JPH02257075A - 配線板の検査装置のテストヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野］ 本発明は配線板を検査する検査装置のテストヘッドの構
造に関する。

［従来の技術］ 近時、電子業界は半導体や配線板（ガラスエポキシ等の
樹脂板、ガラス扱及びセラミック板等に配線を施したも
の）を中心に益々微細化する傾向にあり、半導体等の製
造メーカーや検査装置メカ−は、微細化する被検査物に
対応する横管治具、中でも被検査物の試験点との接触部
があるテストヘッド部の開発に困難を来している。

特に、に記配線板の業界では、最も多く使用されている
コンタクトプローブを使用した検査装置のテストヘッド
も各試験点のピッチ及び試験点であるパット１４１とも
微細化する中、極細プローブ等と称する形状を細密化し
たプローブで何とか対応はしているものの、各種の問題
点が存在する。

第４図は従来の配線板の検査装置のテストヘッドを示す
ものである。第４図において、１は被検査物である配線
板の試験点位置に対応してレセプタクル挿入孔２が貫通
してあけられた絶縁ボード（、メインボード）、３はレ
セプタクル挿入孔２内に接着剤を用いて固定されるコン
タクトプローブ、４はコンタクトプローブ３のレセプタ
クルの後端部に接続するリード線、５はレセプタクルと
リード線４の接続端部に被着する絶縁チューブである。

また、コンタクトプローブ３は、第３図に図示するよう
に、大略、レセプタクル８、バレル１゜及びプランジャ
１２、あるいは加えてスプリング１１とて構成されてお
り、先端をバレル１ｏより突出させてバレル１０内に摺
動自在にプランジャ１２が配設され、バレル１０内のプ
ランジャ１２の後端部とバレル１０の底部にはプランジ
ャ１２のその先端に向は付勢Ｊるスプリング１１が弾装
されている。１３はプランジャ１２の摺動のストローク
を決めるストッパー突起、７は絶縁ボードｌのレセプタ
クル挿入孔２の縁部に係１にするレセプタクル８のフラ
ンジである。

従来の配線板の検査装置のテストヘッドでは、絶縁ボー
ド１に、レセプタクル挿入孔２を穴明加工する一方、リ
ード線４の端部で被覆を剥してレセプタクル８の端部に
カシメないし半田等で接続する。このようにしたレセプ
タクル８を絶縁ホト１のレセプタクル挿入孔２に挿入す
るとともに接着剤を用いて固定し、さらにレセプタクル
８内にプランジャ１２とバレル１０との組立体を装着し
、レセプタクル８とリード線４との接続端部に絶縁チュ
ーブ５を被着する。。

なお、このテストヘッドで使用するコンタクトプローブ
３は、レセプタクル８と、バレル１０及びプランジャ１
２等の組立体とが脱着可能な分離型構造であり、使用に
よる経時変化でスプリング１１のバネ性が劣化したとき
、あるいはプランジャ１２の摩耗や折損が生じたときに
、レセプタクル８を絶縁ボー１〜ｌ側に残して組立体の
みを抜き出し新たなものと交換できるようにしている。

コンタクトプローブには、このような分離型の他に第３
図のレセプタクル８とバレルｌＯとの機能を一つのレセ
プタクルにまとめた一体型構造のものもある。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、前述の従来の配線板の検査装置のテスト
ヘッドは、次なる問題点が存在した。

すなわち、 ０）コンタクトプローブは、プランジャ、バレル、レセ
プタクル等の結合によって構成されているが、微細化し
た試験点に対応するために形状を小型化すると、各部品
の寸法精度が要求され、歩留りが悪くなってコスト高と
なる。逆に各部品の公差をあまくすると、プランジャの
先端部の振れが大きくなって試験点に当りにくいという
不都合がある。。

この点、現状では、かなり厳しい公差をつけてはいるが
、プランジャの先端部の振れが問題となっており、コス
１−が高い割には性能が出ないという問題がある。

■レセプタクルは絶縁ボードのプローブ挿入孔へ接着剤
を使って固定される。しかし、断線等の故障が生じたと
きは、レセプタクルを絶縁ボードから抜き出さなければ
ならないが、これがかなり困難な修理作業となり、場合
によってはテストヘッド自体が使用不ｏＪ能となる。

また、レセプタクルは、絶縁ボードのプローブ挿入孔へ
接着剤を使いながら１木づつ丁作業にて組み込むため、
その作業性がよくないという問題がある。

■絶縁ボードにレセプタクルを装着した後にレセプタク
ルの後端部へのリード線の接続部分に絶縁チューブな被
着しているが、これは１本づつ？−１わなければならず
かなりの工数を要し、特にレセプタクルのピッチが細か
くなると、きわめて作業能率が悪くなるという問題があ
る。

本発明は上記の従来の問題点に鑑みてなされたものであ
り、コンタクトプローブを構成する各部品の司法公差を
余り厳しくしなくともプランジャの先端部の振れを小さ
く押えることができて微細化した試験点に対応すること
ができ、また絶縁ホト（メインボード）へのレセプタク
ルの絹み込み作業を改善して組立作業能率を高めること
ができる配線板の検査装置のテストヘッドを提供するこ
とを目的とする。

また、本発明の他の目的は、コンタクトプローブの交換
やリード線の断線等の故障に対しても筒中に対応し得る
配線板の検査装置のテストヘッドを提供することを目的
とする。

さらに、本発明の他の目的は、レセプタクルとり一ト線
との接続部の絶縁処理作業等を改善することにより、組
立作業能率を高めることができる配線板の検査装置のテ
ストヘッドを提供すること　Ｏ を目的とする。。

［課題を解決するだめの手段］ 本発明の配線板の検査装置のテストヘッドは、−に記の
目的を達成するため、配線板の試験点に対応してプロー
ブ挿入孔をＬ′１通してあけたメインボードと、後端部
にリード線を接続し先端部にフランジを形成したレセプ
タクルを有し、フランジより先端突出部を突出させてレ
セプタクルに装着したバレルを有し、先端をバレルより
突出させてバレル内にスプリングの付勢を伴って摺動自
在に配設したプランジャを有し、フランジがメインボー
ドの一側面のプローブ挿入孔の縁部に当接してレセプタ
クルがプローブ挿入孔に挿入されるコンタクトプローブ
と、ほぼフランジの高さに対応する厚みとし、フランジ
収容孔を有し、該フランジ収容孔にフランジを収容して
メインボードの−一側面に配設されるスペーサーと、バ
レルのレセプタクルよりの先端突出部より小さいＰ７み
とし、フランジの外径より小さい孔径のバレル収容孔を
有し、該バレル収容孔にバレルの先端突出部を収容し、
かつ、バレル収容孔の縁部てフランジを係止してスペー
サー」−に取外し可能に配設される第一のトップボード
と、少なくとも部分的にプランジャの先端部の外径と同
程度の孔径でバレルの先端突出部を収容可能な貫通孔を
有し、該貫通孔にバレルの先端突出部を収容するととも
にフランジの先端部を挿通して第一・のトップボード上
に取外し可能に配設される第二のトップボードと、から
なることを特徴とする。

なお、スペーサーを第一のトップボードに一体に設け、
これをメインボーどの一側面に取外し可能に配設しても
よく、スペーサーをメインボードに一体に設けてもよい
。

また、他の本発明の配線板の検査装置のテストヘッドは
、メインボードの他側面に、レセプタクル収容孔を有し
、該レセプタクル収容孔にレセプタタルの後端部及びリ
ード線のレセプタクルへの接続端部を挿通ずる保護ボー
ドを配設してもよい。保護ボードはメインボードに一体
に設けるようにしてもよい、。

さらに、他の本発明の配線板の検査装置のテストヘッド
は、配線板の試験点に対応してプローブ挿入孔を貫通し
てあけたメインボードと、後端部にリード線を接続し先
端部にフランジを形成したレセプタクルを有し、先端を
レセプタクルより突出させてレセプタクル内にスプリン
グの付勢を伴って摺動自在に配設したプランジャを有し
、フランジがメインボードの一側面のプローブ挿入孔の
縁部に当接してレセプタクルがプローブ挿入孔に挿入さ
れるコンタクトプローブと、ほぼフランジの高さに対応
する厚みとし、フランジ収容孔を有し、該フランジ収容
孔にフランジを収容してメインボードの一側面に配設さ
れるスペーサーと、少なくとも部分的にプランジャの先
端部の外径と同程度の孔径でフランジの外径より小さい
孔径の貫通孔を有し、該貫通孔にプランジャの先端部を
挿通ずるとともに、貫通孔の縁部でフランジを係ｔ１１
してスペーサー」二に取外し可能に配設されるトップボ
ードと、からなることを特徴とする。

なお、この場合も、スペーサーをトップボードと一体に
設けたり、メインボードと　一体に設けたりしてもよく
、さらに、メインボードの他側面に、［／セブタクル収
容孔を有し、該レセプタクル収容孔にレセプタクルの後
端部及びリード線のレセプタクルへの接続端部を挿通す
る保護ボードを配設してもＪ：い。この保護ボードはメ
インボードと一体に設けることもできる。

［実　施　例］ 以下、本発明を図面に基づき実施例をもって説明する。

第１図は本発明の実施例に係るテストヘッドの断面を示
すものである。図において、２０はメインボー１〜、：
３はコンタクトプローブ、２ｊはスベサー、２２は第一
のトップボード、２３は第一のトップボー１・である。

メインボード２０は、ガラスエポキシ板、ベーク板、ア
クリル扱等の絶縁板に、配線板の試験点に対応して多数
のプローブ挿入孔が貫通してあけである。

コンタクトプローブ３は、第３図に示すように、後端部
にリード線２６を接続し先端部にフランジ７を形成した
レセプタクル８を有し、フランジ７より先端突出部９を
突出させてレセプタクル８に装着したバレルｌＯを有し
、先端をバレル１０より突出させて１０内にスプリング
１１のイ・１勢を伴って摺動自在に配設したプランジャ
１２を有する。このコンタクトプローブ３は、レセプタ
クル８にリード線２６を接続した状態でメインホト２０
のプローブ挿入孔２５のそれぞれに挿入され、フランジ
７がメインボード２０の−一側面２０ａのプローブ挿入
孔２５の縁部に当接される。このコンタクトプローブ３
のレセプタクル８の外径とメインボード２０のプローブ
挿入孔２５の孔径との関係は、レセプタクル８を手指に
てプローブ挿入孔へ抜き差し出来る程度としである。

なお、本発明で使用するコンタクトプローブ３の構造は
従来より公知のものである。

スペーサー２１は、絶縁板からなり、所定の位置にコン
タクトプローブ３のレセプタクル８の先端部に形成され
るフランジ７を収容するだめのフランジ収容孔２８が形
成され、またその厚みはほぼフランジ７の高さに対応す
る程度とし、フランジ７の高さより若１−薄くする。こ
のスペーサ２１は、フランジ収容孔２８を対応するメイ
ンボード２０のプローブ挿入孔２５に合せて、メインボ
ード２０の一側面２０ａに配設し、そのフランジ収容孔
２８内にコンタクトプローブ３のフランジ７を収容する
。

第一のトップボード２２は、絶縁板からなり、所定の位
置にコンタクトプローブ３のフランジ７の外径より小さ
い孔径のバレル収容孔２９があけられる。第一のトップ
ボード２２はまたコンタクトプローブ；３のバレル１０
のレセプタクル８よりの先端突出部９より小さい厚みと
しである。この第一のトップボード２２は、バレル収容
穴２９をスペーサー２１のフランジ収容孔２８に位置合
せし、バレル収容孔２９にバレル１０の先端突出部９を
部分的に収容し、かつ、バレル収容孔２９の縁部でフラ
ンジ７を係止してスペーサー２１」二にビス等を使って
取外し可能に配設される。

なお、前述のスペーサー２１は、それ自体独立させずに
メインボード２０の一側面２　Ｏａ側に体に設けたり、
あるいは第一のトップボード２２と一体に設けてもよい
。第一のトップボーｊ・２２とスペーサー２１とを一体
とする場合も、メインボード２０に対しては取外し、可
能に配設する。。

また、第二のトップボード２３も絶縁板からなり、所定
の位置に貫通孔３０が設けられる。この貫通孔３０は、
少なくとも部分的にコンタクトプローブ３のプランジャ
１２の先端部の外径と同程度の孔径にされ、かつ、コン
タクトプローブ３のバレル１０の先端突出部９が収容可
能にされている。従って、コンタクトプローブ３のプラ
ンジャ１２の先端部は貫通孔３０によってその振れが規
制されることになる。なお、ｒＩ通孔３０の一ド部には
デーパ一部３０　ａが形成されプランジャ１２の貫通孔
３０への挿入をしやすくしている。この第のトップボー
ド２３は、貫通孔３０を第一のトップボード２２のバレ
ル収容孔２９に位置合せし、貫通孔３０にブラ〉ジャ１
２の先端部を挿通しバレルの１０の先端突出部９を収容
して、第のトップボード２２の十にビス等を使用して取
外しＯ■能に配設される。

なお、従来と同様にレセプタクル８の後端部に接続する
リード線２６の端部に絶縁チューブを被着してもよいが
、さらに第１図に図示するように保護ボード２４を設け
ることとしてもよい。この保護ボード２４はメインボー
ド２０と同等の絶縁板からなり、所定位置にレセプタク
ル収容孔３１が設けられており、メインボード２０の他
側面２０ｂに配設され、レセプタクル収容孔３１の内部
にレセプタクル８の後端部及びそこに接続されるリード
線２６の接続端部を収容できる程度の厚みとされる。

なおまた、保護ボード２４とメインボード２０とは一体
のものとしてもよい。図示の実施例では、両者を別個の
ものとしているが、これは板厚が大きくなると、孔明加
工の精度が落ちるためである。しかし、両者を一体のも
のとしても製作不可能ではなく１、むしろ部品点数が少
なくなってその方が好ましい。

次に、１″、記実施例におけるデス１〜ヘツトの組立に
ついて説明する。。

コンタクトプローブ３のレセプタクル８の後端部にリー
ド線２６を接続し、その状態で所定に孔明加工しである
メインボード２０のプローブ挿入孔２５へ挿入する１、
この場合、コンタクトプローブ３のレセプタクル８と、
その内部に装着されるバレル１０やプランジャ１２等に
組ｆ体とは脱着可能な構造とされているため、メインボ
ード２０への組込に際しては、コンタクトプローブ３の
全体を挿入してもよいし、先にレセプタクル８を挿入し
、次いでレセプタクル８内へ組立体を装着してもよい。

なお、レセプタクル８をメインボード２０のプローブ挿
入孔２５へ挿入しただけでは、レセプタクル８はメイン
ボード２０に何ら固定されず、手指あるいは簡単な工具
で摘み出すことができる。

コンタク１〜プローブ３のメインボード２０への組込を
終えた後、メインボード２０の一側面２０　ａのスペー
サー２１−１−に第一・のトップボー１・２２をビス等
によって取付る。これより、第一のト・ツブボード２２
のバレル収容孔２９の縁部でレセプタクル８のフランジ
７が押え込まれ、コンタクトプローブ３がメインボード
２０に固定されることになる。７そして、第一のトップ
ボード２２十。

に第二のトップボード２３がビス等で取付られ、第二の
トップボード２３の貫通孔３０でコンタクトプローブ３
のプランジャ１２の振れが規制されることになる。

なお、スペーサー２１は予めメインボード２０に配設し
、ておけばよく、保護ボード２４を使う場合も予めメイ
ンボード２０に配設しておけばよい。

このテストへ・ソトにおいて、コンタクトプローブ３の
スプリング１１が使用による経年変化でバネ性が劣化し
全数の交換を必要とする場合は、まず、第二のトップボ
ード２３を第一の］・ツブボード２２」二から取り外す
。すると、第一のトップボード２２＋にはそのバレル収
容孔２９からバレル１０の先端突出部９が部分的に突出
しているので、この先端突出部９を手掛かりにバレル１
０を引っ張れば、コンタクトプローブ３の内部相☆体の
みを抜き出すことができ、レセプタクル８は第のトップ
ボード２２で押え込まれてメインボード２０に残ってい
るので、そこに新しい内部相１“ｌ１体を装着すればよ
い、。

また、リード線２６とレセプタクル８との間の接続部で
断線を生じたときは、第−及び第二のトップボード２２
．２３をメインボード２０」−から取外し該当するコン
タクトプローブ３のみをプローブ挿入孔２５から取り出
し接続等の修理を行い、しかる後に元に戻せばよい。

次に他の本発明の実施例について説明する。前述の実施
例は、いわゆる分離型構造のコンタクトプローブを使用
する場合であるが、第２図実施例は、いわゆる一体型構
造のコンタクトプローブを使用する場合のものである。

ここで使用する　・体構造のコンタクトプローブ３は、
第３図の分離型構造のプローブに対し、て、レセプタク
ルがバレルを兼ねたものとでも言うべきもので、従来よ
り一般に使用されているものである。従って、そのコン
タクトプローブ：５′の詳しい内部構造の説明は省略す
るが、　一体型構造のものでは分離型構造と異なり、そ
のレセプタクル８゛は交換せずにそのまま使用し内部組
立体のみを新品と交換するということはできず、その交
換についてはプローブ３゛全体を交換することになる。

第２図に示すテストヘッドでは、プローブの構造での違
いに伴って、前述の実施例に比し、第一のトップボード
２２及び第二のトップボード２３をひとつのトップボー
ド２２′にまとめ、そこに貫通孔３０′を設けた点で異
なるのみで、その他は前述の実施例における構造と同一
・である。

なお、図示はしないがテストヘッドのリード線２６は、
これを集合し結束して端部にコネクタを設ける。このコ
ネクタはアナライザーへと接続されることになる。また
、テストヘッドはプリント基板の支持機構及び加圧手段
を備える検査治具に配線板と対向して装置されることに
なる、。

［作　　　川］ 本発明の配線板の検査装置のデス１−ヘットでは、コン
タクトプローブを収容するメインホー１・−１−に設！
ｒｌだ第二のトップボードあるいはトップホトにあけた
貫通孔の孔径なプランジャの先端部の外径を同程度とし
、このＬ′１通孔にプランジャの先端部を挿通しである
ので、これらトップボー１・によってプランジャの先端
部の振れが規制されることになり、微細な試験点にも適
確にプランジャを接触させ得る。

また、コンタク！・プローブのメインボー１・への組込
は、コンタク１〜プローブの全体あるいはレセプタクル
部分をメインボー１〜のプローブ挿入孔へ挿入する構造
とし、特にコンタクトプローブのメインボードへの固定
は接着剤を使用することな（、第一のトップボードある
いはトップボードのバレル収容孔あるいは貫通孔の縁部
でレセプタクルのフランジを係止することてなされる。

２；３ そして、第−及び第ニドツブボードあるいはトップボー
ドはそれぞれ所定の取付位置で取外し可能とされ、レセ
プタクルはメインボードに固着されずに抜き差しｉ’ｉ
Ｔ能であるため、各トップボードを適宜に取外すことで
、コンタクトプローブの１＝要部のみあるいは全体をメ
インボードから簡単に外すことができる。

さらに、レセプタクルへのリード線の接続端部はメイン
ボードの他側面に配設される保護ボードに明けたレセプ
タクル収容孔内に収容され、相隙間との電気絶縁が図ら
れ及び外力の不可から保護される。

［発明の効果］ 本発明の配線板の検査装置のテストヘッドによれば、コ
ンタクトプローブのプランジャの先端に生じる振れをコ
ンタクトプローブを構成する各機構部品の寸法公差を厳
密にすることで対応するのではなく、コンタクトプロー
ブとは別個の第二のトップボードあるいはトップボード
にあけた貫通孔との嵌め合せて振れを規制するため、コ
ンタクドブローブの部品各部の公差を厳密に管理する必
要がなく、コンタクトプロ・−ブの製造が比１咬的容易
となり歩留まりが向上する１、特にテストヘッドには多
数のコンタクトプローブが使用され、　力てトップボー
ドは絶縁板の所定位置に孔明加「なするという機械油に
で容易に製作できるものであるから、結局、微細な試験
点に対応する精密なテストヘッド全体を従来に比へてよ
り安価に製造し得る。

また、コンタクトプローブのメインボードへの固定構造
は、接着剤を使用することなく、第一のトップボードあ
るいはトップボードに設けた所定の孔の縁部にてコンタ
クトプローブの全数をまとめて係什するものであるため
、従来の接着剤を用いてコンタクトプローブを１本づつ
メインボードに固着する構造に比較してその組１γ作業
能率が飛躍的に改善される。

そして、第・及び第二トップボードあるいはトップボー
ドは取外し可能に配設されるものであり、これらいずれ
かを適宜取外し、コンタク１〜プローブの交換・補修が
でき、これら作業の能率も大きく改善されることになる
。

さらに、保護ボードを設けることで多数のレセプタクル
のリード線の接続端部な同時に電気的機械的に保護でき
、従来の如く各色に保護デユープを被着する構造に比し
組立作業が大いに改善されるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係るテストヘッドの断面図、
第２図は他の本発明の実施例に係るテストヘッドの断面
図、第３図はコンタクトプローブの断面図、第４図は従
来のテストヘッドの断面図である。 ３〜コンタクトプローブ ７〜フランジ ８．８′〜レセプタクル ９〜先端突出部 １　０　〜バ　レル １１〜スプリング １２〜プランジヤ ２０〜メ・インボード ２０ａ〜メインボードの一側面 ２０ｂ〜メインボードの他側面 ２１〜スペーサー ２２〜第一のトップボード ２３〜第二のトップボード ２２′〜トツプボード ２５〜プローブ挿入孔 ２６〜リード線 ２８〜フランジ収容孔 ２９〜バレル収容孔 ３９．３０′〜貫通孔 ３１〜レセプタクル収容孔

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）配線板の試験点に対応してプローブ挿入孔（２５）
   を貫通してあけたメインボード（２０）と、後端部にリ
   ード線（２６）を接続し先端部にフランジ（７）を形成
   したレセプタクル（８）を有し、フランジ（７）より先
   端突出部（９）を突出させてレセプタクル（８）に装着
   したバレル（１０）を有し、先端をバレル（１０）より
   突出させてバレル（１０）内にスプリング（１１）の付
   勢を伴って摺動自在に配設したプランジャ（１２）を有
   し、フランジ（７）がメインボード（２０）の一側面（
   ２０ａ）のプローブ挿入孔（２５）の縁部に当接してレ
   セプタクル（８）がプローブ挿入孔（２５）に挿入され
   るコンタクトプローブ（３）と、ほぼフランジ（７）の
   高さに対応する厚みとし、フランジ収容孔（２８）を有
   し、該フランジ収容孔（２８）にフランジ（７）を収容
   してメインボード（２０）の一側面（２０ａ）に配設さ
   れるスペーサー（２１）と、バレル（１０）のレセプタ
   クル（８）よりの先端突出部（９）より小さい厚みとし
   、フランジ（７）の外径より小さい孔径のバレル収容孔
   （２９）を有し、該バレル収容孔（２９）にバレル（１
   ０）の先端突出部（９）を収容し、かつ、バレル収容孔
   （２９）の縁部でフランジ（７）を係止してスペーサー
   （２１）上に取外し可能に配設される第一のトップボー
   ド（２２）と、少なくとも部分的にプランジャ（１２）
   の先端部の外径と同程度の孔径でバレル（１０）の先端
   突出部（９）を収容可能な貫通孔（３０）を有し、該貫
   通孔（３０）にバレル（１０）の先端突出部（９）を収
   容するとともにフランジ（７）の先端部を挿通して第一
   のトップボード（２２）上に取外し可能に配設される第
   二のトップボード（２３）と、からなることを特徴とす
   る配線板の検査装置のテストヘッド。 ２）レセプタクル収容孔（３１）を有し、該レセプタク
   ル収容孔（３１）にレセプタクル（８）の後端部及びリ
   ード線（２６）のレセプタクル（８）への接続端部を挿
   通してメインボード（２０）の他側面（２０ｂ）に配設
   される保護ボード（２４）を備える請求項１に記載の配
   線板の検査装置のテストヘッド。 ３）スペーサー（２１）を第一のトップボード（２２）
   に一体に設け、これをメインボード（２０）の一側面（
   ２０ａ）に取外し可能に配設した請求項１又は２のいず
   れかに記載の配線板の検査装置のテストヘッド。 ４）スペーサー（２１）をメインボード（２０）に一体
   に設けた請求項１又は２のいずれかに記載の配線板の検
   査装置のテストヘッド。 ５）保護ボード（２４）をメインボード（２０）に一体
   に設けた請求項２ないし４のいずれかに記載の配線板の
   検査装置のテストヘッド。 ６）配線板の試験点に対応してプローブ挿入孔（２５）
   を貫通してあけたメインボード（２０）と、後端部にリ
   ード線（２６）を接続し先端部にフランジ（７）を形成
   したレセプタクル（８′）を有し、先端をレセプタクル
   （８′）より突出させてレセプタクル（８′）内にスプ
   リング（１１）の付勢を伴って摺動自在に配設したプラ
   ンジャ（１２）を有し、フランジ（７）がメインボード
   （２０）の一側面（２０ａ）のプローブ挿入孔（２５）
   の縁部に当接してレセプタクル（８′）がプローブ挿入
   孔（２５）に挿入されるコンタクトプローブ（３）と、
   ほぼフランジ（７）の高さに対応する厚みとし、フラン
   ジ収容孔（２８）を有し、該フランジ収容孔（２８）に
   フランジ（７）を収容してメインボード（２０）の一側
   面（２０ａ）に配設されるスペーサー（２１）と、少な
   くとも部分的にプランジャ（１２）の先端部の外径と同
   程度の孔径でフランジ（７）の外径より小さい孔径の貫
   通孔（３０′）を有し、該貫通孔（３０′）にプランジ
   ャ（１２）の先端部を挿通するとともに、貫通孔（３０
   ′）の縁部でフランジ（７）を係止してスペーサー（２
   １）上に取外し可能に配設されるトップボード（２２′
   ）と、からなることを特徴とする配線板の検査装置のテ
   ストヘッド。 ７）レセプタクル収容孔（３１）を有し、該レセプタク
   ル収容孔（３１）にレセプタクル（８′）の後端部及び
   リード線（２６）のレセプタクル（８′）への接続端部
   を挿通してメインボード（２０）の他側面（２０ｂ）に
   配設される保護ボード（２４）を備える請求項６に記載
   の配線板の検査装置のテストヘッド。 ８）スペーサー（２１）をトップボード（２２′）と一
   体に設けた請求項６又は７のいずれかに記載の配線板の
   検査装置のテストヘッド。 ９）スペーサー（２１）をメインボード（２０）と一体
   に設けた請求項６又は７のいずれかに記載の配線板の検
   査装置のテストヘッド。 １０）保護ボード（２４）をメインボード（２０）に一
   体に設けた請求項７ないし９のいずれかに記載の配線板
   の検査装置のテストヘッド。