JPH05299464A - Ｘｙテーブル - Google Patents
ＸｙテーブルInfo
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- JPH05299464A JPH05299464A JP4222267A JP22226792A JPH05299464A JP H05299464 A JPH05299464 A JP H05299464A JP 4222267 A JP4222267 A JP 4222267A JP 22226792 A JP22226792 A JP 22226792A JP H05299464 A JPH05299464 A JP H05299464A
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- JP
- Japan
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- moving plate
- linear motor
- yoke
- coil
- driving unit
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ボンディング装置のＸＹテーブルの移動用駆動
装置を最小にし、全体をコンパクトにするもの。 【構成】Ｙ方向移動する上方移動板１４を支持するＸ方
向移動する下方移動板１０のＸ方向駆動装置をリニアモ
ータ１とし、このリニアモータ１を下方移動板１０の下
方に設けたもの。
装置を最小にし、全体をコンパクトにするもの。 【構成】Ｙ方向移動する上方移動板１４を支持するＸ方
向移動する下方移動板１０のＸ方向駆動装置をリニアモ
ータ１とし、このリニアモータ１を下方移動板１０の下
方に設けたもの。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、搭載物をＸＹ移動せし
めるＸＹテーブルに関するものであり、例えばダイボン
ディング装置やワイヤボンディング装置などのＸＹテー
ブルとして好適に用いられるものである。
めるＸＹテーブルに関するものであり、例えばダイボン
ディング装置やワイヤボンディング装置などのＸＹテー
ブルとして好適に用いられるものである。
【０００２】
【従来の技術】例えばボンディング装置に用いられてい
る従来のＸＹテーブルは、回転モータの駆動力を送りネ
ジ及び送りネジに螺合したナットを介して移動板に伝達
する構造であった。
る従来のＸＹテーブルは、回転モータの駆動力を送りネ
ジ及び送りネジに螺合したナットを介して移動板に伝達
する構造であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従って、移動板の大き
さが回転モータと送りネジをカバーするほどの大きさが
あるものでは移動板の下方に回転モータと送りネジを設
ければスペース上の問題は生じないが、ボンディング装
置のように小さな移動板でよいものではその駆動装置に
よりＸＹテーブル全体の大きさが左右される。例えば特
公昭５９−５２５４０号公報に見られる図示例では、移
動台と２つの回転モータを配備するスペースを要してい
る。本発明は従来の上述の問題点を解決しようとするも
ので、駆動装置のスペースの小さい、コンパクトなＸＹ
テーブルを提供することを目的とするものである。
さが回転モータと送りネジをカバーするほどの大きさが
あるものでは移動板の下方に回転モータと送りネジを設
ければスペース上の問題は生じないが、ボンディング装
置のように小さな移動板でよいものではその駆動装置に
よりＸＹテーブル全体の大きさが左右される。例えば特
公昭５９−５２５４０号公報に見られる図示例では、移
動台と２つの回転モータを配備するスペースを要してい
る。本発明は従来の上述の問題点を解決しようとするも
ので、駆動装置のスペースの小さい、コンパクトなＸＹ
テーブルを提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ方向駆動装
置によりＸ方向移動する下方移動板の上方にＹ方向駆動
装置によりＹ方向移動する上方移動板を支持して、該上
方移動板をＸＹ移動せしめるＸＹテーブルにおいて、前
記Ｘ方向駆動装置がリニアモータで、下方移動板の下方
に設けられていることを特徴とするＸＹテーブルであ
る。
置によりＸ方向移動する下方移動板の上方にＹ方向駆動
装置によりＹ方向移動する上方移動板を支持して、該上
方移動板をＸＹ移動せしめるＸＹテーブルにおいて、前
記Ｘ方向駆動装置がリニアモータで、下方移動板の下方
に設けられていることを特徴とするＸＹテーブルであ
る。
【０００５】
【作用】回転モータと送りネジとからなる駆動装置とリ
ニアモータを比べると、移動板は、前者では送りネジ上
を往復動し、後者では可動側と一体に往復動するので、
送りネジの長さと、リニアモータの可動側の移動に要す
る長さスペースとは、ほぼ同じだけ必要である。ところ
が、前者では回転モータを送りネジに接続しなければな
らないので回転モータと送りネジを加えた長さとなり長
大化するが、後者ではリニアモータの固定側は可動側に
沿って設けられるのでリニアモータの固定側の長さが送
りネジだけの長さにほぼ等しくなる。本発明のＸＹテー
ブルは下方移動板の駆動装置としてリニアモータを用
い、かつ下方移動板の下方に設けたので、例えば特公昭
５９−５２５４０号公報図示例のものに対して、請求項
１の発明ではモータ１２′のスペースが不要となる。Ｙ
方向駆動装置もリニアモータを用い、前記上方移動板の
下方に下方移動板のリニアモータに隣接して設けた請求
項２の発明ではモータ１２のスペースも不要となる。従
って、コンパクトなＸＹテーブルとすることができる。
ニアモータを比べると、移動板は、前者では送りネジ上
を往復動し、後者では可動側と一体に往復動するので、
送りネジの長さと、リニアモータの可動側の移動に要す
る長さスペースとは、ほぼ同じだけ必要である。ところ
が、前者では回転モータを送りネジに接続しなければな
らないので回転モータと送りネジを加えた長さとなり長
大化するが、後者ではリニアモータの固定側は可動側に
沿って設けられるのでリニアモータの固定側の長さが送
りネジだけの長さにほぼ等しくなる。本発明のＸＹテー
ブルは下方移動板の駆動装置としてリニアモータを用
い、かつ下方移動板の下方に設けたので、例えば特公昭
５９−５２５４０号公報図示例のものに対して、請求項
１の発明ではモータ１２′のスペースが不要となる。Ｙ
方向駆動装置もリニアモータを用い、前記上方移動板の
下方に下方移動板のリニアモータに隣接して設けた請求
項２の発明ではモータ１２のスペースも不要となる。従
って、コンパクトなＸＹテーブルとすることができる。
【０００６】
【実施例】本発明の実施例図１〜図１０を用いて説明す
る。先ず、図１〜図２に示した実施例を説明する前にこ
の例に用いたリニアモータにつき図３〜図５を用いて予
め説明する。リニアモータ１のヨークは長方形の平板状
の下ヨーク２と下ヨーク２の短辺よりも短い短辺の上ヨ
ーク３からなっている。上ヨーク３は両短辺部に側ヨー
クを備えた断面コ字型ヨークで、下ヨーク２と上ヨーク
３それぞれの長辺に平行の中心線相互を上下方向で重な
るように一致させて両者を連結している。下ヨーク２と
上ヨーク３の内面部には永久磁石４群が設けられるが、
短辺に平行の中心線５を境にして、同一ヨーク内かつ上
下ヨーク相互間で異極が内側になるように配備されてい
る。例えば図３，図４において上ヨーク３の左側は内側
にＳ極が右側は内側にＮ極が配備され、下ヨーク２の左
側は内側にＮ極が右側は内側にＳ極が配備されている。
リニアモータ１のコイル６は平板状のコイル巻装材７の
まわりに形成されているが、このコイル巻装材７は上ヨ
ーク３の短辺よりも長い長辺と、図４に示されるコイル
部６１を常に中心線５よりも左側領域に、コイル部６２
を常に右側領域に位置させる短辺の長さを備え、コイル
巻装材７の短辺部を図３，図５のように上ヨーク３の長
辺よりも外側の領域に突出させてヨーク内の磁束が作用
している空間に挿入配備されている。そして、今、例え
ばコイル６に、図４において、左側のコイル部６１で手
前に右側のコイル部６２で向うに流れる向きに電流を流
せばコイル６をヨークに対して相対的に左行せしめる推
力が生じ、反対の向きに電流を流せば右行せしめる推力
が生じるようになっている。即ち、コイル６とヨークと
は中心線５に直角の方向に相対的に往復動するようにな
っている。ヨークとコイル６とはどちらを可動側として
もよく、固定部材又は被駆動部材との連結用ビス穴３
１，３２が下ヨーク２とコイル巻装材７の上ヨーク３か
ら突出している部分にそれぞれ設けられている。上述の
如きリニアモータ１が図１〜図２に示したＸＹテーブル
において、Ｘ方向，Ｙ方向それぞれの駆動装置として２
個用いられているが、便宜上、Ｘ方向の駆動装置として
用いたリニアモータをＸ方向リニアモータ１、Ｙ方向の
駆動装置として用いたリニアモータをＹ方向リニアモー
タ１′（対応する部材を図中でダッシュを付して示す）
とする。図１，図２（下方移動板１０は最も手前に移動
しており上方移動板１４は最も左行しているところを示
している）において、Ｘ方向リニアモータ１はコイル６
を可動側としてあり、ヨーク８を固定側としてベースに
固定してある。ヨーク８の上面部には両側をガイドレー
ルとしたＸ方向ガイド部９が設けられている。１０は下
方移動板で、下部にＸ方向ガイド部９のガイドレールに
対のスライダ１１，１１を備え、クロスローラ，Ｘ方向
ガイド部９を介してヨーク８にＸ方向移動自在に支持さ
れている。そしてＸ方向リニアモータ１のコイル６のコ
イル巻装材７に連結プレート１２，１２を介して連結さ
れ、コイル６と一体にＸ方向に往復動するように設けら
れている。下方移動板１０は上面部にＹ方向のガイドレ
ール１３，１３を備えている。Ｙ方向に長い長方形の上
方移動板１４は長辺部の側面部をガイドレール１３，１
３に対のスライダとしてあり、クロスローラ，ガイドレ
ール１３，１３を介して下方移動板１０の上方にＹ方向
移動自在に支持されている。上方移動板１４の本体の短
辺部端部の一方にはローラ挿入孔１５となる凹部がＸ方
向に長く設けられ、さらに端部に連結バー１６が設けら
れている。この上方移動板１４上にボンディング装置の
本体装置などが搭載固定される。上方移動板１４の下方
で、かつＸ方向リニアモータ１に隣接して、Ｘ方向リニ
アモータ１と同じリニアモータを向きを変えて設けたＹ
方向リニアモータ１′では上述の下方移動板１０に代え
てローラ取付板１７が設けられている。ローラ取付板１
７の上面部にはローラ１８，１８がＹ方向の間隔をあけ
て設けられ、ローラ１８，１８間に上方移動板１４の連
結バー１６を挿入して、上方移動板１４にＸ方向移動を
許しながらＹ方向移動を伝達するようにしてある。な
お、ボンディング装置のＸＹテーブルでは上方移動板１
４に搭載される本体装置にＸＹ位置検出装置などが設け
られているが、搭載装置によっては必要に応じて下方移
動板１０，上方移動板１４の位置及び速度を制御するた
めのリニアエンコダ３３，３４を設けることができる。
例えば下方移動板１０のリニアエンコダ３３はベース上
に固定して設けられ、上方移動板１４のリニアエンコダ
３４はガイドレール１３に固定して設けられる。以上の
例はリニアモータ１，１′をそれぞれ下方移動板１０，
上方移動板１４の下方に設けた例であるが、図６〜図１
０例はＸ方向リニアモータ２０は下方移動板１０の下方
に設けているがＹ方向リニアモータ２７は上方移動板１
４の下方から外れた領域に設けた例である。以下上述の
実施例と異なっているところを説明する。下方移動板１
０は側面部をスライダとし、両側に立設したガイドレー
ル１９，１９にＸ方向に移動自在に支持されている。下
方移動板１０の下方に設けられるＸ方向リニアモータ２
０は、鉄心を備え、所定位置に永久磁石２１，２１′を
備えた断面Ｅ型のヨーク２２，２２′を鉄心の先端を対
向させて並べてベースに固定されている。コイル２３，
２３′は筒体のコイル巻装材２４の両端部にそれぞれヨ
ーク２２，２２′に対応して設けられている。コイル巻
装材２４は下方移動板１０に連結プレート２５，２５で
連結され、下方移動板１０をＸ方向に移動せしめるよう
にしてある。上方移動板１４の連結バー１６は端部に下
面部から突出するように設けられている。ローラ取付板
１７はガイドブロック２６にＹ方向に移動自在に支持さ
れ、その一端がＹ方向リニアモータ２７の可動側である
コイル巻装材２８に連結されている。Ｙ方向リニアモー
タ２７のヨーク２９はＸ方向リニアモータ２０のヨーク
２２と同じタイプのものであるが、コイル巻装材２８は
断面コ字型部材で、開放端部にコイル３０を設け、他端
部をローラ取付板１７に連結している。以上、コイルを
可動側として設けたが、ヨークを可動側とすることもで
きる。またボンディング装置以外のＸＹテーブルにも適
用することができる。
る。先ず、図１〜図２に示した実施例を説明する前にこ
の例に用いたリニアモータにつき図３〜図５を用いて予
め説明する。リニアモータ１のヨークは長方形の平板状
の下ヨーク２と下ヨーク２の短辺よりも短い短辺の上ヨ
ーク３からなっている。上ヨーク３は両短辺部に側ヨー
クを備えた断面コ字型ヨークで、下ヨーク２と上ヨーク
３それぞれの長辺に平行の中心線相互を上下方向で重な
るように一致させて両者を連結している。下ヨーク２と
上ヨーク３の内面部には永久磁石４群が設けられるが、
短辺に平行の中心線５を境にして、同一ヨーク内かつ上
下ヨーク相互間で異極が内側になるように配備されてい
る。例えば図３，図４において上ヨーク３の左側は内側
にＳ極が右側は内側にＮ極が配備され、下ヨーク２の左
側は内側にＮ極が右側は内側にＳ極が配備されている。
リニアモータ１のコイル６は平板状のコイル巻装材７の
まわりに形成されているが、このコイル巻装材７は上ヨ
ーク３の短辺よりも長い長辺と、図４に示されるコイル
部６１を常に中心線５よりも左側領域に、コイル部６２
を常に右側領域に位置させる短辺の長さを備え、コイル
巻装材７の短辺部を図３，図５のように上ヨーク３の長
辺よりも外側の領域に突出させてヨーク内の磁束が作用
している空間に挿入配備されている。そして、今、例え
ばコイル６に、図４において、左側のコイル部６１で手
前に右側のコイル部６２で向うに流れる向きに電流を流
せばコイル６をヨークに対して相対的に左行せしめる推
力が生じ、反対の向きに電流を流せば右行せしめる推力
が生じるようになっている。即ち、コイル６とヨークと
は中心線５に直角の方向に相対的に往復動するようにな
っている。ヨークとコイル６とはどちらを可動側として
もよく、固定部材又は被駆動部材との連結用ビス穴３
１，３２が下ヨーク２とコイル巻装材７の上ヨーク３か
ら突出している部分にそれぞれ設けられている。上述の
如きリニアモータ１が図１〜図２に示したＸＹテーブル
において、Ｘ方向，Ｙ方向それぞれの駆動装置として２
個用いられているが、便宜上、Ｘ方向の駆動装置として
用いたリニアモータをＸ方向リニアモータ１、Ｙ方向の
駆動装置として用いたリニアモータをＹ方向リニアモー
タ１′（対応する部材を図中でダッシュを付して示す）
とする。図１，図２（下方移動板１０は最も手前に移動
しており上方移動板１４は最も左行しているところを示
している）において、Ｘ方向リニアモータ１はコイル６
を可動側としてあり、ヨーク８を固定側としてベースに
固定してある。ヨーク８の上面部には両側をガイドレー
ルとしたＸ方向ガイド部９が設けられている。１０は下
方移動板で、下部にＸ方向ガイド部９のガイドレールに
対のスライダ１１，１１を備え、クロスローラ，Ｘ方向
ガイド部９を介してヨーク８にＸ方向移動自在に支持さ
れている。そしてＸ方向リニアモータ１のコイル６のコ
イル巻装材７に連結プレート１２，１２を介して連結さ
れ、コイル６と一体にＸ方向に往復動するように設けら
れている。下方移動板１０は上面部にＹ方向のガイドレ
ール１３，１３を備えている。Ｙ方向に長い長方形の上
方移動板１４は長辺部の側面部をガイドレール１３，１
３に対のスライダとしてあり、クロスローラ，ガイドレ
ール１３，１３を介して下方移動板１０の上方にＹ方向
移動自在に支持されている。上方移動板１４の本体の短
辺部端部の一方にはローラ挿入孔１５となる凹部がＸ方
向に長く設けられ、さらに端部に連結バー１６が設けら
れている。この上方移動板１４上にボンディング装置の
本体装置などが搭載固定される。上方移動板１４の下方
で、かつＸ方向リニアモータ１に隣接して、Ｘ方向リニ
アモータ１と同じリニアモータを向きを変えて設けたＹ
方向リニアモータ１′では上述の下方移動板１０に代え
てローラ取付板１７が設けられている。ローラ取付板１
７の上面部にはローラ１８，１８がＹ方向の間隔をあけ
て設けられ、ローラ１８，１８間に上方移動板１４の連
結バー１６を挿入して、上方移動板１４にＸ方向移動を
許しながらＹ方向移動を伝達するようにしてある。な
お、ボンディング装置のＸＹテーブルでは上方移動板１
４に搭載される本体装置にＸＹ位置検出装置などが設け
られているが、搭載装置によっては必要に応じて下方移
動板１０，上方移動板１４の位置及び速度を制御するた
めのリニアエンコダ３３，３４を設けることができる。
例えば下方移動板１０のリニアエンコダ３３はベース上
に固定して設けられ、上方移動板１４のリニアエンコダ
３４はガイドレール１３に固定して設けられる。以上の
例はリニアモータ１，１′をそれぞれ下方移動板１０，
上方移動板１４の下方に設けた例であるが、図６〜図１
０例はＸ方向リニアモータ２０は下方移動板１０の下方
に設けているがＹ方向リニアモータ２７は上方移動板１
４の下方から外れた領域に設けた例である。以下上述の
実施例と異なっているところを説明する。下方移動板１
０は側面部をスライダとし、両側に立設したガイドレー
ル１９，１９にＸ方向に移動自在に支持されている。下
方移動板１０の下方に設けられるＸ方向リニアモータ２
０は、鉄心を備え、所定位置に永久磁石２１，２１′を
備えた断面Ｅ型のヨーク２２，２２′を鉄心の先端を対
向させて並べてベースに固定されている。コイル２３，
２３′は筒体のコイル巻装材２４の両端部にそれぞれヨ
ーク２２，２２′に対応して設けられている。コイル巻
装材２４は下方移動板１０に連結プレート２５，２５で
連結され、下方移動板１０をＸ方向に移動せしめるよう
にしてある。上方移動板１４の連結バー１６は端部に下
面部から突出するように設けられている。ローラ取付板
１７はガイドブロック２６にＹ方向に移動自在に支持さ
れ、その一端がＹ方向リニアモータ２７の可動側である
コイル巻装材２８に連結されている。Ｙ方向リニアモー
タ２７のヨーク２９はＸ方向リニアモータ２０のヨーク
２２と同じタイプのものであるが、コイル巻装材２８は
断面コ字型部材で、開放端部にコイル３０を設け、他端
部をローラ取付板１７に連結している。以上、コイルを
可動側として設けたが、ヨークを可動側とすることもで
きる。またボンディング装置以外のＸＹテーブルにも適
用することができる。
【０００７】
【発明の効果】本発明のＸＹテーブルは下方移動板の駆
動装置としてリニアモータを用い、かつ下方移動板の下
方に設けたので、駆動装置のスペースを必要最小限に抑
えることができ、従って、コンパクトなＸＹテーブルと
することができる。
動装置としてリニアモータを用い、かつ下方移動板の下
方に設けたので、駆動装置のスペースを必要最小限に抑
えることができ、従って、コンパクトなＸＹテーブルと
することができる。
【図１】図１は本発明の実施例の平面図である。
【図２】図１の正面図（リニアエンコダ３４は省略して
ある）である。
ある）である。
【図３】リニアモータの平面図である。
【図４】図３の縦断面図である。
【図５】図３の側面図である。
【図６】図６は別の実施例の平面図である。
【図７】図６のＩ−Ｉ線における断面正面図である。
【図８】図６のＩＩ−ＩＩ線における断面側面図であ
る。
る。
【図９】図６のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面側面図で
ある。
ある。
【図１０】図６のＩＶ−ＩＶ線における断面側面図であ
る。
る。
１ リニアモータ（Ｘ方向リニアモータ） １′Ｙ方向リニアモータ ２ 下ヨーク ３ 上ヨーク ４ 永久磁石 ４′永久磁石 ５ 中心線 ６ コイル ６′コイル ６1 コイル部 ６2 コイル部 ７ コイル巻装材 ８ ヨーク ８′ヨーク ９ Ｘ方向ガイド部 ９′Ｘ方向ガイド部 １０ 下方移動板 １１ スライダ １２ 連結プレート １２′連結プレート １３ ガイドレール １４ 上方移動板 １５ ローラ挿入孔 １６ 連結バー １７ ローラ取付板 １８ ローラ １９ ガイドレール ２０ Ｘ方向リニアモータ ２１ 永久磁石 ２１′永久磁石 ２２ ヨーク ２２′ヨーク ２３ コイル ２３′コイル ２４ コイル巻装材 ２５ 連結プレート ２６ ガイドブロック ２７ Ｙ方向リニアモータ ２８ コイル巻装材 ２９ ヨーク ３０ コイル ３１ 連結用ビス穴 ３２ 連結用ビス穴 ３３ リニアエンコダ ３４ リニアエンコダ
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ方向駆動装置によりＸ方向移動する下
方移動板の上方にＹ方向駆動装置によりＹ方向移動する
上方移動板を支持して、該上方移動板をＸＹ移動せしめ
るＸＹテーブルにおいて、前記Ｘ方向駆動装置がリニア
モータで、下方移動板の下方に設けられていることを特
徴とするＸＹテーブル。 - 【請求項２】 前記Ｙ方向駆動装置もリニアモータで、
前記上方移動板の下方に前記下方移動板のリニアモータ
に隣接して設けられている請求項１記載のＸＹテーブ
ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4222267A JP2789543B2 (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | Ｘｙテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4222267A JP2789543B2 (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | Ｘｙテーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05299464A true JPH05299464A (ja) | 1993-11-12 |
| JP2789543B2 JP2789543B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=16779712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4222267A Expired - Fee Related JP2789543B2 (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | Ｘｙテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2789543B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7654207B1 (en) | 1999-09-10 | 2010-02-02 | Nec Corporation | XY stage |
| WO2010079632A1 (ja) * | 2009-01-06 | 2010-07-15 | 株式会社新川 | ２方向移動テーブル |
| JP2012114359A (ja) * | 2010-11-26 | 2012-06-14 | Kaijo Corp | Ｘｙステージ |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5371569A (en) * | 1976-12-08 | 1978-06-26 | Hitachi Ltd | X - y moving table |
| JPS58223576A (ja) * | 1982-06-16 | 1983-12-26 | ニチデン機械株式会社 | Ｘｙテ−ブル駆動装置 |
| JPS61198639A (ja) * | 1985-02-27 | 1986-09-03 | Toshiba Corp | ボンデイング装置 |
| JPS62147737A (ja) * | 1985-12-23 | 1987-07-01 | Toshiba Corp | ワイヤボンダ用ｘ−ｙテ−ブル |
-
1992
- 1992-07-30 JP JP4222267A patent/JP2789543B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
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