JP2789543B2 - Ｘｙテーブル - Google Patents
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- JP2789543B2 JP2789543B2 JP4222267A JP22226792A JP2789543B2 JP 2789543 B2 JP2789543 B2 JP 2789543B2 JP 4222267 A JP4222267 A JP 4222267A JP 22226792 A JP22226792 A JP 22226792A JP 2789543 B2 JP2789543 B2 JP 2789543B2
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- coil
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- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
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- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、搭載物をＸＹ移動せし
めるＸＹテーブルに関するものであり、例えばダイボン
ディング装置やワイヤボンディング装置などのＸＹテー
ブルとして好適に用いられるものである。
めるＸＹテーブルに関するものであり、例えばダイボン
ディング装置やワイヤボンディング装置などのＸＹテー
ブルとして好適に用いられるものである。
【０００２】
【従来の技術】例えばボンディング装置に用いられてい
る従来のＸＹテーブルは、回転モータの駆動力を送りネ
ジ及び送りネジに螺合したナットを介して移動板に伝達
する構造であった。
る従来のＸＹテーブルは、回転モータの駆動力を送りネ
ジ及び送りネジに螺合したナットを介して移動板に伝達
する構造であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従って、移動板の大き
さが回転モータと送りネジをカバーするほどの大きさが
あるものでは移動板の下方に回転モータと送りネジを設
ければスペース上の問題は生じないが、ボンディング装
置のように小さな移動板でよいものではその駆動装置に
よりＸＹテーブル全体の大きさが左右される。例えば特
公昭５９−５２５４０号公報に見られる図示例では、移
動台と２つの回転モータを配備するスペースを要してい
る。本発明は従来の上述の問題点を解決しようとするも
ので、駆動装置のスペースの小さい、コンパクトなＸＹ
テーブルを提供することを目的とするものである。
さが回転モータと送りネジをカバーするほどの大きさが
あるものでは移動板の下方に回転モータと送りネジを設
ければスペース上の問題は生じないが、ボンディング装
置のように小さな移動板でよいものではその駆動装置に
よりＸＹテーブル全体の大きさが左右される。例えば特
公昭５９−５２５４０号公報に見られる図示例では、移
動台と２つの回転モータを配備するスペースを要してい
る。本発明は従来の上述の問題点を解決しようとするも
ので、駆動装置のスペースの小さい、コンパクトなＸＹ
テーブルを提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、可動子がＸ方
向に移動可能なＸ方向駆動用リニアモータと、可動子が
Ｙ方向に移動可能なＹ方向駆動用リニアモータと、該Ｘ
方向駆動用リニアモータおよびＹ方向駆動用リニアモー
タによりＸＹ方向に駆動されるＸおよびＹテーブルを備
えたＸＹテーブルであって、前記Ｘ方向駆動用リニアモ
ータの可動子を略平板ブロック状に構成して、これにＸ
テーブルを連結し、該Ｘテーブルの下方に前記Ｘ方向駆
動用リニアモータを設けるとともに、前記Ｘテーブル上
に前記Ｙテーブルを設け、該Ｙテーブルの一方端側にＸ
方向に延在する連結バーを固設し、該連結バーを転動自
在のローラで挟持するローラ取付板を前記Ｙ方向駆動用
リニアモータの可動子に連結するとともに、前記連結バ
ーおよび前記ローラの上面を前記Ｙテーブルの上面より
突出しないようにしたことを特徴とするＸＹテーブルで
ある。
向に移動可能なＸ方向駆動用リニアモータと、可動子が
Ｙ方向に移動可能なＹ方向駆動用リニアモータと、該Ｘ
方向駆動用リニアモータおよびＹ方向駆動用リニアモー
タによりＸＹ方向に駆動されるＸおよびＹテーブルを備
えたＸＹテーブルであって、前記Ｘ方向駆動用リニアモ
ータの可動子を略平板ブロック状に構成して、これにＸ
テーブルを連結し、該Ｘテーブルの下方に前記Ｘ方向駆
動用リニアモータを設けるとともに、前記Ｘテーブル上
に前記Ｙテーブルを設け、該Ｙテーブルの一方端側にＸ
方向に延在する連結バーを固設し、該連結バーを転動自
在のローラで挟持するローラ取付板を前記Ｙ方向駆動用
リニアモータの可動子に連結するとともに、前記連結バ
ーおよび前記ローラの上面を前記Ｙテーブルの上面より
突出しないようにしたことを特徴とするＸＹテーブルで
ある。
【０００５】
【作用】回転モータおよび送りネジからなる駆動装置
と、リニアモータを比べると、移動板は、前者では送り
ネジ上を往復動し、後者では可動側（可動子）と一体に
往復動するので、送りネジの長さと、リニアモータの可
動側の移動に要する長さスペースとは、ほぼ同じだけ必
要である。ところが、前者では回転モータを送りネジに
接続しなければならないので回転モータと送りネジを加
えた長さとなり長大化するが、後者ではリニアモータの
固定側は可動側に沿って設けられるのでリニアモータの
固定側の長さが送りネジだけの長さにほぼ等しくなる。
本発明のＸＹテーブルはＸテーブルの駆動装置として全
体がブロック状、すなわち、可動子が略平板ブロック状
のリニアモータを用いてＸテーブルの下方に設けて可動
子と連結し、さらに、Ｘテーブル上にＹテーブルを設
け、Ｙテーブルを駆動するＹ方向駆動装置もリニアモー
タを用い、Ｙテーブルに固設された連結バーおよびロー
ラの上面をＹテーブルの上面より突出しないようにした
ため、特公昭５９−５２５４０号公報図示例のものと対
比すれば、モータ１２’，１２のスペースが不要で、コ
ンパクトなＸＹテーブルとすることができるとともに、
Ｙテーブル上面に搭載する装置の取付が容易となる。
と、リニアモータを比べると、移動板は、前者では送り
ネジ上を往復動し、後者では可動側（可動子）と一体に
往復動するので、送りネジの長さと、リニアモータの可
動側の移動に要する長さスペースとは、ほぼ同じだけ必
要である。ところが、前者では回転モータを送りネジに
接続しなければならないので回転モータと送りネジを加
えた長さとなり長大化するが、後者ではリニアモータの
固定側は可動側に沿って設けられるのでリニアモータの
固定側の長さが送りネジだけの長さにほぼ等しくなる。
本発明のＸＹテーブルはＸテーブルの駆動装置として全
体がブロック状、すなわち、可動子が略平板ブロック状
のリニアモータを用いてＸテーブルの下方に設けて可動
子と連結し、さらに、Ｘテーブル上にＹテーブルを設
け、Ｙテーブルを駆動するＹ方向駆動装置もリニアモー
タを用い、Ｙテーブルに固設された連結バーおよびロー
ラの上面をＹテーブルの上面より突出しないようにした
ため、特公昭５９−５２５４０号公報図示例のものと対
比すれば、モータ１２’，１２のスペースが不要で、コ
ンパクトなＸＹテーブルとすることができるとともに、
Ｙテーブル上面に搭載する装置の取付が容易となる。
【０００６】
【実施例】本発明の実施例を図１〜図１０を用いて説明
する。先ず、図１〜図２に示した実施例を説明する前
に、この例に用いたリニアモータにつき図３〜図５を用
いて予め説明する。
する。先ず、図１〜図２に示した実施例を説明する前
に、この例に用いたリニアモータにつき図３〜図５を用
いて予め説明する。
【０００７】リニアモータ１のヨークは長方形の平板状
の下ヨーク２と下ヨーク２の短辺よりも短い短辺の上ヨ
ーク３からなっている。上ヨーク３は両短辺部に側ヨー
クを備えた断面コ字型ヨークで、下ヨーク２と上ヨーク
３をそれぞれの長辺に平行の中心線相互を上下方向で重
なるように一致させて両者を連結している。下ヨーク２
と上ヨーク３の内面部には永久磁石４群が設けられる
が、短辺に平行の中心線５を境にして、同一ヨーク内か
つ上下ヨーク相互間で異極が内側になるように配備され
ている。例えば図３，図４において植えヨーク３の左側
は内側にＮ極が右側は内側にＳ極が配備されている。
の下ヨーク２と下ヨーク２の短辺よりも短い短辺の上ヨ
ーク３からなっている。上ヨーク３は両短辺部に側ヨー
クを備えた断面コ字型ヨークで、下ヨーク２と上ヨーク
３をそれぞれの長辺に平行の中心線相互を上下方向で重
なるように一致させて両者を連結している。下ヨーク２
と上ヨーク３の内面部には永久磁石４群が設けられる
が、短辺に平行の中心線５を境にして、同一ヨーク内か
つ上下ヨーク相互間で異極が内側になるように配備され
ている。例えば図３，図４において植えヨーク３の左側
は内側にＮ極が右側は内側にＳ極が配備されている。
【０００８】リニアモータ１の可動子となるコイル６は
平板状のコイル巻装材７のまわりに形成されているが、
このコイル巻装材７は上ヨーク３の短辺よりも長い長辺
と、図４に示されるコイル部６１を常に中心線５よりも
左側領域に、コイル部６２を常に右側領域に位置させる
短辺の長さを備え、コイル巻装材７の短辺部を図３，図
５のように上ヨーク３の長辺よりも外側の領域に突出さ
せてヨーク内の磁束が作用している空間に挿入配備され
ている。
平板状のコイル巻装材７のまわりに形成されているが、
このコイル巻装材７は上ヨーク３の短辺よりも長い長辺
と、図４に示されるコイル部６１を常に中心線５よりも
左側領域に、コイル部６２を常に右側領域に位置させる
短辺の長さを備え、コイル巻装材７の短辺部を図３，図
５のように上ヨーク３の長辺よりも外側の領域に突出さ
せてヨーク内の磁束が作用している空間に挿入配備され
ている。
【０００９】そして、今、例えばコイル６に、図４にお
いて、左側のコイル部６１で手前に右側のコイル部６２
で向うに流れる向きに電流を流せばコイル６をヨークに
対して相対的に左行せしめる推力が生じ、反対の向きに
電流を流せば右行せしめる推力が生じるようになってい
る。即ち、コイル６とヨークとは中心線５に直角の方向
に相対的に往復動するようになっている。
いて、左側のコイル部６１で手前に右側のコイル部６２
で向うに流れる向きに電流を流せばコイル６をヨークに
対して相対的に左行せしめる推力が生じ、反対の向きに
電流を流せば右行せしめる推力が生じるようになってい
る。即ち、コイル６とヨークとは中心線５に直角の方向
に相対的に往復動するようになっている。
【００１０】ヨークとコイル６とはどちらを可動側とし
てもよく、固定部材又は被駆動部材との連結用ビス穴３
１，３２が下ヨーク２とコイル巻装材７の上ヨーク３か
ら突出している部分にそれぞれ設けられている。
てもよく、固定部材又は被駆動部材との連結用ビス穴３
１，３２が下ヨーク２とコイル巻装材７の上ヨーク３か
ら突出している部分にそれぞれ設けられている。
【００１１】上述の如きリニアモータ１が図１〜図２に
示したＸＹテーブルにおいて、Ｘ方向、Ｙ方向それぞれ
の駆動装置として２個用いられているが、便宜上、Ｘ方
向の駆動装置として用いたリニアモータをＸ方向リニア
モータ１、Ｙ方向の駆動装置として用いたリニアモータ
をＹ方向リニアモータ１’（対応する部材を図中でダッ
シュを付して示す）とする。
示したＸＹテーブルにおいて、Ｘ方向、Ｙ方向それぞれ
の駆動装置として２個用いられているが、便宜上、Ｘ方
向の駆動装置として用いたリニアモータをＸ方向リニア
モータ１、Ｙ方向の駆動装置として用いたリニアモータ
をＹ方向リニアモータ１’（対応する部材を図中でダッ
シュを付して示す）とする。
【００１２】図１，図２（Ｘテーブル１０は最も手前に
移動しておりＹテーブル１４は最も左行しているところ
を示している）において、Ｘ方向リニアモータ１はコイ
ル６を可動側（可動子）としてあり、ヨーク８を固定側
（固定子）としてベースに固定してある。ヨーク８の上
面部には両側をガイドレールとしたＸ方向ガイド部９が
設けられている。
移動しておりＹテーブル１４は最も左行しているところ
を示している）において、Ｘ方向リニアモータ１はコイ
ル６を可動側（可動子）としてあり、ヨーク８を固定側
（固定子）としてベースに固定してある。ヨーク８の上
面部には両側をガイドレールとしたＸ方向ガイド部９が
設けられている。
【００１３】１０はＸテーブルで、下部にＸ方向ガイド
部９のガイドレールに対のスライダ１１，１１を備え、
クロスローラ，Ｘ方向ガイド部９を介してヨーク８にＸ
方向移動自在に支持されている。そしてＸ方向リニアモ
ータ１のコイル６のコイル巻装材７に連結プレート１
２，１２を介して連結され、コイル６と一体にＸ方向に
往復動するように設けられている。
部９のガイドレールに対のスライダ１１，１１を備え、
クロスローラ，Ｘ方向ガイド部９を介してヨーク８にＸ
方向移動自在に支持されている。そしてＸ方向リニアモ
ータ１のコイル６のコイル巻装材７に連結プレート１
２，１２を介して連結され、コイル６と一体にＸ方向に
往復動するように設けられている。
【００１４】Ｘテーブル１０は上面部にＹ方向のガイド
レール１３，１３を備えている。Ｙ方向に長い長方形の
Ｙテーブル１４は長辺部の側面部をガイドレール１３，
１３に対のスライダとしてあり、クロスローラ，ガイド
レール１３，１３を介してＸテーブル１０の上方にＹ方
向移動自在に支持されている。
レール１３，１３を備えている。Ｙ方向に長い長方形の
Ｙテーブル１４は長辺部の側面部をガイドレール１３，
１３に対のスライダとしてあり、クロスローラ，ガイド
レール１３，１３を介してＸテーブル１０の上方にＹ方
向移動自在に支持されている。
【００１５】Ｙテーブル１４の本体の短辺部端部の一方
にはローラ挿入孔１５となる凹部がＸ方向に長く設けら
れ、さらに端部に連結バー１６が設けられている。この
Ｙテーブル１４上にボンディング装置の本体装置などが
搭載固定される。
にはローラ挿入孔１５となる凹部がＸ方向に長く設けら
れ、さらに端部に連結バー１６が設けられている。この
Ｙテーブル１４上にボンディング装置の本体装置などが
搭載固定される。
【００１６】Ｙテーブル１４の下方で、かつＸ方向リニ
アモータ１に隣接して、Ｘ方向リニアモータ１と同じリ
ニアモータを向きを変えて設けたＹ方向リニアモータ
１′では上述のＸテーブル１０に代えてローラ取付板１
７が設けられている。ローラ取付板１７の上面部にはロ
ーラ１８，１８がＹ方向の間隔をあけて設けられ、ロー
ラ１８，１８間にＹテーブル１４の連結バー１６を挿入
して、Ｙテーブル１４にＸ方向移動を許しながらＹ方向
移動を伝達するようにしてある。
アモータ１に隣接して、Ｘ方向リニアモータ１と同じリ
ニアモータを向きを変えて設けたＹ方向リニアモータ
１′では上述のＸテーブル１０に代えてローラ取付板１
７が設けられている。ローラ取付板１７の上面部にはロ
ーラ１８，１８がＹ方向の間隔をあけて設けられ、ロー
ラ１８，１８間にＹテーブル１４の連結バー１６を挿入
して、Ｙテーブル１４にＸ方向移動を許しながらＹ方向
移動を伝達するようにしてある。
【００１７】なお、ボンディング装置のＸＹテーブルで
はＹテーブル１４に搭載される本体装置にＸＹ位置検出
装置などが設けられているが、搭載装置によっては必要
に応じてＸテーブル１０，Ｙテーブル１４の位置及び速
度を制御するためのリニアエンコダ３３，３４を設ける
ことができる。例えばＸテーブル１０のリニアエンコダ
３３はベース上に固定して設けられ、Ｙテーブル１４の
リニアエンコダ３４はガイドレール１３に固定して設け
られる。
はＹテーブル１４に搭載される本体装置にＸＹ位置検出
装置などが設けられているが、搭載装置によっては必要
に応じてＸテーブル１０，Ｙテーブル１４の位置及び速
度を制御するためのリニアエンコダ３３，３４を設ける
ことができる。例えばＸテーブル１０のリニアエンコダ
３３はベース上に固定して設けられ、Ｙテーブル１４の
リニアエンコダ３４はガイドレール１３に固定して設け
られる。
【００１８】以上の例はリニアモータ１，１′をそれぞ
れＸテーブル１０，Ｙテーブル１４の下方に設けた例で
あるが、図６〜図１０例はＸ方向リニアモータ２０はＸ
テーブル１０の下方に設けているがＹ方向リニアモータ
２７はＹテーブル１４の下方から外れた領域に設けた例
である。以下上述の実施例と異なっているところを説明
する。
れＸテーブル１０，Ｙテーブル１４の下方に設けた例で
あるが、図６〜図１０例はＸ方向リニアモータ２０はＸ
テーブル１０の下方に設けているがＹ方向リニアモータ
２７はＹテーブル１４の下方から外れた領域に設けた例
である。以下上述の実施例と異なっているところを説明
する。
【００１９】Ｘテーブル１０は側面部をスライダとし、
両側に立設したガイドレール１９，１９にＸ方向に移動
自在に支持されている。Ｘテーブル１０の下方に設けら
れるＸ方向リニアモータ２０は、鉄心を備え、所定位置
に永久磁石２１，２１′を備えた断面Ｅ型のヨーク２
２，２２′を鉄心の先端を対向させて並べてベースに固
定されている。コイル２３，２３′は筒体のコイル巻装
材２４の両端部にそれぞれヨーク２２，２２′に対応し
て設けられている。コイル巻装材２４はＸテーブル１０
に連結プレート２５，２５で連結され、Ｘテーブル１０
をＸ方向に移動せしめるようにしてある。
両側に立設したガイドレール１９，１９にＸ方向に移動
自在に支持されている。Ｘテーブル１０の下方に設けら
れるＸ方向リニアモータ２０は、鉄心を備え、所定位置
に永久磁石２１，２１′を備えた断面Ｅ型のヨーク２
２，２２′を鉄心の先端を対向させて並べてベースに固
定されている。コイル２３，２３′は筒体のコイル巻装
材２４の両端部にそれぞれヨーク２２，２２′に対応し
て設けられている。コイル巻装材２４はＸテーブル１０
に連結プレート２５，２５で連結され、Ｘテーブル１０
をＸ方向に移動せしめるようにしてある。
【００２０】Ｙテーブル１４の連結バー１６は端部に下
面部から突出するように設けられている。ローラ取付板
１７はガイドブロック２６にＹ方向に移動自在に支持さ
れ、その一端がＹ方向リニアモータ２７の可動側である
コイル巻装材２８に連結されている。Ｙ方向リニアモー
タ２７のヨーク２９はＸ方向リニアモータ２０のヨーク
２２と同じタイプのものであるが、コイル巻装材２８は
断面コ字型部材で、開放端部にコイル３０を設け、他端
部をローラ取付板１７に連結している。
面部から突出するように設けられている。ローラ取付板
１７はガイドブロック２６にＹ方向に移動自在に支持さ
れ、その一端がＹ方向リニアモータ２７の可動側である
コイル巻装材２８に連結されている。Ｙ方向リニアモー
タ２７のヨーク２９はＸ方向リニアモータ２０のヨーク
２２と同じタイプのものであるが、コイル巻装材２８は
断面コ字型部材で、開放端部にコイル３０を設け、他端
部をローラ取付板１７に連結している。
【００２１】以上、コイルを可動側として設けたが、ヨ
ークを可動側とすることもできる。またボンディング装
置以外のＸＹテーブルにも適用することができる。
ークを可動側とすることもできる。またボンディング装
置以外のＸＹテーブルにも適用することができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明のＸＹテーブルはＸテーブルの駆
動装置として可動子が略平板ブロック状のリニアモータ
を用い、かつＸテーブルの下方に設けるとともに、Ｘテ
ーブルの上方にＹテーブルを設け、Ｙテーブルの駆動装
置としてリニアモータを用いるとともに、Ｙテーブルの
一方端側に連結バーをＸ方向に延設し、この連結バーを
ローラで転動自在に挟持するとともにこれらの上面がＹ
テーブル上面に突出しないようにしたローラ取付板をＹ
テーブル駆動用のリニアモータに連結したので、駆動装
置のスペースを必要最小限に抑えることができ、Ｙテー
ブル上面に搭載する装置の取付も容易となり、従って、
平面方向にコンパクトなＸＹテーブルとすることができ
る。
動装置として可動子が略平板ブロック状のリニアモータ
を用い、かつＸテーブルの下方に設けるとともに、Ｘテ
ーブルの上方にＹテーブルを設け、Ｙテーブルの駆動装
置としてリニアモータを用いるとともに、Ｙテーブルの
一方端側に連結バーをＸ方向に延設し、この連結バーを
ローラで転動自在に挟持するとともにこれらの上面がＹ
テーブル上面に突出しないようにしたローラ取付板をＹ
テーブル駆動用のリニアモータに連結したので、駆動装
置のスペースを必要最小限に抑えることができ、Ｙテー
ブル上面に搭載する装置の取付も容易となり、従って、
平面方向にコンパクトなＸＹテーブルとすることができ
る。
【図１】図１は本発明の実施例の平面図である。
【図２】図１の正面図（リニアエンコダ３４は省略して
ある）である。
ある）である。
【図３】リニアモータの平面図である。
【図４】図３の縦断面図である。
【図５】図３の側面図である。
【図６】図６は別の実施例の平面図である。
【図７】図６のＩ−Ｉ線における断面正面図である。
【図８】図６のＩＩ−ＩＩ線における断面側面図であ
る。
る。
【図９】図６のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面側面図で
ある。
ある。
【図１０】図６のＩＶ−ＩＶ線における断面側面図であ
る。
る。
１ リニアモータ（Ｘ方向リニアモータ） １′ Ｙ方向リニアモータ ２ 下ヨーク ３ 上ヨーク ４ 永久磁石 ４′ 永久磁石 ５ 中心線 ６ コイル ６′ コイル ７ コイル巻装材 ８ ヨーク ８′ ヨーク ９ Ｘ方向ガイド部 ９′ Ｘ方向ガイド部 １０ Ｘテーブル １１ スライダ １２ 連結プレート １２′ 連結プレート １３ ガイドレール １４ Ｙテーブル １５ ローラ挿入孔 １６ 連結バー １７ ローラ取付板 １８ ローラ １９ ガイドレール ２０ Ｘ方向リニアモータ ２１ 永久磁石 ２１′ 永久磁石 ２２ ヨーク ２２′ ヨーク ２３ コイル ２３′ コイル ２４ コイル巻装材 ２５ 連結プレート ２６ ガイドブロック ２７ Ｙ方向リニアモータ ２８ コイル巻装材 ２９ ヨーク ３０ コイル ３１ 連結用ビス穴 ３２ 連結用ビス穴 ３３ リニアエンコダ ３４ リニアエンコダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/60 301 H01L 21/52
Claims (1)
- 【請求項１】 可動子がＸ方向に移動可能なＸ方向駆動
用リニアモータと、可動子がＹ方向に移動可能なＹ方向
駆動用リニアモータと、該Ｘ方向駆動用リニアモータお
よびＹ方向駆動用リニアモータによりＸＹ方向に駆動さ
れるＸおよびＹテーブルを備えたＸＹテーブルであっ
て、 前記Ｘ方向駆動用リニアモータの可動子を略平板ブロッ
ク状に構成して、これにＸテーブルを連結し、該Ｘテー
ブルの下方に前記Ｘ方向駆動用リニアモータを設けると
ともに、 前記Ｘテーブル上に前記Ｙテーブルを設け、該Ｙテーブ
ルの一方端側にＸ方向に延在する連結バーを固設し、該
連結バーを転動自在のローラで挟持するローラ取付板を
前記Ｙ方向駆動用リニアモータの可動子に連結するとと
もに、 前記連結バーおよび前記ローラの上面を前記Ｙテーブル
の上面より突出しないようにしたことを特徴とするＸＹ
テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4222267A JP2789543B2 (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | Ｘｙテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4222267A JP2789543B2 (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | Ｘｙテーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05299464A JPH05299464A (ja) | 1993-11-12 |
| JP2789543B2 true JP2789543B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=16779712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4222267A Expired - Fee Related JP2789543B2 (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | Ｘｙテーブル |
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-
1992
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