JPH0331894A - 電極間の短絡検出方法及びその装置 - Google Patents
電極間の短絡検出方法及びその装置Info
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- JPH0331894A JPH0331894A JP1165413A JP16541389A JPH0331894A JP H0331894 A JPH0331894 A JP H0331894A JP 1165413 A JP1165413 A JP 1165413A JP 16541389 A JP16541389 A JP 16541389A JP H0331894 A JPH0331894 A JP H0331894A
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 28
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- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 4
- 102220029346 rs34541442 Human genes 0.000 abstract 1
- 102220012898 rs397516346 Human genes 0.000 abstract 1
- 102220015875 rs6734111 Human genes 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は液晶表示素子等に用いられる基板上に帯状に並
んだ複数の電極の間の短絡を検出する方法及びその装置
に関するものである。
んだ複数の電極の間の短絡を検出する方法及びその装置
に関するものである。
[従来の技術]
液晶表示素子等の基板上に設けた帯状電極を形成する製
造工程において、しばしば隣り合う電極間で短絡が発生
することがあり、その短絡箇所を検出し、短絡を修理す
ることが必要になることがある。このような際の短絡を
検出する方法としては、顕微鏡を使用した目視によって
の外観検査、いわゆる黙視法が一般に行なわれている。
造工程において、しばしば隣り合う電極間で短絡が発生
することがあり、その短絡箇所を検出し、短絡を修理す
ることが必要になることがある。このような際の短絡を
検出する方法としては、顕微鏡を使用した目視によって
の外観検査、いわゆる黙視法が一般に行なわれている。
しかし目視法には、電極パターンが近年ますます微細化
するlこ従い、測定者の疲労や、見落としの発生、また
、基板の汚染の可能性、検出に要する時間がかかりすぎ
る等の問題があり、大量生産を前提とした表示素子等の
製造工程用することは好ましいものではなかった。
するlこ従い、測定者の疲労や、見落としの発生、また
、基板の汚染の可能性、検出に要する時間がかかりすぎ
る等の問題があり、大量生産を前提とした表示素子等の
製造工程用することは好ましいものではなかった。
そのような問題を解決するために、特開昭62−661
52号には、短絡を検出すべき2本の電極上に2つのプ
ローブを接触させて、その2本の電極の間の短絡の有無
を検出するいわゆる導通法が提案されている。
52号には、短絡を検出すべき2本の電極上に2つのプ
ローブを接触させて、その2本の電極の間の短絡の有無
を検出するいわゆる導通法が提案されている。
[発明の解決しようとする課題]
しかしこのような導通法を採用した場合にも、特定の2
本の電極間に短絡が発生していることが分かるのみであ
り、その位置をそのN極のうちのどの部分が短絡してい
るかは分らず、結局、短絡が検出された電極を顕微鏡等
で目視観察して、短絡箇所を検出し、修理するしかなか
った。従って、前述の目視法のみを用いた場合に比べて
、若干改善されるものの、やはり、非常に労力がかかる
不便なものであった。
本の電極間に短絡が発生していることが分かるのみであ
り、その位置をそのN極のうちのどの部分が短絡してい
るかは分らず、結局、短絡が検出された電極を顕微鏡等
で目視観察して、短絡箇所を検出し、修理するしかなか
った。従って、前述の目視法のみを用いた場合に比べて
、若干改善されるものの、やはり、非常に労力がかかる
不便なものであった。
特に電極の下に色付きのフィルターがある場合には微小
な短絡は見に<<、電極間の異物の存在で短絡している
時等では、目視での判別ができない場合が多かった。
な短絡は見に<<、電極間の異物の存在で短絡している
時等では、目視での判別ができない場合が多かった。
[課題を解決するための手段]
本発明はかかる課題を解決するためになされたものであ
り、帯状に並んだ複数の電極を有する少なくとも1枚の
基板内で近接した電極間の短絡を検出する方法であって
、前言己電極のうちから選ばれた第1の電極の両端部の
それぞれに2つのプローブを接触させるとともに、第1
の電極との短絡の有無を検出されるべき第2の電極の一
方の端部または両方の端部であって、第1の電極に接触
しているプローブに近接した位置にプローブを接触させ
、上記のプローブのうちから選ばれた3種類の2つのプ
ローブの間の抵抗値であって、お互いに1次独立である
抵抗値を推定または測定することにより、第1の電極と
第2の電極の間の短絡の有無及びその場所を検出するこ
とを特徴とする電極間の短絡検出方法及び帯状に並んだ
複数の電極を有する少なくとも1枚の基板内で近接した
電極間の短絡を挟:iシする装置であって、前記電極の
うちから選ばれた第1の電極の両端部にそれぞれ接触さ
せる2つのプローブと、第1の電極との短絡の有無を検
出されるべき第2の電極の一方の端部または両方の端部
であって、第1の電極に接触しているプローブに近接し
た位置に接触させるプローブと、上記のプローブの間の
抵抗値を測定する手段と、その抵抗値から第1の電極と
第2の電極の間の短絡の有無及びその場所を演算して検
出する演算装置とを有することを特徴とする電極間の短
絡検出装置を提供するものである。
り、帯状に並んだ複数の電極を有する少なくとも1枚の
基板内で近接した電極間の短絡を検出する方法であって
、前言己電極のうちから選ばれた第1の電極の両端部の
それぞれに2つのプローブを接触させるとともに、第1
の電極との短絡の有無を検出されるべき第2の電極の一
方の端部または両方の端部であって、第1の電極に接触
しているプローブに近接した位置にプローブを接触させ
、上記のプローブのうちから選ばれた3種類の2つのプ
ローブの間の抵抗値であって、お互いに1次独立である
抵抗値を推定または測定することにより、第1の電極と
第2の電極の間の短絡の有無及びその場所を検出するこ
とを特徴とする電極間の短絡検出方法及び帯状に並んだ
複数の電極を有する少なくとも1枚の基板内で近接した
電極間の短絡を挟:iシする装置であって、前記電極の
うちから選ばれた第1の電極の両端部にそれぞれ接触さ
せる2つのプローブと、第1の電極との短絡の有無を検
出されるべき第2の電極の一方の端部または両方の端部
であって、第1の電極に接触しているプローブに近接し
た位置に接触させるプローブと、上記のプローブの間の
抵抗値を測定する手段と、その抵抗値から第1の電極と
第2の電極の間の短絡の有無及びその場所を演算して検
出する演算装置とを有することを特徴とする電極間の短
絡検出装置を提供するものである。
第1図は本発明の基本的原理を説明する他の原理図であ
る。第1図において、Xl、Xzはその間の短絡を検出
するべき近接した電極パターン、P、 、P、、Pl、
R4は電極XX2の短絡検出用にプローブを立てる位置
であり、X、、X、の端部にあり、P、、P、とP、、
R4とはそれぞれ近接している。電極X、、X、上のプ
ローブP、、P、間、又はP、、R4間の距離及び抵抗
値はP、、P、とpt、pnとはそれぞれ近接している
ため、X、、X、上でそれぞれ近似的に同一となみすこ
とができ、これをり、R1とすれば短絡位置と基準点(
ここではPIとする)との距離のLに対する比をXとす
ると、基準点P1より短絡箇所までの距離及び抵抗値は
それぞれx L、xRと表わすことができる。
る。第1図において、Xl、Xzはその間の短絡を検出
するべき近接した電極パターン、P、 、P、、Pl、
R4は電極XX2の短絡検出用にプローブを立てる位置
であり、X、、X、の端部にあり、P、、P、とP、、
R4とはそれぞれ近接している。電極X、、X、上のプ
ローブP、、P、間、又はP、、R4間の距離及び抵抗
値はP、、P、とpt、pnとはそれぞれ近接している
ため、X、、X、上でそれぞれ近似的に同一となみすこ
とができ、これをり、R1とすれば短絡位置と基準点(
ここではPIとする)との距離のLに対する比をXとす
ると、基準点P1より短絡箇所までの距離及び抵抗値は
それぞれx L、xRと表わすことができる。
このとき、短絡部の抵抗値をrとすれば、未知の値は、
x、R,rの3つなので、もし、上記のプローブのうち
から3種類選ばれた2つのプローブの間の抵抗値であっ
て、お互いに1次独立であるものを測定することができ
れば未知の値Xを知ることができる。
x、R,rの3つなので、もし、上記のプローブのうち
から3種類選ばれた2つのプローブの間の抵抗値であっ
て、お互いに1次独立であるものを測定することができ
れば未知の値Xを知ることができる。
ここで、互いに1次独立な3種類の抵抗値とは、そのう
ち2つの1次結合をとることにより、他の1つの抵抗値
を得ることができない関係を言う。例えば、P、とP、
の間の抵抗値をR5,ということにすれば、R14、R
zx、R12はRis”R+<という関係があるので1
次独立でない。
ち2つの1次結合をとることにより、他の1つの抵抗値
を得ることができない関係を言う。例えば、P、とP、
の間の抵抗値をR5,ということにすれば、R14、R
zx、R12はRis”R+<という関係があるので1
次独立でない。
1次独立抵抗値の組み合せの例として、R,2、R+s
、R14及びR12、R+x、R14及びR+i+R+
s、R211及びそれらを上下あるいは左右で反転した
配置の組み合せのものがある。
、R14及びR12、R+x、R14及びR+i+R+
s、R211及びそれらを上下あるいは左右で反転した
配置の組み合せのものがある。
具体的な演算方法について例を挙げるならば、例^ば、
F(+a、R1、Rlsが分かれば、R,1=f(なの
で、 F< 、4: R+ r ==・(1)Rls=
2 x R+ r === (2)の関係から、 x= (Rls−R+a+R)/2R−−−(3)よ
りxLとして与えられる。
F(+a、R1、Rlsが分かれば、R,1=f(なの
で、 F< 、4: R+ r ==・(1)Rls=
2 x R+ r === (2)の関係から、 x= (Rls−R+a+R)/2R−−−(3)よ
りxLとして与えられる。
R11、R14については、はぼどの電極も同じ値(=
R)と見なせる場合が多く、1つの電極について測定し
た後はその値を推定値として使用しても良い。
R)と見なせる場合が多く、1つの電極について測定し
た後はその値を推定値として使用しても良い。
以上のような方法を実現するための装置の概念図を第2
図と第3図に示した6 第2図は、非検査電極をプローブで機械的に電極の帯の
方向とほぼ垂直な方向になぞることにより、電極に電圧
を印加して、短絡の有無、及び短絡の場所を検出するこ
とができる様にしたものであり、プローブは4つとした
。
図と第3図に示した6 第2図は、非検査電極をプローブで機械的に電極の帯の
方向とほぼ垂直な方向になぞることにより、電極に電圧
を印加して、短絡の有無、及び短絡の場所を検出するこ
とができる様にしたものであり、プローブは4つとした
。
この場合、例久ばP、、R2間、P、、R4間、p、、
p、間の抵抗値を測定し、上記したような所定の演算を
施すことにより、短絡の有無及び短絡位置の検出が可能
である。このとき、P、、P、間の抵抗値を測定して、
他のx1以外の電極の抵抗値と比較することにより、直
ちにX、の断線の有無も同時に分かり、又、P、、R4
間の抵抗値を測定して、他の電極での同様の抵抗値と比
較すれば、直ちに電極X、、X2間の短絡の有無が分か
ることになる。
p、間の抵抗値を測定し、上記したような所定の演算を
施すことにより、短絡の有無及び短絡位置の検出が可能
である。このとき、P、、P、間の抵抗値を測定して、
他のx1以外の電極の抵抗値と比較することにより、直
ちにX、の断線の有無も同時に分かり、又、P、、R4
間の抵抗値を測定して、他の電極での同様の抵抗値と比
較すれば、直ちに電極X、、X2間の短絡の有無が分か
ることになる。
又、P、、P、間及びP、、R4間の抵抗値を測定した
後電圧印加を回路で、P、、R2に切換^、p、、p、
間の抵抗値を測定できる様にすれば、P、は不要となる
。
後電圧印加を回路で、P、、R2に切換^、p、、p、
間の抵抗値を測定できる様にすれば、P、は不要となる
。
また、第3図の様に、被検査電極端全部又は部分的にプ
ローブなどの接触子を立てそれぞれの電極に電流を流す
様にし、断線・短絡を検査する検査機に組み込みことに
より、断線・短絡検査と同時に短絡位置を検出すること
も可能である。
ローブなどの接触子を立てそれぞれの電極に電流を流す
様にし、断線・短絡を検査する検査機に組み込みことに
より、断線・短絡検査と同時に短絡位置を検出すること
も可能である。
本発明に係る電極間の短絡検出方法及びその装置は、液
晶表示素子の電極間の短絡の検出のみならず、帯状に並
んだ電極間の短絡の検出をする際には広く有効である。
晶表示素子の電極間の短絡の検出のみならず、帯状に並
んだ電極間の短絡の検出をする際には広く有効である。
さらに、以上の説明は、となりあう電極間の短絡を検出
するときのみならず、お互いに対向する電極等2近接し
ており、短絡の危険のあるものについても適用可能であ
る。
するときのみならず、お互いに対向する電極等2近接し
ており、短絡の危険のあるものについても適用可能であ
る。
[実施例]
第2図の様な位置に隣り合う電極の短絡がある場合の、
液晶表示素子基板について短絡位置検出の実施例を示す
、 15Ω/口の面抵抗をもつ電極を線幅0.3+a+
sのストライブ状にパターニングされた表示電極のP+
、Pa間距離(■、)49.625mmで目視でのP、
より短絡までの位置(xL)が8.310mmであった
場合、R,R,、、R14の実測値はそれぞれ1.9B
8 KΩ、 0.8138にΩ+ 2.R22KΩ と
なった。この抵抗値を(3)式に代入すると となりX Lの実測値8.310mmとほぼ一致した。
液晶表示素子基板について短絡位置検出の実施例を示す
、 15Ω/口の面抵抗をもつ電極を線幅0.3+a+
sのストライブ状にパターニングされた表示電極のP+
、Pa間距離(■、)49.625mmで目視でのP、
より短絡までの位置(xL)が8.310mmであった
場合、R,R,、、R14の実測値はそれぞれ1.9B
8 KΩ、 0.8138にΩ+ 2.R22KΩ と
なった。この抵抗値を(3)式に代入すると となりX Lの実測値8.310mmとほぼ一致した。
[発明の効果〕
本発明に係る電極間の短絡検出方法及びその装置によれ
ば、帯状に並んだお互いに近接した電極間の短絡位置の
検出が断線、短絡検出と同時に行なえ、短絡を修理する
ための短絡位置の検出の時間短縮、見落としの撲滅がで
きる。
ば、帯状に並んだお互いに近接した電極間の短絡位置の
検出が断線、短絡検出と同時に行なえ、短絡を修理する
ための短絡位置の検出の時間短縮、見落としの撲滅がで
きる。
また1本発明で得られる短絡個所のデータに基づき、レ
ーザービーム照射によりリペアシステムを動かすことが
可能である。すなわち、コンピュータ制(卸されたりペ
ア装置に、本装置で得られたデータを送り込むことによ
り、マニュアルで短絡点を捜し出す手間が省け、(11
正までの時間がさらに大幅に短縮することが可能である
。
ーザービーム照射によりリペアシステムを動かすことが
可能である。すなわち、コンピュータ制(卸されたりペ
ア装置に、本装置で得られたデータを送り込むことによ
り、マニュアルで短絡点を捜し出す手間が省け、(11
正までの時間がさらに大幅に短縮することが可能である
。
第1図は、本発明の基本的原理図であり、第2図は及び
第3図は本発明に係る装置の概念図である。 L、Rはそれぞれp、、p、間又はP3.24間の距離
及び抵抗値、Xは基準とする点(図ではP、又はP、)
より短絡までの距離と、P+ 、P2間又はP、、24
間の距離の比、rは短絡部分の抵抗値、P + 、 P
2、P、、P4は断線・短絡検査用のプローブなどの
接触子、X、、X、は電極である。
第3図は本発明に係る装置の概念図である。 L、Rはそれぞれp、、p、間又はP3.24間の距離
及び抵抗値、Xは基準とする点(図ではP、又はP、)
より短絡までの距離と、P+ 、P2間又はP、、24
間の距離の比、rは短絡部分の抵抗値、P + 、 P
2、P、、P4は断線・短絡検査用のプローブなどの
接触子、X、、X、は電極である。
Claims (2)
- (1)帯状に並んだ複数の電極を有する少なくとも1枚
の基板内で近接した電極間の短絡を検出する方法であっ
て、前記電極のうちから選ばれた第1の電極の両端部の
それぞれに2つのプローブを接触させるとともに、第1
の電極との短絡の有無を検出されるべき第2の電極の一
方の端部または両方の端部であって、第1の電極に接触
しているプローブに近接した位置にプローブを接触させ
、上記のプローブのうちから選ばれた3種類の2つのプ
ローブの間の抵抗値であって、お互いに1次独立である
抵抗値を推定または測定することにより、第1の電極と
第2の電極の間の短絡の有無及びその場所を検出するこ
とを特徴とする電極間の短絡検出方法。 - (2)帯状に並んだ複数の電極を有する少なくとも1枚
の基板内で近接した電極間の短絡を検出する装置であっ
て、前記電極のうちから選ばれた第1の電極の両端部に
それぞれ接触させる2つのプローブと、第1の電極との
短絡の有無を検出されるべき第2の電極の一方の端部ま
たは両方の端部であって、第1の電極に接触しているプ
ローブに近接した位置に接触させるプローブと、上記の
プローブの間の抵抗値を測定する手段と、その抵抗値か
ら第1の電極と第2の電極の間の短絡の有無及びその場
所を演算して検出する演算装置とを有することを特徴と
する電極間の短絡検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1165413A JP2879065B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 電極間の短絡検出方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1165413A JP2879065B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 電極間の短絡検出方法及びその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0331894A true JPH0331894A (ja) | 1991-02-12 |
JP2879065B2 JP2879065B2 (ja) | 1999-04-05 |
Family
ID=15811944
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1165413A Expired - Lifetime JP2879065B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 電極間の短絡検出方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2879065B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03116012A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-17 | Canon Inc | 隣接ショート欠陥部の検出方法 |
US5844199A (en) * | 1993-12-24 | 1998-12-01 | Tokyo Electron Ltd | Conductor pattern check apparatus for locating and repairing short and open circuits |
WO2005064354A1 (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Oht Inc. | 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法 |
US20110298485A1 (en) * | 2010-06-04 | 2011-12-08 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device test method and apparatus, and semiconductor device |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007278943A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 基板の検査方法及びその検査装置、並びに基板の修繕方法及びその修繕装置 |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP1165413A patent/JP2879065B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03116012A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-17 | Canon Inc | 隣接ショート欠陥部の検出方法 |
US5844199A (en) * | 1993-12-24 | 1998-12-01 | Tokyo Electron Ltd | Conductor pattern check apparatus for locating and repairing short and open circuits |
WO2005064354A1 (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Oht Inc. | 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法 |
US20110298485A1 (en) * | 2010-06-04 | 2011-12-08 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device test method and apparatus, and semiconductor device |
US8593167B2 (en) * | 2010-06-04 | 2013-11-26 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device test method and apparatus, and semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2879065B2 (ja) | 1999-04-05 |
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