JP2879065B2 - 電極間の短絡検出方法及びその装置 - Google Patents
電極間の短絡検出方法及びその装置Info
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- JP2879065B2 JP2879065B2 JP1165413A JP16541389A JP2879065B2 JP 2879065 B2 JP2879065 B2 JP 2879065B2 JP 1165413 A JP1165413 A JP 1165413A JP 16541389 A JP16541389 A JP 16541389A JP 2879065 B2 JP2879065 B2 JP 2879065B2
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- electrodes
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は液晶表示素子等に用いられる基板上に帯状に
並んだ複数の電極の間の短絡を検出する方法及びその装
置に関するものである。
並んだ複数の電極の間の短絡を検出する方法及びその装
置に関するものである。
［従来の技術］ 液晶表示素子等の基板上に設けた帯状電極を形成する
製造工程において、しばしば隣り合う電極間で短絡が発
生することがあり、その短絡箇所を検出し、短絡を修理
することが必要になることがある。このような際の短絡
を検出する方法としては、顕微鏡を使用した目視によっ
ての外観検査、いわゆる目視法が一般に行なわれてい
る。しかし目視法には、電極パターンが近年ますます微
細化するに従い、測定者の疲労や、見落としの発生、ま
た、基板の汚染の可能性、検出に要する時間がかかりす
ぎる等の問題があり、大量生産を前提とした表示素子等
の製造工程に用いることは好ましいものではなかった。
製造工程において、しばしば隣り合う電極間で短絡が発
生することがあり、その短絡箇所を検出し、短絡を修理
することが必要になることがある。このような際の短絡
を検出する方法としては、顕微鏡を使用した目視によっ
ての外観検査、いわゆる目視法が一般に行なわれてい
る。しかし目視法には、電極パターンが近年ますます微
細化するに従い、測定者の疲労や、見落としの発生、ま
た、基板の汚染の可能性、検出に要する時間がかかりす
ぎる等の問題があり、大量生産を前提とした表示素子等
の製造工程に用いることは好ましいものではなかった。
そのような問題を解決するために、特開昭62−66152
号には、短絡を検出すべき２本の電極上に２つのプロー
ブを接触させて、その２本の電極の間の短絡の有無を検
出するいわゆる導通法が提案されている。
号には、短絡を検出すべき２本の電極上に２つのプロー
ブを接触させて、その２本の電極の間の短絡の有無を検
出するいわゆる導通法が提案されている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしこのような導通法を採用した場合にも、特定の
２本の電極間に短絡が発生していることが分かるのみで
あり、その位置をその電極のうちのどの部分が短絡して
いるかは分らず、結局、短絡が検出された電極を顕微鏡
等で目視観察して、短絡箇所を検出し、修理するしかな
かった。従って、前述の目視法のみを用いた場合に比べ
て、若干改善されるものの、やはり、非常に労力がかか
る不便なものであった。
２本の電極間に短絡が発生していることが分かるのみで
あり、その位置をその電極のうちのどの部分が短絡して
いるかは分らず、結局、短絡が検出された電極を顕微鏡
等で目視観察して、短絡箇所を検出し、修理するしかな
かった。従って、前述の目視法のみを用いた場合に比べ
て、若干改善されるものの、やはり、非常に労力がかか
る不便なものであった。
特に電極の下に色付きのフィルターがある場合には微
小な短絡は見にくく、電極間の異物の存在で短絡してい
る時等では、目視での判別ができない場合が多かった。
小な短絡は見にくく、電極間の異物の存在で短絡してい
る時等では、目視での判別ができない場合が多かった。
［課題を解決するための手段］ 本発明はかかる課題を解決するためになされたもので
あり、帯状に並んだ複数の電極を有する少なくとも１枚
の基板内で近接した電極間の短絡を検出する方法であっ
て、前記電極のうちから選ばれた第１の電極の両端部の
それぞれに２つのプローブを接触させるとともに、第１
の電極との短絡の有無を検出されるべき第２の電極の一
方の端部または両方の端部であって、第１の電極に接触
しているプローブに近接した位置にプローブを接触さ
せ、上記のプローブのうちから選ばれた３種類の２つの
プローブの間の抵抗値であって、お互いに１次独立であ
る抵抗値を推定または測定することにより、第１の電極
と第２の電極の間の短絡の有無及びその場所を検出する
ことを特徴とする電極間の短絡検出方法及び帯状に並ん
だ複数の電極を有する少なくとも１枚の基板内で近接し
た電極間の短絡を検出する装置であって、前記電極のう
ちから選ばれた第１の電極の両端部にそれぞれ接触させ
る２つのプローブと、第１の電極との短絡の有無を検出
されるべき第２の電極の一方の端部または両方の端部で
あって、第１の電極に接触しているプローブに近接した
位置に接触させるプローブと、上記のプローブの間の抵
抗値を測定する手段と、その抵抗値から第１の電極と第
２の電極の間の短絡の有無及びその場所を演算して検出
する演算装置とを有することを特徴とする電極間の短絡
検出装置を提供するものである。
あり、帯状に並んだ複数の電極を有する少なくとも１枚
の基板内で近接した電極間の短絡を検出する方法であっ
て、前記電極のうちから選ばれた第１の電極の両端部の
それぞれに２つのプローブを接触させるとともに、第１
の電極との短絡の有無を検出されるべき第２の電極の一
方の端部または両方の端部であって、第１の電極に接触
しているプローブに近接した位置にプローブを接触さ
せ、上記のプローブのうちから選ばれた３種類の２つの
プローブの間の抵抗値であって、お互いに１次独立であ
る抵抗値を推定または測定することにより、第１の電極
と第２の電極の間の短絡の有無及びその場所を検出する
ことを特徴とする電極間の短絡検出方法及び帯状に並ん
だ複数の電極を有する少なくとも１枚の基板内で近接し
た電極間の短絡を検出する装置であって、前記電極のう
ちから選ばれた第１の電極の両端部にそれぞれ接触させ
る２つのプローブと、第１の電極との短絡の有無を検出
されるべき第２の電極の一方の端部または両方の端部で
あって、第１の電極に接触しているプローブに近接した
位置に接触させるプローブと、上記のプローブの間の抵
抗値を測定する手段と、その抵抗値から第１の電極と第
２の電極の間の短絡の有無及びその場所を演算して検出
する演算装置とを有することを特徴とする電極間の短絡
検出装置を提供するものである。
第１図は本発明の基本的原理を説明する原理図であ
る。第２図は本発明の一例における装置の概念図であ
る。第２図において、X1、X2はその間の短絡を検出する
べき近接した電極パターン、P1、P2、P3、P4は電極X1、
X2の短絡検出用にプローブを立てる位置であり、X1、X2
の端部にあり、P1、P3とP2、P4とはそれぞれ近接してい
る。電極X1、X2上のプローブP1、P2間、又はP3、P4間の
距離及び抵抗値はP1、P3とP2、P4とはそれぞれ近接して
いるため、X1、X2上でそれぞれ近似的に同一とみなすこ
とができる。同じ電極上のプローブ間の距離をＬ、同じ
電極上のプローブ間の抵抗をＲ（第１図参照）とすれば
短絡位置と基準点（ここではP1とする）との距離のＬに
対する比をｘとすると、基準点P1より短絡箇所までの距
離及び抵抗値はそれぞれxL、xRと表わすことができる。
る。第２図は本発明の一例における装置の概念図であ
る。第２図において、X1、X2はその間の短絡を検出する
べき近接した電極パターン、P1、P2、P3、P4は電極X1、
X2の短絡検出用にプローブを立てる位置であり、X1、X2
の端部にあり、P1、P3とP2、P4とはそれぞれ近接してい
る。電極X1、X2上のプローブP1、P2間、又はP3、P4間の
距離及び抵抗値はP1、P3とP2、P4とはそれぞれ近接して
いるため、X1、X2上でそれぞれ近似的に同一とみなすこ
とができる。同じ電極上のプローブ間の距離をＬ、同じ
電極上のプローブ間の抵抗をＲ（第１図参照）とすれば
短絡位置と基準点（ここではP1とする）との距離のＬに
対する比をｘとすると、基準点P1より短絡箇所までの距
離及び抵抗値はそれぞれxL、xRと表わすことができる。
このとき、短絡部の抵抗値をｒとすれば、未知の値
は、ｘ、Ｒ、ｒの３つなので、もし、上記のプローブの
うちから３種類選ばれた２つのプローブの間の抵抗値で
あって、お互いに１次独立であるものを測定することが
できれば未知の値ｘを知ることができる。
は、ｘ、Ｒ、ｒの３つなので、もし、上記のプローブの
うちから３種類選ばれた２つのプローブの間の抵抗値で
あって、お互いに１次独立であるものを測定することが
できれば未知の値ｘを知ることができる。
ここで、互いに１次独立な３種類の抵抗値とは、その
うち２つの１次結合をとることにより、他の１つの抵抗
値を得ることができない関係を言う。例えば、PjとPiの
間の抵抗値をRijということにすれば、R14、R23、R12は
R23＝R14という関係があるので１次独立でない。
うち２つの１次結合をとることにより、他の１つの抵抗
値を得ることができない関係を言う。例えば、PjとPiの
間の抵抗値をRijということにすれば、R14、R23、R12は
R23＝R14という関係があるので１次独立でない。
１次独立抵抗値の組み合せの例として、R12、R13、R
14及びR12、R13、R24及びR12、R13、R23及びそれらを上
下あるいは左右で反転した配置の組み合せのものがあ
る。
14及びR12、R13、R24及びR12、R13、R23及びそれらを上
下あるいは左右で反転した配置の組み合せのものがあ
る。
具体的な演算方法について例を挙げるならば、例え
ば、R12、R14、R13が分かれば、R12＝Ｒなので、 R14＝Ｒ＋ｒ ‥‥‥（１） R13＝2xR＋ｒ ‥‥‥（２） の関係から、 ｘ＝（R13−R14＋Ｒ）/2R ‥‥（３） より与えられる。
ば、R12、R14、R13が分かれば、R12＝Ｒなので、 R14＝Ｒ＋ｒ ‥‥‥（１） R13＝2xR＋ｒ ‥‥‥（２） の関係から、 ｘ＝（R13−R14＋Ｒ）/2R ‥‥（３） より与えられる。
R12、R34については、ほぼどの電極も同じ値（＝Ｒ）
と見なせる場合が多く、１つの電極について測定した後
はその値を推定値として使用しても良い。
と見なせる場合が多く、１つの電極について測定した後
はその値を推定値として使用しても良い。
以上のような方法を実現するための装置の概念図を第
２図と第３図に示した。
２図と第３図に示した。
第２図は、非検査電極をプローブで機械的に電極の帯
の方向とほぼ垂直な方向になぞることにより、電極に電
圧を印加して、短絡の有無、及び短絡の場所を検出する
ことができる様にしたものであり、プローブは４つとし
た。
の方向とほぼ垂直な方向になぞることにより、電極に電
圧を印加して、短絡の有無、及び短絡の場所を検出する
ことができる様にしたものであり、プローブは４つとし
た。
この場合、例えばP1、P2間、P1、P4間、P1、P3間の抵
抗値を測定し、上記したような所定の演算を施すことに
より、短絡の有無及び短絡位置の検出が可能である。こ
のとき、P1、P2間の抵抗値を測定して、他のX1以外の電
極の抵抗値と比較することにより、直ちにX1の断線の有
無も同時に分かり、又、P1、P4間の抵抗値を測定して、
他の電極での同様の抵抗値と比較すれば、直ちに電極
X1、X2間の短絡の有無が分かることになる。
抗値を測定し、上記したような所定の演算を施すことに
より、短絡の有無及び短絡位置の検出が可能である。こ
のとき、P1、P2間の抵抗値を測定して、他のX1以外の電
極の抵抗値と比較することにより、直ちにX1の断線の有
無も同時に分かり、又、P1、P4間の抵抗値を測定して、
他の電極での同様の抵抗値と比較すれば、直ちに電極
X1、X2間の短絡の有無が分かることになる。
又、P1、P2間及びP1、P4間の抵抗値を測定した後電圧
印加を回路で、P1、P2に切換え、P2、P4間の抵抗値を測
定できる様にすれば、P3は不要となる。
印加を回路で、P1、P2に切換え、P2、P4間の抵抗値を測
定できる様にすれば、P3は不要となる。
また、第３図の様に、被検査電極端全部又は部分的に
プローブなどの接触子を立てそれぞれの電極に電流を流
す様にし、断線・短絡を検査する検査機に組み込むこと
により、断線・短絡検査と同時に短絡位置を検出するこ
とも可能である。
プローブなどの接触子を立てそれぞれの電極に電流を流
す様にし、断線・短絡を検査する検査機に組み込むこと
により、断線・短絡検査と同時に短絡位置を検出するこ
とも可能である。
本発明に係る電極間の短絡検出方法及びその装置は、
液晶表示素子の電極間の短絡の検出のみならず、帯状に
並んだ電極間の短絡の検出をする際には広く有効であ
る。
液晶表示素子の電極間の短絡の検出のみならず、帯状に
並んだ電極間の短絡の検出をする際には広く有効であ
る。
さらに、以上の説明は、となりあう電極間の短絡を検
出するときのみならず、お互いに対向する電極等、近接
しており、短絡の危険のあるものについても適用可能で
ある。
出するときのみならず、お互いに対向する電極等、近接
しており、短絡の危険のあるものについても適用可能で
ある。
［実施例］ 第２図の様な位置に隣り合う電極の短絡がある場合
の、液晶表示素子基板ついて短絡位置検出の実施例を示
す。15Ω／□の面抵抗をもつ電極を線幅0.3mmのストラ
イプ状にパターニングされた表示電極のP1、P2間距離
（Ｌ）49.625mmで目視でのP1より短絡までの位置（xL）
が8.310mmであった場合、Ｒ、R13、R14の実測値はそれ
ぞれ1.968KΩ,0.8138KΩ,2.122KΩとなった。この抵抗
値を（３）式に代入すると となりXLの実測値8.310mmとほぼ一致した。
の、液晶表示素子基板ついて短絡位置検出の実施例を示
す。15Ω／□の面抵抗をもつ電極を線幅0.3mmのストラ
イプ状にパターニングされた表示電極のP1、P2間距離
（Ｌ）49.625mmで目視でのP1より短絡までの位置（xL）
が8.310mmであった場合、Ｒ、R13、R14の実測値はそれ
ぞれ1.968KΩ,0.8138KΩ,2.122KΩとなった。この抵抗
値を（３）式に代入すると となりXLの実測値8.310mmとほぼ一致した。
［発明の効果］ 本発明に係る電極間の短絡検出方法及びその装置によ
れば、帯状に並んだお互いに近接した電極間の短絡位置
の検出が断線、短絡検出と同時に行なえ、短絡を修理す
るための短絡位置の検出の時間短縮、見落としの撲滅が
できる。
れば、帯状に並んだお互いに近接した電極間の短絡位置
の検出が断線、短絡検出と同時に行なえ、短絡を修理す
るための短絡位置の検出の時間短縮、見落としの撲滅が
できる。
また、本発明で得られる短絡個所のデータに基づき、
レーザービーム照射によりリペアシステムを動かすこと
が可能である。すなわち、コンピュータ制御されたリペ
ア装置に、本装置で得られたデータを送り込むことによ
り、マニュアルで短絡点を捜し出す手間が省け、修正ま
での時間がさらに大幅に短縮することが可能である。
レーザービーム照射によりリペアシステムを動かすこと
が可能である。すなわち、コンピュータ制御されたリペ
ア装置に、本装置で得られたデータを送り込むことによ
り、マニュアルで短絡点を捜し出す手間が省け、修正ま
での時間がさらに大幅に短縮することが可能である。
第１図は、本発明の基本的原理図であり、第２図及び第
３図は本発明に係る装置の概念図である。 Ｌ、ＲはそれぞれP1、P2間又はP3、P4間の距離及び抵抗
値、ｘは基準とする点（図ではP1又はP3）より短絡まで
の距離と、P1、P2間又はP3、P4間の距離の比、ｒは短絡
部分の抵抗値、P1、P2、P3、P4は断線・短絡検査用のプ
ローブなどの接触子、X1、X2は電極である。
３図は本発明に係る装置の概念図である。 Ｌ、ＲはそれぞれP1、P2間又はP3、P4間の距離及び抵抗
値、ｘは基準とする点（図ではP1又はP3）より短絡まで
の距離と、P1、P2間又はP3、P4間の距離の比、ｒは短絡
部分の抵抗値、P1、P2、P3、P4は断線・短絡検査用のプ
ローブなどの接触子、X1、X2は電極である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G09G 3/36 G02F 1/133 G01R 31/00
Claims (2)
- 【請求項１】帯状に並んだ複数の電極を有する少なくと
も１枚の基板内で近接した電極間の短絡を検出する方法
であって、前記電極のうちから選ばれた第１の電極の両
端部のそれぞれに２つのプローブを接触させるととも
に、第１の電極との短絡の有無を検出されるべき第２の
電極の一方の端部または両方の端部であって、第１の電
極に接触しているプローブに近接した位置にプローブを
接触させ、上記のプローブのうちから選ばれた３種類の
２つのプローブの間の抵抗値であって、お互いに１次独
立である抵抗値を推定または測定することにより、第１
の電極と第２の電極の間の短絡の有無及びその場所を検
出することを特徴とする電極間の短絡検出方法。 - 【請求項２】帯状に並んだ複数の電極を有する少なくと
も１枚の基板内で近接した電極間の短絡を検出する装置
であって、前記電極のうちから選ばれた第１の電極の両
端部にそれぞれ接触させる２つのプローブと、第１の電
極との短絡の有無を検出されるべき第２の電極の一方の
端部または両方の端部であって、第１の電極に接触して
いるプローブに近接した位置に接触させるプローブと、
上記のプローブの間の抵抗値を測定する手段と、その抵
抗値から第１の電極と第２の電極の間の短絡の有無及び
その場所を演算して検出する演算装置とを有することを
特徴とする電極間の短絡検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1165413A JP2879065B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 電極間の短絡検出方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1165413A JP2879065B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 電極間の短絡検出方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0331894A JPH0331894A (ja) | 1991-02-12 |
| JP2879065B2 true JP2879065B2 (ja) | 1999-04-05 |
Family
ID=15811944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1165413A Expired - Lifetime JP2879065B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 電極間の短絡検出方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2879065B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007278943A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 基板の検査方法及びその検査装置、並びに基板の修繕方法及びその修繕装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03116012A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-17 | Canon Inc | 隣接ショート欠陥部の検出方法 |
| JP3228631B2 (ja) * | 1993-12-24 | 2001-11-12 | 東京エレクトロン株式会社 | テスタ |
| JP2005208058A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-08-04 | Oht Inc | 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法 |
| JP2011258591A (ja) * | 2010-06-04 | 2011-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体素子の検査方法、半導体素子の検査装置、及び半導体素子 |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP1165413A patent/JP2879065B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007278943A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 基板の検査方法及びその検査装置、並びに基板の修繕方法及びその修繕装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0331894A (ja) | 1991-02-12 |
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