JPH036867A - 光発電素子の電極構造、形成方法、及びその製造装置 - Google Patents

光発電素子の電極構造、形成方法、及びその製造装置

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JPH036867A
JPH036867A JP1142480A JP14248089A JPH036867A JP H036867 A JPH036867 A JP H036867A JP 1142480 A JP1142480 A JP 1142480A JP 14248089 A JP14248089 A JP 14248089A JP H036867 A JPH036867 A JP H036867A
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electrode
metal body
conductive adhesive
photovoltaic element
photovoltaic
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JP1142480A
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Mikio Deguchi
幹雄 出口
Takushi Itagaki
板垣　卓士
Masaaki Usui
正明 臼井
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Mitsubishi Electric Corp
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    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光発電素子の電極構造、形成方法。
及びその製造装置に関するものである。
〔従来の技術〕
従来の光発電素子では、その電極は、真空蒸着法や、ス
パッタリング法等を用いて低抵抗金属を電極形成面に直
接付着形成するか、あるいはスクリーン印刷法を用いて
導電性樹脂を電極形成面に付着、焼成してこれを電極と
して形成していた。
即ち、第１Ｏ図は従来の真空蒸着法による電極の形成方
法を闇単に示したものであり、図において、ｌは光発電
素子、４は光発電素子ｌの電極形成面、２０は金属マス
ク、２１は低抵抗金属、２２は電子銃、２３は電子ビー
ムである。この方法は光発電素子１のｔａ形成面上４に
開孔部を有する金属マスク２０を設け、電子ビーム２３
の照射により低抵抗金属２１を加熱して蒸発させ、高真
空中で電極形成面４に金属薄膜からなる電極を形成する
ものである。
また、第１１図は従来のスクリーン印刷法による電極の
形成方法を示したものであり、この方法は、印刷治具２
４を用いて導電性樹脂２５をスクリーンマスク２６の開
孔部を通して光発電素子１の電極形成面４に付着させ、
その後これを焼成して電極とするものである。この方法
では上記の真空蒸着あるいはスパッタリングの方法に比
べて厚い膜厚を有する電極が形成できる。
また、第１２図（ａｌ、　（ｂ）はそれぞれ従来の電極
構造を有する光発電素子の外観を示す平面図、及び（δ
）図のｘ　ｂ−ｘ　ｂ断面を示す図であり、図において
、２７は光発電素子１の電極形成面４上に上述の方法に
より形成された金属膜からなる電極パターン、２８は金
属膜２７の一部にハンダ２９により接着された外部電流
取り出し導電材である。
次に動作について説明する。
光発電素子１で発生した光を流は素子の表面から金属膜
からなるｔ掻２７に流入する。更に電極２７内を流れて
この電極２７の一部に接するようにハンダ、あるいは導
電性樹脂等によって接着された外部電流取り出し導電材
２８へ達し、素子外部へ発生電力が供給される。
これら一連の発生光電流の流れる経路において、素子表
面及び電極の直列抵抗による電力損失が発生するため、
この損失を最小とするために、素子表面の抵抗、素子表
面／を極界面の接触抵抗、電極幅、厚さ、本数、および
電極として使用される材料の比抵抗と素子で発生する充
電流密度等を考慮して形成する電極パターンを決定する
。そこで、この電極パターン２７を金属マスク２０ある
いはスクリーンマスク２６で形成し、前記形成方法を用
いて光発電素子１の電極形成面４に電極を形成していた
。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来の光発電素子の電極は、以上のように金属の蒸着あ
るいは導電性樹脂の印刷で形成されることから、電極の
厚さがそれぞれ数μｍおよび数１０ｐｍ程度に制限され
るため、電極損失を小さくするには電極の幅を広くする
か、あるいは本数を多くすることが必要であった０例え
ば厚さ５μｍの銀（比抵抗ρ−１，６Ｘ１０−６Ω・ｃ
ｍ）の蒸着、および厚さ５０μｍのＡｇ粒子入りの導電
性樹脂（比抵抗ρ−＝５ｘ１０−ｓΩ・１）のスクリー
ン印刷により形成された電極では、所望の抵抗を得るた
めには電極の幅をそれぞれ約３７０μｍ、及び約１１６
０μｍ程度に形成しなければならず、この結果、電極形
成面上における電極の占有面積が増加し、素子の光入射
面積である有効面積が減少し、これに伴い発生する光１
！流も減少することとなる。またさらにはこれらのｔｉ
での電力を賢夫も十分に小さいとは言えない等の問題が
あった。
本発明は、上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、光発電素子の有効面積を拡大できるとともに
、電極での電力損失を減少でき、かつ、量産性に優れた
光発電素子の電極構造、形成方法およびその製造装置を
提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕 この発明にかかる光発電素子の電極構造は、光発電素子
の電極形成面に導電性接着剤を用いて線状の金属体を接
着し固定するようにしたものである。
また、この発明にかかる光発電素子の電極の形成力法は
、金属体の表面の少なくとも一部および光発電素子の電
極形成面の少なくとも一部のうち少なくとも一方に導電
性接着剤を適量付着し、金属体を光発電素子の電極形成
面上の所定の位置に接着し固定するものである。
また、この発明にかかる光発電素子の電極の製造装置は
、同時に少なくとも一個の金属体を所定の形状に配置し
固定する機構と、金属体の表面の少なくとも一部あるい
は光発電素子の電極形成面の所定の位置のうち少なくと
も一方に前記導電性接着剤を適量付着せしめる機構と、
金属体を前記光発電素子の電極形成面上の所定の位置に
接着する機構と、導電性接着剤を固化せしめ金属体を光
発電素子の電極形成面上の所定の位置に固定する機構と
を備えたことを特徴とするものである。
〔作用〕
この発明における光発電素子の電極構造は上述のように
したので、大きな断面積を有するとともに狭い幅を有す
る金属体を光発電素子の電極形成面上に接着でき、これ
により電極での電力損失が減少できるとともに、光発電
素子の有効面積を増大でき発電出力を向上できる。
また、この発明における光発電素子の電極は、上述のよ
うな方法により形成したので、電極の占有面積を最小限
に抑えることができ、有効面積の増大をさらに促進させ
ることができる。
またこの発明における光発電素子の電極の製造装置は、
上述のように構成したので、光発電素子の電極形成面上
に本電極構造を所定の形状に形成できるとともに、本発
明の電極構造を複数個の光発電素子の電極形成面上に連
続的に形成することができる。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例による光発電素子の電極の
概略構造を示す平面図、第２図は第１図の■−■断面を
示す図であり、図において、１は光発電素子、２は導電
性接着剤、３は金属体、４は光発電素子１の電極形成面
を示す。
光発電素子１の電極形成面４上に、球状あるいはフレー
ク状の銀粒子と低温焼成型エポキシ系樹脂とを混合した
導電性樹脂を導電性接着剤２として、円形断面を有する
直径５０Ｊｉｍφの銅ワイヤからなる金属体３が接着固
定されている。
また、第４図は上記実施例による光発電素子１の外観を
示す図であり、図において、第１図と同一符号は同一部
分を示し、５はそれぞれの金属体３を流れる電流を集め
る集電電極であり、光発電素子１で発生し、金属体３に
流れ込んだ電流は集電電極５により集められ、光発電素
子１の外部に取り出される。
一光発電素子１の電極形成面４上に真空蒸着、スパッタ
あるいはスクリーン印刷等の手段により予め金属パター
ンを設け、この金属パターン上に導電性の良好な金属線
を半田付けし固定した電極構造は既に上述したように従
来技術（第１２図参照）としであるが、本発明にかかる
電極構造は金属体３を導電性接着剤２により光発電素子
１の電極形成面４上に直接接着し、固定していることが
特徴である。
このような本実施例によれば、電極の幅を従来よりも小
さくし、断面積を大きくした線状の金属体３を導電性接
着剤２を用いて光発電素子の電極形成面に固定するよう
にしたので、電極での電力損失を十分に小さくできると
ともに光の入射面積である有効面積を大きくできる。例
えば、従来例で述べたように、厚さ５μｍの銀（比抵抗
ρ＝１゜６Ｘ１０−−Ω・ｃｍ）、あるいは厚さ５０μ
ｍのＡｇ粒子入りの導電性樹脂（比抵抗ρ″＝５Ｘ１０
−’Ω・Ｃ１１）で電極を形成した場合に、本発明にお
ける直径５０μｍφの銅電極（幅５０μｍ、ρ＝１゜７
Ｘ１０−’）の１０１あたりの抵抗０．０８６６Ωと等
しくなるような電極の幅は、それぞれ約３７０μｍと１
１６０．ｃａｍであり、ｌＱｃｍ平方における有効面積
を比較すると、従来例では８７ｃｍ２であったのに対し
、本発明による電極構造では９４ｃｍ”となり、有効面
積がかなり増大することがわかる。
なお、上記実施例では第２図に例示するように、一つの
光発電素子１に本発明による電極構造を設けた場合につ
いて示したが、同時に複数個の光発電素子１に本発明に
よる電極構造を設けるようにしてもよく、またこの電流
構造を設けた光発電素子を一個あるいは複数個差べて相
互に電気的接続を行ない、光発電素子モジュールを構成
することも本発明の主張するところである。
なお、上記実施例では、銀粒子を含んだ熱硬化性樹脂を
導電性接着剤２として用いた場合について示したが、こ
れは他のものであってもよく、例えば導電性接着剤２の
主成分がハンダ等の低融点の金属あるいは合金等であっ
てもよく、また、導電性接着剤２は例えばＳｉＯ□やＩ
ＴＯ（ＩｎｚＯｓ　、　　Ｓ　ｎ（）、　）等の金属酸
化物の粒子を含むようなものであってもよい。
また、さらには上記導電性樹脂２としては、エポキシ系
樹脂の他に、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリビ
ニル系樹脂、ポリウレタン系樹脂等があり、これらを用
いるようにしてもよい。
また、上記実施例では金属体３としては断面が円形のφ
５０μｍ径の銅ワイヤを用いた場合について示したが、
これは他のものであってもよく、例えば、断面が矩形等
の非円形の断面を有する金属体であってもよい。
第５図に断面形状が矩形で表面に平坦部を有する金属体
を示す、このような金属体を用いた場合には、光発電素
子１の電極形成面４上に接着する際に、接触面積を上記
実施例の円形断面の場合に比べて大きくとれる利点があ
る。また、さらに、第６図に示すように金属体３の断面
を凹型形状にした場合には凹部に導電性の接着剤２を仕
込むことができるため、金属体３を光発電素子１の電極
形成面４に接着した際に生じやすい余分な導電性接着剤
２のはみ出しを防止できるという利点がある。
また、金属体３の材質は必ずしも銅である必要はなく、
他の金属あるいは銅を主成分とする合金であってもよい
。
さらには、金属体３の表面の一部あるいは全部に、金属
あるいは合金のメツキを施し、導電性接着剤２との付着
性を改善するようにしてもよい。
次にこの発明の電極の形成方法を図について説明する。
第３図（ａｌ、　（ｂｌはこの発明における光発電素子
の電極の形成方法の一実施例を示す図であり、図におい
て、第１図と同一符号は同一部分を示す。
まず、予め適当な厚さに引き延ばされた導電性接着剤２
に直径５０μｍφの円形断面を有する銅ワイヤからなる
金属体３を接着させることにより金属体３の表面の少な
くとも一部に導電性接着剤２を適量付着させる（第３図
Ｔａ１）。
その後、前記導電性接着剤２が付着した金属体３を光発
電素子１の電極形成面４に接着し、さらに、このままの
状態を保持しながら高温雰囲気中に晒して加熱し、導電
性接着剤２を固化させて金属体３を光発電素子１の電極
形成面４に固定し、本電極構造を形成する（第３図（ｂ
ｌ）。
このような上記実施例の形成方法によれば、電極の形成
に上述のような転写法を用いるようにしたので、金属体
３を光発電素子１の電極形成面４に接着する際に接着剤
のはみ出しを最小限に低減できる。即ち、第９図は本発
明の電極の形成方法による電極の接着状況を示したもの
であり、また、第１３図は転写法を用いないで電極形成
面４上に金属体３を接着した場合の電極の接着状況を示
したものである。両図において、第３図と同一符号は同
一部分を示し、３０は導電性接着剤２のはみ出し部であ
る。第９図と第１３図を比較して判るように、本発明の
転写法を用いた電極形成方法によれば、接着剤のはみ出
しが全くないのに対し、転写法を用いない場合には５０
μｍφの銅ワイヤ３の両側に接着剤のはみ出した部分３
０ができてしまい、電極の占有面積が転写法による場合
に比べてかなり大きくなっている。
このように本発明の電極の形成方法では、転写法を用い
るようにしたので、転写法を用いない場合と比較して電
極の占有面積を１／３程度に低減でき、有効面積をさら
に増大することができる。
なお、上記実施例では先に金属体３表面に導電性接着剤
２を付着させ、次にこれを光発電素子１の電極形成面４
上に接着し固定した場合について示したが、これは先に
光発電素子１の電極形成面４上に導電性接着剤２を付着
させるようにしてもよく、さらには金属体３の表面、光
発電素子１の電極形成面４の双方に導電性接着剤を付着
させるようにしてもよい。
またさらには、光発電素子１の電極形成面４上の金属体
３が固定される位置の全部あるいは一部に予め導電性接
着剤２を付着させ、これを固化した後、新たに導電性接
着剤２を用いて上記の形成方法に従って金属体３を接着
固定するようにしてもよい。
この場合には、電極の占有面積が上記実施例の場合に比
べて大きくならないように、例えば金属体３よりも細い
金属線を用いて電極形成面４上に導電性接着剤を付着さ
せ、これを固化したのち、上記実施例の方法によりこの
上に金属体３を設けるようにするとよい。
また、上記実施例では導電性接着剤２として熱硬化性樹
脂を用いたため、加熱によってこれを固化せしめたが、
固化の手段は用いる導電性接着剤の特性によってこれ以
外の手段であってもよい。
さらに加熱の方法としては高温雰囲気に晒して加熱する
場合について示したが、これは他の方法であってもよ（
、例えば金属体３に電流を通じ、これによる発熱を利用
しても同等の効果を奏する。
次にこの発明の電極の製造装置を図について説明する。
第７図はこの発明における電極の製造装置の概略図であ
り、図において、６は金属体３を供給するボビン、７は
プーリー、８は金属体３を固定するクランパ、９は金属
体３の張力調整機構、１０は支持枠、１１は導電性接着
剤塗布台、１２は光発電素子の固定台である。
次に、この製造装置の動作について説明する。
金属体３はボビン６より必要な長さが引き出され、プー
リー７を介してクランパ８ではさんで固定される０本実
施例では４本の金属体３が同時に引き出されて固定され
ている。金属体３の一部を張力調整機構９により押さえ
、金属体３が直線状になるように適度な張力が与えられ
る。ブー１Ｊ−７やクランパ８、張力調整機構９等は支
持枠１０に組み込まれている０次に予め導電性接着剤塗
布台１１上に所定のパターン従って適当な厚さに塗布さ
れた導電性接着剤２に、支持枠１０によって保持された
金属体３を接触させ、金属体３の接触した表面に導電性
接着１ｆ１２を付着せしめる。続いて、支持枠１０を光
発電素子の固定台１２上に移動して位置合わせを行い、
導電性接着剤２の付着した金属体３を光発電素子１の電
極形成面４に圧着する。さらにこの状態を保持したまま
加熱機構（図示せず）によりこれを高温雰囲気に晒して
加熱し、導電性接着剤２を固化せしめ、金属体３を光発
電素子１の電極形成面４上に固定する。その後切断機構
（図示せず）により金属体３を適当な長さに切断し、光
発電素子１を支持枠１０より切り離すことで電極の形成
を完了する。
このようにして製造された電極構造を有する光発電素子
を用いた太陽電池モジュールは、屋外での１ＪｉＩｎ試
験において、約４５０日後には剥がれなどの異常は発生
していない、また８５°Ｃとマイナス４０℃の間の温度
サイクル試験においても５０サイクルで、剥がれやクラ
ックなどの異常がないこと、通電不良の生じないことを
確認している。
この結果は導電性接着剤２で固定された集電極が十分に
実用性のあるものであることを示している。
なお、上記実施例に示した電極の製造装置においては、
支持枠１０に設けられたクランパ８、プーリー７、張力
調整機構９により、ボビン６から引き出された金属体３
を保持する場合について示したが、これは金属体３を保
持する機構であれば他の構造からなるものであってもよ
い。
また、上記実施例では金属体を同時に４本処理する場合
について示したが、これは当然ながら光発電素子１の発
生する電流に応じてその数は変えてもよい。
また、上記実施例では金属体３に導電性接着剤２を付着
せしめる方法として、導電性接着剤塗布台１１上に予め
適当な厚さに塗布された導電性接着剤２に金属体３を接
触させる場合について示したが、これは他の方法により
金属体３に導電性接着剤２を付着させるようにしてもよ
く、この場合においても上記実施例と同等の効果を奏す
る。
また、実際の製造プロセスにおいて、第７図の電極の製
造装置をシステム化したものを第８図に示す。
図において、第７図と同一符号は同一部分を示し、１３
は太陽電池１４を太陽電池ホルダ１６に順次供給する太
陽電池供給機構、１５ａ、１５ｂ。
１５ｃは加熱機構、１７はホルダ台座、１８は金属体３
を切断する切断機構である。
金属体３はボビン６から引き出され、プーリー７とクラ
ンパ８との間に張り渡される。図の場合は４本が同時に
処理される場合について示している。張力調整機構９は
、加熱等による金属体３の伸びを吸収し、金属体に一定
の張力を与え、直線状の形状を維持する機能を持つ、金
属体３はクランパ８の移動に伴い、断続的にボビン６か
ら引き出される。ボビン６から引き出された金属体３に
先ず、その下部より表面に導電性接着剤２が塗布された
テーブル（導電性接着剤塗布台１１）が接触し、金属体
３の下部表面に導電性接着剤２を一定量付着させる。テ
ーブル１１は金属体３に一回接触し、導電性接着剤が転
写されるたびに一定角度回転し、常に新たな部分が金属
体３に接触するようにする。太陽電池１４は太陽電池供
給機構１３から連続的に供給される。太陽電池ホルダ１
６はホルダ台座１７に支持され、太陽電池ホルダ１６内
に太陽電池１４が供給され、金属体３の導電性接着剤２
が付着した部分がこの上部に移動すると、ホルダ台座１
７が上昇し、太陽電池１４の電極形成面１４を金属体３
に接触させる。太陽電池ホルダ１６には太陽電池１４の
位置決めを行なうための爪が設けられている。太陽電池
１４と金属体３の接触が行なわれるとその状態を保持し
たまま金属体３の移動に伴い太陽電池ホルダ１６を移動
させ、太陽電池ホルダ１６をホルダ台座１７からホルダ
搬送機構（図示せず）上に移す。次に加熱機構１５ａに
より金属体３を太陽電池１４の電極形成面４に上から圧
接するとともに加熱する。
さらに別の加熱機構１５ｂにより下部からも太陽電池１
４を加熱する。太陽電池ホルダ１６が金属体３の移動に
伴い、ホルダ搬送機構により搬送されるとともに、上部
の加熱機構１５ａも移動し、導電性接着剤２が固化する
まで圧接した状態を維持しつつ移動する。導電性接着剤
２が固化すると、金属体３を既に保持しているクランパ
８とは別の一組のクランパ（図示せず）で太陽電池ホル
ダ１６の手前（張力調整機構９側）の金属体３を挟み、
切断機構１８によりクランパ８の太陽電池ホルダ１６側
の金属体３を切断して切り離す、その後、太陽電池ホル
ダエ６から太陽電池１４を取り出す。
太陽電池ホルダエ６はホルダ台座１７に戻される。
金属体３を切断した時点で金属体３に張力を与えるのは
切断機構１８の手前側（張力調整機構９側）で金属体３
を保持しているクランパとなる。それまで金属体３を保
持していたもう一組のクランパ８には張力はかからない
のでこちらの方は金属体３を解放する。金属体３を引き
出して移動させるのは２組のクランパが別々に１旦当す
る。
以上のように上記実施例の製造装置によれば、本発明の
電極構造を複数個の光発電素子の電極形成面上に連続的
に形成できるように構成したので、本発明による電極構
造を容易にかつ迅速に形成することができる。
なお、上記実施例では一枚、−枚の太陽電池を切り離す
ようにしたが、これは複数枚まとめるようにしてもよい
。
また、上記実施例では導電性接着剤２を固化させてから
金属体３を切断するようにしたが、切断して切り離して
から固化するようにしてもよく、この場合においては、
固化に要する時間によらず、金属体を引き延ばす長さを
決定できる利点がある。
ｒ発明の効果〕 以上のようにこの発明によれば、光発電素子の電極形成
面に導電性接着剤を用いて線状の金属体を接着し固定す
るようにしたので、幅が従来より小さく、断面積が大き
い電極を形成でき、これにより電極での電力損失を減少
できるとともに素子の有効面積を拡大できる効果がある
。また、木発明の電極は、金属体の表面の少なくとも一
部および光発電素子の電極形成面の少なくとも一部のう
ち少なくとも一方に導電性接着剤を適量付着し、金属体
を光発電素子の電極形成面上の所定の位置に接着し固定
する転写法で形成するようにしたので、導電性接着剤の
はみ出しを抑え、電極の占有面積を最小限に低減でき、
有効面積のさらなる増大を図ることができる。また、本
電掻の製造装置は、金属体を所定の形状に配置、固定し
、導電性接着剤を金属体あるいは光発電素子の電極形成
面上の所定の位置に付着させ、金属体を光発電素子の電
極形成面に接着させるような機構を有するように構成し
たので、本発明による電極構造を複数個の光発電素子の
電極形成面に連続的に形成することができ、本発明によ
る電極構造を容易に得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例による光発電素子の電極構
造の概略を示す平面図、第２図は第１図の■−■断面を
示す図、第３図（ａ）、　Ｃｂ）はこの発明の一実施例
による光発電素子の電極の形成方法の各主要工程を示す
概略図、第４図はこの発明の一実施例による電極構造を
設けた光発電素子の外観を示す図、第５図及び第６図は
ともにこの発明の他の実施例による光発電素子の電極構
造の断面を示す図、第７図はこの発明の一実施例による
光発電素子の電極の製造装置を示す概略図、第８図は第
７図の製造装置をシステム化した図、第９図は本発明の
一実施例による光発電素子の電極の形成方法により形成
された電極を示す平面図、第１０図、第１１図はともに
従来の光発電素子の電極の形成方法を示した図、第１２
図は従来の光発電素子の電極構造の概略を示す平面図、
第１３図は本発明の電極構造を転写法を用いないで形成
した場合の電極を示す平面図である。 図中、ｌ・・・光発電素子、２・・・導電性接着剤、３
・・・金属体、４・・・光発電素子ｌの電極形成面、５
・・・集電電極、６・・・ボビン、７・・・プーリー、
８・・・クランパ、９・・・張力調整機構、工０・・・
支持枠、１１・・・導電性樹脂塗布台、１２・・・光発
電素子固定台、１３・・・太陽電池供給機構、１４・・
・太陽電池、１５ａ。 １５ｂ、１５ｃ・・・加熱機構、１６・・・太陽電池ホ
ルダ、１７・・・ホルダ台座、１８・・・切断機構なお
図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 ｓ　１　図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）光発電素子の電極形成面上に、線状の金属体を導
    電性接着剤を介して固定したことを特徴とする光発電素
    子の電極構造。
  2. （２）光発電素子の電極形成面上に導電性接着剤を介し
    て線状の金属体を固定してなる光発電素子の電極の形成
    方法において、 上記形成方法は、 前記金属体の表面の少なくとも一部および前記光発電素
    子の電極形成面の少なくとも一部のうち少なくとも一方
    に、前記導電性接着剤を適量付着せしめる工程と、 前記金属体を前記光発電素子の電極形成面上の所定の位
    置に接着する工程と、 前記導電性接着剤を固化せしめ、前記金属体を前記光発
    電素子の電極形成面上の所定の位置に固定する工程とを
    含むことを特徴とする光発電素子の電極の形成方法。
  3. （３）光発電素子の電極形成面上に導電性接着剤を介し
    て線状の金属体を固定してなる光発電素子の電極の製造
    装置において、 同時に少なくとも一個の前記金属体を保持する機構と、 前記金属体の表面の少なくとも一部および前記光発電素
    子の電極形成面の少なくとも一部のうち少なくとも一方
    に前記導電性接着剤を適量付着せしめる機構と、 前記金属体を前記光発電素子の電極形成面上の所定の位
    置に接着する機構と、 前記導電性接着剤を固化せしめ前記金属体を前記光発電
    素子の電極形成面上の所定の位置に固定する機構とを備
    えたことを特徴とする光発電素子の電極の製造装置。
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