JPS62147737A - ワイヤボンダ用ｘ−ｙテ−ブル - Google Patents
ワイヤボンダ用ｘ−ｙテ−ブルInfo
- Publication number
- JPS62147737A JPS62147737A JP60287869A JP28786985A JPS62147737A JP S62147737 A JPS62147737 A JP S62147737A JP 60287869 A JP60287869 A JP 60287869A JP 28786985 A JP28786985 A JP 28786985A JP S62147737 A JPS62147737 A JP S62147737A
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- JP
- Japan
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- wire bonder
- rolling
- linear
- roller
- circulating
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
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- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/788—Means for moving parts
- H01L2224/78801—Lower part of the bonding apparatus, e.g. XY table
-
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- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
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-
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は半導Ｋ Ｈｆｉｔの組立の際のワイヤボンダー
のボンディングヘッドを支持するワイヤボンダ用Ｘ−Ｙ
テーブルに関する。
のボンディングヘッドを支持するワイヤボンダ用Ｘ−Ｙ
テーブルに関する。
従来、半導体チップ部品（以下チップ部品と称す）の電
極部と、チップ部品が取着されたチップ支持体に形成さ
れたリード部とを金属細線を用いて高速結線を行うワイ
ヤボンダでは、ボンディングヘッドを支持しかつ位置決
め用としてＸ−Ｙテーブルが広く使用されている。これ
らのＸ−Ｙテーブルでは第９図に示すように、Ｘ方向、
Ｙ方向に小さなトルクで精度良く移動するように移動案
内軸受として直線案内軸受が使われている。次に第９図
により、その構成を説明すると、（１）は基台でこれに
Ｙ方向に延びる一対の直線案内軸受αυを介してＹ方向
に移動自在にＹテーブル（２）が取り付けられる。Ｙテ
ーブル（２）はリニアモータ（６）＃こより進退される
。Ｙテーブル（２）の上面には直線案内軸受（１０）を
介してＸテーブル（３）がＸ方向に移動自在に取り付け
られている。このＸテーブル（３）はＹ方向に延在する
直線案内軸受αのを介して連結された継手体（４）を介
してリニアモータ（５）によりＸ方向に駆動される。
極部と、チップ部品が取着されたチップ支持体に形成さ
れたリード部とを金属細線を用いて高速結線を行うワイ
ヤボンダでは、ボンディングヘッドを支持しかつ位置決
め用としてＸ−Ｙテーブルが広く使用されている。これ
らのＸ−Ｙテーブルでは第９図に示すように、Ｘ方向、
Ｙ方向に小さなトルクで精度良く移動するように移動案
内軸受として直線案内軸受が使われている。次に第９図
により、その構成を説明すると、（１）は基台でこれに
Ｙ方向に延びる一対の直線案内軸受αυを介してＹ方向
に移動自在にＹテーブル（２）が取り付けられる。Ｙテ
ーブル（２）はリニアモータ（６）＃こより進退される
。Ｙテーブル（２）の上面には直線案内軸受（１０）を
介してＸテーブル（３）がＸ方向に移動自在に取り付け
られている。このＸテーブル（３）はＹ方向に延在する
直線案内軸受αのを介して連結された継手体（４）を介
してリニアモータ（５）によりＸ方向に駆動される。
また直線案内軸受（ｔｏ、 ｕ、αりは、それぞれ抑圧
ねじα最、σ６！、（１７）によって一定の予圧がかけ
られている。
ねじα最、σ６！、（１７）によって一定の予圧がかけ
られている。
さらに直線案内軸受（１１，αυ、αりの構成を第１０
図により説明すると、１対の直線案内体としてのレール
（２１）とつの間に転勤子としてのボール（至）あるい
はローラ（図示せず）が複数個配列され、転動子保持体
（鈎によって一定間隔に配設されである。転動子保持体
ストッパ（イ）は１対のレーｆｉ／（ｌυと（２２１の
両端に取り付けられ、転動子保持体（ハ）のボールＩ２
４Ｊあるいはローラ（図示せず）がレール（２υと（２
４の転走面としてのレール溝Ｃ０から抜は出ないように
なっている。転動子保持体（ハ）は片方のレール（２１
）または四の動作ストロークの一ストローク分だけレー
ルの移動方向に移動するようになっている。しかるにこ
のような従来のＸ−Ｙテーブルを連続で繰り返し運転し
ていると、直線案内軸受内の転動子保持体ｑが一方向に
ずれて行き、保持体ストッパ（２５）に当たりて、転動
子保持体（ハ）を損傷し１位置決め精度が低下したり、
あるいはＸ−Ｙテーブルの動作ストロークが狭まくなっ
てボンディングが出来なくなるなどの問題が発生してい
た。
図により説明すると、１対の直線案内体としてのレール
（２１）とつの間に転勤子としてのボール（至）あるい
はローラ（図示せず）が複数個配列され、転動子保持体
（鈎によって一定間隔に配設されである。転動子保持体
ストッパ（イ）は１対のレーｆｉ／（ｌυと（２２１の
両端に取り付けられ、転動子保持体（ハ）のボールＩ２
４Ｊあるいはローラ（図示せず）がレール（２υと（２
４の転走面としてのレール溝Ｃ０から抜は出ないように
なっている。転動子保持体（ハ）は片方のレール（２１
）または四の動作ストロークの一ストローク分だけレー
ルの移動方向に移動するようになっている。しかるにこ
のような従来のＸ−Ｙテーブルを連続で繰り返し運転し
ていると、直線案内軸受内の転動子保持体ｑが一方向に
ずれて行き、保持体ストッパ（２５）に当たりて、転動
子保持体（ハ）を損傷し１位置決め精度が低下したり、
あるいはＸ−Ｙテーブルの動作ストロークが狭まくなっ
てボンディングが出来なくなるなどの問題が発生してい
た。
本発明の目的は、ワイヤボンダのＸ−Ｙテーブルの耐久
性及び信頼性を向上させるワイヤボンダ用Ｘ−Ｙテーブ
ルを提供することにある。
性及び信頼性を向上させるワイヤボンダ用Ｘ−Ｙテーブ
ルを提供することにある。
本発明は、ワイヤボンダのボンディングヘッドを支持す
るＸ−ＹテーブルをＸ方向、Ｙ方向に案内する移動案内
軸受として、転動子を循環保持する循環保持体を有する
移動案内軸受を用いたことを特徴とするワイヤボンダ用
Ｘ−Ｙテーブルである。
るＸ−ＹテーブルをＸ方向、Ｙ方向に案内する移動案内
軸受として、転動子を循環保持する循環保持体を有する
移動案内軸受を用いたことを特徴とするワイヤボンダ用
Ｘ−Ｙテーブルである。
以下１本発明の詳細を第１図〜第８図に示す一実施例に
より説明する。なおワイヤボンダにつき略述すると第８
図に示すように、チップ部品（ａ）を取着したチップ支
持部材（ｂ）の搬送路に近接してＸ−Ｙテーブル（Ｃ）
が設けられていて、これの上にボンディングヘッド（ｄ
）が取付けられている。これには回動自在ｌこボンディ
ングアーム（ｅ）が取付けられており、これの先端には
金属細線（ｆ）が挿？したキャピラリ（のが取付けられ
ている。そしてＸ−Ｙテーブル（Ｃ）の移動によりキヤ
ビン！Ｊ （ｆ）が所望の位置に位置決めされ、ボンデ
ィングが行なわれる。なお本実施例は移動案内軸受とし
て直線状の案内体すなわち直線案内体をもった直線案内
軸受を用いた場合のものである。（３１）は基台でＹ方
向に延在する直線案内軸受５１）の直線案内体としての
レール０７）が取り付けられである。他方Ｙテーブル（
至）下面に転動子としてのボールを保持する循環保持体
間が固定され、抑圧ねじＧ１３によって一定の予圧をか
けである。ＹテーブルＧ２のフランジ（３２ａ）にＹ軸
すニアモータ（７）が取り付けられていて、このリニア
モータ（７）によってＹ方向に進退される。的はＸテー
ブルで上面にボンディングヘッド（ｄ）が取り付けられ
る。Ｘテーブル（ハ）の下面に直線案内軸受軸の直線案
内体としてのレール（ト）が取り付けられ、他方Ｙテー
ブルＧツの上面に転勤子であるボールを保持する循環保
持体（ト）が固定され、押圧ねじ（旬によって一定に予
圧をかけである。Ｘテーブル（至）の他端にはＹ方向に
延在された直線案内軸受Ｃ５ａの直線案内体としてのレ
ール０！Ｊを取り付けてあり他方。
より説明する。なおワイヤボンダにつき略述すると第８
図に示すように、チップ部品（ａ）を取着したチップ支
持部材（ｂ）の搬送路に近接してＸ−Ｙテーブル（Ｃ）
が設けられていて、これの上にボンディングヘッド（ｄ
）が取付けられている。これには回動自在ｌこボンディ
ングアーム（ｅ）が取付けられており、これの先端には
金属細線（ｆ）が挿？したキャピラリ（のが取付けられ
ている。そしてＸ−Ｙテーブル（Ｃ）の移動によりキヤ
ビン！Ｊ （ｆ）が所望の位置に位置決めされ、ボンデ
ィングが行なわれる。なお本実施例は移動案内軸受とし
て直線状の案内体すなわち直線案内体をもった直線案内
軸受を用いた場合のものである。（３１）は基台でＹ方
向に延在する直線案内軸受５１）の直線案内体としての
レール０７）が取り付けられである。他方Ｙテーブル（
至）下面に転動子としてのボールを保持する循環保持体
間が固定され、抑圧ねじＧ１３によって一定の予圧をか
けである。ＹテーブルＧ２のフランジ（３２ａ）にＹ軸
すニアモータ（７）が取り付けられていて、このリニア
モータ（７）によってＹ方向に進退される。的はＸテー
ブルで上面にボンディングヘッド（ｄ）が取り付けられ
る。Ｘテーブル（ハ）の下面に直線案内軸受軸の直線案
内体としてのレール（ト）が取り付けられ、他方Ｙテー
ブルＧツの上面に転勤子であるボールを保持する循環保
持体（ト）が固定され、押圧ねじ（旬によって一定に予
圧をかけである。Ｘテーブル（至）の他端にはＹ方向に
延在された直線案内軸受Ｃ５ａの直線案内体としてのレ
ール０！Ｊを取り付けてあり他方。
Ｘテーブル継手体（３→に転勤子としてのローラを保持
する循環保持体（４Ｇが固定され抑圧ねじ（４３によっ
て一定の予圧がかけである。Ｘテーブル継手体（３４１
にＸ軸すニアモータ（５）が取り付けられ、このＸ軸す
ニアモータ（５）によってＸ方向に進退される。
する循環保持体（４Ｇが固定され抑圧ねじ（４３によっ
て一定の予圧がかけである。Ｘテーブル継手体（３４１
にＸ軸すニアモータ（５）が取り付けられ、このＸ軸す
ニアモータ（５）によってＸ方向に進退される。
次に第４図と第５図により直線案内軸受の１）の構成に
ついて説明すると、直線案内体としてのレール６υに２
列のボール輸、但勺が循環保持体鴨肉のボール案内溝’
に５）、 （６［Ｑを介して循環しながらレール（６υ
のボール転走面（Ｓ１ａ）を転動するようになっている
。次に第６図と第７図により直線案内軸受りの構成につ
いて説明すると直線案内体としてのレールσυに１列の
転動子としての四−ラσ□□□が循環保持体（７優内の
転走面としてのローラ案内＃＃σ荀を介して循環しなが
らレール（７ｖのローラ転走面（７１ａ）を転動するよ
うになっている。そしてリニアモータ（７）によりＹテ
ーブル０つおよびＸテーブル關は矢印Ｙ方向に移動し、
リニアモータ（５）によりＸテーブル（至）は矢印Ｙ方
向に移動する。Ｘテーブル（ハ）のＹ方向の移動は直線
案内体６２により、リニアモータ（５）に妨げられない
。
ついて説明すると、直線案内体としてのレール６υに２
列のボール輸、但勺が循環保持体鴨肉のボール案内溝’
に５）、 （６［Ｑを介して循環しながらレール（６υ
のボール転走面（Ｓ１ａ）を転動するようになっている
。次に第６図と第７図により直線案内軸受りの構成につ
いて説明すると直線案内体としてのレールσυに１列の
転動子としての四−ラσ□□□が循環保持体（７優内の
転走面としてのローラ案内＃＃σ荀を介して循環しなが
らレール（７ｖのローラ転走面（７１ａ）を転動するよ
うになっている。そしてリニアモータ（７）によりＹテ
ーブル０つおよびＸテーブル關は矢印Ｙ方向に移動し、
リニアモータ（５）によりＸテーブル（至）は矢印Ｙ方
向に移動する。Ｘテーブル（ハ）のＹ方向の移動は直線
案内体６２により、リニアモータ（５）に妨げられない
。
以上詳述したように１本発明のＸ−Ｙテーブルは、移動
案内軸受として、転動子が循環する形式のものを使用し
たので従来のように保持体が一方向にずれて保持体スト
ッパに当たって損傷したり。
案内軸受として、転動子が循環する形式のものを使用し
たので従来のように保持体が一方向にずれて保持体スト
ッパに当たって損傷したり。
あるいはＸ−Ｙテーブルのストロークが狭まくなってボ
ンディングが出来なくなるような問題が解消され、ワイ
ヤボンディング装置としての耐久性及び信頼性の向上が
計られる。
ンディングが出来なくなるような問題が解消され、ワイ
ヤボンディング装置としての耐久性及び信頼性の向上が
計られる。
さらに従来のように保持体がずれないようにするために
案内体の取付面の加工精度を非常に高く仕上げる必要が
なく、また軸受にかける与圧力の管理によるＦ！１整時
開時間縮が計れるなどの効果がある。
案内体の取付面の加工精度を非常に高く仕上げる必要が
なく、また軸受にかける与圧力の管理によるＦ！１整時
開時間縮が計れるなどの効果がある。
なお１本実施例においては、案内体として直線案内体を
有する移動案内軸受を用いた場合につき説明したが、案
内体として曲線に沿って形成された曲線案内体を有する
移動案内軸受（曲線案内軸受）を用いてもよいことはも
ちろんである。
有する移動案内軸受を用いた場合につき説明したが、案
内体として曲線に沿って形成された曲線案内体を有する
移動案内軸受（曲線案内軸受）を用いてもよいことはも
ちろんである。
第１図は本発明の一実施例の平面図、第２図は同じく第
１図の矢印Ａ方向から見た正面図、第３図は同じく第１
図の矢印Ｂ方向から見た第１図の側面図、第４図は同じ
く要部拡大斜視図、第５図は同じく第４図のｖ−■線に
沿った断面図、第６図は同じく要部拡大斜視図、第７図
は同じく第６図の■−■線に沿った断面図、第８図は同
じく説明斜視図、第９図は従来例の斜視図、第１Ｏ図は
同じく要部斜視図である。 （ａ）・・−チップ部品、 Φ）・・・チップ支
持体。 （Ｃ）・・・ｘ−Ｙテーブル、 （ｄ）・・・ボンディングヘッド。 （０・・−金属細線。 （ト）、Ｇ７ｊ、μｓ・・・案内体、直線案内体。 ←０）、１５１）、β２・・・移動案内軸受、直線案内
軸受。 （至）、端、（４Ｇ、關、σ２・・・循環保持体。 關、閾、（７３・・・転動子。 代理人 弁理士 則 近 憲 重 量 竹 花 喜久男 ↑Ａ ８１図 第 ２ 図 第３図 ≦３ ６牛 第５１！！ 第７囚 第８図
１図の矢印Ａ方向から見た正面図、第３図は同じく第１
図の矢印Ｂ方向から見た第１図の側面図、第４図は同じ
く要部拡大斜視図、第５図は同じく第４図のｖ−■線に
沿った断面図、第６図は同じく要部拡大斜視図、第７図
は同じく第６図の■−■線に沿った断面図、第８図は同
じく説明斜視図、第９図は従来例の斜視図、第１Ｏ図は
同じく要部斜視図である。 （ａ）・・−チップ部品、 Φ）・・・チップ支
持体。 （Ｃ）・・・ｘ−Ｙテーブル、 （ｄ）・・・ボンディングヘッド。 （０・・−金属細線。 （ト）、Ｇ７ｊ、μｓ・・・案内体、直線案内体。 ←０）、１５１）、β２・・・移動案内軸受、直線案内
軸受。 （至）、端、（４Ｇ、關、σ２・・・循環保持体。 關、閾、（７３・・・転動子。 代理人 弁理士 則 近 憲 重 量 竹 花 喜久男 ↑Ａ ８１図 第 ２ 図 第３図 ≦３ ６牛 第５１！！ 第７囚 第８図
Claims (4)
- （１）チップ部品の電極部と、このチップ部品を支持す
るチップ支持体に形成されたリード部とを金属細線で連
結するボンディングヘッドを支持し、かつ移動案内軸受
によりＸ方向、Ｙ方向に移動自在なワイヤボンダ用Ｘ−
Ｙテーブルにおいて、上記移動案内軸受は転走面をもっ
た案内体と、この転走面に転接する複数個の転動子と、
これら転動子を保持循環させる循環保持体とを有する循
環形の移動案内軸受であることを特徴とするワイヤボン
ダ用Ｘ−Ｙテーブル。 - （２）案内体は転走面を直線に沿って形成した直線案内
体であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
ワイヤボンダ用Ｘ−Ｙテーブル。 - （３）転動子はボールであることを特徴とする特許請求
の範囲第１項または第２項記載のワイヤボンダ用Ｘ−Ｙ
テーブル。 - （４）転動子はローラであることを特徴とする特許請求
の範囲第１項または第２項記載のワイヤボンダ用Ｘ−Ｙ
テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60287869A JPS62147737A (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 | ワイヤボンダ用ｘ−ｙテ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60287869A JPS62147737A (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 | ワイヤボンダ用ｘ−ｙテ−ブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62147737A true JPS62147737A (ja) | 1987-07-01 |
Family
ID=17722800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60287869A Pending JPS62147737A (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 | ワイヤボンダ用ｘ−ｙテ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62147737A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0211330U (ja) * | 1988-07-05 | 1990-01-24 | ||
| JPH02191488A (ja) * | 1988-09-27 | 1990-07-27 | Mitsubishi Electric Corp | 自動縫ミシンのｘ−ｙテーブル駆動装置 |
| JPH05299464A (ja) * | 1992-07-30 | 1993-11-12 | Kaijo Corp | Ｘｙテーブル |
-
1985
- 1985-12-23 JP JP60287869A patent/JPS62147737A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0211330U (ja) * | 1988-07-05 | 1990-01-24 | ||
| JPH02191488A (ja) * | 1988-09-27 | 1990-07-27 | Mitsubishi Electric Corp | 自動縫ミシンのｘ−ｙテーブル駆動装置 |
| JPH05299464A (ja) * | 1992-07-30 | 1993-11-12 | Kaijo Corp | Ｘｙテーブル |
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