JPH01295183A - 治具接続装置と接続手段 - Google Patents
治具接続装置と接続手段Info
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- JPH01295183A JPH01295183A JP63125589A JP12558988A JPH01295183A JP H01295183 A JPH01295183 A JP H01295183A JP 63125589 A JP63125589 A JP 63125589A JP 12558988 A JP12558988 A JP 12558988A JP H01295183 A JPH01295183 A JP H01295183A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 4
- 229920002457 flexible plastic Polymers 0.000 claims 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の技術分野〉
本発明は治具と装置本体の接続装置に関わり、特に電子
部品測定用の個別の治具と測定器のテストヘッド(装置
本体と呼称する)との接続を行う場合に至便である接続
装置に関する。
部品測定用の個別の治具と測定器のテストヘッド(装置
本体と呼称する)との接続を行う場合に至便である接続
装置に関する。
〈従来技術とその問題点〉
近年IC(集積回路)テスタに代表される電子でいる。
そこでテスタを汎用部分と被測定部品固有の部分に分割
するようになった。汎用部分は、測定を行う機能を有す
る部分と、テストヘッドと呼ばれる上記固有の部分との
接続部分とから構成されている。固有の部分は治具ある
いはフィツスは装置本体とも呼称される)と治具の接続
のうち電気的接続は、バネ付勢ピンと対応する電極の組
によって行われる。従来より、最も簡便な方法として、
テストヘッドと治具の機械的接続をネジとナツトで行っ
ていた。ところが、被測定電子部品の端子数が増加し、
その各端子に略対応するハネ付勢ピン数が増加したため
、治具とテストヘッドの接続に要する押圧が非常に大き
くなった。例えば、代表的なバネ付勢ピンのバネ圧力は
200グラムである。大規模ICの端子数を100とす
れば、端子当り3本のバネ付勢ピンを有する標準的な測
定装置において、押圧は60キログラムに達する。この
ような押圧を必要とする場合、ネジ締結は非常に困難で
ある。複数のネジを用いても、締結作業時、選択されて
締付中の1つのネジに大きな力が集中し、相手ナンドと
の整列が乱れそれ粉が生じ、近年要求される測定環境を
汚染するという問題も住している。一つの解決方法では
、インテスト社において行われているように、相互に連
動する大型のネジ状機構を設けて、単一の機構に力が集
中したりしないように、治具とテストヘッドの整列関係
を保ったまま離接できるようになっている。この方法で
は装置が大型で、操作不便であり、高価でもある。
するようになった。汎用部分は、測定を行う機能を有す
る部分と、テストヘッドと呼ばれる上記固有の部分との
接続部分とから構成されている。固有の部分は治具ある
いはフィツスは装置本体とも呼称される)と治具の接続
のうち電気的接続は、バネ付勢ピンと対応する電極の組
によって行われる。従来より、最も簡便な方法として、
テストヘッドと治具の機械的接続をネジとナツトで行っ
ていた。ところが、被測定電子部品の端子数が増加し、
その各端子に略対応するハネ付勢ピン数が増加したため
、治具とテストヘッドの接続に要する押圧が非常に大き
くなった。例えば、代表的なバネ付勢ピンのバネ圧力は
200グラムである。大規模ICの端子数を100とす
れば、端子当り3本のバネ付勢ピンを有する標準的な測
定装置において、押圧は60キログラムに達する。この
ような押圧を必要とする場合、ネジ締結は非常に困難で
ある。複数のネジを用いても、締結作業時、選択されて
締付中の1つのネジに大きな力が集中し、相手ナンドと
の整列が乱れそれ粉が生じ、近年要求される測定環境を
汚染するという問題も住している。一つの解決方法では
、インテスト社において行われているように、相互に連
動する大型のネジ状機構を設けて、単一の機構に力が集
中したりしないように、治具とテストヘッドの整列関係
を保ったまま離接できるようになっている。この方法で
は装置が大型で、操作不便であり、高価でもある。
〈発明の目的〉
治具と装置本体の接続を容易確実にできる廉価な接続装
置を提供することが本発明の目的である。
置を提供することが本発明の目的である。
〈発明の概要〉
本発明の一実施例では、治具とテストヘッドの機械的接
続をカムとカムフォロワで行う。カムを治具に装置する
。暖いけい合状態でのカムの無用の回転を避けるため、
プラスチックスペーサをバネ付勢してカムの回転に対し
ての摩擦力を与えている。また、治具はガイドと位置決
めピンを有している。テストヘッドにはガイドと位置決
めピンを受ける穴がある。治具の装着時には、まずガイ
ドがガイド穴に挿入され、その後位置決めピンが位置決
め穴に挿入されるようになっている。ガイドは位置決め
ピンより長く、かつ柔軟性をもっている。従って、ガイ
ドにより粗く位置決めした後、位置決めのピンにより高
確度の位置決めが行われる。ガイドは治具を保管する場
合の位置決めピンの保護機能をも有する。
続をカムとカムフォロワで行う。カムを治具に装置する
。暖いけい合状態でのカムの無用の回転を避けるため、
プラスチックスペーサをバネ付勢してカムの回転に対し
ての摩擦力を与えている。また、治具はガイドと位置決
めピンを有している。テストヘッドにはガイドと位置決
めピンを受ける穴がある。治具の装着時には、まずガイ
ドがガイド穴に挿入され、その後位置決めピンが位置決
め穴に挿入されるようになっている。ガイドは位置決め
ピンより長く、かつ柔軟性をもっている。従って、ガイ
ドにより粗く位置決めした後、位置決めのピンにより高
確度の位置決めが行われる。ガイドは治具を保管する場
合の位置決めピンの保護機能をも有する。
〈発明の実施例〉
第3図は本発明の一実施例の治具接続装置を使用した治
具とテストヘッド31の組合わせ装置の等角図である。
具とテストヘッド31の組合わせ装置の等角図である。
治具30はさらに、治具本体32、取っ手34、蓋33
、フィツスチャ35、測定端子(ソケット)40、カム
36、レバー37等から成る。
、フィツスチャ35、測定端子(ソケット)40、カム
36、レバー37等から成る。
第4図は第3図の治具30を当接面側からみた概略の等
角図である。治具30の当接平面45上には、それに垂
直に4個のガイド43が治具の4隅に固定されている。
角図である。治具30の当接平面45上には、それに垂
直に4個のガイド43が治具の4隅に固定されている。
ガイド43の先端は先細であり、テストヘッド31にあ
る穴への挿入を容易−5〜 にしている。
る穴への挿入を容易−5〜 にしている。
第4図ではフイクスチャ35は取り去られており、フイ
クスチャ4や35の基板20のガイドピン24を挿入す
るための穴42が4個フィクスチャ取付板41に設けら
れている。第4図で省略されているものはこの他ムこ以
下のものがある。
クスチャ4や35の基板20のガイドピン24を挿入す
るための穴42が4個フィクスチャ取付板41に設けら
れている。第4図で省略されているものはこの他ムこ以
下のものがある。
穴42に挿入されるガイドカラー25、基板20固定用
のプレスフィツト(穴42の近傍に設けられる。)位置
決めピン10(カム36の中心を詳細は第1図に示され
る。第1図は第3図の治具の概略断面図である。カム3
6のカム軸363の中心線を含む治具の垂直平面による
断面を示す。
のプレスフィツト(穴42の近傍に設けられる。)位置
決めピン10(カム36の中心を詳細は第1図に示され
る。第1図は第3図の治具の概略断面図である。カム3
6のカム軸363の中心線を含む治具の垂直平面による
断面を示す。
説明を容易にするためタブ22とガスケット23から成
るプレスフィツトとガイド24とガイドカラー25の位
置はそれが実際存在する位置とは異るが、本発明の要旨
に影響を与えるものではない。
るプレスフィツトとガイド24とガイドカラー25の位
置はそれが実際存在する位置とは異るが、本発明の要旨
に影響を与えるものではない。
第1図のA−A断面は第2図に示すとおりである。第2
図はカム36のカムカバー361を除去した断面を示す
ものでカバー32が参考のために背面に示されている。
図はカム36のカムカバー361を除去した断面を示す
ものでカバー32が参考のために背面に示されている。
カム本体362はカム軸363とともに回転し、カム本
体364の係合面362Aとカムフォロワ365と接触
し、カムフォロワ365の固定されたテストヘッド31
と治具30を相互に引き寄せる。レバー37はレバー取
りつけ部390にネジ込んでカムに取りつけられる。3
個のネジ穴392はカムカバー361を取りつけるため
のもので、カムカバー361はカムの補強を行う役割を
も持っている。第2図にはカム軸363の前面外周40
0、スペーサ366、カバー32の穴402、カム本体
をカム軸にネジ取めするためのネジ穴364の位置も示
されている。第1図において、カム軸363にカム本体
362、カムカバー361が固定され、さらにストッパ
380が割ピン387によって同じくカム軸363に止
められる。スプリング384はストン樹脂性スペンサー
366はカム支持板367とカム本体362に挟持圧縮
される。従ってカム36の回転に対し摩擦力を発生でき
る。ポス369はカム支持板367にネジ止めされる。
体364の係合面362Aとカムフォロワ365と接触
し、カムフォロワ365の固定されたテストヘッド31
と治具30を相互に引き寄せる。レバー37はレバー取
りつけ部390にネジ込んでカムに取りつけられる。3
個のネジ穴392はカムカバー361を取りつけるため
のもので、カムカバー361はカムの補強を行う役割を
も持っている。第2図にはカム軸363の前面外周40
0、スペーサ366、カバー32の穴402、カム本体
をカム軸にネジ取めするためのネジ穴364の位置も示
されている。第1図において、カム軸363にカム本体
362、カムカバー361が固定され、さらにストッパ
380が割ピン387によって同じくカム軸363に止
められる。スプリング384はストン樹脂性スペンサー
366はカム支持板367とカム本体362に挟持圧縮
される。従ってカム36の回転に対し摩擦力を発生でき
る。ポス369はカム支持板367にネジ止めされる。
カム支持板367の下面、位置決めピン10が植え込ま
れている面が当接面45である。カム支持板367には
補強板368が挿入される溝が設けられる。補強板36
8はフイクスチャ取付板41と結合され、フイクスチャ
取付板41は当接面45側でカム支持板367に固定さ
れるので、これらXの板による治具の主要構造は十分強
固である。被測定部品用の基板(あるいはその取付板)
20はフイクスチャ取付板41に設けられたガスケット
23とガイドカラー25に該基板20上のタブ22とガ
イドピン24を挿入して取りつける。電気的接続のため
の3個の別々の電極21が基板に設けられてしてガード
電位と電気信号がハネ付勢ピン111.112.113
のそれぞれと接触する。位置決定ピン10の挿入穴は隣
青銅等のカラー102に設−7= けられ支柱100に埋め込まれる。カムフォロワ365
、支柱100は機械的に一体化されており、電子回路1
05、プローブ本体109バネ付勢ピン111.112
.113等も本質的に支柱100に一体化される。治具
30とテストヘッド31の接続を行うにはまずレバー3
7を図示しない手前のストッパに接触するまで回転させ
、第2図の状態として、ガイド43を対応するテストヘ
ッドの穴に挿入する。このとき、位置決定ピン10はそ
の挿入穴に1部挿入されている。レバー37を回転して
反対側のストッパまで移動させると位置決定ピン10は
その挿入穴に差し込まれて、治具とテストヘッドは正確
に位置決めされて接続される。レバー37の回転による
治具の移動量は、本実施例では約3Mである。このよう
に移動量が小さいときは、2つのカムを連動せずに、順
次に行っても支障がないことがわかっている。従来技術
と同様に、ベルトやワイアを用いたりリンク機構を用い
て、2つのカムを連動させることも可能である。第5図
はベルトを用いた例を示す。図においてカム1とカム2
は中継ホイール3を介して連動している。ベルトA、ベ
ルトBはそれぞれカム1と中継ホイール3、カム2と中
継ホイール3にそれぞれ固定されている。ベルトの代り
にリンクを用いることも可能なことは当業者に周知であ
る。
れている面が当接面45である。カム支持板367には
補強板368が挿入される溝が設けられる。補強板36
8はフイクスチャ取付板41と結合され、フイクスチャ
取付板41は当接面45側でカム支持板367に固定さ
れるので、これらXの板による治具の主要構造は十分強
固である。被測定部品用の基板(あるいはその取付板)
20はフイクスチャ取付板41に設けられたガスケット
23とガイドカラー25に該基板20上のタブ22とガ
イドピン24を挿入して取りつける。電気的接続のため
の3個の別々の電極21が基板に設けられてしてガード
電位と電気信号がハネ付勢ピン111.112.113
のそれぞれと接触する。位置決定ピン10の挿入穴は隣
青銅等のカラー102に設−7= けられ支柱100に埋め込まれる。カムフォロワ365
、支柱100は機械的に一体化されており、電子回路1
05、プローブ本体109バネ付勢ピン111.112
.113等も本質的に支柱100に一体化される。治具
30とテストヘッド31の接続を行うにはまずレバー3
7を図示しない手前のストッパに接触するまで回転させ
、第2図の状態として、ガイド43を対応するテストヘ
ッドの穴に挿入する。このとき、位置決定ピン10はそ
の挿入穴に1部挿入されている。レバー37を回転して
反対側のストッパまで移動させると位置決定ピン10は
その挿入穴に差し込まれて、治具とテストヘッドは正確
に位置決めされて接続される。レバー37の回転による
治具の移動量は、本実施例では約3Mである。このよう
に移動量が小さいときは、2つのカムを連動せずに、順
次に行っても支障がないことがわかっている。従来技術
と同様に、ベルトやワイアを用いたりリンク機構を用い
て、2つのカムを連動させることも可能である。第5図
はベルトを用いた例を示す。図においてカム1とカム2
は中継ホイール3を介して連動している。ベルトA、ベ
ルトBはそれぞれカム1と中継ホイール3、カム2と中
継ホイール3にそれぞれ固定されている。ベルトの代り
にリンクを用いることも可能なことは当業者に周知であ
る。
〈発明の効果〉
以上詳述したように、本発明によれば、正確な位置決め
で、容易に治具とテストヘッドの接続が可能である。さ
らに、簡単な構造のカムを使用するのみであり廉価であ
る。ガイドは正確な位置決めのための位置決めピンが他
の物と触れないようにするので、位置決めピンの損傷が
防げる。
で、容易に治具とテストヘッドの接続が可能である。さ
らに、簡単な構造のカムを使用するのみであり廉価であ
る。ガイドは正確な位置決めのための位置決めピンが他
の物と触れないようにするので、位置決めピンの損傷が
防げる。
第1図は本発明の一実施例の治具接続装置の断面図、第
2図は本発明の一実施例に含まれるカムとカムフォロワ
ーを示す図、第3図は本発明の一実施例の治具接続装置
の等角図、第4図は第3図の治具を当接面側からみた等
角図、第5図はヘルドを用いてカムを連動する方法を説
明するための図である。 ■、2.36−カム 3−中継ホイール 1〇−位置決めピン 2〇一基板 3〇−治具 31−装置本体(テストヘッド) 35−フイクスチャ 37−レバー 363=カム軸 365=カムフオロワ
2図は本発明の一実施例に含まれるカムとカムフォロワ
ーを示す図、第3図は本発明の一実施例の治具接続装置
の等角図、第4図は第3図の治具を当接面側からみた等
角図、第5図はヘルドを用いてカムを連動する方法を説
明するための図である。 ■、2.36−カム 3−中継ホイール 1〇−位置決めピン 2〇一基板 3〇−治具 31−装置本体(テストヘッド) 35−フイクスチャ 37−レバー 363=カム軸 365=カムフオロワ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、治具と装置本体の接続のために、前記治具は複数の
ガイドと前記ガイドより短かい複数の位置決めピンを備
え、前記装置本体は前記ガイドと前記位置決めピンをそ
れぞれ挿入するためのガイド穴と位置決め穴とを備え、
前記治具と前記装置本体を接続手段により当接接続する
ようにした治具接続装置。 2、前記ガイドが可撓性を有するプラスチックより成る
請求項1記載の治具接続装置。 3、前記接続手段を前記治具に装着したカムと前記装置
本体に装着したカムフォロワより構成した請求項1記載
の治具接続装置。 4、前記治具と前記装置本体の1方が他方の有する電極
に接続時当接するバネ付勢ピンを有する治具接続装置。 5、前記カムと前記カムフォロワから構成され、前記カ
ムが該カムを固定した回転軸を有し、カム支持体とカム
間に弾性スペーサを挟持し、前記回転軸を軸方向に牽引
して前記弾性スペーサに圧縮力を生ぜしめて前記カムに
回転摩擦を与えるようにした請求項1記載の接続手段。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63125589A JP2674781B2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 治具接続装置と接続手段 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63125589A JP2674781B2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 治具接続装置と接続手段 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01295183A true JPH01295183A (ja) | 1989-11-28 |
JP2674781B2 JP2674781B2 (ja) | 1997-11-12 |
Family
ID=14913912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63125589A Expired - Fee Related JP2674781B2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 治具接続装置と接続手段 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2674781B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6873167B2 (en) | 2001-10-25 | 2005-03-29 | Agilent Technologies, Inc. | Connection box, system, and method for evaluating a DUT board |
JP2005315876A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-11-10 | Agilent Technol Inc | インターフェースをテスト機器に着脱可能に接続するための機構 |
JP2011149950A (ja) * | 2003-03-31 | 2011-08-04 | Intest Corp | テストヘッド位置決めシステムと方法 |
-
1988
- 1988-05-23 JP JP63125589A patent/JP2674781B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6873167B2 (en) | 2001-10-25 | 2005-03-29 | Agilent Technologies, Inc. | Connection box, system, and method for evaluating a DUT board |
JP2011149950A (ja) * | 2003-03-31 | 2011-08-04 | Intest Corp | テストヘッド位置決めシステムと方法 |
JP2005315876A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-11-10 | Agilent Technol Inc | インターフェースをテスト機器に着脱可能に接続するための機構 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2674781B2 (ja) | 1997-11-12 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
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