対象物１２と
空気バネ１１の設置面１０間にはその水平方向の相対変
位を検出して水平方向の相対変位信号Ｓ2を出力する非
接触水平方向変位センサ１４が制御対象物１２または空
気バネ１１の何れかに搭載されている（図示の例におい
て空気バネ１１に搭載）。この水平方向変位センサ１４
としては、例えば、渦電流素子、差動トランス、ＬＥ
Ｄ、レーザー素子等が採用できる。図３に示すように水
平方向の相対変位信号Ｓ2は前置増幅器２４に入力さ
れ、前置増幅器２４は、減算器２５を介して増幅器２６
に接続されている。減算器２５は、一般に非接触水平方
向変位センサ１４は０〜＋数ｖの電圧を発生するのでゼ
ロ点を境にして±の電圧を発生するようにゼロ点調整を
行なうために使用されている。

【００２２】図３に示すように、ローパスフイルタ２
２、２３からの加速度信号、速度信号および増幅器２６
からの相対変位信号は加算器２７に入力され、加算器２
７の出力部は第１の空圧アナログ弁１７ａと、信号反転
器２８を介して第２の空圧アナログ弁１７ｂとに接続さ
れている。第１、第２の電気空圧アナログ弁１７ａ、１
７ｂからの電気信号は水平方向の第１、第２の空圧アク
チュエータ１５ａ、１５ｂにそれぞれ印加され、この第
１、第２の空圧アクチュエータ１５ａ、１５ｂが駆動さ
れることにより制御対象物１２には互に逆向きの水平方
向の制御力ＦA、ＦBが注入される。

【００２３】叙上のアクティブ振動絶縁装置における各
構成要素の配置を図４に示す。制御対象物１２を垂直方
向に支持する空気バネ１１は制御対象物１２の各隅部に
設置されている。振動を検出する水平方向は二次元であ
るので、水平方向振動センサ１３は制御対象物１２の中
央部にＸ、Ｙ方向にそれぞれ設けられる。水平方向変位
センサ１４も制御対象物１２に対向してＸ、Ｙ方向にそ
れぞれ設けられる。水平方向の第１、第２の空圧アクチ
ュエータ１５ａ、１５ｂはＸ、Ｙ方向にそれぞれ設けら
れる。第１、第２の電気空圧アナログ弁１７ａ、１７ｂ
は第１、第２の空圧アクチュエータ１５ａ、１５ｂの近
傍に設置されている。

【００２４】こうして水平方向振動センサ１３、水平方
向変位センサ１４から第１、第２の空圧アクチュエータ
１５ａ、１５ｂに至る制御系もＸ、Ｙ方向にそれぞれ設
けられる。

【００２５】なお、制御対象物１２の垂直方向の振動絶
縁制御は垂直方向振動センサ３０、垂直方向変位センサ
３１、電気空圧アナログ弁３２を使用して叙上の水平方
向の制御系のように構成することができ、またその垂直
方向のレベルはメカニカルバルブ（特開昭５７−７３２
４８号公報）により空気バネ１１の内圧を制御して行な
うことができる。

【００２６】図１〜図３に示すように構成されたアクテ
ィブ振動絶縁装置において、基礎又は床である設置面１
０上に空気バネ１１で支持された制御対象物１２上に搭
載された加速度センサである水平方向の振動センサ１３
により制御対象物１２の水平方向の振動が検出される。
この検出された水平方向の振動信号Ｓ1は制御回路Ｃ、
空圧アナログ弁駆動回路Ｄａ、Ｄｂのハイパスフイルタ
１８に入力される。ハイパスフイルタ１８は、加速度セ
ンサが温度によってゼロ点がドリフトするのでＤＣ成分
をカットし温度特性を向上する。ハイパスフイルタ１８
の出力は積分器２０に入力され速度信号を生成し、増幅
器１９と増幅器２１からは増幅された加速度信号と速度
信号がそれぞれ得られる。増幅器１９および増幅器２１
からの増幅された加速度信号および速度信号はそれぞれ
ローパスフイルタ２２、２３に入力され、高周波成分を
カットし発振が防止される。

【００２７】一方、非接触変位センサ１４からは制御対
象物１２と空気バネ１１の設置面１０間の水平方向の相
対変位を検出して水平方向の相対変位信号Ｓ2を出力す
る。水平方向の相対変位信号Ｓ2は前置増幅器２４に入
力され、前置増幅器２４の出力は減算器２５に入力され
る。減算器２５は、一般に非接触変位センサ１４は０〜
＋数ｖの電圧を発生するのでゼロ点を境にして±の電圧
を発生するようにゼロ点調整を行なう。減算器２５の出
力は増幅器２６に入力される。ローパスフイルタ２２、
２３からの加速度信号、速度信号および増幅器２６から
の相対変位信号は加算器２７に入力され、加算器２７の
出力部は第１の空圧アナログ弁１７ａと、信号反転器２
８を介して第２の空圧アナログ弁１７ｂとにそれぞれ印
加される。第１、第２の空圧アナログ弁１７ａ、１７ｂ
が開閉されて空気が第１、第２の水平方向の空圧アクチ
ュエータ１５ａ、１５ｂに吸排気されることにより制御
対象物１２には互に逆向きの水平方向の制御力ＦA、ＦB
が注入される。

【００２８】制御対象物１２における水平方向の静止基
準点において、空気バネ１１の水平方向の力Ｆ（図２）
はＦ＝０であり、第１、第２の水平方向の空圧アクチュ
エータ１５ａ、１５ｂの水平方向の制御力ＦA、ＦBは、
ＦA＝ＦBである。

【００２９】いま、制御対象物１２が図１において右向
に変位すると、空気バネ１１はその偏心ｅに応じてベロ
フラム１１ａ（図２）によって構成されるチャンバー１
１ｃ内の圧力により左向に復元力Ｆが作用し、また制御
対象物１２が右向に変位すると第２の空圧アクチュエー
タ１５ｂの内圧が上昇し、第２の空圧アクチュエータ１
５ｂの水平方向の制御力ＦAは左向に作用し、さらに振
動センサ１３は制御対象物１２の右向の変位を検知して
加速度振動信号Ｓ1は制御回路Ｃ、空圧アナログ弁駆動
回路Ｄのハイパスフイルタ１８に入力されＤＣ成分をカ
ットし温度によってゼロ点がドリフトしないように温度
特性を向上させ、これが積分器２０に入力され速度信号
を生成し、増幅器１９と増幅器２１からは増幅された加
速度信号と速度信号をそれぞれ得て、ローパスフイルタ
２２、２３に入力され、高周波成分をカットし発振を防
止し、これらの加速度信号、速度信号は加算器２７に入
力され、加算器２７の出力部は第１の電気空圧アナログ
弁１７ａに印加されてその弁が開成され水平方向の第１
の空圧アクチュエータ１５ａには空気が吸気され、この
水平方向の第１の空圧アクチュエータ１５ａの内圧が上
がることにより制御対象物１２には水平方向の制御力Ｆ
Aが注入されて制御力ＦAは左向に作用し、制御対象物１
２は左向に移動させる。

【００３０】一方、加算器２７の出力部は信号反転器２
８を介して第２の電気空圧アナログ弁１７ｂに印加され
てその弁が閉成され第２の水平方向の空圧アクチュエー
タ１５ｂからは空気が排気され、この第２の水平方向の
空圧アクチュエータ１５ｂの内圧が低下することにより
水平方向の制御力ＦBが低下して制御力ＦAによる制御対
象物１２への左向の移動を助けることになる。

【００３１】また、非接触変位センサ１４も制御対象物
１２の右向の変位を検知して水平方向の相対変位信号Ｓ
2を出力する。水平方向の相対変位信号Ｓ2は前置増幅器
２４に入力され、前置増幅器２４の出力は減算器２５に
入力される。減算器２５は、一般に非接触変位センサ１
４は０〜＋数ｖの電圧を発生するのでゼロ点を境にして
±の電圧を発生するようにゼロ点調整を行なう。減算器
２５の出力は増幅器２６に入力される。増幅器２６から
の相対変位信号は加算器２７に入力される。加算器２７
の出力部は叙上のように第１、第２の水平方向の空圧ア
クチュエータ１５ａ、１５ｂに印加され、制御対象物１
２には水平方向の制御力ＦAが叙上の制御力ＦAに注入さ
れ制御対象物１２は左向に変位しようとする。なお、こ
の非接触変位センサ１４から増幅器２６の制御系は用途
によっては省略できるものである。

【００３２】制御対象物１２が水平方向の静止基準点を
越えて左向に変位した場合には、以上の動作において第
１、第２の水平方向の空圧アクチュエータ１５ａ、１５
ｂの水平方向の制御力ＦA、ＦBが逆向きに作用する。

【００３３】従来の振動絶縁装置によって得られた周波
数−水平方向振動伝達関数特性を図５（ａ）に示し、こ
れと比較する目的で本発明によるアクティブ振動絶縁装
置によって得られた周波数−水平方向振動伝達関数特性
をグラフ図５（ｂ）に示す。何れの場合も、垂直方向の
レベルはメカニカルバルブ（特開昭５７−７３２４８号
公報）により空気バネの内圧を制御して行なった。図５
（ａ）、（ｂ）から明らかなように、本発明によるアク
ティブ振動絶縁装置によれば水平方向振動絶縁が低周波
において大幅に改善されている。

【００３４】なお、以上の例で制御方式は、絶対加速
度、絶対速度、相対変位の３信号をフィードバック制御
信号として用いたが、所期の振動絶縁効果を得るための
用途に応じて変位信号は絶対変位でもよく、また変位と
速度或いは変位と加速度から成る群から選ばれた２信号
を用いて制御することもできる。

【００３５】また、以上の例においてハイパスフイル
タ、ローパスフイルタは状況に応じては一方または双方
を省略することが可能である。さらに、以上の例におい
て非接触変位センサに設けられた前置増幅器も省略する
ことができる。

【００３６】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明のアクティブ振動絶縁装置によれば、アクチュエータ
を組付けるのが容易であり、その設置スペースが小さく
なり、また振動系全体をバランスよく支持できて水平方
向の振動絶縁性能を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例によるアクティブ振動絶縁装置
の説明図。

【図２】本発明によるアクティブ振動絶縁装置に使用さ
れる空気バネの説明図。

【図３】本発明によるアクティブ振動絶縁装置の水平方
向制御系を示すブロック図。

【図４】本発明によるアクティブ振動絶縁装置における
各構成要素の配置を示す図。

【図５】図５（ａ）は従来の振動絶縁装置によって得ら
れた周波数−水平方向振動伝達関数特性を示すグラフ、
図５（ｂ）は本発明によるアクティブ振動絶縁装置によ
って得られた周波数−水平方向振動伝達関数特性を示す
グラフ。

【符号の説明】

１０……空気バネの設置面 １１……空気バネ １２……制御対象物 １３……水平方向の振動センサ １４……水平方向の変位センサ １５ａ……第１の水平方向空圧アクチュエータ １５ｂ……第２の水平方向空圧アクチュエータ １７ａ……第１の電気空圧アナログ弁 １７ｂ……第２の電気空圧アナログ弁 １８……ハイパスフイルタ １９……増幅器 ２０……積分器 ２１……増幅器 ２２……ローパスフイルタ ２３……ローパスフイルタ ２４……前置増幅器 ２５……減算器 ２６……増幅器 ２７……加算器 ２８……信号反転器 Ｓ1……水平方向の振動信号 Ｓ2……水平方向の相対変位信号 ＦA……一方の水平方向の制御力 ＦB……他方の水平方向の制御力

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F16F 15/02 - 15/08

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】空気バネ（１１）で支持されている制御対
   象物（１２）に搭載され水平方向の振動を検出して水平
   方向の振動信号（Ｓ1）を出力する水平方向振動センサ
   （１３）と、前記制御対象物、前記空気バネの何れかに
   搭載され前記制御対象物、前記空気バネの設置面（１
   ０）間の水平方向の相対変位を検出して水平方向の相対
   変位信号（Ｓ2）を出力する水平方向変位センサ（１
   ４）と、前記振動信号および前記相対変位信号を加算す
   る加算器（２７）と、前記加算器からの出力が入力され
   空圧源から圧縮された空気が印加されている第１の電気
   空圧アナログ弁（１７ａ）と、前記加算器からの出力が
   信号反転器（２８）を介して入力され前記空圧源から圧
   縮された空気が印加されている第２の電気空圧アナログ
   弁（１７ｂ）と、前記第１の電気空圧アナログ弁からの
   信号により駆動され前記制御対象物に一方の水平方向の
   制御力（ＦA）を注入する第１の水平方向空圧アクチュ
   エータ（１５ａ）と、前記第２の電気空圧アナログ弁か
   らの信号により駆動され前記制御対象物に他方の水平方
   向の制御力（ＦB）を注入する第２の水平方向空圧アク
   チュエータ（１５ｂ）とを備え、 前記水平方向振動センサおよび前記加算器間には、前記
   水平方向振動センサが温度によってゼロ点がドリフトす
   るためＤＣ成分をカットし温度特性を向上させるハイパ
   スフイルタ（１８）を介して前記水平方向の振動信号か
   ら増幅された加速度信号を生成する増幅器（１９）、高
   周波成分をカットし発振を防止するローパスフイルタ
   （２２）と、前記水平方向の振動信号から速度信号を生
   成する積分器（２０）、前記積分器からの速度信号を増
   幅する増幅器（２１）、高周波成分をカットし発振を防
   止するローパスフイルタ（２３）との並列回路が介在さ
   れ、 前記水平方向変位センサおよび前記加算器間には、前記
   水平方向の相対変位信号を増幅する前置増幅器（２４）
   と、前記水平方向変位センサが発生する０〜＋数ｖの電
   圧のゼロ点を境にして±の電圧を発生するようにゼロ点
   調整を行なう減算器（２５）と、前記減算器からの水平
   方向の相対変位信号を増幅する増幅器（ ２６）との直列
   回路が介在されている ことを特徴とするアクティブ振動
   絶縁装置。