JP3950713B2 - 回路配線検査方法およびその装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路配線検査方法およびその装置に関し、さらに詳しく言えば、幹配線から分岐されている複数の枝配線間の短絡および各枝配線の断線の有無を検査する回路配線の検査技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
回路配線の検査項目の一つに配線パターンの断線(オープン)検査と、隣接する配線パターン間の短絡(ショート)検査とがある。
【0003】
図5に模式的に示すように、回路基板に2つの配線パターンA,Bが隣接して形成されているとして、断線検査は、配線パターンAの端点Aa,Ab間、配線パターンBの端点Ba,Bb間の各抵抗値Rを測定することにより行われる。R≒0であれば断線なし、R≒∞であれば断線ありと判定される。
【0004】
配線パターンA,B間の短絡検査は、例えば配線パターンAの一方の端点Aaと配線パターンBの一方の端点Baとの間の抵抗値Rを測定し、R≒∞であればパターン間に短絡なし、R≒0であればパターン間に短絡ありと判定される。
【0005】
また、パターンによっては、図6に示すように幹配線Mから複数の枝配線P1〜PNが分岐している回路がある。この場合、枝配線P1〜PNはそれらの各一端(幹側端点)が幹配線Mにより相互に接続されているが、やはり抵抗測定により各枝配線の断線検査と枝配線間の短絡検査とが行われる。
【0006】
例えば、隣接する枝配線P1とP2の断線・短絡を検査するには、それらの反幹側端点P1aとP2a間の抵抗値を低抵抗測定器にて測定する。そして、その測定値Rと、あらかじめ設定されている所定のしきい値±Thとを比較することにより、断線・短絡の有無が検査される。なお、しきい値±Thは良品基板から得た基準値に基づいて設定される。
【0007】
すなわち、図7に示すように、枝配線P1,P2間が短絡していると、抵抗値Rが低くなり、しきい値±Thから外れる。これにより、枝配線間に短絡ありと判定される。また、図8に示すように、いずれか一方の枝配線(この例では枝配線P2)が断線していればR≒∞となるため、これをもって断線ありと判定される。
【0008】
抵抗測定は、抵抗測定器の測定プローブを配線パターンの端点に接触させることにより行われるが、図9に模式的に示すように、例えば端点P1aに対するプローブの接触位置が、良品基板から基準値を得た際には図示実線位置であるのに対して、実際の検査時に図示鎖線位置のようにずれると、プローブ間の抵抗値が変わってしまうため、正確な測定ができず判定ミスが生ずることがある。
【0009】
また、プローブの接触位置に上記のようなずれがなく、正確に配線パターンの抵抗値が測定できたとしても、配線パターン形成時の製造誤差(線幅のばらつきなど)が大きいと、基準値に対する最適なしきい値を設定することが困難となる。
【0010】
ちなみに、配線パターン形成時の製造誤差により、例えば線幅が広く形成された場合には、短絡してしまっているパターンの抵抗値とほぼ同値になることがあり、このような場合には、しきい値を設定できなくなる。
【0011】
一例として、配線パターンの抵抗値100mΩを基準として、そのしきい値を±10%の90〜110mΩに設定したとして、例えば120mΩ位の抵抗値をもつ配線パターンが隣の配線パターンと短絡して110mΩになると、短絡しているにもかかわらず良品と判断されることになる。
【0012】
また、上記従来例ではしきい値を設定するうえで、あらかじめ良品である配線パターンをもった回路基板をビジュアル検査などにより探し出して、その抵抗値を測定しておく必要があるため、作成された回路基板の検査を1枚目から行うことができない。
【0013】
さらに、抵抗測定による短絡検出は微小な抵抗変化を捉える必要があるため、測定プローブの接触抵抗の影響が問題となる。そのため、微小抵抗の測定には4端子法が用いられるが、4端子法の測定プローブは他のプローブよりも高価であり、また、狭いピッチの配線パターンへのプロービングが困難となる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の課題は、配線パターンの端点に対するプロービング位置によって検査精度が左右されることがなく、また、あらかじめ良品基板から判定基準となるデータを収集する必要をなくして、作成された回路基板の1枚目から隣接パターンの断線・短絡検査を行えるようにすることにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本願の第1発明は、幹配線と、それぞれ一方の端点(幹側端点)が上記幹配線に接続された複数の枝配線とを有する回路配線の上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を検査する回路配線検査方法において、隣接する所定の第1および第2枝配線を検査するにあたって、測定信号発生源より上記第1枝配線の他方の端点(反幹側端点)に測定信号を印加した状態の下で、上記幹配線の上記第2枝配線の幹側端点よりも反第1枝配線側の所定箇所を電圧測定基準点として、電圧測定手段にて上記第2枝配線の反幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧V1と、上記第2枝配線の幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧V2とを測定し、V1=V2(ただし、V1,V2がともに0Vのときを除く)のとき良品と判定することを特徴としている。
【0016】
なお、V1=V2以外の場合、すなわちV1≠V2(ただし、V1,V2の少なくとも一方が0Vもしくは読み値不定のときを除く)のときには短絡ありと判定でき、V1,V2の少なくとも一方が0Vもしくは読み値不定のとき断線ありと判定することができる。
【0017】
このように、本発明によれば、2つの電圧V1,V2を比較するだけでよいため、配線パターンの端点に対するプロービング位置によって検査精度が左右されることがない。また、あらかじめ良品基板から判定基準となるデータを収集する必要もなく、作成された回路基板の1枚目から隣接パターンの断線・短絡検査を行うことができる。
【0018】
さらには、測定プローブの接触抵抗による影響を受けないため、通常の安価な測定プローブを使用でき、しかも4端子法のように1ラインに付き4本の測定プローブをプロービングする必要もないため、狭いピッチの配線パターンの測定も容易にできる。
【0019】
上記測定信号発生源は、直流または交流のいずれであってもよい。また、測定信号も電圧もしくは電流のいずれであってもよい。すなわち、直流電圧発生器,直流電流発生器,交流電圧発生器,交流電流発生器のすべてが使用可能である。
【0020】
また、上記第2枝配線の反幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧V1を測定する電圧測定手段と、上記第2枝配線の幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧V2を測定する電圧測定手段を別々に備えていてもよいが、電圧検出手段を一つとして、上記電圧V1,V2のいずれか一方の電圧を測定した後、いずれか他方の電圧を測定するようにしてもよい。
【0021】
上記第1枝配線の反幹側端点に対する測定信号印加用のプローブおよび上記第2枝配線の幹側端点,反幹側端点に対する電圧測定用のプローブは可動プローブで、上記電圧測定基準点に対する電圧測定用のプローブには固定プローブを用いることにより、実質的に2本の可動プローブで本発明の検査が可能となり、複雑なプローブ駆動機構を必要としない。
【0022】
また、本願の第2発明は上記第1発明を装置化したもので、幹配線と、それぞれ一方の端点(幹側端点)が上記幹配線に接続された複数の枝配線とを有する回路配線の上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を検査する回路配線検査装置において、隣接する所定の第1および第2枝配線の内の上記第1枝配線の他方の端点(反幹側端点)に測定信号を印加する測定信号発生源と、上記幹配線の上記第2枝配線の幹側端点よりも反第1枝配線側の所定箇所を電圧測定基準点として、上記第2枝配線の反幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧V1と、上記第2枝配線の幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧V2とを測定する電圧測定手段と、上記電圧V1,V2により上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を判定する制御手段とを備えていることを特徴としている。
【0023】
この第2発明において、上記制御手段は上記第1発明と同様に、V1=V2(ただし、V1,V2がともに0Vのときを除く)のとき良品と判定し、それ以外のとき、すなわちV1≠V2(ただし、V1,V2の少なくとも一方が0Vもしくは読み値不定のときを除く)のときには短絡ありと判定し、V1,V2の少なくとも一方が0Vもしくは読み値不定のとき断線ありと判定する。
【0024】
【発明の実施の形態】
次に、図1ないし図4により、本発明の実施形態について説明する。この実施形態は、先の図6で説明した幹配線Mと、幹配線Mから分岐された複数の枝配線P1〜PNとを有する回路配線の枝配線の断線および枝配線間の短絡を検査する場合についてのもので、説明の便宜上、幹配線Mに対する各枝配線P1〜PNの接続点を幹側端点とする。
【0025】
図1に示すように、この実施形態に係る回路配線検査装置10は、測定信号発生源としての直流電圧発生器11と、第1および第2の2つの電圧計21,22と、制御手段としてのCPU31と、検査結果を表示する表示器32とを備えている。
【0026】
複数ある枝配線P1〜PNのうち、隣接する2つの枝配線として枝配線P1,P2を例にして、配線の断線検査および配線間の短絡検査を行う場合について説明する。この検査には、4本の測定プローブQ1〜Q4が用いられる。
【0027】
図2(a)を参照して、直流電圧発生器11の正極側を測定プローブQ1を介して一方の第1枝配線P1の反幹側端点P1aに接触させる。第1電圧計21の一方の入力端子を測定プローブQ2を介して他方の第2枝配線P2の反幹側端点P2aに接触させる。第2電圧計22の一方の入力端子を測定プローブQ3を介して第2枝配線P2の幹側端点P2bに接触させる。
【0028】
そして、直流電圧発生器11の負極側,第1電圧計21の他方の入力端子および第2電圧計22の他方の入力端子をともに測定プローブQ4に接続し、測定プローブQ4を幹配線Mの電圧測定基準点Xに接触させる。この電圧測定基準点Xは、測定電流の流れる方向から見て、第2枝配線P2のの幹側端点P2bよりも下流側の任意の箇所であってよい。
【0029】
なお、この実施形態とは異なり、直流電圧発生器11をその正極と負極とを入れ替えて用いる場合には、電圧測定基準点Xは、そのときの電流の流れる方向から見て、第2枝配線P2の幹側端点P2bよりも上流側の任意の箇所に設定されることになる。
【0030】
すなわち、第1枝配線P1側から測定信号を印加するにしても、反対に電圧測定基準点X側から測定信号を印加するにしても、電圧測定基準点Xは、その電圧測定基準点Xと第1枝配線P1との間に第2枝配線P2が存在するような位置に設定される。
【0031】
CPU31は、直流電圧発生器11より第1枝配線P1の反幹側端点P1aに所定の電圧を印加した状態での第1電圧計21と第2電圧計22の測定値を読み込んで、短絡・断線の有無を判定する。図2(a)の回路を抵抗で表した等価回路を図2(b)に示す。
【0032】
第1枝配線P1と第2枝配線P2間が短絡していない場合、電流は第1枝配線P1の反幹側端点P1aから第1枝配線P1および幹配線Mを通って電圧測定基準点Xに流れ込む。なお、電圧計21(22)は入力インピーダンスが高いため、第2枝配線P2には電流が流れない。
【0033】
これにより、第1電圧計21と第2電圧計22はともに、第2枝配線P2の幹側端点P2bと電圧測定基準点Xとの間に存在する抵抗RXで生ずる電圧を測定することになる。したがって、第1電圧計21の測定値V1と第2電圧計22の測定値V2はV1=V2(同値)で、これをもってCPU31は短絡なし(良品)と判定し、必要に応じてその結果を表示器32に表示する。
【0034】
なお、ここで言うV1=V2(同値)とは、完全同値に限られるものでなく、上記電圧V1,V2がともに実質的に良品と見なしてよいしきい値幅内に存在する場合も含む。すなわち、良品基準値をVref、そのしきい値を±αとした場合、V1,V2がともにVref±αの範囲内であれば良品としてよい。
【0035】
次に、図3に示すように、第1枝配線P1と第2枝配線P2との間がAs−Bs点間で短絡している場合、反幹側端点P1aから第1枝配線P1に流れる電流は、As点で幹側端点P1bに至る電流と、As−Bs間を経由して第2枝配線P2の一部分を通ってその幹側端点P2bに至る電流とに分流される。
【0036】
ここで、第2枝配線P2において、その反幹側端点P2aとBs点との間の抵抗をRB1とし、Bs点と幹側端点P2bとの間の抵抗をRB2とすると、上記したように電圧計21は入力インピーダンスが高いため、抵抗RB1には電流が流れない。
【0037】
したがって、第1電圧計21は抵抗(RB2+RX)に生ずる電圧を測定し、第2電圧計22は抵抗RXに生ずる電圧を測定することになり、第1電圧計21の測定値V1と第2電圧計22の測定値V2はV1≠V2となる。これにより、CPU31は短絡あり(不良品)と判断して、その結果を表示器32に表示する。
【0038】
次に、断線の場合について説明する。図4(a)に示すように、第1枝配線P1が断線している場合には、第1電圧計21の測定値V1と第2電圧計22の測定値V2はともに0〔V〕となる。
【0039】
これに対して、図4(b)に示すように、第2枝配線P2が断線している場合には、第2電圧計22の測定値V2はV2≠0〔V〕であるが、第1電圧計21の測定値V1は読み値が不定(デジタル表示値がちらついて定まらない状態)となる。
【0040】
すなわち、電圧計は一般的に内部抵抗が高いため、第1電圧計21の測定電圧は0〔V〕にならず不安定に電圧になるからである。しかしながら、この読み値不定も良品・不良品の判断材料となり、この現象が生じた場合には、断線ありと判定することができる。
【0041】
このように、V1,V2がともに0〔V〕もしくはそのいずれか一方の読み値が不定のとき、CPU31は断線あり(不良品)と判断して、その結果を表示器32に表示する。第1枝配線P1と第2枝配線P2の検査が終了したら、次に例えば枝配線P2,P3に測定プローブをずらしてすべての隣り合う配線の短絡・断線検査を行う。
【0042】
なお、上記実施形態では測定信号発生源に直流電圧発生器11を用いているが、直流電流発生器,交流電圧発生器,交流電流発生器などを採用してもよい。また、2台の電圧計21,22を用いているが、電圧計を例えば一方の電圧計21のみとし、その測定プローブQ2を反幹側端点P2aに接触させて電圧V1を測定した後、測定プローブQ2を幹側端点P2b側に接触させて電圧V2を測定するようにしてもよく、これによれば電圧計1台,測定プローブ3本で済ませられる。
【0043】
なお、電圧測定基準点Xをすべての枝配線に対して共通の箇所に設定すれば、その測定プローブQ4は動かす必要がないため、固定式の測定プローブとしてもよい。これによれば、可動プローブ2本で検査が可能となる。
【0044】
また、各枝配線の検査ポイントに測定プローブを配置してなるピンボードを作製して、それらの測定プローブを同時に各枝配線の検査ポイントに接触させるようにしてもよい。この場合には、多数の測定プローブが必要となるが、高速検査が可能となる点でメリットがある。
【0045】
上記実施形態では、隣接する2つの枝配線の検査が終了したら、測定プローブの位置をずらして、次の隣接する2つの枝配線の検査を行うようにしているが、別の手順として、すべての枝配線について、まず例えば電圧V1を測定してそのデータを保持し、その後にすべての枝配線について電圧V2を測定しながら、電圧V1と比較するようにしてもよい。
【0046】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、幹配線と、それぞれ一方の端点(幹側端点)が幹配線に接続された複数の枝配線とを有する配線パターンの隣接する枝配線間の短絡および各枝配線の断線を検査するにあたって、測定信号発生源より一方の枝配線の反幹側端点に測定信号を印加した状態の下で、幹配線上の所定箇所に電圧測定基準点を設定し、電圧測定手段にて他方の枝配線の反幹側端点と電圧測定基準点との間の電圧V1と、同じく他方の枝配線の幹側端点と電圧測定基準点との間の電圧V2とを測定し、これらの電圧V1,V2により短絡・断線の有無を判断するようにしたことにより、配線パターンの端点に対するプロービング位置によって検査精度が左右されることなく、高精度の検査を行うことができる。
【0047】
また、あらかじめ良品基板から判定基準となるデータを収集する必要がないため、作成された回路基板の1枚目から隣接パターンの断線・短絡検査を行うことができる。
【0048】
さらには、測定プローブの接触抵抗による影響を受けないため、通常の安価な測定プローブを使用でき、しかも4端子法のように1ラインに付き4本の測定プローブをプロービングする必要もないため、狭いピッチの配線パターンの測定も容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態を説明するための模式図。
【図2】上記実施形態で良品パターン時の場合を説明するための模式図。
【図3】上記実施形態で短絡パターン時の場合を説明するための模式図。
【図4】上記実施形態で断線パターン時の場合を説明するための模式図。
【図5】一般的な隣接配線パターン間の短絡および断線検査を説明するための模式図。
【図6】幹配線から分岐された枝配線の従来技術による短絡・断線検査を説明するための模式図。
【図7】上記枝配線間が短絡している場合の説明図。
【図8】上記枝配線が断線している場合の説明図。
【図9】上記従来技術における問題点を説明するための説明図。
【符号の説明】
10 回路配線検査装置
11 直流電圧発生器
21,22 電圧計
31 CPU
32 表示器
M 幹配線
P1〜PN 枝配線
P1a,P2a 反幹側端点
P1b,P2b 幹側端点
Q1〜Q4 測定プローブ
X 電圧測定基準点
Claims (6)
- 幹配線と、それぞれ一方の端点(幹側端点)が上記幹配線に接続された複数の枝配線とを有する回路配線の上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を検査する回路配線検査方法において、
隣接する所定の第1および第2枝配線を検査するにあたって、測定信号発生源より上記第1枝配線の他方の端点(反幹側端点)に測定信号を印加した状態の下で、上記幹配線の上記第2枝配線の幹側端点よりも反第1枝配線側の所定箇所を電圧測定基準点として、電圧測定手段にて上記第2枝配線の反幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧V1と、上記第2枝配線の幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧V2とを測定し、V1=V2(ただし、V1,V2がともに0Vのときを除く)のとき良品と判定することを特徴とする回路配線検査方法。 - 上記電圧V1と上記電圧V2とが、V1≠V2(ただし、V1,V2の少なくとも一方が0Vもしくは読み値不定のときを除く)のとき短絡ありと判定し、V1,V2の少なくとも一方が0Vもしくは読み値不定のとき断線ありと判定する請求項1に記載の回路配線検査方法。
- 上記測定信号発生源として、直流または交流の電圧もしくは電流発生手段が用いられる請求項1または2に記載の回路配線検査方法。
- 上記電圧検出手段が一つであって、上記電圧V1,V2のいずれか一方の電圧を測定した後、いずれか他方の電圧を測定する請求項1,2または3に記載の回路配線検査方法。
- 上記第1枝配線の反幹側端点に対する測定信号印加用のプローブおよび上記第2枝配線の幹側端点,反幹側端点に対する電圧測定用のプローブは可動プローブで、上記電圧測定基準点に対する電圧測定用のプローブには固定プローブを用いる請求項1,2,3または4に記載の回路配線検査方法。
- 幹配線と、それぞれ一方の端点(幹側端点)が上記幹配線に接続された複数の枝配線とを有する回路配線の上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を検査する回路配線検査装置において、
隣接する所定の第1および第2枝配線の内の上記第1枝配線の他方の端点(反幹側端点)に測定信号を印加する測定信号発生源と、
上記幹配線の上記第2枝配線の幹側端点よりも反第1枝配線側の所定箇所を電圧測定基準点として、上記第2枝配線の反幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧V1と、上記第2枝配線の幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧V2とを測定する電圧測定手段と、
上記電圧V1,V2により上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を判定する制御手段とを備え、
上記制御手段は、V1=V2(ただし、V1,V2がともに0Vのときを除く)のとき良品と判定し、それ以外のとき不良品と判定することを特徴とする回路配線検査装置。
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