JPH02146496A - 金属溶融用るつぼ - Google Patents
金属溶融用るつぼInfo
- Publication number
- JPH02146496A JPH02146496A JP30189188A JP30189188A JPH02146496A JP H02146496 A JPH02146496 A JP H02146496A JP 30189188 A JP30189188 A JP 30189188A JP 30189188 A JP30189188 A JP 30189188A JP H02146496 A JPH02146496 A JP H02146496A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating layer
- crucible
- base
- corrosion
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 41
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 238000002844 melting Methods 0.000 title claims description 31
- 230000008018 melting Effects 0.000 title claims description 28
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims abstract description 81
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 claims 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 238000010285 flame spraying Methods 0.000 abstract 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 5
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical group [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052770 Uranium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(iv) oxide Chemical compound O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- -1 tungsten (W) Chemical class 0.000 description 1
- JFALSRSLKYAFGM-UHFFFAOYSA-N uranium(0) Chemical compound [U] JFALSRSLKYAFGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は溶融活性金属に対する耐食性及び耐熱性を有す
るコーティング層を備えた金属溶融用るつぼに関する。
るコーティング層を備えた金属溶融用るつぼに関する。
(従来の技術)
チタン(Tt)、ジルコニウム(Zr)、ウラン(U)
等のような科学的に活性でかつ比較的融点の高い金属溶
融用るつぼ材としては、タングステン(W)、タンタル
(Ta)、モリブデン(MO)、ニオブ(Nb)等の高
融点金属またはグラファイトが使用されている。
等のような科学的に活性でかつ比較的融点の高い金属溶
融用るつぼ材としては、タングステン(W)、タンタル
(Ta)、モリブデン(MO)、ニオブ(Nb)等の高
融点金属またはグラファイトが使用されている。
しかしこれらのるつぼ基材においても、上記のような高
融点で活性な金属と直接接触した場合には、両者間で反
応したり、あるいは合金化してるつぼ自体が溶解したり
、浸蝕されることがあるばかりでなく、るつぼ基体自身
が溶湯中に解は出して溶湯純度を低下させる要因となる
場合がある。
融点で活性な金属と直接接触した場合には、両者間で反
応したり、あるいは合金化してるつぼ自体が溶解したり
、浸蝕されることがあるばかりでなく、るつぼ基体自身
が溶湯中に解は出して溶湯純度を低下させる要因となる
場合がある。
したがって、この様な問題を回避するために、前記した
ような高融点金属を基材とするるつぼ内表面に、溶融T
i、Zr5U等との耐食性、耐熱性にすくれたイツトリ
ア(Y2O3)、ハフニア(Hf O2)等のセラミッ
クスコーティング層〔耐食層〕を施すことが通常行われ
ている。更にまた、この様なセラミックスコーティング
層が設けられたるつぼでは、セラミックスとるつぼ基材
との間で、その熱膨張係数に差があるため、熱応力によ
ってセラミックス層が剥離する恐れがある。
ような高融点金属を基材とするるつぼ内表面に、溶融T
i、Zr5U等との耐食性、耐熱性にすくれたイツトリ
ア(Y2O3)、ハフニア(Hf O2)等のセラミッ
クスコーティング層〔耐食層〕を施すことが通常行われ
ている。更にまた、この様なセラミックスコーティング
層が設けられたるつぼでは、セラミックスとるつぼ基材
との間で、その熱膨張係数に差があるため、熱応力によ
ってセラミックス層が剥離する恐れがある。
そこでこれを防止するために、セラミックスのコーティ
ング層と基材との間に、両者の中間的熱膨張係数を有す
る高最点金属またはセラミックスの下地コーティング層
(中間層)を設けたるつぼが提案されている。
ング層と基材との間に、両者の中間的熱膨張係数を有す
る高最点金属またはセラミックスの下地コーティング層
(中間層)を設けたるつぼが提案されている。
この様なコーティング層を有するるつぼの構成の一例と
して、第1図に示すような構造のTi溶融るつぼが挙げ
られる。このるつぼは、グラファイトによって形成され
た基材lの内表面に、Nbの下地コーティング層2を施
し、更にその上にY2O3のセラミックスコーティング
層3が設けられたものであり、その中にTi溶湯5が収
容される。なお、このるつぼは冷却機能を有した冷却用
ハース(水冷銅)4の中に収容されている。
して、第1図に示すような構造のTi溶融るつぼが挙げ
られる。このるつぼは、グラファイトによって形成され
た基材lの内表面に、Nbの下地コーティング層2を施
し、更にその上にY2O3のセラミックスコーティング
層3が設けられたものであり、その中にTi溶湯5が収
容される。なお、このるつぼは冷却機能を有した冷却用
ハース(水冷銅)4の中に収容されている。
従来、このような下地コーティング層2およびセラミッ
クス層3は、大気中プラズマ溶射法によって厚さ0.1
〜5.01程度に形成され、それらのコーティング層2
および3は、第1図のA部分を拡大した第5図(a)に
示されるように、通常、その内部に気孔率で10〜30
%程度の気孔を有している。
クス層3は、大気中プラズマ溶射法によって厚さ0.1
〜5.01程度に形成され、それらのコーティング層2
および3は、第1図のA部分を拡大した第5図(a)に
示されるように、通常、その内部に気孔率で10〜30
%程度の気孔を有している。
(発明が解決しようとする課題)
上記のような構成のるつぼ中でTi金属を適当な手段を
用いて加熱、溶融すると、Tiの金属溶湯5と接してい
るセラミックスコーティング層3の内表面と、冷却用ハ
ース4と接している基材lの外表面とでは、その温度芒
が1.500〜2.200度となる。その際、耐食層の
セラミックスコーティング層材Y2O3の熱伝導率は、
基材1のグラファイトに比べ著しく小さいため、この温
度差のほとんどは耐食コーティング層3において生ずる
こととなる。るつぼの厚さ方向の温度分布の一例は第5
図(b)に示す通りである。したがって、この温度差に
よる熱応力が発生し、この熱応力はコーティング層3の
剥離もしくは破損を招く虞がある。即ち、このような従
来のるつぼにおいては、基材1と下地コーティング層2
、および下地コーティング層2と耐食コーティング層3
は、それぞれ化学反応を伴わず、単に機械的に結合して
いるのみであり、その密着性が比較的低いからであ−る
。
用いて加熱、溶融すると、Tiの金属溶湯5と接してい
るセラミックスコーティング層3の内表面と、冷却用ハ
ース4と接している基材lの外表面とでは、その温度芒
が1.500〜2.200度となる。その際、耐食層の
セラミックスコーティング層材Y2O3の熱伝導率は、
基材1のグラファイトに比べ著しく小さいため、この温
度差のほとんどは耐食コーティング層3において生ずる
こととなる。るつぼの厚さ方向の温度分布の一例は第5
図(b)に示す通りである。したがって、この温度差に
よる熱応力が発生し、この熱応力はコーティング層3の
剥離もしくは破損を招く虞がある。即ち、このような従
来のるつぼにおいては、基材1と下地コーティング層2
、および下地コーティング層2と耐食コーティング層3
は、それぞれ化学反応を伴わず、単に機械的に結合して
いるのみであり、その密着性が比較的低いからであ−る
。
更にこの様な層間密着性の低さは、金属溶湯5の凝固時
の収縮によるコーティング層2および3の剥離を招く虞
れがあった。
の収縮によるコーティング層2および3の剥離を招く虞
れがあった。
更に、上記コーティング層2および3は、気孔率で10
〜30%の空孔を有していることから、Ti溶湯5が空
孔6内に浸透し、下地コーティング層2や基月1と接触
して、/8セし、場合により反応して、耐食コーティン
グ層3を剥離させるとともに基材1を浸蝕する虞があっ
た。
〜30%の空孔を有していることから、Ti溶湯5が空
孔6内に浸透し、下地コーティング層2や基月1と接触
して、/8セし、場合により反応して、耐食コーティン
グ層3を剥離させるとともに基材1を浸蝕する虞があっ
た。
本発明の目的は、上記問題点に解決を与えることであり
、溶融活性金属に対する耐食性および耐熱性を著しく向
上させたコーティング層を有する金属溶融用るつぼを提
供することにある。
、溶融活性金属に対する耐食性および耐熱性を著しく向
上させたコーティング層を有する金属溶融用るつぼを提
供することにある。
(課題を解決するための手段および作用)本発明は、る
つぼ基体の少なくとも内表面に、セラミックスからなる
耐食コーティング層を、高融点金属材からなる気孔率2
%以下の下地コーティング層を介して設けたこと、を特
徴とするものである。
つぼ基体の少なくとも内表面に、セラミックスからなる
耐食コーティング層を、高融点金属材からなる気孔率2
%以下の下地コーティング層を介して設けたこと、を特
徴とするものである。
また本発明は、るつぼ基体の少なくとも内表面に、高融
点金属材からなる下地コーティング層を形成し、前記下
地コーティング層上にセラミックスからなる耐食コーテ
ィング層を更に形成する金属溶融用るつぼの製造法にお
いて、前記下地コーティング層の形成を減圧プラズマ溶
射法によって行なうこと、を特徴とするものである。
点金属材からなる下地コーティング層を形成し、前記下
地コーティング層上にセラミックスからなる耐食コーテ
ィング層を更に形成する金属溶融用るつぼの製造法にお
いて、前記下地コーティング層の形成を減圧プラズマ溶
射法によって行なうこと、を特徴とするものである。
更にまた本発明は、前記した金属溶融るつぼの製造法に
おいて、前記下地コーティング層の形成の前に、少なく
ともるつぼ基体の内表面を、スパッタリング・クリーニ
ングすること、を特徴とするものである。
おいて、前記下地コーティング層の形成の前に、少なく
ともるつぼ基体の内表面を、スパッタリング・クリーニ
ングすること、を特徴とするものである。
(作 用)
基体1の少なくとも内表面に高畿点金属の下地コーティ
ング層2をArガス雰囲気中で減圧プラズマ溶射法によ
って形成する結果、コーティング層の密着強度が高くな
る。大気中プラズマ溶剤法であると、存在する酸素によ
って、るつぼ基材の表面にコーティング層の密着強度を
低下させる酸化被膜を形成してしまうが、A「雰囲気中
でプラズマ溶射を行うと、この様な酸化被膜の形成を防
止できるからである。また、Ar雰囲気中であると、大
気中プラズマ溶射法によつた場合のように、酸素および
窒素を吸収して高融点金属が脆化することもない。さら
にまた減圧下であると、プラズマを長時間形成でき、溶
射材料を溶融、加速しやすいため、形成された被膜の気
孔形成を押さえることができ、低い気孔率を有した下地
コーティング層を形成することが可能である。
ング層2をArガス雰囲気中で減圧プラズマ溶射法によ
って形成する結果、コーティング層の密着強度が高くな
る。大気中プラズマ溶剤法であると、存在する酸素によ
って、るつぼ基材の表面にコーティング層の密着強度を
低下させる酸化被膜を形成してしまうが、A「雰囲気中
でプラズマ溶射を行うと、この様な酸化被膜の形成を防
止できるからである。また、Ar雰囲気中であると、大
気中プラズマ溶射法によつた場合のように、酸素および
窒素を吸収して高融点金属が脆化することもない。さら
にまた減圧下であると、プラズマを長時間形成でき、溶
射材料を溶融、加速しやすいため、形成された被膜の気
孔形成を押さえることができ、低い気孔率を有した下地
コーティング層を形成することが可能である。
また、この下地コーティング層の形成の前に、基体1の
少なくとも内表面をスパッタリング・クリーニングして
、表面を清浄化して酸化被膜形成の影響低く押さえるこ
とも出来る。
少なくとも内表面をスパッタリング・クリーニングして
、表面を清浄化して酸化被膜形成の影響低く押さえるこ
とも出来る。
本発明のるつぼは、その下地コーティング層の気孔率が
2%以下となり、溶湯金属のるつぼ基体への浸透を有効
に防止することができる。
2%以下となり、溶湯金属のるつぼ基体への浸透を有効
に防止することができる。
以下、本発明をその実施例に基づいて説明する。
第1図はコーティング層を設けた金属溶融用るつぼのu
本釣構成の断面を示す図である。第2図(a)本発明の
実施例の第1図中のA部分に対応する部分の拡大図であ
る。第1図および第2図(a)において、1はるつぼ基
体、2は下地コーティング層、3は耐食コーティング層
、4は冷却用ハース、5は溶湯金属、6は気孔である。
本釣構成の断面を示す図である。第2図(a)本発明の
実施例の第1図中のA部分に対応する部分の拡大図であ
る。第1図および第2図(a)において、1はるつぼ基
体、2は下地コーティング層、3は耐食コーティング層
、4は冷却用ハース、5は溶湯金属、6は気孔である。
第1図に示されているように、本発明のるつぼは、基体
1のるつぼ内表面に下地コーティング層2が設けられ、
さらにこの下地コーティング層2の上に更に耐食コーテ
ィング層3が設けられてなるものである。
1のるつぼ内表面に下地コーティング層2が設けられ、
さらにこの下地コーティング層2の上に更に耐食コーテ
ィング層3が設けられてなるものである。
本発明のるつぼの基体1は、W、Ta、Mo、Nbおよ
びこれらを主成分とする合金から選択された少なくとも
I PIからなることが好ましい。
びこれらを主成分とする合金から選択された少なくとも
I PIからなることが好ましい。
下地コーティング層2は基体1と耐食コーティング層3
との中間的熱膨張係数を有する高融点金属から成るのが
好ましく、具体的にはTa5Nb。
との中間的熱膨張係数を有する高融点金属から成るのが
好ましく、具体的にはTa5Nb。
W、Moおよびこれらを主成分とする合金から選択され
た1種から成るものであることが好ましい。
た1種から成るものであることが好ましい。
この下地コーティング層2は、Ar雰囲気中の減圧プラ
ズマ溶射法によって行われる。この減圧プラズマ溶射法
については、総説もしくは底置を参照すれば良く、例え
ば日本溶射協会編、溶射ハンドフック等が挙げられる。
ズマ溶射法によって行われる。この減圧プラズマ溶射法
については、総説もしくは底置を参照すれば良く、例え
ば日本溶射協会編、溶射ハンドフック等が挙げられる。
この際の溶射条件などは、本発明の効果が得られる範囲
であれば特に限定されないが、例えば減圧とは、50
mbar 〜200 mbar程度が好ましい。
であれば特に限定されないが、例えば減圧とは、50
mbar 〜200 mbar程度が好ましい。
気孔率2%以下、さらに好ましくは1%以下の緻密化さ
れた下池コーティング層2は、例えば上記したような方
法によって実現できる。
れた下池コーティング層2は、例えば上記したような方
法によって実現できる。
本発明のるつぼにおいては、この下地コーティング層2
の形成に先立って、基体1の少なくとも内表面をスパッ
タリング・クリーニングすることが有効である。即ち、
本発明のるつぼ基体は酸化され易い高融点金属よりなる
ことから、その表面に層間密着性を低下させる酸化被膜
が形成されている可能性がある。そこでこの酸化被膜を
スパッタリング・クリーニングによって除けば、更に層
間密着性を向上させる事が可能となるからである。
の形成に先立って、基体1の少なくとも内表面をスパッ
タリング・クリーニングすることが有効である。即ち、
本発明のるつぼ基体は酸化され易い高融点金属よりなる
ことから、その表面に層間密着性を低下させる酸化被膜
が形成されている可能性がある。そこでこの酸化被膜を
スパッタリング・クリーニングによって除けば、更に層
間密着性を向上させる事が可能となるからである。
本発明のるつぼは、この下地コーティング層2の上に更
に耐食コーティング層3を設ける。この耐食コーティン
グ層3は、セラミックスから成るものであり、具体的に
は溶湯金属に対して反応開始温度が出来るだけ高いもの
が良く、例えばY2O3、Th02、U O2、HfO
2、H02031Tm2031Er203SLu2O3
およびこれらを主成分とする複酸化物から選択される少
なくとも1種からなるものが好ましい。
に耐食コーティング層3を設ける。この耐食コーティン
グ層3は、セラミックスから成るものであり、具体的に
は溶湯金属に対して反応開始温度が出来るだけ高いもの
が良く、例えばY2O3、Th02、U O2、HfO
2、H02031Tm2031Er203SLu2O3
およびこれらを主成分とする複酸化物から選択される少
なくとも1種からなるものが好ましい。
この耐食コーティング層3の形成は、従来と同様に大気
中でのプラズマ溶射法によるのが好ましい。それは、酸
化物としてのセラミックスは、減圧プラズマ溶射によっ
て脱酸素し安定なセラミックス被膜を形成せず、繰り返
しの加熱に対する耐性に劣る場合があるからである。
中でのプラズマ溶射法によるのが好ましい。それは、酸
化物としてのセラミックスは、減圧プラズマ溶射によっ
て脱酸素し安定なセラミックス被膜を形成せず、繰り返
しの加熱に対する耐性に劣る場合があるからである。
ただし、セラミックスの耐食コーティング層3をAr雰
囲気中での減圧プラス溶射法によって形成すると、高融
点金属の下地コーティング層2の場合と同様に、緻密で
かつ密着強度の大きなセラミックス層を形成することが
出来る場合もある。
囲気中での減圧プラス溶射法によって形成すると、高融
点金属の下地コーティング層2の場合と同様に、緻密で
かつ密着強度の大きなセラミックス層を形成することが
出来る場合もある。
したがって、熱サイクルを問題とせず、使用条件が比較
的一定温度の場合には、緻密なセラミックス層の方が溶
湯金属の浸透を防止する観点から好ましいといえる。
的一定温度の場合には、緻密なセラミックス層の方が溶
湯金属の浸透を防止する観点から好ましいといえる。
以下に実験例を示し、本発明をさらに詳しく説明する。
Wから成るるつは基体lの内表面に、Taから成る下地
コーティング層2およびY 203から成る耐食コーテ
ィング層3を施して金属溶解用るつぼを製造した。この
コーティング層2および3の形成は、第1表に示すよう
な溶射法によった。
コーティング層2およびY 203から成る耐食コーテ
ィング層3を施して金属溶解用るつぼを製造した。この
コーティング層2および3の形成は、第1表に示すよう
な溶射法によった。
具体的な電流、電圧、溶射距離等の条件は、適宜選択し
て決定した。例えば、実施例1および2におけるTa層
2の減圧プラズマ溶射法による形成は150mbarの
A「ガス雰囲気中で、電流750AS電圧63Vおヨヒ
溶射距雛270 m+sノ条件下で、また実施例1およ
び比較例1におけるY2O3層3の形成は大気中で、電
流750A、電圧49Vおよび溶射距離120mmの条
件下で行った。溶射膜厚は、Taの場合1m+a、Y
203の場合250μmとした。
て決定した。例えば、実施例1および2におけるTa層
2の減圧プラズマ溶射法による形成は150mbarの
A「ガス雰囲気中で、電流750AS電圧63Vおヨヒ
溶射距雛270 m+sノ条件下で、また実施例1およ
び比較例1におけるY2O3層3の形成は大気中で、電
流750A、電圧49Vおよび溶射距離120mmの条
件下で行った。溶射膜厚は、Taの場合1m+a、Y
203の場合250μmとした。
このようにして得られたるつぼは、第1図に示されるよ
うに冷却用の鋼製ハース4内に、外壁がこのハースと密
着するように納められている。
うに冷却用の鋼製ハース4内に、外壁がこのハースと密
着するように納められている。
これらの実施例1および2、および比較例1のるつぼの
コーティング層断面の金属組織の拡大写真を第3図(,
11)、(b)および(C)に示す。さらに、これらの
るつぼのコーティング層の気孔率のハ1定結果および破
断試験による層間密着強度測定結果は第1表に示す通り
である。
コーティング層断面の金属組織の拡大写真を第3図(,
11)、(b)および(C)に示す。さらに、これらの
るつぼのコーティング層の気孔率のハ1定結果および破
断試験による層間密着強度測定結果は第1表に示す通り
である。
第1表
下地コーティング層2としてのTa層、耐食コーティン
グ層3としてのY2O3層は、ともに減圧プラズマ溶射
法で形成することにより緻密化することがわかる。すな
わちTa層では大気中プラズマ溶射法にかえて減圧プラ
ズマ溶射法によれば、気孔率が11,9%から1,2〜
1.8%まで低減され、Y2O3層においても6.5〜
6.8%から1.1%まで低減された。さらに層間密丹
強度を知るために破断試験を行ったところ、その密着強
度およびその破断位置は第3図に示されるようになった
。これらの結果から減圧プラズマ溶射法を用いることで
密着強度は明らかに向上する、ということが解る。特に
、Ta層、Y 203層ともに減圧プラズマ溶射法によ
って形成した場合は、密着強度は大気圧プラズマ溶射法
によって形成した場合に比較して3倍以上となり、破断
ち第4図に示す通りるつぼ基材において生ずる。
グ層3としてのY2O3層は、ともに減圧プラズマ溶射
法で形成することにより緻密化することがわかる。すな
わちTa層では大気中プラズマ溶射法にかえて減圧プラ
ズマ溶射法によれば、気孔率が11,9%から1,2〜
1.8%まで低減され、Y2O3層においても6.5〜
6.8%から1.1%まで低減された。さらに層間密丹
強度を知るために破断試験を行ったところ、その密着強
度およびその破断位置は第3図に示されるようになった
。これらの結果から減圧プラズマ溶射法を用いることで
密着強度は明らかに向上する、ということが解る。特に
、Ta層、Y 203層ともに減圧プラズマ溶射法によ
って形成した場合は、密着強度は大気圧プラズマ溶射法
によって形成した場合に比較して3倍以上となり、破断
ち第4図に示す通りるつぼ基材において生ずる。
さらにこれらのるつぼについて、室忍
−1500に一室温、の熱サイクル試験を行った。
試験結果は、第2表に示される通りである。ここで減圧
プラズマ溶射法によって形成されたY 203層は、大
気中プラズマ溶射法によったものに比較して、繰り返し
加熱に対する耐性に劣ることがわかる。
プラズマ溶射法によって形成されたY 203層は、大
気中プラズマ溶射法によったものに比較して、繰り返し
加熱に対する耐性に劣ることがわかる。
第2表
また、2000 KまでのT1溶尉を繰り返したところ
、比較例1のるつぼのコーティング層は1〜2回の溶鍛
で剥離したのに対し、実施例1のるつぼのコーティング
層は4〜5回の溶融によっても安定であった。
、比較例1のるつぼのコーティング層は1〜2回の溶鍛
で剥離したのに対し、実施例1のるつぼのコーティング
層は4〜5回の溶融によっても安定であった。
本発明によれば、長時間かつ繰り返しの活性溶融金属に
対する耐久性が向上された、金属溶融用るつぼを提1共
すること力(できる。
対する耐久性が向上された、金属溶融用るつぼを提1共
すること力(できる。
つぼの断面図、第2図(a)は本発明の実施例の第1図
のA部分に対応する部分の拡大図であり、第2図(b)
は第2図(a)の断面の金属溶融時の温度分布を示す。
のA部分に対応する部分の拡大図であり、第2図(b)
は第2図(a)の断面の金属溶融時の温度分布を示す。
第3図(a)、(b)および(c)は本発明の実施例お
よび比較例のるつぼのコーティング層の金属組織の拡大
写真である。第4図(a)、(b)および(e)は層間
密着強度試験を行なった際のコーティング層の破断位置
を示す図である。第5図(a)は従来の金属清心用るつ
ぼの第1図のA部分にえJ応する部分の拡大図であり、
第5図(b)は第5図()I)の断面の金属溶融時の温
度分布を示す。
よび比較例のるつぼのコーティング層の金属組織の拡大
写真である。第4図(a)、(b)および(e)は層間
密着強度試験を行なった際のコーティング層の破断位置
を示す図である。第5図(a)は従来の金属清心用るつ
ぼの第1図のA部分にえJ応する部分の拡大図であり、
第5図(b)は第5図()I)の断面の金属溶融時の温
度分布を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、るつぼ基体の少なくとも内表面に、セラミックスか
らなる耐食コーティング層を、高融点金属材からなる気
孔率2%以下の下地コーティング層を介して設けたこと
を特徴とする、金属溶融用るつぼ。 2、るつぼ基体の少なくとも内表面に、高融点金属材か
らなる下地コーティング層を形成し、前記下地コーティ
ング層上にセラミックスからなる耐食コーティング層を
更に形成する金属溶融用るつぼの製造法において、前記
下地コーティング層の形成をアルゴン雰囲気中での減圧
プラズマ溶射法によって行なうことを特徴とする、金属
溶融用るつぼの製造法。 3、請求項2に記載の金属溶融用るつぼの製造法におい
て、下地コーティング層の形成の前に、少なくともるつ
ぼ基体の内表面を、スパッタリング・クリーニンするこ
とを特徴とする、金属溶融用るつぼの製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30189188A JPH02146496A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | 金属溶融用るつぼ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30189188A JPH02146496A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | 金属溶融用るつぼ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02146496A true JPH02146496A (ja) | 1990-06-05 |
Family
ID=17902376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30189188A Pending JPH02146496A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | 金属溶融用るつぼ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02146496A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008163461A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | General Electric Co <Ge> | 高反応性合金の溶融時の炭素汚染低減方法 |
JP2008275305A (ja) * | 2007-04-30 | 2008-11-13 | General Electric Co <Ge> | チタン合金溶融用強化耐火物るつぼ |
JP2008275307A (ja) * | 2007-04-30 | 2008-11-13 | General Electric Co <Ge> | チタン合金融解用るつぼ |
JP2019112695A (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-11 | 株式会社アルバック | 高融点金属体の製造方法及び高融点金属体 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62230B2 (ja) * | 1982-12-22 | 1987-01-06 | Kogyo Gijutsuin | |
JPS62172180A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-29 | 株式会社日立製作所 | 金属ウランの溶解装置 |
JPS63210592A (ja) * | 1987-02-26 | 1988-09-01 | 株式会社東芝 | 電子ビ−ム溶解用るつぼ |
JPS63220085A (ja) * | 1987-03-09 | 1988-09-13 | 株式会社東芝 | ウラン溶解用るつぼ |
JPS63233289A (ja) * | 1987-03-20 | 1988-09-28 | 株式会社東芝 | ウラン溶解用るつぼ |
-
1988
- 1988-11-29 JP JP30189188A patent/JPH02146496A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62230B2 (ja) * | 1982-12-22 | 1987-01-06 | Kogyo Gijutsuin | |
JPS62172180A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-29 | 株式会社日立製作所 | 金属ウランの溶解装置 |
JPS63210592A (ja) * | 1987-02-26 | 1988-09-01 | 株式会社東芝 | 電子ビ−ム溶解用るつぼ |
JPS63220085A (ja) * | 1987-03-09 | 1988-09-13 | 株式会社東芝 | ウラン溶解用るつぼ |
JPS63233289A (ja) * | 1987-03-20 | 1988-09-28 | 株式会社東芝 | ウラン溶解用るつぼ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008163461A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | General Electric Co <Ge> | 高反応性合金の溶融時の炭素汚染低減方法 |
JP2008275305A (ja) * | 2007-04-30 | 2008-11-13 | General Electric Co <Ge> | チタン合金溶融用強化耐火物るつぼ |
JP2008275307A (ja) * | 2007-04-30 | 2008-11-13 | General Electric Co <Ge> | チタン合金融解用るつぼ |
JP2019112695A (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-11 | 株式会社アルバック | 高融点金属体の製造方法及び高融点金属体 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6214474B1 (en) | Oxidation protective coating for refractory metals | |
JP2002513081A (ja) | 腐食保護層付き製品と腐食保護層の製造方法 | |
US20080216602A1 (en) | Coating process for manufacture or reprocessing of sputter targets and x-ray anodes | |
TW200914394A (en) | Method of coating semiconductor processing apparatus with protective yttrium-containing coatings | |
SE460773B (sv) | Foerfarande foer haardloedning av jaernlegeringar med keramiska material vid en temperatur av hoegst 750?59c | |
JP2000511974A (ja) | 改良された固着層を有する保護皮膜系を備えた製品およびその製造方法 | |
JPH0510309B2 (ja) | ||
JPS61190891A (ja) | 保護被膜をもつ炭素又は黒鉛体及びその製法 | |
US5603571A (en) | Thermocouple assembly including an outer sleeve made in part of a titanium alloy | |
JP3040203B2 (ja) | 高温安定性複合体及びその製法 | |
JPH01139988A (ja) | 金属溶解用るつぼ | |
US3953177A (en) | Cermet materials with metal free surface zones | |
US3793705A (en) | Process for brazing a magnetic ceramic member to a metal member | |
JPH11236664A (ja) | スパッタリング用ターゲットのバッキングプレート | |
JPH02146496A (ja) | 金属溶融用るつぼ | |
JPH06179930A (ja) | 黒鉛製るつぼ又は鋳型 | |
RU2120494C1 (ru) | Способ получения на подложке защитных покрытий с градиентом химического состава и структуры по толщине с внешним керамическим слоем, его вариант | |
JPS63233289A (ja) | ウラン溶解用るつぼ | |
JPH0545530B2 (ja) | ||
JPH0379749A (ja) | 耐食性コーティング層の形成方法 | |
KR100270226B1 (ko) | 새로운 구조의 열차폐 코팅 및 그의 제조방법 | |
JPS62502975A (ja) | Cr↓2O↓3保護コ−ティング及びその製造方法 | |
JP2000311651A (ja) | 金属製構成部材及び放電ランプ | |
JPH0275887A (ja) | 金属溶解用るつぼ | |
JPH02143089A (ja) | 金属溶解用るつぼ |