JPS58223576A - Xyテ−ブル駆動装置 - Google Patents
Xyテ−ブル駆動装置Info
- Publication number
- JPS58223576A JPS58223576A JP57104284A JP10428482A JPS58223576A JP S58223576 A JPS58223576 A JP S58223576A JP 57104284 A JP57104284 A JP 57104284A JP 10428482 A JP10428482 A JP 10428482A JP S58223576 A JPS58223576 A JP S58223576A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- connecting member
- cheagle
- support
- feed screw
- guru
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発(7)は半導体装置製造におけるワイヤポジディ
ジグ装置等の各種産業分野で使用されるXXチー’fル
の駆動装置にnする。 XX−y−−グル駆動機構として最も一般的なものにx
7″−グル上に!テーブルと!チーグル駆幼部t−瘍載
し比ものがある。このXテーブルは支持台上にX方同移
妨自在に保19橿れ、これの駆動部は支持台上に1向定
されて外部制御装置からの指令1d号で駆動する七−タ
(パルスモータ)と、七−夕の4耐で回転するX方向に
平行な棒状の送りネジと、送りネジに螺装されてXf−
グルに
ジグ装置等の各種産業分野で使用されるXXチー’fル
の駆動装置にnする。 XX−y−−グル駆動機構として最も一般的なものにx
7″−グル上に!テーブルと!チーグル駆幼部t−瘍載
し比ものがある。このXテーブルは支持台上にX方同移
妨自在に保19橿れ、これの駆動部は支持台上に1向定
されて外部制御装置からの指令1d号で駆動する七−タ
(パルスモータ)と、七−夕の4耐で回転するX方向に
平行な棒状の送りネジと、送りネジに螺装されてXf−
グルに
【一定されtナンドで構htされる。Xテーブル
はx7″−グル上Vcx方向膚助自在に保持され、これ
の駆動部は前述と同様に七−タ、送l)ネ5)、fット
で構成成れる。 このよりなXXテーブル駆1jIIJ機構はXテーブル
上にY7’−グル駆1部が搭載6ルる九め装置全体の上
下スペースが大であること?SXチーグル駆幼4の送り
ネジに比べるとA\\XN4匈喝〜嶌曳〜\〜入〜鳩\
Xチーグル岨前部の過少ネジに加わるス荷が大さくてよ
シ大島な回伝トルクを必要とし、その几め両者を同じよ
うに回転制御することが−しくてスムーズで且つ正確な
X!テーブル駆1がI8侍で$ないことなどの問題を含
んでいる。そこで、最近は上記間l@を解決するものと
して、@1図乃至第1図に示すXXテーブル駆1装置が
一発壜れ、裏用化されている。 この第1図乃至第3図において、]1)は支持台、(2
)は支持台Ill上方に支持台Il+と平行な面上tX
方向(嘉/図圧右方同)に移動自在に配置されたXテー
ブル、(a)はXチーグル(2)上にX方向と直交する
X方向(第1図上下方回)に摺動自在に搭載梧t′した
Xチーグル、(4)は両テーブル(21(8]間に装着
され2Y方同に並ぶスライドガイドで、通常はクロスロ
ーフガイド構造のものが使用されてYテーブル(3)の
支持を受は持つ。(6)及び(6)はX7−−グル(2
]及びx 7’ −フル1aJlc X 方向及びX方
向に駆耐力2に与えるXテーブル駆動部及びXテーブル
駆動部で、両者共に支持台(1)上に設置される。 Xテーブル駆動4163にかける(7)は支持台11)
上に1一定され九七−タ、(8)は七−タ+7)の回転
軸に連結されて又持合flJ上方fX方向に延びる棒状
の送りネジ、+Il、 [91は送9ネジ(8)の両@
部と口伝自在に支持する軸受、too)はx7″−プル
(2)の下面に一定され送りネジ(8)に螺装シれたナ
ンドである。七−タ(7)で送9ネジi8)を回転させ
ることによりナツト調を介してx7″−グル121はY
7−−グル13) ’ii供ってX方向に自在に移動す
る。一方、!チーグル駆幼部161はXテーブル(3)
をXチーグル(3]の側方に並列配置したサグXチーグ
ル01)と介してX方向に駆動する構成で、+121は
支持台(lX上に固定され九七−タ、州は七−タu21
の回転軸に連結されてY方向に延びる棒状の送りネジ、
μ〜は送りネジ峙の両喘部を口伝自在に支持する軸受、
US)は前記サグXチーグル(1りの下面に固′f、さ
れ送りネジα場に媒にされ次ナツトである。 サグXチーグルui>と、2個一対のロークση、+l
乃とで連結される。連結部材U〜はXチーグル(3)の
−9111向上にgiL設かれたX方向に延びる】字状
のレールで、X方向の直線距離はX7−−プル(2)の
最大嵌納ストローク長より少し長目に設定される。一つ
のローフαη、IIηは連結部材−のX方向直線部U(
の両側面と扶付けし、サグXチーグルLll)が、Y軸
方向に送られる時のみ!テーブルla) t”卓引働従
tilJるせ、Xテーブル(2)によりYテーブル(3
)がX軸方向に送られる時は、単にガイドロー2の役目
tする。従って、七−タUりで送りネジ4萄を回転させ
てナンド傾をづトしてサブXチーグル(五〇にX方向の
駆1力を41えると、その!tK勅力はローフUη4.
’u7)で次相されている連結部材−を介してXチー
グル(3)に伝達され、!チーブIし1B) カY方I
I:i] K移動する。ま7′1.Yテープ7し1t1
)はXテーブル(2)のX方向の移初時に袂にX方向に
多動するが、この時は連結部材1149のX方向直線部
atがローフαη、(lη間2X方方向多゛妨して、X
チーグル(3)のX方向移動を自由ならしめている。 上ε投置はXf−プルぷ切部i61とXテーブル41部
(6)と支持台tll上に7敗配置することにより、装
置全体の上下スペースの縮小化7jt容易にする。ま九
Yテーブル駆i1J部16)t−Xテープlし12)上
から外すことにより、XチーブIし駆#部(旬の送りネ
ジ(8)に加わる^荷が@減され5X−Y駆動のよりス
ムーズなりIJ!71、より正確な!!0自が期待で龜
る。しかし乍ら、サブx7−−グIしくlすの追加によ
り構造が複離化し、且つサブYテープIしtll)は高
漕度なものが要求される几め装置が高価になることも、
サブ!7″−プル[11)tYテーブル(8)の何方に
配置する上め装置全体の横スペースが大さくなって設置
スペースに大さなものが要求される等の問題があつ九。 本発明はかかる間1点金解決することを目的とし、この
目的の連成手段として上、5YテーブルとtグYチーグ
ル金一体化してサグY7−−グルt−i略し次構造のX
Xテーブル駆−j装置rl供する。以下、本発明の4h
tk図而の実施例と面に詳述する。 第V図乃至@に図の実施例にj+P匹て、−は支持台、
1g1)は支持合一の上方にX方向及び!方向llC多
罰目在に保持11九第1テーブル(以下Xテーブルと称
す〕、局はXf−グル121I上にX方向にmvtth
自在に載置され**業台として使用される第一テーブル
(以下Xテーブルと称す〕、ツ、四はXテーブル12υ
上で!テーブル囚fX方向に摺動させるスライドガイド
で、図面はクロスローフガイド金示すがこれに限定され
ない。 副及び鏝はXF−プル2)J及びYテーブル囚にX方向
及びX方向に駆動力を4える第1駆紡部及び@、2駆動
部で、この両者は支持台硼上に設置される。 第7駆1部−は支持台−上に固定橿れ九七−タAと、又
持合21上に固定された軸受I2力+(財)で両端部が
回転自在に叉持堪れてX方向に延びて111ffε七−
声調で適宜回転させられる棒状送9ネジ副と、送9ネジ
鋼に!@装され九ナツト四と、ナツト端上に回転自在に
固定され九X軸方向に並び−個一対のローフ媚、−1及
びXテーブル1211の一端部下面に突設してX方向に
延びるコ字状の第1連結部材CIDとで構成される。第
1連結部材aυのX方向直線部はlQεローク川、用で
挾付けされ、これにより七−ターで送りネジ副を回転域
せるとナツト−へローツt314 、 t31J、第1
連結部材闘を介してXテーブル圓はX方向に駆動力を受
けて移動する。 @−駆動stmは!テーブルatYテーブルμの下面か
らXチー1ルaυのYy−−プルF装置部分に開口した
逃げ穴egIt−通って下方に延びる。21固一対のロ
ーフかうなる第一連結部材−#瞥を介して駆動力t−4
,するもので、支持台銅上に固定された七−ターと、支
持合副上に固定された軸受(至)、−で両端部を回転自
在に支持されてX方向に延びる送シネジ端と、送りネジ
例に螺装されたナツト37)で構成纏れ、このナツトs
力の上面中央部に一体に欠設し九X方向に平行な連結板
c171′が前Ii!、第2連結部材關、關で挾付けd
れる。 これにより七−声調で送9ネジ−を回転させるとナツト
−1、第一、連結部材−4,關を介してYテーブル囚は
X方向に駆動力を受けて移動し、Xテーブル2υのX方
向の移1に対しては第一連結部材間、瞥のローフが回転
のみして禰、2駆紡部礪は自由である。 尚、各テーブル2υ、端とその駆晧郡副を四の連結構造
は上記例にのみ限定されるものではない。 以上のように、木発′明によれば装置全体の上下スペー
スの細小化と共に、テプ!チーグルの省略で償スペース
の細小化も図れ、且つ構造の簡略化がcIT能となる。
はx7″−グル上Vcx方向膚助自在に保持され、これ
の駆動部は前述と同様に七−タ、送l)ネ5)、fット
で構成成れる。 このよりなXXテーブル駆1jIIJ機構はXテーブル
上にY7’−グル駆1部が搭載6ルる九め装置全体の上
下スペースが大であること?SXチーグル駆幼4の送り
ネジに比べるとA\\XN4匈喝〜嶌曳〜\〜入〜鳩\
Xチーグル岨前部の過少ネジに加わるス荷が大さくてよ
シ大島な回伝トルクを必要とし、その几め両者を同じよ
うに回転制御することが−しくてスムーズで且つ正確な
X!テーブル駆1がI8侍で$ないことなどの問題を含
んでいる。そこで、最近は上記間l@を解決するものと
して、@1図乃至第1図に示すXXテーブル駆1装置が
一発壜れ、裏用化されている。 この第1図乃至第3図において、]1)は支持台、(2
)は支持台Ill上方に支持台Il+と平行な面上tX
方向(嘉/図圧右方同)に移動自在に配置されたXテー
ブル、(a)はXチーグル(2)上にX方向と直交する
X方向(第1図上下方回)に摺動自在に搭載梧t′した
Xチーグル、(4)は両テーブル(21(8]間に装着
され2Y方同に並ぶスライドガイドで、通常はクロスロ
ーフガイド構造のものが使用されてYテーブル(3)の
支持を受は持つ。(6)及び(6)はX7−−グル(2
]及びx 7’ −フル1aJlc X 方向及びX方
向に駆耐力2に与えるXテーブル駆動部及びXテーブル
駆動部で、両者共に支持台(1)上に設置される。 Xテーブル駆動4163にかける(7)は支持台11)
上に1一定され九七−タ、(8)は七−タ+7)の回転
軸に連結されて又持合flJ上方fX方向に延びる棒状
の送りネジ、+Il、 [91は送9ネジ(8)の両@
部と口伝自在に支持する軸受、too)はx7″−プル
(2)の下面に一定され送りネジ(8)に螺装シれたナ
ンドである。七−タ(7)で送9ネジi8)を回転させ
ることによりナツト調を介してx7″−グル121はY
7−−グル13) ’ii供ってX方向に自在に移動す
る。一方、!チーグル駆幼部161はXテーブル(3)
をXチーグル(3]の側方に並列配置したサグXチーグ
ル01)と介してX方向に駆動する構成で、+121は
支持台(lX上に固定され九七−タ、州は七−タu21
の回転軸に連結されてY方向に延びる棒状の送りネジ、
μ〜は送りネジ峙の両喘部を口伝自在に支持する軸受、
US)は前記サグXチーグル(1りの下面に固′f、さ
れ送りネジα場に媒にされ次ナツトである。 サグXチーグルui>と、2個一対のロークση、+l
乃とで連結される。連結部材U〜はXチーグル(3)の
−9111向上にgiL設かれたX方向に延びる】字状
のレールで、X方向の直線距離はX7−−プル(2)の
最大嵌納ストローク長より少し長目に設定される。一つ
のローフαη、IIηは連結部材−のX方向直線部U(
の両側面と扶付けし、サグXチーグルLll)が、Y軸
方向に送られる時のみ!テーブルla) t”卓引働従
tilJるせ、Xテーブル(2)によりYテーブル(3
)がX軸方向に送られる時は、単にガイドロー2の役目
tする。従って、七−タUりで送りネジ4萄を回転させ
てナンド傾をづトしてサブXチーグル(五〇にX方向の
駆1力を41えると、その!tK勅力はローフUη4.
’u7)で次相されている連結部材−を介してXチー
グル(3)に伝達され、!チーブIし1B) カY方I
I:i] K移動する。ま7′1.Yテープ7し1t1
)はXテーブル(2)のX方向の移初時に袂にX方向に
多動するが、この時は連結部材1149のX方向直線部
atがローフαη、(lη間2X方方向多゛妨して、X
チーグル(3)のX方向移動を自由ならしめている。 上ε投置はXf−プルぷ切部i61とXテーブル41部
(6)と支持台tll上に7敗配置することにより、装
置全体の上下スペースの縮小化7jt容易にする。ま九
Yテーブル駆i1J部16)t−Xテープlし12)上
から外すことにより、XチーブIし駆#部(旬の送りネ
ジ(8)に加わる^荷が@減され5X−Y駆動のよりス
ムーズなりIJ!71、より正確な!!0自が期待で龜
る。しかし乍ら、サブx7−−グIしくlすの追加によ
り構造が複離化し、且つサブYテープIしtll)は高
漕度なものが要求される几め装置が高価になることも、
サブ!7″−プル[11)tYテーブル(8)の何方に
配置する上め装置全体の横スペースが大さくなって設置
スペースに大さなものが要求される等の問題があつ九。 本発明はかかる間1点金解決することを目的とし、この
目的の連成手段として上、5YテーブルとtグYチーグ
ル金一体化してサグY7−−グルt−i略し次構造のX
Xテーブル駆−j装置rl供する。以下、本発明の4h
tk図而の実施例と面に詳述する。 第V図乃至@に図の実施例にj+P匹て、−は支持台、
1g1)は支持合一の上方にX方向及び!方向llC多
罰目在に保持11九第1テーブル(以下Xテーブルと称
す〕、局はXf−グル121I上にX方向にmvtth
自在に載置され**業台として使用される第一テーブル
(以下Xテーブルと称す〕、ツ、四はXテーブル12υ
上で!テーブル囚fX方向に摺動させるスライドガイド
で、図面はクロスローフガイド金示すがこれに限定され
ない。 副及び鏝はXF−プル2)J及びYテーブル囚にX方向
及びX方向に駆動力を4える第1駆紡部及び@、2駆動
部で、この両者は支持台硼上に設置される。 第7駆1部−は支持台−上に固定橿れ九七−タAと、又
持合21上に固定された軸受I2力+(財)で両端部が
回転自在に叉持堪れてX方向に延びて111ffε七−
声調で適宜回転させられる棒状送9ネジ副と、送9ネジ
鋼に!@装され九ナツト四と、ナツト端上に回転自在に
固定され九X軸方向に並び−個一対のローフ媚、−1及
びXテーブル1211の一端部下面に突設してX方向に
延びるコ字状の第1連結部材CIDとで構成される。第
1連結部材aυのX方向直線部はlQεローク川、用で
挾付けされ、これにより七−ターで送りネジ副を回転域
せるとナツト−へローツt314 、 t31J、第1
連結部材闘を介してXテーブル圓はX方向に駆動力を受
けて移動する。 @−駆動stmは!テーブルatYテーブルμの下面か
らXチー1ルaυのYy−−プルF装置部分に開口した
逃げ穴egIt−通って下方に延びる。21固一対のロ
ーフかうなる第一連結部材−#瞥を介して駆動力t−4
,するもので、支持台銅上に固定された七−ターと、支
持合副上に固定された軸受(至)、−で両端部を回転自
在に支持されてX方向に延びる送シネジ端と、送りネジ
例に螺装されたナツト37)で構成纏れ、このナツトs
力の上面中央部に一体に欠設し九X方向に平行な連結板
c171′が前Ii!、第2連結部材關、關で挾付けd
れる。 これにより七−声調で送9ネジ−を回転させるとナツト
−1、第一、連結部材−4,關を介してYテーブル囚は
X方向に駆動力を受けて移動し、Xテーブル2υのX方
向の移1に対しては第一連結部材間、瞥のローフが回転
のみして禰、2駆紡部礪は自由である。 尚、各テーブル2υ、端とその駆晧郡副を四の連結構造
は上記例にのみ限定されるものではない。 以上のように、木発′明によれば装置全体の上下スペー
スの細小化と共に、テプ!チーグルの省略で償スペース
の細小化も図れ、且つ構造の簡略化がcIT能となる。
第7図及び第2図は従来のXXテーブル駆動装置の平面
図及びムーA線断面図、第3図は第3図のB−B線視図
、第V図及び第5図は本発明の一実施例を示す平面図及
びC−C線断面図、第Z図は第S図のD−B線視図であ
る。 四・・支持台、副・・第1テーブル(Xテーブル)、μ
s・・第、27−−グル1(x7″−グル)、−・・第
1駆肋郡、頌・・第2駆1部、3蔚・・に/連結部材、
關Φ・逃げ穴、關O・絡一連結部材。
図及びムーA線断面図、第3図は第3図のB−B線視図
、第V図及び第5図は本発明の一実施例を示す平面図及
びC−C線断面図、第Z図は第S図のD−B線視図であ
る。 四・・支持台、副・・第1テーブル(Xテーブル)、μ
s・・第、27−−グル1(x7″−グル)、−・・第
1駆肋郡、頌・・第2駆1部、3蔚・・に/連結部材、
關Φ・逃げ穴、關O・絡一連結部材。
Claims (1)
- 111 支持台と、支持台上方でX方向IC移動自在
に保持格九次w!1/テーブルと、嶋/f−プル上にX
方向と直交するX方向に摺動自在に搭載され之第2チー
グルと、支持6上に記ifされ、遍/テーブルに固定さ
れた@l連結部材に!方向摺切自在に連結されると袂に
第7連結部材を介して@/テーブルにX方向の駆動力を
与える石/g@部と、支持台上に配置され、@−テーブ
ルの下面に1司定され第77″−グルの一部に関口した
逃げ人から下方に延びた@一連結部材にX方向に摺動自
在に連結されると共に′#iコ連結連結部材金工第2テ
ーブル2x方向の駆動力を与える癌、2駆動部とt具備
し几ことを特徴とするXXチーグルMjh@装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57104284A JPS58223576A (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | Xyテ−ブル駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57104284A JPS58223576A (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | Xyテ−ブル駆動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58223576A true JPS58223576A (ja) | 1983-12-26 |
Family
ID=14376623
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57104284A Pending JPS58223576A (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | Xyテ−ブル駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58223576A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05299464A (ja) * | 1992-07-30 | 1993-11-12 | Kaijo Corp | Xyテーブル |
CN108673478A (zh) * | 2018-07-18 | 2018-10-19 | 温州大学 | 流水线机器人模拟操作实训*** |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55940A (en) * | 1978-06-19 | 1980-01-07 | Tokyo Sokuhan Kk | Operation unit of x-y directional operation table |
-
1982
- 1982-06-16 JP JP57104284A patent/JPS58223576A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55940A (en) * | 1978-06-19 | 1980-01-07 | Tokyo Sokuhan Kk | Operation unit of x-y directional operation table |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05299464A (ja) * | 1992-07-30 | 1993-11-12 | Kaijo Corp | Xyテーブル |
CN108673478A (zh) * | 2018-07-18 | 2018-10-19 | 温州大学 | 流水线机器人模拟操作实训*** |
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