JPS60122139A - 情報記録円板の製造装置 - Google Patents
情報記録円板の製造装置Info
- Publication number
- JPS60122139A JPS60122139A JP23035983A JP23035983A JPS60122139A JP S60122139 A JPS60122139 A JP S60122139A JP 23035983 A JP23035983 A JP 23035983A JP 23035983 A JP23035983 A JP 23035983A JP S60122139 A JPS60122139 A JP S60122139A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stamper
- substrate
- resin layer
- base
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/50—Removing moulded articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/44—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor with means for, or specially constructed to facilitate, the removal of articles, e.g. of undercut articles
- B29C33/46—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor with means for, or specially constructed to facilitate, the removal of articles, e.g. of undercut articles using fluid pressure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D17/00—Producing carriers of records containing fine grooves or impressions, e.g. disc records for needle playback, cylinder records; Producing record discs from master stencils
- B29D17/005—Producing optically read record carriers, e.g. optical discs
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
炎1L艷
本発明は、放射線硬化樹脂を用いた情報記録円板(以下
単にディスクと称する)の製造装置に関するものである
。
単にディスクと称する)の製造装置に関するものである
。
背型技術
この種の装置においては、ベース上に接着剤等で固定さ
れたスタンパ−の信号面上に液状の放射線硬化樹脂を塗
布し、その上に透明な基板を買き、これを介して放射線
を照射し族04線硬化樹脂を硬化ざlてスタンパ−に刻
まれた信器を転写し、しかる後硬化した樹脂層を透明基
板と一体にスタンパ−から剥離することにより、ディス
クを11’Jるようになされている。そして剥離された
ディスクにアルミ蒸着膜をつけ、更にA−バーコードす
ることにより完成品となるのである。
れたスタンパ−の信号面上に液状の放射線硬化樹脂を塗
布し、その上に透明な基板を買き、これを介して放射線
を照射し族04線硬化樹脂を硬化ざlてスタンパ−に刻
まれた信器を転写し、しかる後硬化した樹脂層を透明基
板と一体にスタンパ−から剥離することにより、ディス
クを11’Jるようになされている。そして剥離された
ディスクにアルミ蒸着膜をつけ、更にA−バーコードす
ることにより完成品となるのである。
従来、硬化した樹脂層を透明基板と一体にスタンパ−か
ら剥離する場合、真空パッドで透明基板の上面を吸引し
て引き上げる方法や、機械的なツメを用いて°樹脂層の
外周に引っ掛りで引き上げる方法が採られていたが、前
者の方法では引上げツノに限界があり、200m、30
0IIlのディスクとなると剥離出来ない場合があり、
また後者の方法にあってはツメの制御が複雑であると共
にディスクを損傷し易いという欠点があった。
ら剥離する場合、真空パッドで透明基板の上面を吸引し
て引き上げる方法や、機械的なツメを用いて°樹脂層の
外周に引っ掛りで引き上げる方法が採られていたが、前
者の方法では引上げツノに限界があり、200m、30
0IIlのディスクとなると剥離出来ない場合があり、
また後者の方法にあってはツメの制御が複雑であると共
にディスクを損傷し易いという欠点があった。
R1凹と肌j一
本発明は、上記のような従来のものの欠点を除去すべく
なされたもので、空気圧を利用することにより、ディス
クを損(1することなく迅速かつ確実に剥離を行うこと
ができる情報記録円板の製造装置を提供することを目的
と16゜ 本発明による製造装置においCは、スタンパ−が固定さ
れたベースと透明も1板の内周部との間の気密性を維持
し、該ベースと透明g4板の内「11部との聞に空気を
圧送し、この空気J−1゛にJ、って樹脂h′ηをスタ
ンパ−から剥離する構成どなっCいる。
なされたもので、空気圧を利用することにより、ディス
クを損(1することなく迅速かつ確実に剥離を行うこと
ができる情報記録円板の製造装置を提供することを目的
と16゜ 本発明による製造装置においCは、スタンパ−が固定さ
れたベースと透明も1板の内周部との間の気密性を維持
し、該ベースと透明g4板の内「11部との聞に空気を
圧送し、この空気J−1゛にJ、って樹脂h′ηをスタ
ンパ−から剥離する構成どなっCいる。
実施例
以下、本発明の実施例を図面にふ(づいて説明りる。
市1図において、本発明に係るアイスフの製造装置は、
スタンパ−の信号面上に液状の放射線硬化樹脂(以下フ
ォトポリマーど称−する)を塗布する工程を担う塗布装
置1ど、フ、II t−ポリマー上に透明基板を載置し
加圧して前記スタンパ−に刻まれた信号をフォトポリマ
ーに転写する工程及び次の照射工程を経て硬化した樹脂
層を前記透明基板と一体にスタンパ−から剥離する工程
を担う転写・剥離装置2と、スタンパ−と透明基板との
間に充填されている液状のフォトポリマーを紫外線照射
によって硬化させる工程を担う照射装置3とからなり、
各装置に亘って設けら−れたリニアスライド軌道台4上
をテーブル本体5が移動することによって上記一連の工
程を連続し一〇行い、ディスクを製造する構成となって
いる。
スタンパ−の信号面上に液状の放射線硬化樹脂(以下フ
ォトポリマーど称−する)を塗布する工程を担う塗布装
置1ど、フ、II t−ポリマー上に透明基板を載置し
加圧して前記スタンパ−に刻まれた信号をフォトポリマ
ーに転写する工程及び次の照射工程を経て硬化した樹脂
層を前記透明基板と一体にスタンパ−から剥離する工程
を担う転写・剥離装置2と、スタンパ−と透明基板との
間に充填されている液状のフォトポリマーを紫外線照射
によって硬化させる工程を担う照射装置3とからなり、
各装置に亘って設けら−れたリニアスライド軌道台4上
をテーブル本体5が移動することによって上記一連の工
程を連続し一〇行い、ディスクを製造する構成となって
いる。
塗布装置1において、ベース板6上に直立したロッド7
.7には基台8が上下動自在に取り付(プられ、この基
台8には軸9が回転自在に取り付c)られている。第2
図から明らかな様に、軸9はその上端に固定されたプー
リ10に架設されたベルト11を介して、基台8上に担
持されたモータ12により回転駆動される。軸9の下端
には吐出装置13が取り付けられている。吐出装置13
は軸9の軸芯から所定距離したけ離れて設番ノられたニ
ードル部14を備え、このニードル部14を後述Jるス
タンパ−15(第2図参照)の信号面上に液状のフォト
ポリマーを部室t11叶出り−る。このとぎ吐出装置1
3がモータ12の回転に伴って軸9と一体に回転し、か
つニードル部14が軸9の軸芯から所定距離りだけ離れ
ているので、スタンパ−15の信号面上に吐出されるフ
ォトポリマー番ま上記所定距離りを半径とする環状どな
る。1−配所定距離りはニードル部14の位Wlを調整
り−る調整機構16によって可変であり、スタンパ−′
15の信号面の面積、フォトポリマーの粘度等に応じて
適当に設定される。調整機構16は、ニードル部14の
本体に螺合した螺旋軸17及びこれを回転せしめるハン
ドル18等により構成される。
.7には基台8が上下動自在に取り付(プられ、この基
台8には軸9が回転自在に取り付c)られている。第2
図から明らかな様に、軸9はその上端に固定されたプー
リ10に架設されたベルト11を介して、基台8上に担
持されたモータ12により回転駆動される。軸9の下端
には吐出装置13が取り付けられている。吐出装置13
は軸9の軸芯から所定距離したけ離れて設番ノられたニ
ードル部14を備え、このニードル部14を後述Jるス
タンパ−15(第2図参照)の信号面上に液状のフォト
ポリマーを部室t11叶出り−る。このとぎ吐出装置1
3がモータ12の回転に伴って軸9と一体に回転し、か
つニードル部14が軸9の軸芯から所定距離りだけ離れ
ているので、スタンパ−15の信号面上に吐出されるフ
ォトポリマー番ま上記所定距離りを半径とする環状どな
る。1−配所定距離りはニードル部14の位Wlを調整
り−る調整機構16によって可変であり、スタンパ−′
15の信号面の面積、フォトポリマーの粘度等に応じて
適当に設定される。調整機構16は、ニードル部14の
本体に螺合した螺旋軸17及びこれを回転せしめるハン
ドル18等により構成される。
第3図において、転写・剥jull装首2は、先述した
テーブル本体5上に担持されて各装罫間を移θJする下
部ハウジング20と、土+動自イ1に段りられ下部ハウ
ジング20とによって適宜密閉室を形成する上部ハウジ
ング21とを含んでいる。下部ハウジング20の上面凹
部20aに【よスタンパ−ベース22が嵌着され、下部
ハウジング20の中心孔20bには駆動部本体23が嵌
着されている。
テーブル本体5上に担持されて各装罫間を移θJする下
部ハウジング20と、土+動自イ1に段りられ下部ハウ
ジング20とによって適宜密閉室を形成する上部ハウジ
ング21とを含んでいる。下部ハウジング20の上面凹
部20aに【よスタンパ−ベース22が嵌着され、下部
ハウジング20の中心孔20bには駆動部本体23が嵌
着されている。
駆動部本体23の中心部にはシトフト24が上下動自在
に挿通され、このシpフト24の上端:には担持部材と
してのセンターボス25が嵌着されている。駆動部本体
23とシ1/フト24との間にはスクレーバ26及びシ
ール27が介在し、ベース22の内周部においてOリン
グ52a、52bと協働してベース22と後述J゛るザ
ブスi〜レー1−との間の気密性を維持する手段を(1
4成りる。シレフ]〜24の下端にはカム押え28を介
してカムフォロア29が回転自在に設【プられており、
このカムフォロア29はシ1rフト30に固定されたカ
ム31のカム面に、スプリング32の弾発力により圧接
している。シ11フ1−30は図示せぬ駆動部により適
宜駆動され、これによりセンターボス25が上下動づ°
るが、通常は上り?位置にある。スタンパ−ベース22
上にはスタンパ−15が接着剤等により固着されている
。スタンパ−15最外周部及び最内周部に沿って環状溝
33a 、33bが形成されており、これら環状溝33
a 、33bは下部ハウジング20及び駆動部本体23
にそれぞれ形成された連通路34a 、3/lb及び真
空配管ご35゜36を介して減圧手段である図示μぬ真
空ポンプに連通している。
に挿通され、このシpフト24の上端:には担持部材と
してのセンターボス25が嵌着されている。駆動部本体
23とシ1/フト24との間にはスクレーバ26及びシ
ール27が介在し、ベース22の内周部においてOリン
グ52a、52bと協働してベース22と後述J゛るザ
ブスi〜レー1−との間の気密性を維持する手段を(1
4成りる。シレフ]〜24の下端にはカム押え28を介
してカムフォロア29が回転自在に設【プられており、
このカムフォロア29はシ1rフト30に固定されたカ
ム31のカム面に、スプリング32の弾発力により圧接
している。シ11フ1−30は図示せぬ駆動部により適
宜駆動され、これによりセンターボス25が上下動づ°
るが、通常は上り?位置にある。スタンパ−ベース22
上にはスタンパ−15が接着剤等により固着されている
。スタンパ−15最外周部及び最内周部に沿って環状溝
33a 、33bが形成されており、これら環状溝33
a 、33bは下部ハウジング20及び駆動部本体23
にそれぞれ形成された連通路34a 、3/lb及び真
空配管ご35゜36を介して減圧手段である図示μぬ真
空ポンプに連通している。
一方、上部ハウジング21は通常下部ハウジング20か
ら離間した位置に保持され”Cおり、塗イIi工程から
転写1’、 f!i!への移行が完了りると、下降しC
下部ハウジング20とによっ(密閉室を形成・)る。上
部ハウジング21にほぞの中心に関()C等角度にて例
えば6個の真空パッド37が後)ボするサブストレート
の上面に吸着りる吸乙手段どLi ”を設置ノられ、更
にこれら真空パッド37の外側にはこれら真空パッド3
7聞に位置りるJ、うに例えば6個の真空パッド38が
イれL゛れ1下動自白に設けられ′Cいる。これら真空
バッド37.38はt′週中空配管3940を介し−(
図tj< l!ぬVλ空水ポンプ連通しており、上部ハ
ウジング21の上面に設置)られたジグシリンダ41.
/12によって」−小動けしめられる。ジグシリンダ4
1は、空−油変換を行った油駆動のもので、微速度送り
が可能である。
ら離間した位置に保持され”Cおり、塗イIi工程から
転写1’、 f!i!への移行が完了りると、下降しC
下部ハウジング20とによっ(密閉室を形成・)る。上
部ハウジング21にほぞの中心に関()C等角度にて例
えば6個の真空パッド37が後)ボするサブストレート
の上面に吸着りる吸乙手段どLi ”を設置ノられ、更
にこれら真空パッド37の外側にはこれら真空パッド3
7聞に位置りるJ、うに例えば6個の真空パッド38が
イれL゛れ1下動自白に設けられ′Cいる。これら真空
バッド37.38はt′週中空配管3940を介し−(
図tj< l!ぬVλ空水ポンプ連通しており、上部ハ
ウジング21の上面に設置)られたジグシリンダ41.
/12によって」−小動けしめられる。ジグシリンダ4
1は、空−油変換を行った油駆動のもので、微速度送り
が可能である。
上部ハウジング21の中火突出部21aには、ロンター
ボス25上に載置された透明基板(以下り一ブストレー
トと称する)43の中火部を押えるためのセンター押え
44が上下動自在に嵌合している。このセンター押え4
4はスプリング45)により下方に付勢され、ストッパ
ー46によって!l!IIIt2防止が図られている。
ボス25上に載置された透明基板(以下り一ブストレー
トと称する)43の中火部を押えるためのセンター押え
44が上下動自在に嵌合している。このセンター押え4
4はスプリング45)により下方に付勢され、ストッパ
ー46によって!l!IIIt2防止が図られている。
真空パッド37【よハウジング密閉状態の初期にilj
いてリアストレー1へ43の上面に接触する高さ位置に
保持されている。
いてリアストレー1へ43の上面に接触する高さ位置に
保持されている。
スタンパ−15の最外周部に治って形成された環状溝3
3aを覆うための環状シール47が設()られている。
3aを覆うための環状シール47が設()られている。
この環状シール47は石英ガラス。
アクリル樹脂等の紫外線透過性の材質からなり、その上
面四部に固着された磁tlt板48が、上部ハウジング
21に適当な間隔で埋設されたマグネツ1〜49に吸着
されることにJ:す、上部ハウジング21に取り句()
られた状態に保持される。この環状シール47は真空パ
ッド38が減圧状態で−に不動するときに、これに吸引
された状態で一体に」−下動し、降下状態にあるときに
は、真空パッド38と協働してサブストレート43の外
周部をスタンバ−15に対して押しつける千「9を構成
すると共に、ベース22の外周部においCOリング51
と協働してベース22とリブストレー1−43どの間の
気密性を維持する手段な構成4る。
面四部に固着された磁tlt板48が、上部ハウジング
21に適当な間隔で埋設されたマグネツ1〜49に吸着
されることにJ:す、上部ハウジング21に取り句()
られた状態に保持される。この環状シール47は真空パ
ッド38が減圧状態で−に不動するときに、これに吸引
された状態で一体に」−下動し、降下状態にあるときに
は、真空パッド38と協働してサブストレート43の外
周部をスタンバ−15に対して押しつける千「9を構成
すると共に、ベース22の外周部においCOリング51
と協働してベース22とリブストレー1−43どの間の
気密性を維持する手段な構成4る。
転写工程が終了すると、上部ハウジング21が上昇し、
下部ハウジング20は第1図に示り照口・1装置3の下
方に移動する。そしC照射装置3から紫外線が照射され
、これによりスタンパ−15とザブストレート43との
間に充填されている液状のフ第1〜ポリマーが硬化し、
樹脂層を形成する。
下部ハウジング20は第1図に示り照口・1装置3の下
方に移動する。そしC照射装置3から紫外線が照射され
、これによりスタンパ−15とザブストレート43との
間に充填されている液状のフ第1〜ポリマーが硬化し、
樹脂層を形成する。
照射工程が終了すると、下部ハウジング2 OL;目I
Jび上部ハウジング21の下りに移動し、剥−1」二押
に移行する。
Jび上部ハウジング21の下りに移動し、剥−1」二押
に移行する。
スタンパ−15の内周部及び外周部には、第4図から特
に明らかな様に、りfましくは45°の1ハIきを右す
る傾斜部15a 、 15bが形成され−Cいる。スタ
ンバ−15の信号面上に環状に吐出された液状のフAト
ポリマーは、その十にザブス1へレート43が載置され
ると、スタンバ−15と4ノ゛ブストレート43との間
をスタンバ−15の信号面全面に亘つ”C広がるのであ
るが、このとき、スタンパ−15の内周部にJ3いては
、フA1〜ポリマーが傾斜部15aの位置で表向張力と
段差により円形状に停止することになる。また、スタン
バ−の外周部においては、硬化したフ711−ポリマー
を剥離するときに、はみ出したフA1−ポリマーが残り
易いのであるが、傾斜部15bが略45°の傾斜角度を
なしているので、剪断応力ににるずべり破壊により、硬
化後のフA1〜ポリマーを残づ゛ことなく剥離が行え、
フ第1ヘポリマーの最外周部の剥離性を向上できること
になる。
に明らかな様に、りfましくは45°の1ハIきを右す
る傾斜部15a 、 15bが形成され−Cいる。スタ
ンバ−15の信号面上に環状に吐出された液状のフAト
ポリマーは、その十にザブス1へレート43が載置され
ると、スタンバ−15と4ノ゛ブストレート43との間
をスタンバ−15の信号面全面に亘つ”C広がるのであ
るが、このとき、スタンパ−15の内周部にJ3いては
、フA1〜ポリマーが傾斜部15aの位置で表向張力と
段差により円形状に停止することになる。また、スタン
バ−の外周部においては、硬化したフ711−ポリマー
を剥離するときに、はみ出したフA1−ポリマーが残り
易いのであるが、傾斜部15bが略45°の傾斜角度を
なしているので、剪断応力ににるずべり破壊により、硬
化後のフA1〜ポリマーを残づ゛ことなく剥離が行え、
フ第1ヘポリマーの最外周部の剥離性を向上できること
になる。
次に、本発明による製3a装置の動作について説明する
。
。
まず、第1図にJ3いて、下部ハウジング20がテーブ
ル本体5と一体に吐出S!ii置13の下方まで移動し
、塗布工程となる。塗布工程では、吐出装置13が基台
8と一体に下降し、ニードル部14の先端がスタンパ−
15(第3図参照)の信号面に近接した位置で停止し、
しかる後モータ12の駆動力によって軸9と一体に回転
する。これに伴いニードル部14が軸9の周りを回動し
つつ液状のフォトポリマーをスタンバ−15の信号面上
に吐出づる。フォトポリマーとしては、例えば、粘度が
数10〜1000CIIS程麿で、真空中にJ3いても
粘性や重量等の変化がないアクリルモノマーのものが用
いられる。吐出されたノA1−ポリマーは軸9とニード
ル部17Iとの間の距11111L(第2図参照)を半
径とする環状となる。吐出装置13が一回転すると、フ
ォトポリマーの吐出を停止[シ、初期位置まで上昇する
。塗イ11コニ桿が終了りると、下部ハウジング20が
上部ハウジング21の下方まで移動し、転写■稈に移1
コする。
ル本体5と一体に吐出S!ii置13の下方まで移動し
、塗布工程となる。塗布工程では、吐出装置13が基台
8と一体に下降し、ニードル部14の先端がスタンパ−
15(第3図参照)の信号面に近接した位置で停止し、
しかる後モータ12の駆動力によって軸9と一体に回転
する。これに伴いニードル部14が軸9の周りを回動し
つつ液状のフォトポリマーをスタンバ−15の信号面上
に吐出づる。フォトポリマーとしては、例えば、粘度が
数10〜1000CIIS程麿で、真空中にJ3いても
粘性や重量等の変化がないアクリルモノマーのものが用
いられる。吐出されたノA1−ポリマーは軸9とニード
ル部17Iとの間の距11111L(第2図参照)を半
径とする環状となる。吐出装置13が一回転すると、フ
ォトポリマーの吐出を停止[シ、初期位置まで上昇する
。塗イ11コニ桿が終了りると、下部ハウジング20が
上部ハウジング21の下方まで移動し、転写■稈に移1
コする。
転写工程については、第3図及び第5図(al・〜・(
ωに基づいて説明する。転写工程の初期状態においては
、第5図(ωに承り様に、上部ハウジング20に対して
上部ハウジング21がN1間しでJ3す、またサブスト
レート43を担持したLシタ−ボス25及び真空パッド
37.38は上昇している。この初期状態から上部ハウ
ジング21が下降し、第5図曲に示す様に、下部ハウジ
ング20との聞に密閉室を形成する。」二部、下部ハウ
ジング21゜20の外縁部間にはOリング5oが介在し
、密閉室の気密性を維持する。このとぎ、センター押え
44はスプリング45の弾発力によってサブストレート
43をセンターボスに25に押しっけ、また真空パッド
37はリーストレート43の上面に接触し、更に負圧−
650111m1−1 (l程度の真空度の減圧状態と
されることにより勺ブス]〜レート43を吸着する。そ
の後、前記密閉室が下部ハウジング20に形成された連
通路34a 、34b及び真空配管35.36を介して
図示せぬ真空ポンプにより、負圧−b OOn1m1−
I Q程度の真空度に減圧され、その状態が保たれる。
ωに基づいて説明する。転写工程の初期状態においては
、第5図(ωに承り様に、上部ハウジング20に対して
上部ハウジング21がN1間しでJ3す、またサブスト
レート43を担持したLシタ−ボス25及び真空パッド
37.38は上昇している。この初期状態から上部ハウ
ジング21が下降し、第5図曲に示す様に、下部ハウジ
ング20との聞に密閉室を形成する。」二部、下部ハウ
ジング21゜20の外縁部間にはOリング5oが介在し
、密閉室の気密性を維持する。このとぎ、センター押え
44はスプリング45の弾発力によってサブストレート
43をセンターボスに25に押しっけ、また真空パッド
37はリーストレート43の上面に接触し、更に負圧−
650111m1−1 (l程度の真空度の減圧状態と
されることにより勺ブス]〜レート43を吸着する。そ
の後、前記密閉室が下部ハウジング20に形成された連
通路34a 、34b及び真空配管35.36を介して
図示せぬ真空ポンプにより、負圧−b OOn1m1−
I Q程度の真空度に減圧され、その状態が保たれる。
この状態では、真空パッド37内と密閉室内どの間には
約150 mm1−1 gの差圧があり、この差圧によ
りり゛ブストレート43は真空パッド37に吸着されて
いる。
約150 mm1−1 gの差圧があり、この差圧によ
りり゛ブストレート43は真空パッド37に吸着されて
いる。
次いで、センターボス25がカム31の回転に応動して
下降する。このとぎ、リーブストレート43の外周部は
真空パッド37に吸着されており、ザブストレート/1
3の内周部のみがセンターボス25と一体に下降し、第
・5図(C)に承り様に、ます゛す°ジストレー1−4
3の内周がスタンバ−1巳)十のフォトポリマー21〕
に接触り°る。これにJ:リノAトボリマ−2Pはその
表面張力によりメタンパー15の信号面の内周部全面に
i7っC広がる。次いで、第5図(小に示す如く、Q空
バッド37が+1(fすると、〕〕Aトポリマー21が
メタンパー15とザブストレート43との間に仝而にj
−1つ−(充填されることになる。このように、負圧−
!、; 00 mm l 1o程度の真空度に減圧され
た密閉室内におい(、ザブストレート43をスタンバ−
15に対しく゛ぞの内周部から外周部にかc〕(徐々に
I−降さ0.ることにより、フォトポリマー21)内l
\の泡の巻き込みを極めて少なくすることがでさる1゜
フォトポリマ−21)がスタンバ−15とリブストレー
1−43との間に充填されると、第5図(01に示す様
に、環状シール47が真空パッド38により吸着された
状態で真空パッド38と共に下降し、サブストレート4
3の外縁部を押えると共に、スタンバ−15の最外周部
に沿って形成された環状fr433 aを覆う。このと
き環状シール47ど上部ハウジング20どの間に0リン
グ5′)1が介71シ、これにより環状溝33aの気密
性が維1、“1される。
下降する。このとぎ、リーブストレート43の外周部は
真空パッド37に吸着されており、ザブストレート/1
3の内周部のみがセンターボス25と一体に下降し、第
・5図(C)に承り様に、ます゛す°ジストレー1−4
3の内周がスタンバ−1巳)十のフォトポリマー21〕
に接触り°る。これにJ:リノAトボリマ−2Pはその
表面張力によりメタンパー15の信号面の内周部全面に
i7っC広がる。次いで、第5図(小に示す如く、Q空
バッド37が+1(fすると、〕〕Aトポリマー21が
メタンパー15とザブストレート43との間に仝而にj
−1つ−(充填されることになる。このように、負圧−
!、; 00 mm l 1o程度の真空度に減圧され
た密閉室内におい(、ザブストレート43をスタンバ−
15に対しく゛ぞの内周部から外周部にかc〕(徐々に
I−降さ0.ることにより、フォトポリマー21)内l
\の泡の巻き込みを極めて少なくすることがでさる1゜
フォトポリマ−21)がスタンバ−15とリブストレー
1−43との間に充填されると、第5図(01に示す様
に、環状シール47が真空パッド38により吸着された
状態で真空パッド38と共に下降し、サブストレート4
3の外縁部を押えると共に、スタンバ−15の最外周部
に沿って形成された環状fr433 aを覆う。このと
き環状シール47ど上部ハウジング20どの間に0リン
グ5′)1が介71シ、これにより環状溝33aの気密
性が維1、“1される。
次いでリブストレー1・43の上方の密閉室内が大気圧
に戻されるが、環状溝33a 、33bが)+1!通路
34a、34bを介して減圧されて、13す、フォトポ
リマー21〕による樹脂層が真空状態になり、かつザブ
ストレート43がスタンバ−15に大気圧で押しつ【プ
られるので、樹脂層内に巻き込まれた泡が真空源方向づ
−なわちサブストレート43の内周及び外周方向に押し
出されて除去される。同+1.’jに樹脂層の厚さが約
10μm以−トに均一に保たれる。ぞの後上部ハウジン
グ21が上界し、同時に真空パッド37も上部ハウジン
グ21に対して上昇する。環状シール47は環状溝33
aを覆った状態を持続する。
に戻されるが、環状溝33a 、33bが)+1!通路
34a、34bを介して減圧されて、13す、フォトポ
リマー21〕による樹脂層が真空状態になり、かつザブ
ストレート43がスタンバ−15に大気圧で押しつ【プ
られるので、樹脂層内に巻き込まれた泡が真空源方向づ
−なわちサブストレート43の内周及び外周方向に押し
出されて除去される。同+1.’jに樹脂層の厚さが約
10μm以−トに均一に保たれる。ぞの後上部ハウジン
グ21が上界し、同時に真空パッド37も上部ハウジン
グ21に対して上昇する。環状シール47は環状溝33
aを覆った状態を持続する。
下部ハウジング20は、環状溝33a 、33bが減圧
された状態で、第1図に示J照射装質3の下方まで移動
し、照射工程に移行する。照射工程では、環状溝33a
、331+の減L[によりフォトポリマー2Pからな
る樹脂層は・その7’/みが約10μm以下に保たれた
状態で4ノブストレー1〜43を介して照9A[?3に
より紫外線照q・1を受け、硬化づる。硬化した樹脂層
の厚みは約10μm以下どなる。サブストレート433
の外縁部上には環状シール47が存在するが、当該シー
ル47番よ紫外線透過性の祠質からなっているので、樹
脂層全体に亘って良好に紫外線が照射されることになる
。照Q4工程が終了すると、下部ハウジング20がil
Jび上部ハウジング21の下方まで移動し、剥1111
工程に移行(る。
された状態で、第1図に示J照射装質3の下方まで移動
し、照射工程に移行する。照射工程では、環状溝33a
、331+の減L[によりフォトポリマー2Pからな
る樹脂層は・その7’/みが約10μm以下に保たれた
状態で4ノブストレー1〜43を介して照9A[?3に
より紫外線照q・1を受け、硬化づる。硬化した樹脂層
の厚みは約10μm以下どなる。サブストレート433
の外縁部上には環状シール47が存在するが、当該シー
ル47番よ紫外線透過性の祠質からなっているので、樹
脂層全体に亘って良好に紫外線が照射されることになる
。照Q4工程が終了すると、下部ハウジング20がil
Jび上部ハウジング21の下方まで移動し、剥1111
工程に移行(る。
剥離工程については、第3図及びI! 6図(a)〜山
)に基づいて説明する。剥l1111丁稈に移行り゛る
と、」部ハウジング21が下降し、り16図(a)に示
づ様に、下部ハウジング20との間に111び密閉室を
形成し、また真空バッド38が下降状態にあるので環状
シール47の上面に当接し、リーブストレー1〜43の
外縁部を押しつける。次いでカム31が回転し、これに
応動してセンターボス25が、サブストレート43と一
体に硬化したフA1−ポリマー21〕(樹脂層)の最内
周をスタンパ−15から剥離できる程度、例えば1〜3
mm程度上背する。これにより樹脂層の最内周が剥離さ
れる。なお、センターボス25の最大ストローク【ま例
えば8mm程磨程度る。
)に基づいて説明する。剥l1111丁稈に移行り゛る
と、」部ハウジング21が下降し、り16図(a)に示
づ様に、下部ハウジング20との間に111び密閉室を
形成し、また真空バッド38が下降状態にあるので環状
シール47の上面に当接し、リーブストレー1〜43の
外縁部を押しつける。次いでカム31が回転し、これに
応動してセンターボス25が、サブストレート43と一
体に硬化したフA1−ポリマー21〕(樹脂層)の最内
周をスタンパ−15から剥離できる程度、例えば1〜3
mm程度上背する。これにより樹脂層の最内周が剥離さ
れる。なお、センターボス25の最大ストローク【ま例
えば8mm程磨程度る。
この状態にJ3いて、図示せぬ空気圧送手段から真空配
管36及び連通路34bを介して圧縮空気(1〜5Kg
程度)を樹脂層の最内周に送ることにより、サブストレ
ート43の外縁部が環状シール47で押えられているの
で、圧縮空気はリブストレート43の外縁部から漏れる
ことなく全面に亘って流れ、これにより樹脂層は第6回
出)に示す如く、環状シール47で押えられた最外縁部
を除く全面に亘って剥離する。次いで、真空パッド38
が減圧され、環状シール47を吸引後上昇する。
管36及び連通路34bを介して圧縮空気(1〜5Kg
程度)を樹脂層の最内周に送ることにより、サブストレ
ート43の外縁部が環状シール47で押えられているの
で、圧縮空気はリブストレート43の外縁部から漏れる
ことなく全面に亘って流れ、これにより樹脂層は第6回
出)に示す如く、環状シール47で押えられた最外縁部
を除く全面に亘って剥離する。次いで、真空パッド38
が減圧され、環状シール47を吸引後上昇する。
同時に、真空パッド37が下降し、第6図(C)に示す
如く、ザブストレー1〜43の上面に当接する。
如く、ザブストレー1〜43の上面に当接する。
そして真空バッド37は負圧−650m1llil Q
程度の真空度に減圧され、これによりザブストレー]〜
43を吸引し、この状態で上昇することにより樹脂層の
最外周部を剥離りる。(−U) lu減圧状態が解除さ
れる。続いてカム31の回転に応動してセンターボス2
5がサブストレート43を担持して上昇し、第6図(山
に示1初期状態に戻る。しかる後上部ハウジング21が
上背し、剥+11t :r稈を終了りる。以後アルミ蒸
着膜をfj&J、史にA−バー=1−トすることにより
、光学式デ、fスフの完成品となる。
程度の真空度に減圧され、これによりザブストレー]〜
43を吸引し、この状態で上昇することにより樹脂層の
最外周部を剥離りる。(−U) lu減圧状態が解除さ
れる。続いてカム31の回転に応動してセンターボス2
5がサブストレート43を担持して上昇し、第6図(山
に示1初期状態に戻る。しかる後上部ハウジング21が
上背し、剥+11t :r稈を終了りる。以後アルミ蒸
着膜をfj&J、史にA−バー=1−トすることにより
、光学式デ、fスフの完成品となる。
なお、上記実施例においCは、リブストレー1−43の
内周部及び外周部の両方の気密性を冷]1持しかつサブ
ストーレー1〜43の内周部を僅かにJ、’r ’5.
4=げた後、空気を圧送して樹脂層をリーブストレー1
・43と一体に剥I!!lりる構成としたが、基本的に
は、樹脂層とスタンパ−との結合力が各々の4J Y’
i土から比較的弱いので、サブストレー1−43の内周
部の気密性を維持するのみぐ空気を圧送づることにより
、樹脂層の剥離を17えるのである。
内周部及び外周部の両方の気密性を冷]1持しかつサブ
ストーレー1〜43の内周部を僅かにJ、’r ’5.
4=げた後、空気を圧送して樹脂層をリーブストレー1
・43と一体に剥I!!lりる構成としたが、基本的に
は、樹脂層とスタンパ−との結合力が各々の4J Y’
i土から比較的弱いので、サブストレー1−43の内周
部の気密性を維持するのみぐ空気を圧送づることにより
、樹脂層の剥離を17えるのである。
−−1
以上説明したように、本発明によれば、空気圧を利用し
て硬化した樹脂層をスタンバ−から剥離するようにした
ので、デ5rスクを損(!;i7することなく迅速かつ
確実に剥離を行うことができ、更にはベースに孔加工を
施Jのみで良いので、構造が簡単で低コストのディスク
製造装置が4!7られる。
て硬化した樹脂層をスタンバ−から剥離するようにした
ので、デ5rスクを損(!;i7することなく迅速かつ
確実に剥離を行うことができ、更にはベースに孔加工を
施Jのみで良いので、構造が簡単で低コストのディスク
製造装置が4!7られる。
第1図は本発明に係る製造装置の一部断面図を含む正面
図、第2図は第1図における塗布装置の一部断面を含む
側面図、第3図は第1図におりる転写・剥離装置の断面
図、第1図は第3図の要部拡大図、第5図(a)〜(0
)は転写工程にdBノる動作説明図、第6図(a)〜(
小は剥離(工程にJ3りる動作説明図である。 主要部分の符号の説明 1・・・・・・塗布装置 2・・・・・・転写・剥離装置 3・・・・・・照射装置 13・・・・・・吐出装置1
4・・・・・・ニードル部 15・・・・・・スタンバ
−20・・・・・・下部ハウジング 21・・・・・・上部ハウジング 25・・・・・・レンターボス 31・・・・・・カム 37.38・・・・・・真空パッド 43・・・・・・ザブストレー1・ 47・・・・・・環状シール 49・・・・・・マクネッl− 出願人 パイAニア株式会ネ1 代理人 弁理士 #i+4元彦 (外1名) 入40 簗25図 (θ) #5(2] (C) (d) 地512] (e) 本4 図 1(1) #乙 図 ((〕
図、第2図は第1図における塗布装置の一部断面を含む
側面図、第3図は第1図におりる転写・剥離装置の断面
図、第1図は第3図の要部拡大図、第5図(a)〜(0
)は転写工程にdBノる動作説明図、第6図(a)〜(
小は剥離(工程にJ3りる動作説明図である。 主要部分の符号の説明 1・・・・・・塗布装置 2・・・・・・転写・剥離装置 3・・・・・・照射装置 13・・・・・・吐出装置1
4・・・・・・ニードル部 15・・・・・・スタンバ
−20・・・・・・下部ハウジング 21・・・・・・上部ハウジング 25・・・・・・レンターボス 31・・・・・・カム 37.38・・・・・・真空パッド 43・・・・・・ザブストレー1・ 47・・・・・・環状シール 49・・・・・・マクネッl− 出願人 パイAニア株式会ネ1 代理人 弁理士 #i+4元彦 (外1名) 入40 簗25図 (θ) #5(2] (C) (d) 地512] (e) 本4 図 1(1) #乙 図 ((〕
Claims (1)
- ベース上に設置)られたスタンパ−の信号面と透明基板
との間にて放射線照射にJ、り硬化した樹脂層を、前記
透明基板と一体に前記スタンパ−から剥離するようにな
された情報記録円板の製造装置であって、前記透明基板
の内周部と前記ベースとの間の気密性を維持する手段と
、前記透明基板の内周部と前記ベースとの間に空気を圧
送1゛る空気圧送手段とを備え、前記空気圧送手段から
の空気圧によって前記樹脂層を前記スタンパ−から剥離
することを特徴とする情報記録円板の製yJ’i装首。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23035983A JPS60122139A (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | 情報記録円板の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23035983A JPS60122139A (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | 情報記録円板の製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60122139A true JPS60122139A (ja) | 1985-06-29 |
Family
ID=16906620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23035983A Pending JPS60122139A (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | 情報記録円板の製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60122139A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0339616A2 (en) * | 1988-04-27 | 1989-11-02 | Dainippon Ink And Chemicals, Inc. | Apparatus for manufacturing optical information recording medium |
JPH0267116A (ja) * | 1988-09-01 | 1990-03-07 | Meiki Co Ltd | ディスク成形方法及びそのための成形型 |
US5626885A (en) * | 1990-11-19 | 1997-05-06 | U.S. Philips Corporation | Method of manufacturing an optically readable disc, and arrangement for carrying out the method |
JP2006136710A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-06-01 | Naris Cosmetics Co Ltd | 超音波美容・歯磨き装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58122828A (ja) * | 1981-10-06 | 1983-07-21 | トムソン−セ−・エス・エフ | デイスク盤離型方法およびその離型装置 |
JPS58151223A (ja) * | 1982-03-05 | 1983-09-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光デイスク基板の製造法及び成形金型 |
-
1983
- 1983-12-06 JP JP23035983A patent/JPS60122139A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58122828A (ja) * | 1981-10-06 | 1983-07-21 | トムソン−セ−・エス・エフ | デイスク盤離型方法およびその離型装置 |
JPS58151223A (ja) * | 1982-03-05 | 1983-09-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光デイスク基板の製造法及び成形金型 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0339616A2 (en) * | 1988-04-27 | 1989-11-02 | Dainippon Ink And Chemicals, Inc. | Apparatus for manufacturing optical information recording medium |
JPH0267116A (ja) * | 1988-09-01 | 1990-03-07 | Meiki Co Ltd | ディスク成形方法及びそのための成形型 |
US5626885A (en) * | 1990-11-19 | 1997-05-06 | U.S. Philips Corporation | Method of manufacturing an optically readable disc, and arrangement for carrying out the method |
JP2006136710A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-06-01 | Naris Cosmetics Co Ltd | 超音波美容・歯磨き装置 |
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