JPH0359611A - 電磁放射スイッチング装置及びそれを用いた通信システム - Google Patents

電磁放射スイッチング装置及びそれを用いた通信システム

Info

Publication number
JPH0359611A
JPH0359611A JP2190940A JP19094090A JPH0359611A JP H0359611 A JPH0359611 A JP H0359611A JP 2190940 A JP2190940 A JP 2190940A JP 19094090 A JP19094090 A JP 19094090A JP H0359611 A JPH0359611 A JP H0359611A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
port
deflection element
mirror
grooves
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2190940A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2594377B2 (ja
Inventor
Greg E Blonder
グレッグ　イー．ブロンダー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AT&T Corp
Original Assignee
American Telephone and Telegraph Co Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by American Telephone and Telegraph Co Inc filed Critical American Telephone and Telegraph Co Inc
Publication of JPH0359611A publication Critical patent/JPH0359611A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2594377B2 publication Critical patent/JP2594377B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/351—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
    • G02B6/3524—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being refractive
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/32—Optical coupling means having lens focusing means positioned between opposed fibre ends
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/351—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
    • G02B6/3512—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror
    • G02B6/3514—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror the reflective optical element moving along a line so as to translate into and out of the beam path, i.e. across the beam path
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/351—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
    • G02B6/3524—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being refractive
    • G02B6/3528—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being refractive the optical element being a prism
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/354—Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
    • G02B6/3562—Switch of the bypass type, i.e. enabling a change of path in a network, e.g. to bypass a failed element in the network
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/36—Mechanical coupling means
    • G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
    • G02B6/3648—Supporting carriers of a microbench type, i.e. with micromachined additional mechanical structures
    • G02B6/3652—Supporting carriers of a microbench type, i.e. with micromachined additional mechanical structures the additional structures being prepositioning mounting areas, allowing only movement in one dimension, e.g. grooves, trenches or vias in the microbench surface, i.e. self aligning supporting carriers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/36—Mechanical coupling means
    • G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
    • G02B6/3684—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
    • G02B6/3692—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier with surface micromachining involving etching, e.g. wet or dry etching steps
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/36—Mechanical coupling means
    • G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
    • G02B6/3684—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
    • G02B6/3696—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier by moulding, e.g. injection moulding, casting, embossing, stamping, stenciling, printing, or with metallic mould insert manufacturing using LIGA or MIGA techniques

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)
  • Variable-Direction Aerials And Aerial Arrays (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、電磁放射のビームをスイッチングする分野に
係り、特に、一つの光ポートの出力を、選択的に一対の
他の光ポートのいずれかヘスイッチングする光ビーム・
スイッチング装置及びそれを用いた通信システムに関す
る。ここで各ポートは、通常、光ファイバ（光導波管）
の出口端又は人口端のいず熟かである。
［従来技術］ 電磁放射信号ビームを用いる遠距離通信又は他のシステ
ムにおいては、入力光ポートに到達した電磁放射ビーム
を、選択的に一対の出力ポートのいずれかの一つへスイ
ッチングすることが望まれている。それは、例えば、入
力光ファイバの出力端に到達した光信号ビームを、何時
でも、スイッチング制御信号に基づいて、一対の出口光
ファイバのいずれか一つへ選択的にスイッチすることで
ある。更に詳しく述べれば、遠距離通信スイッチング・
システムにおいて光通信経路を変更したい場合が往々に
しである。即ち、所定の入力ファイバ（１）から第１出
力光フアイバ（Ａ）へ送られる第１経路である光経路（
ＩＡ）を、入力ファイバ（１）から第２出力光フアイバ
（Ｂ）へ送る第２経路（ＩＢ）へスイッチし、又、ｔＪ
２経路から第１経路へ戻すスイッチングが望まれている
。
他の例では、ローカル・エリア・ネットワーク（ＬＡＮ
）は、通常、主コンピユータ・ステーション（Ｍ）と、
ループ状に配置された光ファイバで構成される光フアイ
バＬＡＮループ（リング）、及びファイバの接合点に配
置された局所ステーション（Ｘ、Ｙ、Ｚ・・・）を有し
ている。各局所ステーションは、通常、個々の局所パー
ソナル・コンピュータ、又はそれに類するものを有して
いる。
光スイツチング装置は、故障した局所ステーションをバ
イパスしたり、又はループ自身に故障が発生した場合に
全局所ステーションをバイパスするために必要とされて
いる。
従来の技術は、０ｐｔ１ｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ、Ｖｏｌ
、４．Ｎｏ、１．ｐｐ２７−２８　（１９７９）に発表
されたＭ、Ｎｕｎｏｓｈｉｔａ　ｅｔ　ａｔが述べられ
ている光スイツチング装置が代表的なものである。その
論文では、上記目的のための光スィッチは、光経路をス
イッチするための可動レンズを用いている。しかし、そ
のようなスイッチは、主に比較的重い部品を相当高速で
動かす必要があるため、ぎこちなく、かつ高価なものと
なっている。又、このようなスイッチに必要な従来の機
械加工の部品は、光ファイバと接続して用いるためには
、光学的調整上、十分な精度を欠いており、そのため各
スイッチを作る時に、望ましくない、高価で、時間のか
かる調整作業を必要としている。
更に、機械的、熱的特性にバラツキのある部品に起こる
劣化現象のために、長期間の安定性や信頼性に問題を含
んでいる。又、これらのスイッチは、−時的にアクセス
のない（オフ・ライン’）ＬＡＮの局部ステーションで
、局部光源と接続して、必要な自己テスト操作をするこ
とができず、仮にできたとしても余分な複雑性が追加さ
れる。例えば、５ｌｅｃｏｒ　Ｃｏｒｐ、、Ｒｅ５ｅｒ
ｃｈ　Ｔｒｉａｎｇｌｅ　Ｐａｒｋ、ＮＣ２７７０９発
行のＥｌａｃｔｒｏ−Ｏｐｔｉｃｓ、Ａｐｐｌｉｃａｔ
ｉｏｎ　Ｎｏｔｅ　１０２．ＰＩｇｕｒｅ　４に述べら
れているように、複雑な余分なファイバを追加しなけれ
ばならない。更に、この８１ｅｅＯｒの刊行物に述べら
れているスイッチは、機械的に停止することが必要なた
め、使用中に磨耗が生じ易く、それが光部品にスイッチ
ング直後のその方向の望ましくないビームのジッタのよ
うな振動を与える原因となる。
従って、本発明は従来技術の上記欠点を解決した光信号
スイッチング装置、更に一般的には電磁信号スイッチン
グ装置を提供することを目的としている。
［発明の概要］ 前記欠点を解決するために本発明の電磁放射スイッチン
グ装置は、 （ａ）平らな偏向面を有する放射偏向 要素（例えば、第２図のＭ、第１１図のＲ３）と、（ｂ
）平らな偏向面が、第１＃ｒ４域から第２領域へ、及び
第２領域から第１領域へ、それ自身と平行に動くことが
できるように、偏向要素を動かすための駆動手段（例：
第４図のＧ）と、（ｃ）偏向要素が第１領域にある時、 第１ポート（Ｐ１）のスイッチング部に到着した放射信
号ビームが、第２位置の箇所を通過して伝搬して、第２
ポート（Ｐ２）に入り、さらに偏向要素が駆動手段によ
って動かされて第２領域にある時、第１ポート（Ｐ１）
に到着した信号ビームが、偏向要素の平らな表面により
第３ポート（Ｆ３）へ偏向されるように、夫々が配置さ
れている第１、第２、及び第３放射ポート（例えば、第
１図のＰｌ、Ｆ２、Ｆ３）と、 （ｄ）平らな主表面（例えば、第３図 のＰＳ）と、その主表面に、第１、第２、第３ポートの
夫々の位置を決める第１、第２、第３導波管を配置する
溝（例えば、第３図のＦＲＩ、ＦＲ２、ＦＲ３）と、°
その主表面に、第１、第２、第３ポートの位置と関係し
て偏向要素を位置決めする一対の偏向要素位置決め用溝
（例えば、第３図の５ＢＲ１、ＳＢＲ２）を有する基板
（例えば、第３図のＳ）と、 を備えたことを特徴としている。
通常、各ポートは、ミリメータ導波管である先導波管（
ファイバ）のような導波管の端部を有している。
本発明の実施例においては、放射は光であり、偏向要素
は鏡であり、各ポートは光ファイバの各端部である。鏡
は一対の満を持つホルダ（ヘッダ）に保持されている。
この一対の溝は、鏡を位置決めするため、シリコン基板
にリトグラフされた他の一対の溝と同位置にある。一対
のボールベアリングの各々は、同位置の満の対の夫々に
嵌められている。ファイバは、光フアイバ配列用の細長
い満の夫々に光ファイバを収納することにより、相互に
、鏡に対し正しい関係位置を保つ。これらのすべての溝
は、ボールベアリングを嵌める溝と同時に、シリコン基
板にリトグラフされる。この様にして、′シリコン・ワ
ークベンチ”技術の望ましい精密配列が達成される。又
、鏡の平らな反射面は、ボールベアリングによりそれ自
身と平行に動くように拘束されるので、スイッチング動
作中の鏡の停止時、たとえそれが急停止であっても、光
ビームのジッタは防止されるので効果的である。
このスイッチング装置は、ＬＡＮの光ファイバ・ループ
に適したスイッチング装置にも適用できる。特に、この
上述の装置に対しては、基板中のもう一つの細長い溝に
入れられた第４の光ファイバを形成することにより、第
４ポートが追加される。同時に、局所光源を局所ステー
ションに設けると共に、局所光源からの第２光信号ビー
ムをこの第４ファイバ部分へ送る位置に配置し、さらに
光検出器を局所ステーションに設けて、それを第３ファ
イバ部分に入ってそこから伝搬した後の光ビームを受け
る位置に配置する。この方法では、第１ポートに到着し
た光ビームはＬＡＮループからせきとめられ、第４ポー
トに到着した第２光ビームは局所光源からせきとめられ
、さらに局所ステーションの偏向要素が第１領域（オフ
・ライン）にある時、第３と第４ファイバ部分をオフセ
ットすることにより、望ましい僅かな有効光強度で、局
所ステーションにおける自己テスト操作を特徴とする特
徴を備えた光スイツチング装置を上述のようにＬＡＮの
中で用いることができる。
［実施例の説明］ 第１図、第２図に示すように、３ポート（１人力、２出
力）光スイツチング装置１０（第１図）又は２０（第２
図）は、ｍＭを有し、この鏡Ｍは光経路外（第１図）又
は光経路内（第２図）のいずれかに位置している。双方
の場合（第１図及び第２図）において、スイッチング装
置１０，２０は、第１、第２、第３の光ポートＰ１、Ｆ
２、Ｆ３を有し、これらの第１、第２、第３の光ポート
Ｐ１、Ｆ２、Ｆ３は、第１、第２、第３の光フアイバ部
分Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３の夫々の隣接した端部で構成されて
いる。スイッチング装置１０．２０は更に、第１、第２
、第３のレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３を有し、これらのレン
ズＬ１、Ｌ２、Ｌ３は、第１フアイバＦ１から放射する
夫々の光線を平行にして、第２フアイバＦ２（１１図）
に入れ、又は第３フアイバＦ３（第２図）に入れる。光
線の光放射は光Ｆｉ、Ｌにより供給され、利用手段Ｕ１
（第１図）又はＵ２（第２図）に集められる。鏡Ｍ（第
２図）は前部反射面ＭＳＩ及びそれと平行な後部反対面
ＭＳ２を有する。
スイッチング装置１０．２０は、光スイツチング装置３
０（第３図）を形成するため、シリコン・ワークベンチ
技術の組立体の中に集積されることができる。ここで、
第１図、第２図と同じ部品には同じ記号が付しである。
シリコン基板Ｓの主表面ＰＳ上には、その中に鏡Ｍが適
合する焼用＃ＭＲを含む基板Ｓに切り込まれた複数の凹
所（へこみ、又は溝）がある。基板Ｓに切り込まれたそ
の他の溝は、第１、第２、第３フアイバ用湾ＦＲＩ、Ｆ
Ｒ２、ＦＲ３、第１、第２、第３レンズ用溝ＬＲＩ、Ｌ
Ｒ２、ＬＲ３，１対の同一のボールベアリングＢ１、Ｂ
２を受は入れて、その場所に保持する第１、第２ボール
用溝５ＢＲ１、ＳＢＲ２である。鏡Ｍは、シリコン・ヘ
ッダー（ホルダー）Ｈに集積されている。このヘッダー
は、１対の鏡ボールベアリング用溝ＭＢＲＩ、ＭＢＲ２
を持ち、それらは、ボールベアリングＢ１、Ｂ２を受入
れて保持する１対の同じ基板ボールベアリング用溝５Ｂ
Ｒ１、ＳＢＲ２と同じ位置にある。鏡面の擦れを防止す
るため、即ち鏡が溝から出し入れされるとき、溝ＭＲの
側面に鏡反射面が触れることを防止するため、焼用溝は
十分広く作られている。焼用溝ＭＲとポールベアリング
用満５ＢＲ１、ＳＢＲ２、ＭＢＲＩ、ＭＢＲ２は、鏡面
ＭＳＩ、レンズＬ１、Ｂ２、Ｂ３、ファイバ部分Ｆ１、
Ｆ２、Ｆ３が望ましい相互配置になるように、配置され
る。
第４図は、ヘッダＨと基板Ｓの第３図の４−４線に沿う
部分断面図である。第４図の前部ヘッダ断面ＦＨ３は、
通常ヘッダＨを構成する単結晶シリコン体の＜１１０＞
面であり、鏡Ｍは、既知のリトグラフ◆マスキングと異
方性エツチングで形成され、同じシリコン体に集積され
た部分である。
基板Ｓの前面ＦＳＳ断面は、通常、基板Ｓを構成する単
結晶シリコン体の＜１００＞面である。
ヘッダＨは、ボールベアリングＢ１、Ｂ２の中心を結ん
だ軸の回りを回転運動することができる。
従って鏡Ｍの面ＭＳＩ（及びＭＳ２）は、それ自身と平
行に動くように拘束されており、横方向の動きはない。
このようにして、鏡Ｍ（第３図及び第４図）の右端は、
ボールベアリングＢ１、Ｂ２を通る前記軸の左側のヘッ
ダＨ上の点（又は領域）に加えられる適当な力Ｇ（又は
力の分布）に応じて、焼用溝ＭＲに円滑に出入りするこ
とができる。
この力Ｇは、所望のスイッチングに適した時間の関数に
従って加えられる。この力Ｇは、第４図に示されるよう
に下方に向かっている時は、反時計方向のトルクを生じ
させ、それによって鏡Ｍ（光線の入射するところにある
）の関連部分は、スイッチング装置１０，２０の光経路
外に動かされる。
Ｇが上向き（図示せず）のときは、この力Ｇは時計方向
のトルクを生じさせ、鏡Ｍを光経路の中に入れる。この
ようにして、スイッチング動作の間、Ｇの方向はスイッ
チング装置１０対２０（第１図対第２図）の条件を作る
ためのｆｉＭの動きを決める。
鏡Ｍは、ファイバＦ１、Ｆ２、Ｆ３によって決められる
場所と直角方向に動くように拘束している同一の溝５Ｂ
Ｒ１、ＳＢＲ２内に固定されている同一のボールベアリ
ングＢｌ、Ｂ２によって配置が完全に決められているの
で、ｆｉＭの上下方向のジッタリング（ランダム的な）
運動は、この光装置を損傷することはない。この様な方
法で、有害な横方向相対運動は、溝５ＢＲ１、ＳＢＲ２
中のボールベアリングＢｌ、Ｂ２の剛性によって拘束さ
れるため、基板と鏡開の相対運動となる機械的振動は、
光伝送に悪影響を及ぼすことはない。
レンズＬ１、Ｂ２、Ｂ３は、通常、サファイア（ｎ＝１
．７）　、又は高屈折率指数（約１．７から１．９）の
ガラスでできている。ボールベアリングＢ１、Ｂ２はレ
ンズと同じ材料でできている。
第５図は、ＬＡＮでの使用に適した４ポート（２人力、
２出力）光スイツチング装置５０の組立を示している。
この装置５０は、前記の光スイツチング装置３０に、フ
ァイバ用ｍ　Ｆ　Ｒ４に入れられるファイバ部分Ｆ４で
形成される第４のポート、及びそれに伴うレンズ用溝Ｌ
Ｒ４に入るレンズＬ４、ｆｉＭの第１の面ＭＳＩに平行
な第２の鏡面ＭＳ２が追加されたものと見ることができ
る。
第６図は、鏡Ｍが光経路外にある時（オフ・ライン、バ
イパス・モード）の装置５０の平面図を示している。第
６図に示すように、鏡Ｍが光経路外の一位置にある時は
、第１光ファイバ部分Ｆ１から出る光放射はスイッチン
グ装置６０の第２フアイバＦ２に入る。同時に、別の光
源（図示せず）から第４ファイバ部分Ｆ４中を伝搬する
光ビームは、ファイバ部分Ｆ３に入るが、ファイバ部分
Ｆ３のファイバ部分Ｆ４に対する意図的に選択されたオ
フセット距離ｄ（レンズＬ３とＬ４も同じオフセットで
ある）のため、光強度は減衰する（点線で示す）。ファ
イバ部分Ｆ３に入るこの減衰ビームは、自己テスト操作
に有用である。ファイバ部分Ｆ４から来る（過剰な）光
を吸収するため、即ち、ファイバ部分Ｆ３に入らない光
を吸収するため、必要に応じアブソーバＡを追加するこ
とができる。
第７図は、鏡が光ビームの経路中にある時（活性モード
）のスイッチング装置５０（第５図）の平面図である。
第７図に示されるように、鏡Ｍが、光経路中に動かされ
たときは、ファイバ部分Ｆ１から出る光ビームはスイッ
チング装置７０の中に入り、そこで鏡Ｍの第１面ＭＳＩ
で反射され、第３ファイバ部分Ｆ３に向かう。同時に、
ファイバ部分Ｆ４から出る光は、ｍＭの第２表面ＭＳ２
で反射され、ファイバ部分Ｆ２に入る。もし装置６０が
正しく配置されていれば、ｖｌＭの厚さ（前面と後面間
の距離）をｄ／Ｊ２　（＝ａ　ｃ　ｏ　ｓ　４５°）と
等しく作ることによって、装置７０も正しく配置される
。特に、第６図おいて、Ｆｌから出るビームのほぼ全て
がＦ２に入り、Ｆ４から出るビームの断面の一部のみが
Ｆ３に入る。第７図おいては、Ｆｌから出るビームのほ
ぼ全てがＦ３に入り、Ｆ４から出るビームのほぼ全てが
Ｆ２に入る。
第８，９図は、オフセットを回避するためのレンズとフ
ァイバの組み合わせを示す別の実施例である。同図にお
いて、ファバＦｌ、　　Ｆ２．　　Ｆ３゜Ｆ４は、第６
−７図と同等に機能するが、鏡Ｍの同一側面（前面）配
置されている。鏡Ｍの他の側面（背面）には、補助のフ
ァイバＡＦ１、ＡＦ２゜ＡＦ３が、補助のレンズＡＬＩ
、ＡＬ２．ＡＬ３と共に、ファバＦｌ、Ｆ２．Ｆ３と整
合して配置される（第９図）。３個のレンズＬｌ、　　
Ｌ２．　　Ｌ３のみが必要である。レンズＬ１は、２本
の直交ビームを同時に通過させる。補助ファイバＡＰＩ
は、補助ファイバＡＦ３に接続ファイバＣＦＩによりそ
の端部間で接続されている。同様に、補助ファイバＡＦ
２は、補助ファイバＡＦ４に接続ファイバＣＦ２により
その端部間で接続されている。
かくして、鏡Ｍが、光ビームの通路内に配置されると（
第８図）、バイパス（オフライン）モードが得られる。
特に、ファイバＦ１から出た光は、Ｌｌを通り、鏡Ｍに
反射され、Ｌ２を通り、ファイバＦ２に入る。そして、
ファイバＦ４から出た光は、Ｌｌを通り、鏡Ｍに反射さ
れ、Ｌ３を通り、ファイバＦ３に入る。ｆｉＭが、光ビ
ームの通路外に配置されると（第９図）、活性（オンラ
イン）モードが得られる。Ｆｌから出た光は、Ｌｌ、Ａ
Ｌ１、ＡＦＩ、ＣＦｌ、ＡＦ３．Ａｌ１．Ｌ３を介して
Ｆ３に入る。Ｆ４から出た光は、Ｌｌ、Ａｌ１．ＡＦ４
．ＣＦ２．ＡＦ２．Ａｌ１．Ｌ２を介してＦ３に入る。
第８．９図のファイバとレンズの配置は、基板Ｓ（第５
図）の凹みでシリコンワークベンチ技術で規定され、鏡
Ｍの配置は、凹みに配置されたボールベアリング（第８
，９図には図示せず）により規定される（第５図の鏡の
配置と同様である）。
また、第８．９図では、ファイバＦ２とＦ３と及びレン
ズＬ２とＬ３は交換可能である。この場合、活性（オン
ライン）モードは、第８図の構成で得られ、バイパス（
オフライン）モードは、第９図の構成で得られる。
反射鏡の代わりに、光屈折要素（例えば平行屈折板Ｒ３
）を使うこともできる。即ち、光屈折媒体で構成された
平行板を第１０図及び第１１図（ファイバＦ１、Ｆ２、
Ｆ３は図示せず）に示す３ポートの形態、及び第１２図
及び第１３図（ファイバＦ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４は図示
せず）に示す４ポートの形態で使うことができる。光フ
ァイバ（第１０図及び第１１図、第１２図及び第１３図
では図示せず）は、第３図、第５図で示されたように配
置されており、又、接続ファイバＣＦは、ＡＬｌの光出
力をＡｌ１の人力ポートへ結合している。特に、屈折数
（第１０図及び第１１図）ＲＳは、それが、ボールベア
リングＢ１、Ｂ２の溝によって拘束されて、光経路中に
入ったときは、先ビームを異なるレンズへ、例えば、レ
ンズＬ２（第１０図）の代わりにＬ３（第１１図）へ、
十分な量を送るように屈折する厚さと屈折率に設計され
ている。屈折板ＲＳの前面と後面は、共に夫々それ自身
と平行に動くように拘束されている。
第１３図におけるＡＬＩとＡＬ２は、接続ファイバＣＦ
によって結ばれた補助レンズであり、その構成（第１０
図及び第１３図）は第６図及び第７図で示したと同じ４
ポート光スイツチング装置に用いることができる。
以上、全ての実施例に関連して注意すべきことは、ｆｉ
Ｍ、又１；！、平行屈折板ＲＳ（第１１図）の位置や方
向は、溝５ＢＲＩと５ＢＲ２に嵌合されたボールベアリ
ングの位置によって決められることである。これらのボ
ールベアリングの位置が、第４図に示した力Ｇに応答し
て回転する鏡Ｍの回転軸を正確に決定する。シリコン・
ワークベンチ技術は、鏡、ボールベアリング、ファイバ
及びレンズ用の全ての溝を、信頼性あるリトグラフによ
って同時に形成し、大量生産ベースで、全てのファイバ
、レンズ及び鏡の精密相対配置を保証する。
即ち、全ての溝が、従来のリトグラフ技術の手段で位置
決めされた複数の基板を、同時に製作することが可能と
なる。同じく、屈折板Ｒ９（第１１図及び第１３図）の
位置と方向は、例えば第３図及び第５図で示したような
基板Ｓ中の溝中に嵌合されたボールベアリング（図示せ
ず）によって決定される。
本発明については、特定の実施例に関し詳細に説明した
が、本発明の範囲内で各種変形例を作ることが可能であ
る。例えば、出てくる光ビームを平行にするために、フ
ァイバの端部を平面でなく、球面ににすることにより、
レンズの省略が可能となる。また、一つのＭＭまたは屈
折板ＲＳで、３ポート（又は４ポート）の単一セットを
結合して、より多くのセットを用いることができる。即
ち、それは、各セットがＦｌ、Ｆ２、Ｆ３（及びＦ４）
と同じ働きをする３本（又は４本）のファイバの複数の
セットを含むファイバのアレイを持っている。
ファイバ部分Ｆ３、Ｆ４を距離ｄだけオフセット（レン
ズＬ３、Ｌ４も同じ）させる代わりに、オフ・ライン・
モードの間、ファイバ部分Ｆ４からファイバ部分Ｆ３へ
入る光放射の量を減らすために、鏡（の中心）をオフセ
ットすることも可能である。
長期間の安定性、信頼性、光の挿入損失を、ある程度犠
牲にすれば、ヘッダＨは、シリコン基板の溝に嵌合する
突起を有するプレス成型の金属又はモールド樹脂であっ
てもよく、その場合ボールベアリングは省略される。
光信号の代わりに、レンズ、鏡、導波路の材料を適切に
変更して、光からミリ波にわたって、他の形の電磁放射
信号を用いることもできる。
尚、特許請求の範囲に記載した参照番号は、発明の容易
なる理解のためで、その範囲を制限するよう解釈される
べきではない。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の一実施例による３ポート光スイツチ
ング装置の概略図、 第２図は、鏡が光経路中に動かされた時の第１図の実施
例を示す概略図、 第３図は、第１図及び第２図に示された実施例を含み、
シリコン・ワークベンチ技術内に集積された本発明の他
の実施例のスイッチング装置の組立図、 第４図は、第１図及び第２図に示された本発明の一実施
例（理解を容易にするため光ファイバは省略しである）
の部分断面図、 第５図は、本発明の他の実施例である、ＬＡＮでの使用
に適した４ポート光スイツチング装置の組立図、 第６図は、鏡が光経路外にある時の、第５図に示される
実施例の平面図、 第７図は、鏡が光経路中にある時の、第５図に示される
実施例の平面図、 第８図及び第９図は、本発明の更に他の実施例によ込３
ポート光スイッチング装置の部分平面図、第１０図及び
第１１図は、本発明の更に他の実施例による３ポート光
スイツチング装置の部分平面図、 第１２図及び第１３図は、本発明の更に他の実施例によ
る４ポート光スイツチング装置の部分平面図である。 出　願　人：アメリカン　テレフォン　アンドＦＩＧ、
　１ 辺 ＦＩＧ、　２ ト ＦＩＧ、　３ ＦＩＧ、　４ Ｇ ＦＩＧ、　５ ０ ＦＩＧ、　８ ＦＩＧ、　９ ＦＩＧ。 ０ ＦＩＧ。 １

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）（ａ）平らな偏向面を有する放射偏向要素（Ｍ、
    ＲＳ）と、 （ｂ）平らな偏向面が、第１領域から 第２領域へ、及び第２領域から第１領域へ、それ自身と
    平行に動くことができるように、偏向要素を動かすため
    の駆動手段（Ｇ）と、 （ｃ）偏向要素が第１領域にある時、 第１ポート（Ｐ１）のスイッチング部に到着した放射信
    号ビームが、第２位置の箇所を通過して伝搬してポート
    （Ｐ２）に入り、さらに偏向要素が駆動手段によって動
    かされて第２領域にある時、第１ポート（Ｐ１）に到着
    した信号ビームが、偏向要素の平らな表面により第３ポ
    ート（Ｐ３）へ偏向されるように、夫々が配置されてい
    る第１、第２、第３放射ポート（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）と
    、（ｄ）平らな主表面（ＰＳ）と、その 主表面に、第１、第２、及び第３ポートの夫々の位置を
    決める第１、第２、第３導波管を配置する溝（ＦＲ１、
    ＦＲ２、ＦＲ３）と、その主表面に、第１、第２、及び
    第３ポートの位置と関係して偏向要素を位置決めする一
    対の偏向要素位置決め用溝（ＳＢＲ１、ＳＢＲ２）を有
    する基板（Ｓ）と、を備えたことを特徴とする電磁放射
    スイッチング装置。
  2. （２）電磁放射は、放射信号ビームが第１光ビームであ
    る光放射であり、第１、第２、及び第３導波管配置用溝
    は、細長いファイバ配置用溝であり、第１、第２、第３
    ポートは夫々、第１、第２、第３の細長い溝に入れられ
    た第１、第２、第３光ファイバ部分を有しこれらの第１
    、第２、第３の細長い溝が、第１ファイバ部分から第２
    、第３ファイバ部分へ放射される第１光ビームの伝搬の
    ため、相互に方向づけられた第１、第２、第３の軸を夫
    々有することを特徴とする請求項１記載の装置。
  3. （３）基板中の第４導波管用の細長い溝に入れられた第
    ４ファイバ部分を含む第４光ポートを有し、この細長い
    第４導波管が、偏向要素が第１領域に位置する時、局所
    光源から供給されて第４ポートに到達した第２光信号ビ
    ームが、第２領域を通過して第３ポートに入り、さらに
    偏向要素が第２領域に動かされた時、第２光ビームが偏
    向要素で反射されて第２ポートに入るように配置された
    軸を有することを特徴とする請求項２記載の装置。
  4. （４）第３ファイバ部分に入りそこから伝搬した後の光
    ビームを受けるために配置された光検出器を有し、偏向
    要素が第１距離だけ離れた前面と後面を有する鏡であり
    、第４の溝が第３の溝に対してオフセット距離を持って
    配置され、それによって、鏡が第１領域に位置する時、
    第４ポートに到達した第２光ビームの断面の一部のみが
    第３ファイバ部分に入り、鏡が第２領域に動かされた時
    、第４ポートに到達した光ビームの断面のほぼ全てが第
    ２ファイバ部分に入ることを特徴とする請求項３記載の
    装置。
  5. （５）第１、第２、第３、第４ポート夫々に関して配置
    された夫々の箇所に設けられた第１、第２、第３、及び
    第４光レンズ夫々を有する基板の表面に、第５、第６、
    第７、第８の溝を更に有することを特徴とする請求項４
    記載の装置。
  6. （６）第１、第２、第３、第４ポート夫々に関して配置
    された夫々の箇所に設けられた第１、第２、第３、第４
    光レンズ夫々を有する基板の表面に、第５、第６、第７
    、第８の溝を更に有することを特徴とする請求項３記載
    の装置。
  7. （７）第１、第２、及び第３ポート夫々に関して配置さ
    れた夫々の箇所に設けられた第１、第２、第３光レンズ
    夫々を有する基板の表面に、第４、第５、第６の溝を更
    に有することを特徴とする請求項３記載の装置。
  8. （８）電磁放射は光放射であり、かつ、第１、第２、第
    ３ポート夫々に関して配置された夫々の箇所に設けられ
    た第１、第２、第３光レンズ夫々を有する基板の表面に
    、第４、第５、第６の溝を更に有することを特徴とする
    請求項２記載の装置。
  9. （９）第１、第２、第３ポート夫々に関して配置された
    夫々の箇所に設けられた第１、第２、第３光レンズ夫々
    を有する基板の表面に、第４、第５、第６の溝を更に有
    することを特徴とする請求項１記載の装置。
  10. （１０）鏡を駆動するための手段は、鏡前面に平行であ
    る第１方向に運動を行わせ、その第１方向は、光ビーム
    によって決められる面と直角であることを特徴とする請
    求項１記載の装置。
  11. （１１）請求項１に記載の装置を有し、更に（ａ）光放
    射を利用するための利用手段と、（ｂ）第２ポートに入
    る光ビームを集め、 それを利用手段へ伝搬するための光伝送手段と、を有す
    ることを特徴とする通信システム。
  12. （１２）請求項２に記載のスイッチング装置を有し、更
    に、第２ファイバ部分から放射される光放射をそこを伝
    搬後に利用するための利用手段を有することを特徴とす
    る通信システム。
  13. （１３）請求項４に記載のスイッチング装置を有し、更
    に、第２ファイバ部分から放射される光信号をそこを伝
    搬後に利用するための利用手段を有することを特徴とす
    る通信システム。
  14. （１４）偏向要素が鏡であることを特徴とする請求項１
    １記載のシステム。
  15. （１５）偏向要素が鏡であることを特徴とする請求項１
    ２記載のシステム。
  16. （１６）偏向要素が鏡であることを特徴とする請求項１
    ３記載のシステム。
  17. （１７）偏向要素が平行板屈折要素であることを特徴と
    する請求項１１記載のシステム。
  18. （１８）偏向要素が平行板屈折要素であることを特徴と
    する請求項１２記載のシステム。
  19. （１９）偏向要素が平行板屈折要素であることを特徴と
    する請求項１３記載のシステム。
JP2190940A 1989-07-25 1990-07-20 電磁放射スイッチング装置及びそれを用いた通信システム Expired - Lifetime JP2594377B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/385,331 US4932745A (en) 1989-07-25 1989-07-25 Radiation switching arrangement with moving deflecting element
US385331 1989-07-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0359611A true JPH0359611A (ja) 1991-03-14
JP2594377B2 JP2594377B2 (ja) 1997-03-26

Family

ID=23520973

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2190940A Expired - Lifetime JP2594377B2 (ja) 1989-07-25 1990-07-20 電磁放射スイッチング装置及びそれを用いた通信システム

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4932745A (ja)
EP (1) EP0410619B1 (ja)
JP (1) JP2594377B2 (ja)
CA (1) CA2020219C (ja)
DE (1) DE69026876T2 (ja)
HK (1) HK179696A (ja)

Families Citing this family (60)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5042889A (en) * 1990-04-09 1991-08-27 At&T Bell Laboratories Magnetic activation mechanism for an optical switch
US5181263A (en) * 1990-05-21 1993-01-19 Motorola, Inc. Wave-guide I/O for optical or electro-optical components
US5317198A (en) * 1990-06-26 1994-05-31 The Mitre Corporation Optically controlled remote by-pass switch
DE4040001C1 (ja) * 1990-12-14 1991-10-31 Ant Nachrichtentechnik Gmbh, 7150 Backnang, De
CN1035570C (zh) * 1991-04-26 1997-08-06 德克萨斯仪器股份有限公司 纵横制光切换开关
US5178723A (en) * 1991-11-04 1993-01-12 At&T Bell Laboratories Method and apparatus for making optical devices
US5361315A (en) * 1993-03-31 1994-11-01 The Whitaker Corporation Refractive element optical transmission switch
US5345521A (en) * 1993-07-12 1994-09-06 Texas Instrument Incorporated Architecture for optical switch
US6749346B1 (en) * 1995-11-07 2004-06-15 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Miniature scanning confocal microscope
US5872880A (en) * 1996-08-12 1999-02-16 Ronald S. Maynard Hybrid-optical multi-axis beam steering apparatus
US5862283A (en) * 1996-08-28 1999-01-19 Hewlett-Packard Company Mounting a planar optical component on a mounting member
WO1998045740A1 (de) * 1997-04-08 1998-10-15 Paul Scherrer Institut Vorrichtung zum verbinden von optischen elementen und verfahren zur herstellung derselben
US5940552A (en) * 1997-10-14 1999-08-17 The Whitaker Corporation Optical switch with multiple refractive elements pivoted into respective binary states
US6498870B1 (en) 1998-04-20 2002-12-24 Omm, Inc. Micromachined optomechanical switches
MXPA00012024A (es) * 1998-06-05 2003-04-14 Afn Llc Conmutador y metodo opticos de sistema planar.
US6320993B1 (en) 1998-06-05 2001-11-20 Astarte Fiber Networks, Inc. Optical switch pathway configuration using control signals
US6097858A (en) * 1998-06-05 2000-08-01 Astarte Fiber Networks, Inc. Sensing configuration for fiber optic switch control system
US6097860A (en) * 1998-06-05 2000-08-01 Astarte Fiber Networks, Inc. Compact optical matrix switch with fixed location fibers
US6101299A (en) * 1998-06-05 2000-08-08 Astarte Fiber Networks, Inc. Optical switch targeting system
US6108466A (en) * 1998-09-17 2000-08-22 Lucent Technologies Micro-machined optical switch with tapered ends
US6404942B1 (en) 1998-10-23 2002-06-11 Corning Incorporated Fluid-encapsulated MEMS optical switch
US6389189B1 (en) 1998-10-23 2002-05-14 Corning Incorporated Fluid-encapsulated MEMS optical switch
US6445840B1 (en) 1999-05-28 2002-09-03 Omm, Inc. Micromachined optical switching devices
US6453083B1 (en) 1999-05-28 2002-09-17 Anis Husain Micromachined optomechanical switching cell with parallel plate actuator and on-chip power monitoring
US6445841B1 (en) 1999-05-28 2002-09-03 Omm, Inc. Optomechanical matrix switches including collimator arrays
US6449406B1 (en) 1999-05-28 2002-09-10 Omm, Inc. Micromachined optomechanical switching devices
US6154585A (en) * 1999-06-17 2000-11-28 Jds Fitel Inc. 11/2×2 optical switch
DE19941045A1 (de) * 1999-08-28 2001-04-12 Bosch Gmbh Robert Mikroschwingvorrichtung
US6643426B1 (en) 1999-10-19 2003-11-04 Corning Incorporated Mechanically assisted release for MEMS optical switch
US6747793B1 (en) * 1999-11-15 2004-06-08 Axsun Technologies, Inc. System with integrated semiconductor optical amplifier array and switching matrix
US20020071169A1 (en) 2000-02-01 2002-06-13 Bowers John Edward Micro-electro-mechanical-system (MEMS) mirror device
FR2805092A1 (fr) * 2000-02-10 2001-08-17 Corning Inc Source laser susceptible d'etre selectionnee sous l'effet d'un mems
US6449407B1 (en) * 2000-03-03 2002-09-10 Orix Microsystems, Inc. Optical switch having equalized beam spreading in all connections
US6542656B1 (en) * 2000-04-05 2003-04-01 Jds Uniphase Corporation Add-drop optical switches including parallel fixed and movable reflectors and methods of fabricating same
US6445842B1 (en) * 2000-04-05 2002-09-03 Jds Uniphase, Inc. Microelectromechanical optical cross-connect switches including mechanical actuators and methods of operating same
US6456751B1 (en) 2000-04-13 2002-09-24 Calient Networks, Inc. Feedback stabilization of a loss optimized switch
US6842552B1 (en) 2000-04-13 2005-01-11 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide switch
US6832016B2 (en) * 2000-04-13 2004-12-14 Shipley Company, L.L.C. Fiber array switch having micromachined front face with roller balls
US6826324B2 (en) * 2000-04-13 2004-11-30 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide switch
US6798933B2 (en) * 2000-04-14 2004-09-28 Shipley Company, L.L.C. Fiber optic array switch
US6633691B2 (en) * 2000-05-02 2003-10-14 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide switch having stepped waveguide holding member
US6748131B2 (en) * 2000-05-19 2004-06-08 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide devices and methods of fabricating the same
US6768830B1 (en) * 2000-06-09 2004-07-27 Agilent Technologies, Inc. Optical add/drop switch utilizing a minimal number of switching crosspoints
US6751369B1 (en) * 2000-07-28 2004-06-15 Moog Components Group Inc. Fiber lens assembly for singlemode optical switches
US6870981B2 (en) 2000-08-24 2005-03-22 Shipley Company, L.L.C. Optical switch and method for making
US6853764B2 (en) * 2000-08-28 2005-02-08 Shipley Company, L.L.C. Optical switch assembly and method for making
US6825967B1 (en) 2000-09-29 2004-11-30 Calient Networks, Inc. Shaped electrodes for micro-electro-mechanical-system (MEMS) devices to improve actuator performance and methods for fabricating the same
US6567574B1 (en) 2000-10-06 2003-05-20 Omm, Inc. Modular three-dimensional optical switch
US6810162B2 (en) * 2000-12-20 2004-10-26 Shipley Company, L.L.C. Optical switch assembly with flex plate and method for making
US6788840B2 (en) 2001-02-27 2004-09-07 Northrop Grumman Corporation Bi-stable micro-actuator and optical switch
US6591027B2 (en) 2001-02-27 2003-07-08 Litton Systems, Inc. Bi-stable micro-actuator and optical switch
US6665461B1 (en) 2001-04-05 2003-12-16 Richard H. Laughlin Total internal reflection optical switch and method of operating the same
US6526197B2 (en) 2001-04-09 2003-02-25 Adc Telecommunications, Inc. MEMS optical balanced path switch
US6859578B2 (en) * 2001-05-18 2005-02-22 Nuonics, Inc. Fault-tolerant fiber-optical multiwavelength processor
US6771859B2 (en) * 2001-07-24 2004-08-03 3M Innovative Properties Company Self-aligning optical micro-mechanical device package
US6834154B2 (en) 2001-07-24 2004-12-21 3M Innovative Properties Co. Tooling fixture for packaged optical micro-mechanical devices
US6798954B2 (en) * 2001-07-24 2004-09-28 3M Innovative Properties Company Packaged optical micro-mechanical device
US6544863B1 (en) 2001-08-21 2003-04-08 Calient Networks, Inc. Method of fabricating semiconductor wafers having multiple height subsurface layers
CN1302307C (zh) * 2001-11-08 2007-02-28 希普雷公司 光纤终端
FR2838526B1 (fr) * 2002-04-11 2004-07-02 Memscap Matrice de commutateurs optiques et procede de fabrication d'une telle matrice

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55130505A (en) * 1979-03-30 1980-10-09 Ryohei Itaya Photoswitch
JPS5618902U (ja) * 1979-07-19 1981-02-19

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3870396A (en) * 1973-07-05 1975-03-11 Corning Glass Works Optical coupler
US3874779A (en) * 1973-07-05 1975-04-01 Corning Glass Works Variable ratio light coupler
JPS5483448A (en) * 1977-12-15 1979-07-03 Nec Corp Machanical photo switch
DE3062617D1 (en) * 1979-07-09 1983-05-11 Post Office Method of precisely locating the end of a dielectric optical waveguide in a waveguide coupling device
CA1193477A (en) * 1981-02-24 1985-09-17 Tetsuya Yamasaki Fixing substrate for optical fibers
FR2553906B1 (fr) * 1983-10-21 1986-10-17 Thomson Csf Dispositif de commutation optique a commande electrique
US4580873A (en) * 1983-12-30 1986-04-08 At&T Bell Laboratories Optical matrix switch
FR2588386B1 (fr) * 1985-10-04 1989-02-03 Socapex Commutateur optique a commande electromagnetique

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55130505A (en) * 1979-03-30 1980-10-09 Ryohei Itaya Photoswitch
JPS5618902U (ja) * 1979-07-19 1981-02-19

Also Published As

Publication number Publication date
DE69026876T2 (de) 1996-12-05
CA2020219C (en) 1995-02-28
US4932745A (en) 1990-06-12
EP0410619A2 (en) 1991-01-30
CA2020219A1 (en) 1991-01-26
HK179696A (en) 1996-10-04
DE69026876D1 (de) 1996-06-13
JP2594377B2 (ja) 1997-03-26
EP0410619A3 (en) 1992-05-13
EP0410619B1 (en) 1996-05-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0359611A (ja) 電磁放射スイッチング装置及びそれを用いた通信システム
US6014244A (en) Multi-port optical circulator utilizing imaging lens and correction optical element
US6618519B2 (en) Switch and variable optical attenuator for single or arrayed optical channels
US6081635A (en) Microoptical module with a WDM filter and an optical isolator for fiber-optic amplifier systems
US5930418A (en) Optical assembly and method based on TEC fibres
JP3232290B2 (ja) ３ポート光学サーキュレータ及びその製造方法
EP1125154A2 (en) Multiple port, fiber optic coupling device
US7031565B2 (en) Photonic switch
CN210488175U (zh) 一种微型磁光光纤开关
US6970615B1 (en) Compact high-stability optical switches
US6678438B2 (en) Apparatus and method for switching an optical path
US6239900B1 (en) Reflective fiber-optic isolator
JPH11264954A (ja) 光サーキュレータ及び光スイッチ
JP2002107566A (ja) 光機能モジュール
JP3132855B2 (ja) 光結合器およびその結合方法
JP2001350105A (ja) 光スイッチ
JPS61186920A (ja) 光切換装置
JPH03236014A (ja) 光スイッチ
JP3090610U (ja) 光路切り換えの装置
JPH0475013A (ja) 光スイッチ
JPS60159720A (ja) 光スイツチ
JPH11326795A (ja) 光スイッチ
JPH03215811A (ja) マトリクス光スイッチ
KR20040025041A (ko) 광 스위치 장치
JPH0297906A (ja) ファイバコリメータの配置構造

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071219

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081219

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091219

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091219

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101219

Year of fee payment: 14

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101219

Year of fee payment: 14