JPH01276449A - 光情報記録媒体の製造装置 - Google Patents
光情報記録媒体の製造装置Info
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- JPH01276449A JPH01276449A JP10267088A JP10267088A JPH01276449A JP H01276449 A JPH01276449 A JP H01276449A JP 10267088 A JP10267088 A JP 10267088A JP 10267088 A JP10267088 A JP 10267088A JP H01276449 A JPH01276449 A JP H01276449A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 96
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 96
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 56
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 5
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 125000005397 methacrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 229920006305 unsaturated polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
この発明は、例えばオーディオ用、ビデオ用、さらには
情報機器用のデータ記録用等に用いられる、例えば光デ
ィスクのような光情報記録媒体の製造装置に関する。
情報機器用のデータ記録用等に用いられる、例えば光デ
ィスクのような光情報記録媒体の製造装置に関する。
[従来の技術]
この種の光情報記録媒体は、例えば特開昭62−187
004号公報に示されるように、データが記録されたマ
スターとなるスタンパとディスク基板との間に、紫外線
によって硬化される性質を有する樹脂を注入し、これに
紫外線を照射することにより硬化させ、上記ディスク基
板の表面にスタンパの記録面を転写した樹脂層が形成さ
れるようにして製造されるようにする。
004号公報に示されるように、データが記録されたマ
スターとなるスタンパとディスク基板との間に、紫外線
によって硬化される性質を有する樹脂を注入し、これに
紫外線を照射することにより硬化させ、上記ディスク基
板の表面にスタンパの記録面を転写した樹脂層が形成さ
れるようにして製造されるようにする。
そして、この樹脂層をスタンバから剥離するためには、
ディスク基板の中心部に設定される押し上げ体を、下方
からビンおよび空気圧によって押し上げ、この押し上げ
体によってディスク基板と共に樹脂層を押し上げてスタ
ンバから剥離するようにしている。
ディスク基板の中心部に設定される押し上げ体を、下方
からビンおよび空気圧によって押し上げ、この押し上げ
体によってディスク基板と共に樹脂層を押し上げてスタ
ンバから剥離するようにしている。
しかしこのようにしたのでは、ディスク基板はもとより
樹脂層に大きなたわみの力が作用し、記録転写面に損傷
を与えるおそれがあるばかりか、ディスクの歪みを生じ
させるようになるおそれがある。また、基板の押し上げ
と共にスタンバが一緒に持ち上げられるようになる。
樹脂層に大きなたわみの力が作用し、記録転写面に損傷
を与えるおそれがあるばかりか、ディスクの歪みを生じ
させるようになるおそれがある。また、基板の押し上げ
と共にスタンバが一緒に持ち上げられるようになる。
スタンバをテーブルに保持する例としては、特開昭60
−47253号公報に示されるように、スタンバをその
中心部に対応する第1の電磁石る手段とスタンバの外周
部に対応するリング状の第2の電磁石とによって磁性材
料からなるスタンバを保持し、このスタンバから樹脂層
を剥離する場合には、中央部の第1の電磁石のみをオフ
し、外周部の第2の電磁石によって、スタンバの外周部
のみが保持されるようにする。そして、この状態でスタ
ンバを樹脂層から離れる方向に移動し、スタンバの外周
部から樹脂層が順次剥離されるようにしている。しかし
、この方法は電磁石を複雑に制御する必要があるばかり
か、樹脂層に結果的に大きな剥離の力を作用させるよう
になる。
−47253号公報に示されるように、スタンバをその
中心部に対応する第1の電磁石る手段とスタンバの外周
部に対応するリング状の第2の電磁石とによって磁性材
料からなるスタンバを保持し、このスタンバから樹脂層
を剥離する場合には、中央部の第1の電磁石のみをオフ
し、外周部の第2の電磁石によって、スタンバの外周部
のみが保持されるようにする。そして、この状態でスタ
ンバを樹脂層から離れる方向に移動し、スタンバの外周
部から樹脂層が順次剥離されるようにしている。しかし
、この方法は電磁石を複雑に制御する必要があるばかり
か、樹脂層に結果的に大きな剥離の力を作用させるよう
になる。
[発明が解決しようとする課題]
この発明は上記のような点に鑑みなされたものであり、
特にディスク基板とスタンバとの間に、スタンバの記録
が転写された樹脂層が形成された状態で、樹脂層を円滑
にスタンバから剥離すると共に、テーブルからの剥離を
確実に防止でき、またその剥離工程が容易に自動化でき
るようにして、信頼性の高い光ディスク等が容易且つ確
実に製造できるようにする光情報記録媒体の製造装置を
提供しようとするものである。
特にディスク基板とスタンバとの間に、スタンバの記録
が転写された樹脂層が形成された状態で、樹脂層を円滑
にスタンバから剥離すると共に、テーブルからの剥離を
確実に防止でき、またその剥離工程が容易に自動化でき
るようにして、信頼性の高い光ディスク等が容易且つ確
実に製造できるようにする光情報記録媒体の製造装置を
提供しようとするものである。
[課題を解決するための手段]
この発明に係る光情報記録媒体の製造装置にあっては、
磁石によって構成されるテーブルの中央部にガイドリン
グを設定し、このガイドリングに嵌め合せてスタンバが
テーブル上に磁気吸引力によって固定保持されるように
するものであり、このテーブルの中心軸部に上下移動さ
れるセンターピンを設定し、このセタービンで基板が支
持設定される゛ようにする。そして、上記テープの中央
部に空気放出孔を形成し、この放出孔から空気がスタン
バと樹脂層との間に放出されるようにする。
磁石によって構成されるテーブルの中央部にガイドリン
グを設定し、このガイドリングに嵌め合せてスタンバが
テーブル上に磁気吸引力によって固定保持されるように
するものであり、このテーブルの中心軸部に上下移動さ
れるセンターピンを設定し、このセタービンで基板が支
持設定される゛ようにする。そして、上記テープの中央
部に空気放出孔を形成し、この放出孔から空気がスタン
バと樹脂層との間に放出されるようにする。
[作用]
このような光情報記録媒体の製造装置によれば、スタン
バはテーブル上に磁気吸引力さらに空気の吸引力によっ
て保持され、ガイドリングによってその位置が設定され
固定されるようになるものであり、スタンバは強固に保
持設定されると共に簡単に交換をすることができる。ま
た、ディスク基板とスタンバとの間に硬化された記録樹
脂層が形成された状態で、センタービンを微小量上昇さ
せてディスク基板の中央部がスタンパ面から微小量離れ
間隙を形成し、テーブル中央部からその間隙部に空気が
送り込ま6、中央部から樹脂層を順次剥離するようにな
る。したがって、樹脂層に剥離する力を作用させること
な(基板と一体にした樹脂層がスタンバから剥離され、
信頼性の高い状態で光ディスクが製造されるようになる
。この場合、簡単なセンタービンの上下動作およびセン
タ一部からの空気放出制御で上記剥離動作が実行される
ものであり、容易に自動化が行なえる。
バはテーブル上に磁気吸引力さらに空気の吸引力によっ
て保持され、ガイドリングによってその位置が設定され
固定されるようになるものであり、スタンバは強固に保
持設定されると共に簡単に交換をすることができる。ま
た、ディスク基板とスタンバとの間に硬化された記録樹
脂層が形成された状態で、センタービンを微小量上昇さ
せてディスク基板の中央部がスタンパ面から微小量離れ
間隙を形成し、テーブル中央部からその間隙部に空気が
送り込ま6、中央部から樹脂層を順次剥離するようにな
る。したがって、樹脂層に剥離する力を作用させること
な(基板と一体にした樹脂層がスタンバから剥離され、
信頼性の高い状態で光ディスクが製造されるようになる
。この場合、簡単なセンタービンの上下動作およびセン
タ一部からの空気放出制御で上記剥離動作が実行される
ものであり、容易に自動化が行なえる。
[発明の実施例コ
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
第1図はその全体的な構成を示すもので、この製造装置
にあっては、動作の中心となるセンターピン11を備え
る。このセンタービン11は、円筒状に構成され垂直の
状態で設定される弁部材12の中空部内に、軸方向移動
自在に設定されるもので、この弁部材12はさらに円筒
状の支持部材13の中空部内に軸方向移動自在に設定さ
れる。すなわち、センターピン11と弁部材12および
支持部材13は同軸的に構成されるものであり、支持部
材13はベアリング機構14により、固定的に設定され
る基台15に垂直状態にして、回転自在に支持されるよ
うになる。
にあっては、動作の中心となるセンターピン11を備え
る。このセンタービン11は、円筒状に構成され垂直の
状態で設定される弁部材12の中空部内に、軸方向移動
自在に設定されるもので、この弁部材12はさらに円筒
状の支持部材13の中空部内に軸方向移動自在に設定さ
れる。すなわち、センターピン11と弁部材12および
支持部材13は同軸的に構成されるものであり、支持部
材13はベアリング機構14により、固定的に設定され
る基台15に垂直状態にして、回転自在に支持されるよ
うになる。
上記支持部材13は、一体的に歯車131を備えて選択
的に回転制御されるもので、その上方には平面に広がる
ようにして受は台16が形成される。この受は台16に
は、円板状のテーブル17が載置設定されるもので、こ
のテーブル17上に載置される金属製のスタンパ18を
磁力によって保持するようにしている。この場合、磁石
はスタンパ18を固定するものであるため、テーブル1
7の表面部において作用すればよく、テーブル17の全
体が磁石である必要はない。
的に回転制御されるもので、その上方には平面に広がる
ようにして受は台16が形成される。この受は台16に
は、円板状のテーブル17が載置設定されるもので、こ
のテーブル17上に載置される金属製のスタンパ18を
磁力によって保持するようにしている。この場合、磁石
はスタンパ18を固定するものであるため、テーブル1
7の表面部において作用すればよく、テーブル17の全
体が磁石である必要はない。
ここでスタンパ18には、中心部に丸いガイド用の穴が
形成されているもので、その上面にはディジタルデータ
を記録する凹凸が形成されている。
形成されているもので、その上面にはディジタルデータ
を記録する凹凸が形成されている。
そして、テーブル17と一体的に形成されるガイドリン
グ19によって、テーブル17上の位置が固定設定され
るようになっている。
グ19によって、テーブル17上の位置が固定設定され
るようになっている。
上記ガイドリング19の上方の内周面部は、テーバ状の
面に形成された弁座を構成するようになっているもので
、この弁座部には、弁部材12の上端に一体的に形成さ
れた弁体20が、弁部材12の矢印Aで示す上下方向の
移動に対応して接触しまたは離反されるようになってい
る。
面に形成された弁座を構成するようになっているもので
、この弁座部には、弁部材12の上端に一体的に形成さ
れた弁体20が、弁部材12の矢印Aで示す上下方向の
移動に対応して接触しまたは離反されるようになってい
る。
すなわち、弁部材12がこの図で示されるように下方向
に位置する状態では、弁体20がガイドリング19の弁
座に接触しており、弁部材12がこの状態から上方に切
換え移動された状態では、弁体20とガイドリング19
による弁座との間に通路が形成される。
に位置する状態では、弁体20がガイドリング19の弁
座に接触しており、弁部材12がこの状態から上方に切
換え移動された状態では、弁体20とガイドリング19
による弁座との間に通路が形成される。
この通路は、受は台16に形成された通路21に連通さ
れるもので、この通路21は図では詳細に示していない
が真空源に連通されている。すなわち、弁体20がガイ
ドリング19から離れるように上昇されたときには、テ
ーブル17の上面その中心部から真空源によって吸引さ
れるようになる。
れるもので、この通路21は図では詳細に示していない
が真空源に連通されている。すなわち、弁体20がガイ
ドリング19から離れるように上昇されたときには、テ
ーブル17の上面その中心部から真空源によって吸引さ
れるようになる。
この真空源は、ガイドリングの外周部でスタンパの内周
部のテーブルに形成された空気の吸引孔にも通じている
。
部のテーブルに形成された空気の吸引孔にも通じている
。
センターピン11には、その軸線部に空気通路22が形
成されているもので、この通路22は弁部材12にその
上方に開口するように形成した通路23に連通され、通
路22に送り込まれた空気が、テーブル17の中心部に
形成された円板状の受は皿24部からテーブル17の上
面方向に放出され、後述する記録樹脂層の剥離に使用さ
れるようにする。
成されているもので、この通路22は弁部材12にその
上方に開口するように形成した通路23に連通され、通
路22に送り込まれた空気が、テーブル17の中心部に
形成された円板状の受は皿24部からテーブル17の上
面方向に放出され、後述する記録樹脂層の剥離に使用さ
れるようにする。
このセンターピン11は、駆動機構25によって矢印B
で示すように上下方向に移動制御される。上記駆動機構
25は、サーボモータ251によって回転される螺軸2
52を備え、この螺軸252に螺合される移動体253
によってセンターピン11を支持するようにしているも
ので、サーボモータ251の回転角によって、センター
ピン11がμm単位で上下方向に精密に移動制御される
ようにしている。そして、上記サーボモータ251は、
マイクロコンピュータ等によって構成されるようになる
制御回路26によりその回転角が制御される。
で示すように上下方向に移動制御される。上記駆動機構
25は、サーボモータ251によって回転される螺軸2
52を備え、この螺軸252に螺合される移動体253
によってセンターピン11を支持するようにしているも
ので、サーボモータ251の回転角によって、センター
ピン11がμm単位で上下方向に精密に移動制御される
ようにしている。そして、上記サーボモータ251は、
マイクロコンピュータ等によって構成されるようになる
制御回路26によりその回転角が制御される。
センターピン11の上方には、鍔状にして支持台27が
形成され、この支持台27の上方にガイドピン28が突
設されるようにしている。そして、ガイドビン28で中
心位置が設定されるようにして上記支持台27にディス
ク基板29が載置設定されるようになる。
形成され、この支持台27の上方にガイドピン28が突
設されるようにしている。そして、ガイドビン28で中
心位置が設定されるようにして上記支持台27にディス
ク基板29が載置設定されるようになる。
このディスク基板29は、例えばエポキシ、エポキシビ
ニルエステル、不飽和ポリエステル等の熱硬化性樹脂、
ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネイト等の熱可
塑性樹脂、あるいはガラス等の光透過性物質によって構
成される。
ニルエステル、不飽和ポリエステル等の熱硬化性樹脂、
ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネイト等の熱可
塑性樹脂、あるいはガラス等の光透過性物質によって構
成される。
上記センターピン1■によって支持されるようになるデ
ィスク基板29上には、移動台30によってガラス等の
透明体によって構成された円板状の重り31が載置設定
される。上記移動台30は適宜チャンバ32内に上下移
動自在に設定される。このチャンバ32は、矢印Cで示
すように上下移動されるようになっているもので、図の
状態のように下方向に移動設定された状態で、上記基台
15の上面部にテーブル17の周囲に対応して密封され
るチャンバ室33を形成するようになる。
ィスク基板29上には、移動台30によってガラス等の
透明体によって構成された円板状の重り31が載置設定
される。上記移動台30は適宜チャンバ32内に上下移
動自在に設定される。このチャンバ32は、矢印Cで示
すように上下移動されるようになっているもので、図の
状態のように下方向に移動設定された状態で、上記基台
15の上面部にテーブル17の周囲に対応して密封され
るチャンバ室33を形成するようになる。
上記チャンバ室33内には、図では示していないが、重
り31の上方には紫外線源が設定されているもので、透
明な重り31を透過して内部に紫外線が照射されるよう
にしている。
り31の上方には紫外線源が設定されているもので、透
明な重り31を透過して内部に紫外線が照射されるよう
にしている。
尚、上記スタンバ18の面上には、光ディスクの記録層
を形成するための材料であるレジン36が載置設定され
る。このレジン36は紫外線を照射することによって硬
化する2P樹脂材料でなるもので、末端にアクリル基お
よび/またはメタアクリル基を有する液状樹脂、例えば
エポキシ樹脂のアクリル酸および/またはメタクリル酸
エステル、ポリエステル樹脂のアクリル酸および/また
はメタクリル酸エステル、ポリエーテル樹脂のアクリル
酸および/またはメタクリル酸エステル、アクリル基お
よび/またはメタクリル基を末端に有するウレタン樹脂
、また、その液状樹脂をアクリル基および/またはメタ
クリル基を有する反応性モノマーで希釈したもの等で構
成される。
を形成するための材料であるレジン36が載置設定され
る。このレジン36は紫外線を照射することによって硬
化する2P樹脂材料でなるもので、末端にアクリル基お
よび/またはメタアクリル基を有する液状樹脂、例えば
エポキシ樹脂のアクリル酸および/またはメタクリル酸
エステル、ポリエステル樹脂のアクリル酸および/また
はメタクリル酸エステル、ポリエーテル樹脂のアクリル
酸および/またはメタクリル酸エステル、アクリル基お
よび/またはメタクリル基を末端に有するウレタン樹脂
、また、その液状樹脂をアクリル基および/またはメタ
クリル基を有する反応性モノマーで希釈したもの等で構
成される。
そして、このレジン36はテーブル17を回転させなが
らノズル等によって定量スタンバ18上に、リング状に
して載置されるようにする。
らノズル等によって定量スタンバ18上に、リング状に
して載置されるようにする。
第2図は、上記のように構°成される装置により光ディ
スクの記録層部を製造する工程の、特にセンタービン1
1の動きを制御する制御回路26における処理の流れを
示している。まずステップ101ではセンタービン11
が第3図で示すように上昇位置設定される。この状態に
おいては、スタンバ18の面上には、センタービン11
を中心とするリング状にして、レジン36が設定されて
いる。そして、このセンタービン11が上昇設定された
状態で、基板搬送機構40によって、ディスク基板29
がセンタービン11上に搬送され、このセンタービン1
1に形成した支持台27上に基板29が設定される。尚
、この状態ではチャンバ82は第1図の状態から上昇設
定され、搬送機構40の動きの障害とならないようにさ
れている。
スクの記録層部を製造する工程の、特にセンタービン1
1の動きを制御する制御回路26における処理の流れを
示している。まずステップ101ではセンタービン11
が第3図で示すように上昇位置設定される。この状態に
おいては、スタンバ18の面上には、センタービン11
を中心とするリング状にして、レジン36が設定されて
いる。そして、このセンタービン11が上昇設定された
状態で、基板搬送機構40によって、ディスク基板29
がセンタービン11上に搬送され、このセンタービン1
1に形成した支持台27上に基板29が設定される。尚
、この状態ではチャンバ82は第1図の状態から上昇設
定され、搬送機構40の動きの障害とならないようにさ
れている。
このようにしてセンタービン11にディスク基板29が
設定されたならば、第4図で示すように、この基板29
上に重り31を載置設定するものであり、この状態でチ
ャンバ32が第1図で示すように下降設定される。また
この状態では弁部材12は、下方の位置に設定されてい
る。
設定されたならば、第4図で示すように、この基板29
上に重り31を載置設定するものであり、この状態でチ
ャンバ32が第1図で示すように下降設定される。また
この状態では弁部材12は、下方の位置に設定されてい
る。
このようにしてディスク基板29が設定され、さらにこ
の基板29上に重り31が設定されたならば、次のステ
ップ102でセンタービン11を、スタンバ18と基板
29との間隔が、スタンバ上に載置されたリング状のレ
シン36の高さよりやや大となる第1の位置とされるま
で下降する。すなわち、第5図で示すようになるもので
、この状態ではディスク基板29の下面がリング状にさ
れたレジン36に接触する直前の状態とされる。
の基板29上に重り31が設定されたならば、次のステ
ップ102でセンタービン11を、スタンバ18と基板
29との間隔が、スタンバ上に載置されたリング状のレ
シン36の高さよりやや大となる第1の位置とされるま
で下降する。すなわち、第5図で示すようになるもので
、この状態ではディスク基板29の下面がリング状にさ
れたレジン36に接触する直前の状態とされる。
このようにセンタービン11が下降設定されたならば、
次にステップ103のようにセンタービン11をミクロ
ン単位で1〜数秒毎に下降させるように制御する。すな
わち、ディスク基板29はミクロン単位で間欠的に下降
されるもので、この下降の過程においてレジン36のリ
ングの一部が基板29の面に接し、この接触部が徐々に
拡大されてレジン36のリングの全周が基板29と接触
されるようになる。
次にステップ103のようにセンタービン11をミクロ
ン単位で1〜数秒毎に下降させるように制御する。すな
わち、ディスク基板29はミクロン単位で間欠的に下降
されるもので、この下降の過程においてレジン36のリ
ングの一部が基板29の面に接し、この接触部が徐々に
拡大されてレジン36のリングの全周が基板29と接触
されるようになる。
ステップ104でスタンバ18と基板29との間隔が第
2の位置となったか否かを判定しているもので、この間
隔が第2の位置となった状態でセンタービン11の下降
が停止され、ステップ105に進む。ここで、上記第2
の位置は基板29にレジン36のリングの全周が接触さ
れるようになる、経験的に求められた値である。
2の位置となったか否かを判定しているもので、この間
隔が第2の位置となった状態でセンタービン11の下降
が停止され、ステップ105に進む。ここで、上記第2
の位置は基板29にレジン36のリングの全周が接触さ
れるようになる、経験的に求められた値である。
ステップ105では、センタービン11を下降させ7、
このセンタービン11の基板29の支持台27の支持面
が、スタンバ18の面から所定の高さとされる位置、具
体的にはスタンバ18の面から製造される光ディスクの
樹脂による記録層の厚さに相当する高さ位置に設定され
るようにする。この場合、ディスク基板29はレジン3
6によって支持されているものであり、センタービン1
1のみが下降されるようになる。
このセンタービン11の基板29の支持台27の支持面
が、スタンバ18の面から所定の高さとされる位置、具
体的にはスタンバ18の面から製造される光ディスクの
樹脂による記録層の厚さに相当する高さ位置に設定され
るようにする。この場合、ディスク基板29はレジン3
6によって支持されているものであり、センタービン1
1のみが下降されるようになる。
このとき、同時に弁部材12が上昇位置に切換えられ、
第6図で示すように弁体20がガイドリング19から離
れるようになり、このガイドリング19と弁体20との
間に吸気通路が形成される。
第6図で示すように弁体20がガイドリング19から離
れるようになり、このガイドリング19と弁体20との
間に吸気通路が形成される。
すなわち、この状態では、スタンバ18とディスク基板
29との間に、リング状のレジン3Bにより囲まれた部
屋が形成され、この部屋が真空源によって吸気されるよ
うになるものであり、さらにレジン36に対しては、重
り31の荷重が作用し、レジン3Bを徐々に押し潰すよ
うになる。
29との間に、リング状のレジン3Bにより囲まれた部
屋が形成され、この部屋が真空源によって吸気されるよ
うになるものであり、さらにレジン36に対しては、重
り31の荷重が作用し、レジン3Bを徐々に押し潰すよ
うになる。
このようにディスク基板29がリング状にされたレジン
36に接触する際に、このレジン3B中に気泡が混入す
ることがある。しかし、上記のように1秒間にミクロン
単位で間欠的に基板29を下降させ、基板29とレジン
3Bとがまず1か所で接触した後、この接触点が左右に
リングに沿って延長され、リング状に接触部が形成され
るようにすると、レジン36中に気泡が入り込むことが
効果的に抑制されるようになる。
36に接触する際に、このレジン3B中に気泡が混入す
ることがある。しかし、上記のように1秒間にミクロン
単位で間欠的に基板29を下降させ、基板29とレジン
3Bとがまず1か所で接触した後、この接触点が左右に
リングに沿って延長され、リング状に接触部が形成され
るようにすると、レジン36中に気泡が入り込むことが
効果的に抑制されるようになる。
このようにしてディスク基板29とレジン36とが接触
されて、さらにレジン3B中に気泡が混入しているよう
な場合でも、リング状のレジン3Gの全周が基板29に
接触された状態で、その中心部から微量の真空でレジン
36を吸い込むような動作がされる。このようにレジン
36が内側に吸い込み移動されることによって、レジン
36の内部の気泡は外周方向に押し出されるようになる
ものであり、このような現象は繰返し実験により確認さ
れた。
されて、さらにレジン3B中に気泡が混入しているよう
な場合でも、リング状のレジン3Gの全周が基板29に
接触された状態で、その中心部から微量の真空でレジン
36を吸い込むような動作がされる。このようにレジン
36が内側に吸い込み移動されることによって、レジン
36の内部の気泡は外周方向に押し出されるようになる
ものであり、このような現象は繰返し実験により確認さ
れた。
ステップ10Bでは上記の状態を所定時間例えば5σ秒
間待機するもので、この間に重り31の荷重によってリ
ング状のレジン36が押し広げられ、ディスク基板29
がレジン36の高さの低下と共に下降する。そして、レ
ジン36がスタンパ18と基板29との間に広がり終わ
った状態で、ディスク基板29が上記下降位置設定され
たセンターピン11の支持台27に当って停止し、第7
図に示すような状態となる。この場合スタンバ18と基
板29との間の隙間は、センターピン11の下降設定位
置により数値的に正確に設定されるようになり、スタン
パ18のグループ面のレジン36の厚さの制御が、容易
且つ正確に行われる。
間待機するもので、この間に重り31の荷重によってリ
ング状のレジン36が押し広げられ、ディスク基板29
がレジン36の高さの低下と共に下降する。そして、レ
ジン36がスタンパ18と基板29との間に広がり終わ
った状態で、ディスク基板29が上記下降位置設定され
たセンターピン11の支持台27に当って停止し、第7
図に示すような状態となる。この場合スタンバ18と基
板29との間の隙間は、センターピン11の下降設定位
置により数値的に正確に設定されるようになり、スタン
パ18のグループ面のレジン36の厚さの制御が、容易
且つ正確に行われる。
ここで、ガイドリング19によってスタンパ1Bの取付
は位置が正確に設定されると共に、スタンパ18の剥離
防止が効果的に行われるものであるが、このガイドリン
グ19の外側であるスタンパ18の内周縁の下側に、真
空源に連通された通路21が開口されている。したがっ
て、上記のようにスタンパ18の面、上にレジン36を
広げた場合、その内周縁からスタンパ18の裏面にレジ
ンが回り込むことがあっても、この回り込みレジンは真
空吸引によって確実に回収除去されるようになる。
は位置が正確に設定されると共に、スタンパ18の剥離
防止が効果的に行われるものであるが、このガイドリン
グ19の外側であるスタンパ18の内周縁の下側に、真
空源に連通された通路21が開口されている。したがっ
て、上記のようにスタンパ18の面、上にレジン36を
広げた場合、その内周縁からスタンパ18の裏面にレジ
ンが回り込むことがあっても、この回り込みレジンは真
空吸引によって確実に回収除去されるようになる。
上記のようにスタンパ1Bと基板29との間にレジン3
6による層が形成されたならば、第7図で示すようにテ
ーブル17と共に基板29、重り31等を回転させ、そ
の後テーブル17回転させた状態で、第8図で示すよう
に紫外線を透明な重り31を介して上記広げられたレジ
ン3B面に均一に照射し、このレシンを硬化させて記録
樹脂層41が形成されるようにする。この記録樹脂層4
1のスタンパ18に対向する面には、このスタンパ18
に形成された凹凸によるディジタルデータが転写され、
この樹脂層41によって、光ディスクの記録面が形成さ
れるようになる。
6による層が形成されたならば、第7図で示すようにテ
ーブル17と共に基板29、重り31等を回転させ、そ
の後テーブル17回転させた状態で、第8図で示すよう
に紫外線を透明な重り31を介して上記広げられたレジ
ン3B面に均一に照射し、このレシンを硬化させて記録
樹脂層41が形成されるようにする。この記録樹脂層4
1のスタンパ18に対向する面には、このスタンパ18
に形成された凹凸によるディジタルデータが転写され、
この樹脂層41によって、光ディスクの記録面が形成さ
れるようになる。
このようにしてディスク基板29と一体化されるように
して、記録面の形成された樹脂層41が形成され、光デ
ィスクの基本構造が完成されるものであるが、この後は
基板29と樹脂層41を一体にして、スタンパ18の面
から剥離する必要がある。
して、記録面の形成された樹脂層41が形成され、光デ
ィスクの基本構造が完成されるものであるが、この後は
基板29と樹脂層41を一体にして、スタンパ18の面
から剥離する必要がある。
ここで、スタンパ18はテーブル17に磁気吸引力によ
って保持され、ガイドリング19によってその位置が正
確に設定されるようになっている。したがって、スタン
パ18はテーブル17から比較的簡単に取外すことがで
き、簡単に交換することができるものであるが、逆に上
記記録樹脂層41をスタンパ18から剥離しようとする
場合、樹脂層41をスタンパ18から引き離す方向に上
昇させると、スタンパ18も樹脂と一体的にテーブルか
ら離れてしまう。
って保持され、ガイドリング19によってその位置が正
確に設定されるようになっている。したがって、スタン
パ18はテーブル17から比較的簡単に取外すことがで
き、簡単に交換することができるものであるが、逆に上
記記録樹脂層41をスタンパ18から剥離しようとする
場合、樹脂層41をスタンパ18から引き離す方向に上
昇させると、スタンパ18も樹脂と一体的にテーブルか
ら離れてしまう。
しかし、この装置にあっては、記録樹脂層41をスタン
パ18から、スタンパを浮き上がらせることなしに容易
に剥離させるようにしているもので、以下にその剥離工
程を説明する。
パ18から、スタンパを浮き上がらせることなしに容易
に剥離させるようにしているもので、以下にその剥離工
程を説明する。
まず、ステップ107で示し第9図で示すように、セン
ターピン11を微小量上昇させる。この場合チャンバ2
2は上昇設定するものであり、また弁部材12の下方位
置の切換え移動させ、ガイドリング19の外周の真空に
連通ずる吸引孔50から吸引するようにしておく。そし
て、センターピン11の中心軸部に形成される空気通路
22および弁部材12に形成した通路23を介して空気
を送り込み、受は皿24部から放出させる。この空気は
支持台27の下面からディスク基板29の中央部の下面
、さらに記録樹脂層41とスタンバ18の間に送り込ま
れるようになり、樹脂層41をスタンバ18の面から剥
離させる。そして、重り31も取外し上昇させる。
ターピン11を微小量上昇させる。この場合チャンバ2
2は上昇設定するものであり、また弁部材12の下方位
置の切換え移動させ、ガイドリング19の外周の真空に
連通ずる吸引孔50から吸引するようにしておく。そし
て、センターピン11の中心軸部に形成される空気通路
22および弁部材12に形成した通路23を介して空気
を送り込み、受は皿24部から放出させる。この空気は
支持台27の下面からディスク基板29の中央部の下面
、さらに記録樹脂層41とスタンバ18の間に送り込ま
れるようになり、樹脂層41をスタンバ18の面から剥
離させる。そして、重り31も取外し上昇させる。
そして、この状態でステップ108のようにセンタービ
ン11をさらに上昇させると、第10図で示されるよう
に樹脂層41はスタンバ18の面から円滑に剥離される
。このときスタンバ18はテーブルに設定された磁石の
磁力と吸引孔50による吸引力によって、テーブルに密
着固定される。そして、記録の転写された樹脂層41は
ディスク基板29と一体になって、搬送位置まで上昇さ
れる。このように搬送位置まで上昇されたならば、搬送
機構40によって樹脂層41の形成されたディスク基板
29を吸着し、所定の格納位置に搬送する。このように
記録樹脂層41の形成されたディスク基板29は、図で
は示されていないが樹脂保護膜形成工程に移行し、記録
樹脂層41の表面に光透過性の樹脂からなる保護層を形
成し、光ディスクが完成されるものである。また、必要
に応じて基板29の外側の表面に、ラベル等が添着され
る。
ン11をさらに上昇させると、第10図で示されるよう
に樹脂層41はスタンバ18の面から円滑に剥離される
。このときスタンバ18はテーブルに設定された磁石の
磁力と吸引孔50による吸引力によって、テーブルに密
着固定される。そして、記録の転写された樹脂層41は
ディスク基板29と一体になって、搬送位置まで上昇さ
れる。このように搬送位置まで上昇されたならば、搬送
機構40によって樹脂層41の形成されたディスク基板
29を吸着し、所定の格納位置に搬送する。このように
記録樹脂層41の形成されたディスク基板29は、図で
は示されていないが樹脂保護膜形成工程に移行し、記録
樹脂層41の表面に光透過性の樹脂からなる保護層を形
成し、光ディスクが完成されるものである。また、必要
に応じて基板29の外側の表面に、ラベル等が添着され
る。
[発明の効果]
以上のようにこの発明に係る光情報記録媒体の製造装置
によれば、ディジタルデータを記録する紫外線によって
硬化する樹脂材料によって措成される記録樹脂層が、ス
タンバとディスク基板との間に形成された状態で、記録
樹脂層の中央部分が微小量上昇されて、この樹脂装置ス
タンパとの間に空気が送入されるようになる。このため
、スタンバから記録樹脂層が、送入された空気によって
剥離されるようになり、この剥離動作に際して、スタン
バにテーブルから離れる方向の力はほとんど作用されな
いようになる。したがって、スタンバが交換を容易にす
るためテーブルに磁気的に吸着保持されるような状態に
あっても、記録樹脂層の剥離工程が信頼性をもって実行
されるようになる。
によれば、ディジタルデータを記録する紫外線によって
硬化する樹脂材料によって措成される記録樹脂層が、ス
タンバとディスク基板との間に形成された状態で、記録
樹脂層の中央部分が微小量上昇されて、この樹脂装置ス
タンパとの間に空気が送入されるようになる。このため
、スタンバから記録樹脂層が、送入された空気によって
剥離されるようになり、この剥離動作に際して、スタン
バにテーブルから離れる方向の力はほとんど作用されな
いようになる。したがって、スタンバが交換を容易にす
るためテーブルに磁気的に吸着保持されるような状態に
あっても、記録樹脂層の剥離工程が信頼性をもって実行
されるようになる。
第1図はこの発明の一実施例に係る光情報記録媒体の製
造装置を説明する断面構成図、第2図は上記装置の特に
センタービンを制御する制御回路における処理の流れを
説明する図、第3図乃至第10図はそれぞれ光ディスク
の特に記録樹脂層の製造過程を順次説明する図である。 10・・・センタービン、12・・・弁部材、13・・
・支持部材、17・・・テーブル(永久磁石)、18・
・・スタンバ、19・・・ガイドリング、20・・・弁
体、21・・・(真空)通路、22.23・・・(空気
)通路、25・・・駆動機構、26・・・制御回路、2
9・・・ディスク基板、31・・・重り(ガラス)、3
2・・・チャンバ、36・・・レジン。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第3図 第4 図 第5図 第6図 第7 面 第9図 特許庁長官 吉 1)文 毅 殿 1、事件の表示 特願昭63−102670号 2、考案の名称 光情報記録媒体の製造装置 3、補正をする省 事件との関係 特許8:18人 グローバルマシーナリー株式会社 (ほか1名) 4、代理人 東京都 千代田区 霞が関3丁目7番2号〒100
電話03 (502)3181 (大代表)(5847
) 弁理士 鈴 江 武 彦5、自発補正 6、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄および図面7、補正の内
容 (1)願書添附の明細書の第2頁第20行目に「タンパ
の記録面・・・」とあるを「タンパの記録データ・・・
」と訂正する。 (2)同じく明細書の第3頁第16行目に「・・・電磁
石る」とあるを「・・・電磁石よりなる」と訂正する。 (3)同じく明細書の第7頁第13行目乃至第14行目
に「・・・その上面には・・・・・・凹凸が形成されて
いる。」とあるを「・・・その上面にはグループや情報
ビット等の凹凸が形成されている。」と訂正する。 (4)同じく明細書の第16頁第11行11乃至第12
行目に「・・・グループ面・・・」とあるを「・・・デ
ータ記録面・・・」と訂正する。 (5)同じく明細書の第17頁第7行目に「・・・テー
ブル17回転・・・」とあるを「・・・テーブル17を
回転・・・」と訂正する。 (6)同じく明細書の第17頁第13行目に「るディジ
タルデータが・・・」とあるを[るJ己録デ−夕が・・
・」と訂正する。 (7)同じく明細書の第18頁第15行目乃至第19行
目に「・・・この場合チャンバ22は・・・・・・吸引
するようにしておく。・・・」とあるを「・・・この場
合チャンバ32は上昇設定されているもので、また弁部
材12は下方の位置に設定されて、ガイドリング19と
弁座20との間の真空に連通ずる通路が閉じられるよう
にしておく。・・・」と訂正する。 (8)同じく明細書の第19頁第19行目乃至第20頁
第3行目に「示されていないが・・・・・・ラベル等が
雄管される。」とあるを「示されていないが、反射層、
記録膜の形成工程、あるいは保護膜形成工程を経て光デ
ィスクが完成されるものである。」と訂正する。 (9)同じく明細書の第20頁第6行目に「・・・ディ
ジタルデータ・・・」とあるを[・・・グループや情報
ビット等・・・Jと訂正する。 (10)添附図面の第2図、第9図および第10図をそ
れぞれ別紙の通り訂正する。 第9図 第10図
造装置を説明する断面構成図、第2図は上記装置の特に
センタービンを制御する制御回路における処理の流れを
説明する図、第3図乃至第10図はそれぞれ光ディスク
の特に記録樹脂層の製造過程を順次説明する図である。 10・・・センタービン、12・・・弁部材、13・・
・支持部材、17・・・テーブル(永久磁石)、18・
・・スタンバ、19・・・ガイドリング、20・・・弁
体、21・・・(真空)通路、22.23・・・(空気
)通路、25・・・駆動機構、26・・・制御回路、2
9・・・ディスク基板、31・・・重り(ガラス)、3
2・・・チャンバ、36・・・レジン。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第3図 第4 図 第5図 第6図 第7 面 第9図 特許庁長官 吉 1)文 毅 殿 1、事件の表示 特願昭63−102670号 2、考案の名称 光情報記録媒体の製造装置 3、補正をする省 事件との関係 特許8:18人 グローバルマシーナリー株式会社 (ほか1名) 4、代理人 東京都 千代田区 霞が関3丁目7番2号〒100
電話03 (502)3181 (大代表)(5847
) 弁理士 鈴 江 武 彦5、自発補正 6、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄および図面7、補正の内
容 (1)願書添附の明細書の第2頁第20行目に「タンパ
の記録面・・・」とあるを「タンパの記録データ・・・
」と訂正する。 (2)同じく明細書の第3頁第16行目に「・・・電磁
石る」とあるを「・・・電磁石よりなる」と訂正する。 (3)同じく明細書の第7頁第13行目乃至第14行目
に「・・・その上面には・・・・・・凹凸が形成されて
いる。」とあるを「・・・その上面にはグループや情報
ビット等の凹凸が形成されている。」と訂正する。 (4)同じく明細書の第16頁第11行11乃至第12
行目に「・・・グループ面・・・」とあるを「・・・デ
ータ記録面・・・」と訂正する。 (5)同じく明細書の第17頁第7行目に「・・・テー
ブル17回転・・・」とあるを「・・・テーブル17を
回転・・・」と訂正する。 (6)同じく明細書の第17頁第13行目に「るディジ
タルデータが・・・」とあるを[るJ己録デ−夕が・・
・」と訂正する。 (7)同じく明細書の第18頁第15行目乃至第19行
目に「・・・この場合チャンバ22は・・・・・・吸引
するようにしておく。・・・」とあるを「・・・この場
合チャンバ32は上昇設定されているもので、また弁部
材12は下方の位置に設定されて、ガイドリング19と
弁座20との間の真空に連通ずる通路が閉じられるよう
にしておく。・・・」と訂正する。 (8)同じく明細書の第19頁第19行目乃至第20頁
第3行目に「示されていないが・・・・・・ラベル等が
雄管される。」とあるを「示されていないが、反射層、
記録膜の形成工程、あるいは保護膜形成工程を経て光デ
ィスクが完成されるものである。」と訂正する。 (9)同じく明細書の第20頁第6行目に「・・・ディ
ジタルデータ・・・」とあるを[・・・グループや情報
ビット等・・・Jと訂正する。 (10)添附図面の第2図、第9図および第10図をそ
れぞれ別紙の通り訂正する。 第9図 第10図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 センターピンで支持された光透過性基板と、上記センタ
ーピンを中心にして設定されるスタンパとの間に、この
スタンパの記録面が転写された記録樹脂層が設定される
ようにした光情報記録媒体を製造する装置において、 上記センターピンを中心軸部として設定され、その上面
にスタンパの内径部に当てられるガイドリングを設定し
、磁性体材料で構成されたスタンパを磁気吸引力で保持
するように、磁石を含み構成されるようにしたテーブル
と、 上記テーブルの中心部で、上記センターピンの外周部に
近接する位置に形成された空気の放出孔と、 上記センターピンを、微小量上昇させる手段と、 上記スタンパの内径部下方に上記テーブルに形成したス
タンパ吸引用の吸引孔とを具備し、光透過性基板に一体
の記録樹脂層とテーブルに吸着されたスタンパとの間に
空気層を形成して、スタンパをテーブルに保持したまま
その相互が剥離されるようにしたことを特徴とする光情
報記録媒体の製造装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10267088A JP2509979B2 (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | 光情報記録媒体の製造装置 |
EP89107569A EP0339616B1 (en) | 1988-04-27 | 1989-04-26 | Apparatus for manufacturing optical information recording medium |
US07/343,377 US4907956A (en) | 1988-04-27 | 1989-04-26 | Apparatus for manufacturing optical information recording medium |
DE68927617T DE68927617T2 (de) | 1988-04-27 | 1989-04-26 | Vorrichtung zum Herstellen eines optischen Informations-Aufzeichnungsträgers |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10267088A JP2509979B2 (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | 光情報記録媒体の製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01276449A true JPH01276449A (ja) | 1989-11-07 |
JP2509979B2 JP2509979B2 (ja) | 1996-06-26 |
Family
ID=14333667
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10267088A Expired - Lifetime JP2509979B2 (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | 光情報記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2509979B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08221812A (ja) * | 1995-01-24 | 1996-08-30 | Samsung Electron Co Ltd | 多層光記録媒体の製造方法及びその装置 |
WO1999010153A1 (fr) * | 1997-08-25 | 1999-03-04 | Seiko Epson Corporation | Dispositif et procede servant a fabriquer un support d'enregistrement optique |
WO2003096332A1 (en) * | 2002-05-09 | 2003-11-20 | Tdk Corporation | Stamper sticking method and device, and multi-layer recording medium |
JP2008000945A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Toshiba Mach Co Ltd | 転写用の型 |
JP2008012858A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Hitachi High-Technologies Corp | インプリント装置およびインプリント方法 |
JPWO2010143303A1 (ja) * | 2009-06-12 | 2012-11-22 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 転写装置及び転写方法 |
-
1988
- 1988-04-27 JP JP10267088A patent/JP2509979B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08221812A (ja) * | 1995-01-24 | 1996-08-30 | Samsung Electron Co Ltd | 多層光記録媒体の製造方法及びその装置 |
US5820794A (en) * | 1995-01-24 | 1998-10-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Multi-layer optical recording medium manufacturing method |
WO1999010153A1 (fr) * | 1997-08-25 | 1999-03-04 | Seiko Epson Corporation | Dispositif et procede servant a fabriquer un support d'enregistrement optique |
US6280661B1 (en) | 1997-08-25 | 2001-08-28 | Seiko Epson Corporation | Apparatus and process for producing optical recording medium |
WO2003096332A1 (en) * | 2002-05-09 | 2003-11-20 | Tdk Corporation | Stamper sticking method and device, and multi-layer recording medium |
JP2008000945A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Toshiba Mach Co Ltd | 転写用の型 |
JP2008012858A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Hitachi High-Technologies Corp | インプリント装置およびインプリント方法 |
US8132505B2 (en) | 2006-07-07 | 2012-03-13 | Hitachi High-Technologies Corporation | Imprint apparatus and imprint method |
JPWO2010143303A1 (ja) * | 2009-06-12 | 2012-11-22 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 転写装置及び転写方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2509979B2 (ja) | 1996-06-26 |
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