JPH05316712A - ２軸ステージ装置 - Google Patents
２軸ステージ装置Info
- Publication number
- JPH05316712A JPH05316712A JP11772092A JP11772092A JPH05316712A JP H05316712 A JPH05316712 A JP H05316712A JP 11772092 A JP11772092 A JP 11772092A JP 11772092 A JP11772092 A JP 11772092A JP H05316712 A JPH05316712 A JP H05316712A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- motor
- linear
- stage
- mover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 コンパクトであって、かつ、ステージの高速
・高精度送りを達成できるステージ装置を提供する。 【構成】 ステージをＸ軸に移動するＸ軸リニア直流モ
ータの固定子を基板の裏面に固定し、その移動子をＹ軸
リニアモータの重心に直下に取り付ける。
・高精度送りを達成できるステージ装置を提供する。 【構成】 ステージをＸ軸に移動するＸ軸リニア直流モ
ータの固定子を基板の裏面に固定し、その移動子をＹ軸
リニアモータの重心に直下に取り付ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＸＹプロッタのペンユ
ニットなどのステージを所定位置に搬送するステージ装
置に係り、特にステージをリニア直流モータで駆動する
直交座標形ステージ装置に関する。
ニットなどのステージを所定位置に搬送するステージ装
置に係り、特にステージをリニア直流モータで駆動する
直交座標形ステージ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータグラフィックやＣＡＤなど
の端末装置にはマルチペン方式のＸＹブロックが一般に
使用されている。この種プロッタではペンユニットを所
定位置まで搬送して描画が行われるが、ペンユニットの
送り機構としては、ステッピングモータやブラシレスＤ
Ｃモータなどの回転モータによりワイヤーやタイミング
ベルトを駆動させる直動機構が採用されてきた。
の端末装置にはマルチペン方式のＸＹブロックが一般に
使用されている。この種プロッタではペンユニットを所
定位置まで搬送して描画が行われるが、ペンユニットの
送り機構としては、ステッピングモータやブラシレスＤ
Ｃモータなどの回転モータによりワイヤーやタイミング
ベルトを駆動させる直動機構が採用されてきた。
【０００３】しかしながら、このような機構では、作図
速度が遅い、又Ｘ軸及びＹ軸の各動作の協調性がとりず
らく、図形が歪み易い等の問題があり、高速かつ超精密
な描画が要求される印刷用ＸＹプロッタには適用できな
いという問題があった。そこでこのような問題を解決す
るため、例えば特開昭62−254682号及び実開昭62−6418
6号に開示されているように、リニア直流モータにより
ペンユニットなどのステージを駆動する方式が検討され
ている。
速度が遅い、又Ｘ軸及びＹ軸の各動作の協調性がとりず
らく、図形が歪み易い等の問題があり、高速かつ超精密
な描画が要求される印刷用ＸＹプロッタには適用できな
いという問題があった。そこでこのような問題を解決す
るため、例えば特開昭62−254682号及び実開昭62−6418
6号に開示されているように、リニア直流モータにより
ペンユニットなどのステージを駆動する方式が検討され
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のＸＹス
テージ装置においては、ステージをＸ軸及びＹ軸の両方
向に移動するためにＸ軸用リニア直流モータとＹ軸用リ
ニア直流モータをそれぞれ独立して配置している。この
ためステージ装置が大型化し、又構造が複雑になるとい
う欠点をもつ。したがって、本発明の目的は、コンパク
トでしかもステージの高速・高精度送りが可能な二軸ス
テージ装置を提供することである。
テージ装置においては、ステージをＸ軸及びＹ軸の両方
向に移動するためにＸ軸用リニア直流モータとＹ軸用リ
ニア直流モータをそれぞれ独立して配置している。この
ためステージ装置が大型化し、又構造が複雑になるとい
う欠点をもつ。したがって、本発明の目的は、コンパク
トでしかもステージの高速・高精度送りが可能な二軸ス
テージ装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、基板と、前記基板上を第１の方向及びそれと
直交する第２の方向に直線運動するステージと、前記ス
テージを前記基板上で支持するガイド部材と、前記ステ
ージを前記第１の方向に駆動する第１のリニア直流モー
タと、前記ステージを前記第２の方向に駆動する第２の
リニア直流モータとを有し、前記第１のリニア直流モー
タは、前記基板の裏面に固定された固定子と前記第２の
リニア直流モータの下部に固定された可動子とを有し、
前記可動子は、前記第２のリニア直流モータの重心の直
下に配置されるという技術的手段を採用した。
本発明は、基板と、前記基板上を第１の方向及びそれと
直交する第２の方向に直線運動するステージと、前記ス
テージを前記基板上で支持するガイド部材と、前記ステ
ージを前記第１の方向に駆動する第１のリニア直流モー
タと、前記ステージを前記第２の方向に駆動する第２の
リニア直流モータとを有し、前記第１のリニア直流モー
タは、前記基板の裏面に固定された固定子と前記第２の
リニア直流モータの下部に固定された可動子とを有し、
前記可動子は、前記第２のリニア直流モータの重心の直
下に配置されるという技術的手段を採用した。
【０００６】
【作用】本発明では、ステージを第１の方向（Ｘ軸）に
往復移動させるための第１のリニア直流モータの固定子
を、基板の裏面に配置し、かつその可動子を、ステージ
を第２の方向（Ｙ軸）に往復移動させるための第２のリ
ニア直流モータに取り付けるので、駆動源を大幅にコン
パクト化できる。また、本発明では、２つのリニア直流
モータを上記のように２段に配置したことに加えて、第
２のリニア直流モータの重心の直下に推力発生点がある
ので、第２のリニア直流モータを駆動する際の重心の移
動に伴うモーメント発生に基く、軸ずれを防止すること
ができる。
往復移動させるための第１のリニア直流モータの固定子
を、基板の裏面に配置し、かつその可動子を、ステージ
を第２の方向（Ｙ軸）に往復移動させるための第２のリ
ニア直流モータに取り付けるので、駆動源を大幅にコン
パクト化できる。また、本発明では、２つのリニア直流
モータを上記のように２段に配置したことに加えて、第
２のリニア直流モータの重心の直下に推力発生点がある
ので、第２のリニア直流モータを駆動する際の重心の移
動に伴うモーメント発生に基く、軸ずれを防止すること
ができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の一実施例を示す斜視図、図
２は図１のＡ−Ａ断面図である。図１および図２におい
て、基板１は、支持板１１とその上に載置された静電シ
ート１２とを有する。基板１上には、Ｘ軸方向に一対の
ガイド２ａ、２ｂが延設されており、そのガイド２ａ、
２ｂにはそれぞれＸ軸スライダー３ａ、３ｂが摺動自在
に装着されている。４はＸ軸リニア直流モータであり、
固定子４１と可動子４２とを含む。固定子４１は、強磁
性体からなるＸ軸ヨーク４３と、そのヨークの内側にＸ
軸方向に固定された複数個のＸ軸駆動コイル４４−１、
４４−２、……４４−ｎ（ｎ：２以上の整数）からな
り、Ｘ軸ヨーク４３は固定板４５ａ、４５ｂによって支
持板１１の下面に固着されている。これらの駆動コイル
のそれぞれの両端子は駆動回路（図示せず）に接続され
ると共に、駆動コイルの推力に寄与する導体部上に配設
された位置検出素子（図示せず）の両出力端子は駆動回
路に接続されている。可動子４２は、厚さ方向に着磁さ
れたＸ軸駆動用永久磁石４６−１、４６−２、……４６
−ｎ、（ｎ：２以上の整数）をＸ軸方向に交互に異極性
の磁極が並ぶ如くＹ軸リニア直流モータ５に取り付けて
構成されている。
て説明する。図１は本発明の一実施例を示す斜視図、図
２は図１のＡ−Ａ断面図である。図１および図２におい
て、基板１は、支持板１１とその上に載置された静電シ
ート１２とを有する。基板１上には、Ｘ軸方向に一対の
ガイド２ａ、２ｂが延設されており、そのガイド２ａ、
２ｂにはそれぞれＸ軸スライダー３ａ、３ｂが摺動自在
に装着されている。４はＸ軸リニア直流モータであり、
固定子４１と可動子４２とを含む。固定子４１は、強磁
性体からなるＸ軸ヨーク４３と、そのヨークの内側にＸ
軸方向に固定された複数個のＸ軸駆動コイル４４−１、
４４−２、……４４−ｎ（ｎ：２以上の整数）からな
り、Ｘ軸ヨーク４３は固定板４５ａ、４５ｂによって支
持板１１の下面に固着されている。これらの駆動コイル
のそれぞれの両端子は駆動回路（図示せず）に接続され
ると共に、駆動コイルの推力に寄与する導体部上に配設
された位置検出素子（図示せず）の両出力端子は駆動回
路に接続されている。可動子４２は、厚さ方向に着磁さ
れたＸ軸駆動用永久磁石４６−１、４６−２、……４６
−ｎ、（ｎ：２以上の整数）をＸ軸方向に交互に異極性
の磁極が並ぶ如くＹ軸リニア直流モータ５に取り付けて
構成されている。
【０００８】次にＹ軸リニア直流モータ５は、固定子５
１と可動子５２とを有する。固定子５１は、Ｙ軸方向の
両端においてＸ軸スライダー３ａ及び３ｂ上に固設され
たＹ軸ベース５３と、このベース５３上に固着されたＹ
軸上部ヨーク５４とを含む。なおＹ軸ベース５３は、上
部ヨーク５４と同様に強磁性材料により形成され、下部
ヨークを兼ねている。またＹ軸ベース５３の上面には、
厚さ方向に着磁されたＹ軸駆動用永久磁石５５−１、５
５−２、……５５−ｎ（ｎ：２以上の整数）がＹ軸方向
に交互に異極性の磁極が並ぶ如く固設されている。更
に、上述したＸ軸駆動用永久磁石４６−ｎは、Ｙ軸ベー
ス５３の下面のＸ軸スライダー３ａと３ｂの中間に位置
するように固着されている。すなわち本発明において
は、Ｘ軸リニア直流モータ４の可動子４２は、Ｙ軸リニ
ア直流モータ５の重心の直下に位置するように配置され
ている。そして可動子５２は、コア５６と複数の偏平コ
イルをＹ軸方向に配設したＹ軸駆動コイル５７と上部ス
ライダー５８とその下部に固着された下部スライダー５
９ａ、５９ｂとを有する。下部スライダー５９ａ、５９
ｂはそれぞれＹ軸ベース５３上に固設されたガイド６０
ａ、６０ｂに摺動自在に嵌装されている。またコイル５
７の両端子は駆動回路（図示せず）に接続されると共
に、可動子５２に設けられた位置検出素子（図示せず）
は駆動回路に接続されている。
１と可動子５２とを有する。固定子５１は、Ｙ軸方向の
両端においてＸ軸スライダー３ａ及び３ｂ上に固設され
たＹ軸ベース５３と、このベース５３上に固着されたＹ
軸上部ヨーク５４とを含む。なおＹ軸ベース５３は、上
部ヨーク５４と同様に強磁性材料により形成され、下部
ヨークを兼ねている。またＹ軸ベース５３の上面には、
厚さ方向に着磁されたＹ軸駆動用永久磁石５５−１、５
５−２、……５５−ｎ（ｎ：２以上の整数）がＹ軸方向
に交互に異極性の磁極が並ぶ如く固設されている。更
に、上述したＸ軸駆動用永久磁石４６−ｎは、Ｙ軸ベー
ス５３の下面のＸ軸スライダー３ａと３ｂの中間に位置
するように固着されている。すなわち本発明において
は、Ｘ軸リニア直流モータ４の可動子４２は、Ｙ軸リニ
ア直流モータ５の重心の直下に位置するように配置され
ている。そして可動子５２は、コア５６と複数の偏平コ
イルをＹ軸方向に配設したＹ軸駆動コイル５７と上部ス
ライダー５８とその下部に固着された下部スライダー５
９ａ、５９ｂとを有する。下部スライダー５９ａ、５９
ｂはそれぞれＹ軸ベース５３上に固設されたガイド６０
ａ、６０ｂに摺動自在に嵌装されている。またコイル５
７の両端子は駆動回路（図示せず）に接続されると共
に、可動子５２に設けられた位置検出素子（図示せず）
は駆動回路に接続されている。
【０００９】次に上述した２軸ステージ装置の動作を説
明する。Ｘ軸リニア直流モータ４を駆動する場合は、駆
動回路からＸ軸駆動コイル４４−ｎに電流を流すと、各
コイルに設けた位置検出素子がＸ軸駆動用永久磁石４６
−ｎのＮ極、Ｓ極の磁束を検出し、そしてコイルに流れ
る電流が永久磁石４６−ｎによる磁界と直交するため、
コイルにはフレミングの左手の法則によって例えば図示
矢印方向の推力が与えられ、可動子４２はその方向に移
動する。可動子４２を矢印と反対方向に移動させるに
は、駆動回路の両端子の極性を変えればよい。Ｙ軸リニ
ア直流モータを駆動する場合は、駆動回路からＹ軸コイ
ル５７に電流を流すと、コイルに流れる電流が永久磁石
５５−ｎによる磁界と直交するため、コイルにはフレミ
ングの左手の法則によって例えば図示矢印方向の推力が
得られ可動子５２もその方向に移動する。コイルに前記
と逆方向の電流を流すと、コイル、即ち、可動子は前記
と逆方向に移動する。
明する。Ｘ軸リニア直流モータ４を駆動する場合は、駆
動回路からＸ軸駆動コイル４４−ｎに電流を流すと、各
コイルに設けた位置検出素子がＸ軸駆動用永久磁石４６
−ｎのＮ極、Ｓ極の磁束を検出し、そしてコイルに流れ
る電流が永久磁石４６−ｎによる磁界と直交するため、
コイルにはフレミングの左手の法則によって例えば図示
矢印方向の推力が与えられ、可動子４２はその方向に移
動する。可動子４２を矢印と反対方向に移動させるに
は、駆動回路の両端子の極性を変えればよい。Ｙ軸リニ
ア直流モータを駆動する場合は、駆動回路からＹ軸コイ
ル５７に電流を流すと、コイルに流れる電流が永久磁石
５５−ｎによる磁界と直交するため、コイルにはフレミ
ングの左手の法則によって例えば図示矢印方向の推力が
得られ可動子５２もその方向に移動する。コイルに前記
と逆方向の電流を流すと、コイル、即ち、可動子は前記
と逆方向に移動する。
【００１０】２軸ステージ装置のＸ軸駆動手段とＹ軸駆
動手段をともにリニア直流モータとし、かつ一方の駆動
手段の上に他方の駆動手段を積層した多段構造の場合
で、しかもステージの移動範囲が広い（例えばＸ軸、Ｙ
軸ともに数百ｍｍ〜１ｍ位）場合には、重心移動に伴う
モーメントが発生し、軸ずれの発生が懸念される。しか
し上記実施例の構造であると、Ｘ軸リニア直流モータ
は、Ｙ軸リニア直流モータの重心位置のほぼ直下に推力
発生ポイントをもつようになるので、軸ずれの発生を有
効に防止することができる。なお、上記の実施例の場
合、ステージ装置の移動部質量は、Ｙ軸リニア直流モー
タの可動子とペンユニットの合計重量のみの約１．５ｋ
ｇであった。ここでＸ軸方向およびＹ軸方向の移動距離
は、それぞれ１．２ｍおよび１ｍである。
動手段をともにリニア直流モータとし、かつ一方の駆動
手段の上に他方の駆動手段を積層した多段構造の場合
で、しかもステージの移動範囲が広い（例えばＸ軸、Ｙ
軸ともに数百ｍｍ〜１ｍ位）場合には、重心移動に伴う
モーメントが発生し、軸ずれの発生が懸念される。しか
し上記実施例の構造であると、Ｘ軸リニア直流モータ
は、Ｙ軸リニア直流モータの重心位置のほぼ直下に推力
発生ポイントをもつようになるので、軸ずれの発生を有
効に防止することができる。なお、上記の実施例の場
合、ステージ装置の移動部質量は、Ｙ軸リニア直流モー
タの可動子とペンユニットの合計重量のみの約１．５ｋ
ｇであった。ここでＸ軸方向およびＹ軸方向の移動距離
は、それぞれ１．２ｍおよび１ｍである。
【００１１】上記の実施例では、Ｘ軸リニア直流モータ
を可動磁石方式のリニアモータとし、Ｙ軸リニア直流モ
ータを可動コイル方式のリニアモータとしたが、Ｙ軸リ
ニアモータの構造はステージ装置の用途などに応じて定
めればよい。例えば、ペンユニット送り機構の場合は、
ペンユニットの質量は高々６００〜８００ｇ程度である
ので、可動子の重量を小さくする方が、Ｙ軸リニアモー
タを軽量化することができる。このため、上記の実施例
ではＹ軸リニアモータを可動コイル方式とした。この場
合、可動子単体の重量は６５０ｇである。また、可動コ
イル方式の場合は、複数のケーブルを引き回すことにな
るが、その本数を減らす必要性が大である場合には、Ｙ
軸リニアモータも可動磁石方式とすればよい。
を可動磁石方式のリニアモータとし、Ｙ軸リニア直流モ
ータを可動コイル方式のリニアモータとしたが、Ｙ軸リ
ニアモータの構造はステージ装置の用途などに応じて定
めればよい。例えば、ペンユニット送り機構の場合は、
ペンユニットの質量は高々６００〜８００ｇ程度である
ので、可動子の重量を小さくする方が、Ｙ軸リニアモー
タを軽量化することができる。このため、上記の実施例
ではＹ軸リニアモータを可動コイル方式とした。この場
合、可動子単体の重量は６５０ｇである。また、可動コ
イル方式の場合は、複数のケーブルを引き回すことにな
るが、その本数を減らす必要性が大である場合には、Ｙ
軸リニアモータも可動磁石方式とすればよい。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ステージを第１の方向に往復移動させる第１のリニアモ
ータの固定子を基板の裏面に設け、その可動子を、ステ
ージを第２の方向に往復移動させる第２のリニア直流モ
ータの下部に取り付けるので、コンパクトな構造のステ
ージ装置が得られる。また、第１のリニア直流モータの
可動子は、第２のリニア直流モータの重心直下に位置す
るので、軸ずれの発生を防止できる。
ステージを第１の方向に往復移動させる第１のリニアモ
ータの固定子を基板の裏面に設け、その可動子を、ステ
ージを第２の方向に往復移動させる第２のリニア直流モ
ータの下部に取り付けるので、コンパクトな構造のステ
ージ装置が得られる。また、第１のリニア直流モータの
可動子は、第２のリニア直流モータの重心直下に位置す
るので、軸ずれの発生を防止できる。
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図２のＡ−Ａ断面図である。
１ 基板 ２ａ、２ｂ ガイド ３ａ、３ｂ Ｘ軸スライダー ４ Ｘ軸リニアモータ ４１ 固定子 ４２ 可動子 ５ Ｙ軸リニアモータ ５１ ベース
Claims (2)
- 【請求項１】 基板と、前記基板上を第１の方向および
それと直交する第２の方向に直線運動するステージと、
前記ステージを前記基板上で支持するガイド部材と、前
記ステージを前記第１の方向に駆動する第１のリニア直
流モータと、前記ステージを前記第２の方向に駆動する
第２のリニア直流モータとを有し、前記第１のリニア直
流モータは、前記基板の裏面に固定された固定子と前記
第２のリニア直流モータの下部に固定された可動子とを
有し、前記可動子は、前記第２のリニア直流モータの重
心の直下に配置されていることを特徴とする２軸ステー
ジ装置。 - 【請求項２】 前記リニア直流モータの少くとも一方
は、駆動コイルを含む固定子と、永久磁石を含む可動子
とを有する請求項１記載の２軸ステージ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11772092A JP2894892B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | ２軸ステージ装置およびｘｙプロッタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11772092A JP2894892B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | ２軸ステージ装置およびｘｙプロッタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05316712A true JPH05316712A (ja) | 1993-11-26 |
| JP2894892B2 JP2894892B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=14718629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11772092A Expired - Lifetime JP2894892B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | ２軸ステージ装置およびｘｙプロッタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2894892B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5763965A (en) * | 1995-01-27 | 1998-06-09 | Carl-Zeiss-Stiftung | Linearly displaceable precision table |
| JP2012105445A (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-31 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ及びステージ装置 |
| JP2013003434A (ja) * | 2011-06-20 | 2013-01-07 | Nikon Corp | 装置、レンズ鏡筒および撮像装置 |
| WO2020233753A1 (de) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Zweiachspositioniervorrichtung |
-
1992
- 1992-05-11 JP JP11772092A patent/JP2894892B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5763965A (en) * | 1995-01-27 | 1998-06-09 | Carl-Zeiss-Stiftung | Linearly displaceable precision table |
| JP2012105445A (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-31 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ及びステージ装置 |
| JP2013003434A (ja) * | 2011-06-20 | 2013-01-07 | Nikon Corp | 装置、レンズ鏡筒および撮像装置 |
| WO2020233753A1 (de) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Zweiachspositioniervorrichtung |
| DE102019113296A1 (de) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Zweiachspositioniervorrichtung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2894892B2 (ja) | 1999-05-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW531600B (en) | XYZ-axes table | |
| EP0130357B1 (en) | Electro-magnetic alignment assemblies | |
| EP0128433B1 (en) | Electro-magnetic alignment apparatus | |
| US8044541B2 (en) | Multi-degree-of-freedom actuator and stage device | |
| EP2390991A1 (en) | Moving member and linear motor | |
| CN100521468C (zh) | 永磁同步平面电动机 | |
| JP2002064968A (ja) | 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置 | |
| EP2360817A1 (en) | Movable element, armature, and linear motor | |
| US6479991B1 (en) | Stage mechanism, exposure apparatus and device manufacturing method in which a coil unit of a driving mechanism is moved substantially in synchronism with a stage | |
| JP4684679B2 (ja) | リニアモータを内蔵したスライド装置 | |
| JPH07131966A (ja) | ２次元リニアモータ | |
| US5962937A (en) | X-Y table for moving loads in a highly exact and dynamic manner | |
| EP0421529B1 (en) | Linear motor and positioning device comprising at least one linear motor | |
| EP1176704A1 (en) | Linear motor | |
| US6713903B2 (en) | Motor system for positioning a load | |
| JP2894892B2 (ja) | ２軸ステージ装置およびｘｙプロッタ | |
| US6876108B2 (en) | Linear motor, its controlling method, and XY table | |
| JPH0654516A (ja) | リニア直流モ−タ内へのリニア磁気エンコ−ダの組込み形成方法 | |
| CN112262522B (zh) | 线性电动机、运输设备和生产设备 | |
| JP4582448B2 (ja) | θ−Ｙ−Ｘステージ | |
| JP2001148398A (ja) | Ｘｙステージ | |
| CN210361190U (zh) | 一种具有大行程运动功能的微操作装置 | |
| JPH0699327A (ja) | Ｘ−ｙテーブルの駆動装置 | |
| CN207732608U (zh) | 一种三自由度定位平台 | |
| JP2001045735A (ja) | リニアモータの可動子構造 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080305 Year of fee payment: 9 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080305 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090305 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100305 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100305 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110305 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120305 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 14 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 14 |