JPH04220244A - 体腔内超音波診断装置 - Google Patents

体腔内超音波診断装置

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JPH04220244A
JPH04220244A JP40451190A JP40451190A JPH04220244A JP H04220244 A JPH04220244 A JP H04220244A JP 40451190 A JP40451190 A JP 40451190A JP 40451190 A JP40451190 A JP 40451190A JP H04220244 A JPH04220244 A JP H04220244A
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ultrasonic
ultrasound
endoscope
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Takahiro Echizenya
孝博 越前谷
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和裕 御園
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、送受信用超音波プロー
ブを体腔内に挿入して臓器等の超音波診断像を得ること
によって、前記臓器等の診断を行なう体腔内超音波診断
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、超音波を体腔内部位に向けて
放射して、体腔内の音響インピーダンスの差異によって
生じる反射波を受信し、これによって得られる体腔内部
位の超音波診断像から体腔内の様子を観察診断する体腔
内超音波診断装置が知られている。これは、例えば、体
腔内に挿入される超音波プローブと、この超音波プロー
ブと接続してこれを駆動させるプローブ駆動部と、この
プローブ駆動部と接続して体腔内部位の超音波診断像を
表示する超音波観測部とを有する観測装置と、この観測
装置とは別体の機器、例えば内視鏡や光源装置等によっ
て構成されるものである。ところで、一般の超音波プロ
ーブでは観測できないような例えば体腔内狭窄部を診断
するためには細径な超音波プローブが必要である。とこ
ろが、この細径な超音波プローブを例えば内視鏡のチャ
ンネル内に挿入して診断を行なう場合、前記超音波プロ
ーブ先端の超音波振動子が受信する超音波信号は極めて
微小なものであるため、受信した信号は、超音波プロー
ブをはじめとする観測装置とは別体の内視鏡や光源装置
等の機器の出すノイズの影響を受けやすく、したがって
、良好な超音波画像が得られず、正確な診断ができない
虞がある。
【0003】そこで、超音波プローブ等の観測装置側の
ノイズ対策として、超音波プローブの受信信号ラインの
シールドを強化したり、あるいは、超音波プローブ先端
の超音波振動子部にアンプを設けたりしている。また、
内視鏡と接続される機器、例えば光源装置やビデオプロ
セッサーから内視鏡へのノイズの乗りを極力防止するこ
とによって超音波プローブへのノイズの乗りを防ぐこと
、つまり、内視鏡側のノイズ対策も考えられないではな
い。すなわち、通常、電気メス使用時の安全対策(漏れ
電流の帰還)として、内視鏡100の先端部101から
湾曲部102、蛇管103、操作部104、ユニバーサ
ルコード105内のアースコード106およびコネクタ
107のE端子108(図16参照)までを一連に電気
的に接続する導通手段111を設けているが、内視鏡に
超音波プローブを挿入した場合、内視鏡と接続される機
器、例えば光源装置やビデオプロセッサーからのノイズ
が内視鏡を通じて超音波プローブに乗り易いため、図1
6に示すように、ユニバーサルコード105内のアース
コード106と操作部104との接続部にスイッチ10
9を設け、電気メス使用時にはスイッチ109をONに
して漏れ電流の帰還を確保し、超音波プローブの使用時
にはスイッチ109をOFFにしてユニバーサルコード
105を通じて内視鏡100に乗ってくる外来ノイズを
遮断するものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、観測装置側
におけるノイズ対策の場合、上述のように超音波プロー
ブの受信信号ラインのシールドを強化すると、超音波プ
ローブが太くなりプローブの細径化が困難となるばかり
か、プローブ自体が硬くなってしまい、診断において不
都合を生じる虞がある。また、超音波プローブ先端にア
ンプを設ける場合も、アンプがプローブ細径化の障害と
なったり、あるいは、プローブ先端における硬質部が長
くなったりする虞がある。また、内視鏡側におけるノイ
ズ対策は無論必要ではあるが、これは、超音波画像に直
接影響を及ぼすライン、すなわち観測装置側のノイズ対
策を行なうことなしには十分な効果を発揮し得ないため
、観測装置側のノイズ対策も必然的に必要となってくる
。したがって、結局、超音波診断装置内の各機器間で、
一方の機器から他方の機器へノイズが乗ることを防止す
る対策を複数行なうこととなり、ノイズ対策としては効
率が悪くなる。
【0005】本発明は上記事情に着目してなされたもの
であり、その目的とするところは、超音波プローブの太
径化および硬質化を招くことなく別体機器から観測装置
に乗るノイズを効率良く低減して良好な超音波画像を得
ることができる体腔内超音波診断装置を提供することに
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、体腔内に挿入される超音波プローブと、
この超音波プローブを駆動するプローブ駆動部と、この
プローブ駆動部で超音波プローブを駆動することにより
得られる信号によって体内部位の超音波診断像を表示す
る超音波観測部とを有する観測装置を、この観測装置と
は別体である電光源等の機器とともに使用する体腔内超
音波診断装置において、前記観測装置のグランドに接続
されたグランド端子と、このグランド端子と前記機器の
グランドとを接続して同電位とする導通手段とを具備し
たものである。
【0007】
【作用】上記構成によって、観測装置は、この観測装置
とは別体の機器のグランドと同電位になるため、前記機
器から観測装置に乗るノイズは低減する。
【0008】
【実施例】図1および図2は本発明の第1の実施例を示
すものである。
【0009】本実施例の体腔内超音波診断装置1は、観
測装置2と、この観測装置2とは別体の光源装置3およ
び光源装置3に接続された内視鏡4とからなる。観測装
置2は、内視鏡4のチャンネル5内を通して体腔内に挿
入される超音波プローブ6と、この超音波プローブ6と
接続してこれを駆動するプローブ駆動部7と、このプロ
ーブ駆動部7と接続して体内部位の超音波診断像を表示
する超音波観測部8とからなる。超音波プローブ6は、
例えば、プローブ駆動部7に対しコネクタ9によって着
脱自在である。内視鏡4は、操作部4aと挿入部4bと
からなり、操作部4aにはライトガイドコード10が接
続されている。そして、内視鏡4と光源装置3との接続
は、ライトガイドコード10の端部に設けられた接続コ
ネクタ11を内視鏡用光源装置3に接続することによっ
て行なわれるものである。
【0010】超音波プローブ6の先端部6aには、図2
に示すように、超音波を送受信する超音波振動子12が
設けられており、この超音波振動子12には、プローブ
駆動部7内に設けられたモータからの回転駆動力を伝え
るフレキシブルシャフト13が連結されるとともに、超
音波観測部8にプローブ駆動部7およびコード15を介
して接続された超音波伝送用の信号ケーブル14が接続
されている。また、プローブ駆動部7内には前記モータ
ーの他、位置検出用のエンコーダーやプリアンプが設け
られている。
【0011】超音波プローブ6先端の超音波振動子12
は、超音波観測部8から信号ケーブル14を介して与え
られる高電圧パルスによって駆動され、体内部位に超音
波を放射するとともにその反射波を受信できるようにな
っている。また、このラジアルスキャンは、プローブ駆
動部7内の前記モーターの回転を超音波プローブ6内の
、例えば金属製密巻きコイルからなるフレキシブルシャ
フト13を介して超音波振動子12に伝えることによっ
て行なわれる。つまり、超音波振動子12が回転しなが
ら自ら放射した超音波の反射波を受信し、この受信信号
を前記信号ケーブル14によって超音波観測部8へ伝送
して超音波診断像を得るものである。なお、伝送途中に
おいて前記受信信号はプローブ駆動部7内に設けられた
図示しない前記プリアンプによって増幅される。
【0012】また、プローブ駆動部7には、超音波観測
部8のグランド(以下、GNDという。)に電気的に導
通する状態で接続されたGND端子16が設けられてい
る。このGND端子16は超音波プローブ6の、例えば
フレキシブルシャフト13とも電気的に導通する状態で
接続されている。つまり、プローブ駆動部7のGND端
子16とプローブ駆動部7および超音波プローブ6のG
ND電位は全て超音波観測部8のGND(接地)電位と
同電位になっている。
【0013】一方、内視鏡4の操作部4aに接続された
ライトガイドコード10の接続コネクタ11にはアース
端子(以下、E端子という。)17が設けられている。 このE端子17はライトガイドコード10および内視鏡
4に対し電気的に導通する状態で接続されている。具体
的には、E端子17は例えば内視鏡4の挿入部4bから
ライトガイドコード10にかけて内装されたブレードあ
るいはフレックス管を通じてライトガイドコード10お
よび内視鏡4に対して電気的に接続されている。また、
E端子17は、接続コネクタ11を光源装置3に接続す
れば、光源装置3のGNDに電気的に導通する状態で接
続されるようになっている。つまり、E端子17と内視
鏡4およびライトガイドコード10の電位は光源装置3
の接地電位と同電位になっている。
【0014】そして、内視鏡4のE端子17とプローブ
駆動部7のGND端子16とはケーブル18によって電
気的に導通する状態で接続されている。つまり、観測装
置2側のGND電位と、観測装置2とは別体である内視
鏡4(無論、超音波プローブ6が挿入されるチャンネル
5も含む。)や光源装置3等の機器側のGND電位とは
同電位になっている。
【0015】したがって、上記構成の体腔内超音波診断
装置1は、観測装置2側のGNDと内視鏡4や光源装置
3等の機器側のGNDとをケーブル18によって同電位
化したので、超音波プローブ6を内視鏡4のチャンネル
5内に挿入して超音波診断を行なった場合、内視鏡や光
源装置等の機器側から観測装置2側、言い換えれば超音
波診断像に乗ってくるノイズを低減することができる。
【0016】なお、GND端子16を前記E端子17に
接続することなく、観測装置2とは別体の機器の他のG
ND端子に接続することによっても、別体機器3,4か
ら観測装置2に乗ってくるノイズを低減することができ
る。
【0017】図3および図4は本発明の第2の実施例を
示すものである。なお、図3および図4において図1お
よび図2と共通する部分については同一符号を付してそ
の詳細な説明を省略する。
【0018】本実施例の体腔内超音波診断装置25は、
第1の実施例と同様、観測装置2と、この観測装置2と
は別体の光源装置3(図3には図示しない。)、および
光源装置3に接続された内視鏡4とからなる。内視鏡4
と光源装置3との接続は、内視鏡4の操作部4aに接続
されたライトガイドコード10の接続コネクタ11を光
源装置3に接続することによって行なわれる。また、観
測装置2は、超音波プローブ6とプローブ駆動部7およ
び超音波観測部8(図3には図示しない。)とからなる
【0019】図3および図4に示すように、プローブ駆
動部7から内視鏡4のチャンネル5の入口にわたる超音
波プローブ6の外周は筒状のシールドケーブル26によ
って覆われている。プローブ駆動部7の超音波プローブ
6との接続側端部にはグランド端子としてのシールドケ
ーブル接続コネクタ27が設けられている。そして、こ
のシールドケーブル接続コネクタ27にはシールドケー
ブル26の一方の端部が電気的に導通する状態で接続さ
れている。また、シールドケーブル接続コネクタ27は
、超音波観測部8のGNDと超音波プローブ6のGND
部にも電気的に導通する状態で接続されている。つまり
、シールドケーブル接続コネクタ27とシールドケーブ
ル26とプローブ駆動部7および超音波プローブ6のG
ND電位は全て超音波観測部8のGND電位と同電位に
なっている。
【0020】一方、内視鏡4は、操作部4aに接続され
たライトガイドコード10の接続コネクタ11を光源装
置3に接続すれば、光源装置3のGNDに電気的に導通
する状態で接続されるようになっている。また、シール
ドケーブル26の接続コネクタ27との接続側とは反対
側の端部は内視鏡4のチャンネル5に連結され、さらに
内視鏡4の導電部位に電気的に導通する状態で接続され
ている。つまり、内視鏡4とライトガイドコード10お
よびシールドケーブル26の電位は光源装置3の接地電
位と同電位になっている。
【0021】したがって、観測装置2側の電位と、観測
装置2とは別体である内視鏡4(無論、超音波プローブ
6が挿入されるチャンネル5も含む。)や光源装置3等
の機器側の電位は、観測装置2側と前記機器側3,4と
を互いにシールドケーブル26によって接続したことに
より、同電位になっている。
【0022】したがって、上記構成の体腔内超音波診断
装置25は、観測装置2側のGNDと内視鏡4や光源装
置3等の機器側のGNDとをシールドケーブル26によ
って同電位化したので、超音波プローブ6を内視鏡4の
チャンネル5内に挿入して超音波診断を行なった場合、
内視鏡4や光源装置3等の機器側から観測装置2側、言
い換えれば超音波診断像に乗ってくるノイズを低減する
ことができる。また、プローブ駆動部7から内視鏡4の
チャンネル5孔までの超音波プローブ6をシールドケー
ブル26によって覆うことにより観測装置2および前記
機器3,4以外からくる外来の放射ノイズに対しても強
くなる。
【0023】ところで、超音波プローブにおいて、プロ
ーブ駆動部内に設けられたモータからの回転駆動力を超
音波振動子に伝えるフレキシブルシャフトの外周部材は
通常ステンレススチール等の2重コイルであり、その電
位は接地電位である。しかし、前記外周部材の抵抗値が
高いために、フレキシブルシャフトはその電位が全長に
わたって一定ではなく、そのためシールド効果が少なく
なり、外来ノイズがフレキシブルシャフトにのりやすい
という問題点があった。こうした問題点を十分に解決し
得る超音波プローブを図5に示す。
【0024】図5に示す超音波プローブ30は、その先
端部に超音波振動子31を有し、超音波振動子31は導
電性のホルダ32によって保持されている。超音波振動
子31を保持するホルダ32には信号ケーブル33を挿
通したフレキシブルシャフト34が連結されている。そ
して、信号ケーブル33は一端を超音波振動子31に接
続し、他端を図示しない観測機器等に接続している。ま
た、超音波プローブ30はその外周がテフロンシート3
5によって被覆されている。フレキシブルシャフト34
は、接地電位である筒状の第1のシース34aと、第1
のシース34aの外側に第1のシース34aとは一定の
空隙36を残して同軸に配設された同じく接地電位であ
る第2のシース34bとによって構成されている。ホル
ダ32は、フレキシブルシャフト34の2つのシースの
うち第1のシース34aに半田付けされている。そして
、第1のシース34aと第2のシース34bとの間の空
隙部36には導電性の液体37が密封されている。この
導電性の液体37によって、フレキシブルシャフト34
はその電位が全長にわたって一定、すなわち接地電位と
なる。したがって、シールド効果が良好となり、外来ノ
イズがフレキシブルシャフト34に乗りにくくなる。
【0025】また、一般に、超音波プローブ先端の超音
波振動子からの画像信号は、外径0.9mmの同軸ケー
ブルからなる信号ケーブル1本によって手元側の同軸コ
ネクターに伝送されている。
【0026】しかし、同軸ケーブルのノイズシールド性
が悪く、例えば内視鏡と併用して超音波診断を行なう際
に、内視鏡からのノイズを拾ってしまい、その結果、超
音波画像に乱れが生じてしまうことがある。そこで、図
6に示すように、外径0.3mmの同軸ケーブル41を
3本撚り、そのうち1本を画像信号用とし、残り2本を
ダミーとして信号ケーブル40を構成すればよい。これ
によって、ダミー1本から得たノイズ信号をノイズの入
った画像信号から演算的に引き算して画像信号のノイズ
をキャンセルすることができる。ここで、外径0.3m
mの同軸ケーブル41を3本撚った図6に示す信号ケー
ブル40は、外径0.9mmの同軸ケーブル1本からな
る信号ケーブルよりも屈曲に対して強いという利点を有
する。また、外径0.3mmの同軸ケーブル41を2本
撚るよりは撚りやすいという利点も有する。
【0027】なお、外径0.9mmの1本と外径0.3
mmの同一材質3本撚りの同軸ケーブルを比較した場合
、0.3mmの同軸ケーブルの方が抵抗値が大きくなる
という問題があるが、これは、0.3mmの同軸ケーブ
ルの方を外径0.9mmの同軸ケーブルよりも導電性の
良い材質とすることによって解決される。
【0028】一方、内視鏡の蛇管のアースには従来から
フレックス管が使用されている。すなわち、内視鏡の蛇
管をアースするために、フレックス管と操作部とアース
コードとを電気的に導通する状態で接続している。さら
に、フレックス管は、CCD等の光学機器を内臓した内
視鏡の先端部に対しても電気的に導通する状態で接続さ
れており、操作部と先端部とを結ぶアースラインとなっ
ている。
【0029】しかし、超音波ミニチュアプローブを内視
鏡の蛇管内に挿入して超音波診断を行なう際、内視鏡と
接続した光源や接眼部TVから発生するノイズがアース
コードで受信されてフレックス管より発信され、超音波
ミニチュアプローブに乗り、超音波画像にノイズを発生
させることがある。また、CCD駆動ノイズも蛇管フレ
ックスを通じて超音波ミニチュアプローブに乗り、同様
に超音波画像にノイズを発生させることがある。そこで
、図7に示すように、内視鏡45の操作部47と先端部
46を結ぶアースラインとしてシールド性の高い同軸ケ
ーブル48を使用し、フレックス管49は操作部47と
先端部46に接続しないで電気的に浮かせればよい。 これによって、同軸ケーブル48からノイズは発信され
ないので、超音波ミニチュアプローブ50のからの超音
波画像にノイズが発生することを防止できる。なお、電
気メス使用時の安全対策としての漏れ電流の帰還は同軸
ケーブル48により行なわれる。
【0030】また、プローブ駆動部を保持するためのア
ームは、従来、2つのパイプを端部で回動自在に接続し
たものであるが、アームの先端に重い物体をのせると、
2つのパイプの接続部にかかるモーメントが非常に大き
くなり、この接続部だけでは物体を支えきれず、アーム
の先端が下がってきてしまうことがあった。そこで、図
8のように、観測装置のキャリア台55に鉛直に設けら
れた第1のパイプ56に対して、水平方向に第2のパイ
プ57をスライド自在に固定することによってアーム5
8を構成し、水平方向の第2のパイプ57の先端に物体
、例えばプローブ駆動部7をのせられるようにした。 これによって、アーム58の先端部が不用意に下がって
しまうことを防止できる。
【0031】一方、ミニチュアプローブ等のスコープは
、従来からスコープハンガー等に収納されているが、前
記スコープはその外筒がシース等で形成されており、細
径であるためにスコープハンガー等では収納しずらい。 しかし、こうした問題点は図9ないし図12に示すプロ
ーブ収納箱65によって解決される。
【0032】すなわち、プローブ収納箱65はその内部
にプローブ収納皿66を有し、収納皿66にはプローブ
を渦巻状に収納する収納溝67が形成されている。また
、収納箱65とは別体の例えば観測装置68内にはモー
ター69が設けられており、このモーター69の回転駆
動力は駆動シャフト70によって、収納皿66に伝えら
れるようになっている。すなわち、駆動シャフト70の
一端は、観測装置68の筐体のシール部71によって観
測装置68内に気密に案内されてモーター69に連結さ
れているとともに、他端は収納箱68のシール部72に
よって収納箱65内に気密に案内され、収納箱65に設
けられたベアリング73によって回転自在に支持されて
収納皿66に形成されたシャフト嵌合部74に嵌合され
るようになっている。したがって、プローブ6を収納箱
65に収納する場合は、まず、図9(c)に示すように
、収納箱65を観測装置68に対して、駆動シャフト7
0を収納皿66のシャフト嵌合部74に嵌め込むことに
よって取り付ける。つぎに、図9(a)に示すように、
収納箱65の外壁に設けられた収納口75からプローブ
6の先端部6aを収納箱65内に挿入し、プローブ6の
先端部を収納溝67の周壁に形成された先端押さえ76
に嵌め込む。その後、モータ69を駆動させることによ
って収納皿66を回転させ、図9(b)に示すように、
プローブ6を巻き取って収納溝67に収納する。なお、
収納口75は、図9(a)に示すように、プローブ6の
コネクタ9が収納箱65から突出して係止できる形状に
形成されている。そして、図10(a)に示すように、
収納蓋77をスライドさせながら収納口75を閉じる。 なお、収納蓋77は収納箱65から突出したコネクタ9
に係合しながらスライドできる形状に形成されている。 また、プローブ6を収納箱65から取出す場合は、観測
装置68から収納箱65を取外し、図11および図12
に示すように、プローブ6のコネクタ9にプローブ駆動
部7を接続し、収納箱65からプローブを引き出せばよ
い。したがって、上記構成のプローブ収納箱65によれ
ば、スコープハンガー等では収納しずらい細径のスコー
プを容易に保管することができる。
【0033】また、図14は、図13に示すようなプロ
ーブ6と一体的に形成もしくは組立てられたプローブ一
体型収納箱80を示すものである。収納箱80は、プロ
ーブ6を螺旋状に収納できる収納部83と、プローブ6
に接続された第1のコネクタ81と第2のコネクタ82
を有する。そして、第1のコネクタ81はプローブ6の
フレキシブルシャフト13に接続され、また、第2のコ
ネクタ82は収納部83に接続されている。そして、図
15に示すように、プローブ6が収納された収納箱80
を例えばプローブ駆動部7に接続すれば、第1のコネク
タ81はプローブ駆動部7内に設けられた第1のモータ
84と接続され、第1のコネクタ82は第2のモータ8
5に接続されて、第1のモータ84の回転駆動によって
フレキシブルシャフト13が回転してラジアルスキャン
を行ない、第2のモータ85の回転駆動によって収納部
83が回転してプローブ6を螺旋状に収納できるように
なっている。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、超音波
プローブの太径化および硬質化を招くことなく別体機器
から観測装置に乗るノイズを効率良く低減して良好な超
音波画像を得ることができるため、正確な超音波診断を
行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す体腔内超音波診断
装置の概略構成図である。
【図2】図1の超音波プローブの部分断面図である。
【図3】本発明の第2の実施例を示す体腔内超音波診断
装置の概略構成図である。
【図4】図3のシールドケーブルとこのシールドケーブ
ルの内部の様子を示す断面図である。
【図5】外来ノイズの低減を図った超音波プローブの他
の構成例を示す縦断面図である。
【図6】外来ノイズ低減のため、同軸ケーブルとしての
信号ケーブル3本を撚った様子を示す概略図である。
【図7】超音波プローブを挿入した、外来ノイズを低減
できる内視鏡の縦断面図である。
【図8】プローブ駆動部等を支持するアームとこのアー
ムが設置されるキャリア台とキャリア台に設置された観
測装置を示す斜視図である。
【図9】(a)はプローブを渦巻状に収納できる収納箱
にプローブを収納する様子を示す概略図、(b)は(a
)を正面から見た際の断面図、(c)は(a)のAーA
線に沿う側断面図である。
【図10】(a)はプローブを渦巻状に収納した収納箱
に収納蓋をする様子を示す概略図 、(b)は収納箱に収納蓋をした様子を示す概略図であ
る。
【図11】図9の収納箱内のプローブとプローブ駆動部
とを接続する様子を示す概略図である。
【図12】図9の収納箱内のプローブとプローブ駆動部
とを接続した様子を示す概略図である。
【図13】超音波プローブの一例を示す部分断面図であ
る。
【図14】プローブを螺旋状に収納できる収納箱にプロ
ーブを収納する様子を示す概略図である。
【図15】図14の収納箱をプローブ駆動部に接続した
様子を示す概略図である。
【図16】外来ノイズの低減を図れる内視鏡の概略図で
ある。
【符号の説明】
1,25…体腔内超音波診断装置 2…観測装置 3…光源装置 4…内視鏡 6…超音波プローブ 7…プローブ駆動部 8…超音波観測部 16…GND端子 17…E端子 18…ケーブル。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  体腔内に挿入される超音波プローブと
    、この超音波プローブを駆動するプローブ駆動部と、こ
    のプローブ駆動部で超音波プローブを駆動することによ
    り得られる信号によって体内部位の超音波診断像を表示
    する超音波観測部とを有する観測装置を、この観測装置
    とは別体である電光源等の機器とともに使用する体腔内
    超音波診断装置において、前記観測装置のグランドに接
    続されたグランド端子と、このグランド端子と前記機器
    のグランドとを接続して同電位とする導通手段とを具備
    したことを特徴とする体腔内超音波診断装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021034269A (ja) * 2019-08-27 2021-03-01 株式会社日立ハイテク 荷電粒子ビーム制御装置

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