JP7506780B2 - アクチュエータ装置 - Google Patents
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Claims (25)
- 支持部と、
ミラー面を有する第1可動部と、
前記第1可動部を囲むように配置された枠状の第2可動部と、
第1軸線周りに前記第1可動部が揺動可能となるように、前記第1可動部と前記第2可動部とを互いに連結する第1連結部と、
前記第2可動部を振動させることによって前記第1軸線周りに前記第1可動部が揺動可能となるように、前記第2可動部と前記支持部とを互いに連結する第2連結部と、
前記第2可動部に設けられた渦巻き状のコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる磁界発生部と、
前記支持部に設けられた第1外部端子と、
前記コイルの内側端部と前記第1外部端子とに接続された第1配線と、を備え、
前記第1配線は、前記第1外部端子に接続された引き出し配線と、前記コイルを跨ぐように前記第2可動部に設けられ、前記コイルの前記内側端部と前記引き出し配線とに接続された跨ぎ配線と、を有し、
前記跨ぎ配線の厚さは、前記コイルの厚さよりも薄く、
前記跨ぎ配線の幅は、前記コイルの幅よりも広く、
前記跨ぎ配線は、前記ミラー面から電気的に絶縁されている、アクチュエータ装置。 - 前記コイルと前記跨ぎ配線との接触領域の長さは、前記コイルの幅よりも大きい、請求項1に記載のアクチュエータ装置。
- 前記引き出し配線と前記跨ぎ配線との接触領域の長さは、前記コイルの幅よりも大きい、請求項1又は2に記載のアクチュエータ装置。
- 前記跨ぎ配線の断面積は、前記コイルの断面積よりも大きい、請求項1~3のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記跨ぎ配線の幅は、前記コイルの配置領域の幅よりも広い、請求項1~4のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記コイルは、前記第2可動部に埋め込まれており、
前記跨ぎ配線は、平坦な層状に形成され、前記コイルの上側を跨ぐように延在している、請求項1~5のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記コイルは、前記第2可動部上に配置されており、
前記跨ぎ配線は、前記コイルの下側を跨ぐように、前記コイルと前記第2可動部との間に延在している、請求項1~5のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記支持部上に設けられた第2外部端子と、前記コイルの外側端部と前記第2外部端子とに接続された第2配線と、を更に備え、
前記第2連結部を一対備え、
前記第1配線は、前記コイルの前記内側端部から前記一対の第2連結部の一方を介して前記第1外部端子まで延在しており、
前記第2配線は、前記コイルの前記外側端部から前記一対の第2連結部の他方を介して前記第2外部端子まで延在している、請求項1~7のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第2可動部には、前記コイルが前記内側端部から渦巻き状に仮想的に延長された位置に、前記コイルとの質量バランスを調整するためのダミーコイルが設けられている、請求項8に記載のアクチュエータ装置。
- 前記支持部上に設けられた第2外部端子と、前記コイルの外側端部と前記第2外部端子とに接続された第2配線と、を更に備える、請求項1~7のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第2連結部を一対備え、
前記第1配線は、前記コイルの前記内側端部から前記一対の第2連結部の一方を介して前記第1外部端子まで延在しており、
前記第2配線は、前記コイルの前記外側端部から前記一対の第2連結部の前記一方を介して前記第2外部端子まで延在している、請求項10に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第2可動部には、前記跨ぎ配線との質量バランスを調整するためのダミー跨ぎ配線が設けられている、請求項1~11のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記ダミー跨ぎ配線は、前記コイルが配置された平面に直交する方向から見た場合に、前記跨ぎ配線に対して前記第2可動部の中心に関して点対称に配置されている、請求項12に記載のアクチュエータ装置。
- 前記コイルを一対備え、
前記一対のコイルは、前記コイルが配置された平面に直交する方向から見た場合に、前記第2可動部の幅方向に互い違いに並ぶように、配置されている、請求項1~13のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記一対のコイルの一方は、前記一対のコイルの他方が前記内側端部から渦巻き状に仮想的に延長された位置に、配置されている、請求項14に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第2連結部は、前記第1軸線に直交する第2軸線周りに前記第2可動部が揺動可能となるように、前記第2可動部と前記支持部とを互いに連結している、請求項1~15のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記支持部における前記第1配線は、互いに並列に接続された複数の配線部を有する、請求項1~16のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第1外部端子に接続され、外部に引き出された一対のワイヤを更に備える、請求項1~17のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記跨ぎ配線は、第1部分と、前記第1部分に接続された第2部分と、を有し、
前記第1部分及び前記第2部分は、互いに異なる方向に沿って、且つ前記コイルの配置領域に沿って、延在している、請求項1~18のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記跨ぎ配線は、前記コイルが配置された平面に直交する方向から見た場合に、前記第1軸線に平行な第1方向において前記第2連結部と前記第2可動部との間の連結位置から離れた部分を有する、請求項1~19のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第1可動部は、前記ミラー面を含む本体部と、前記本体部を囲むように配置された環状部と、前記本体部と前記環状部とを互いに連結する一対の連結部と、を有し、
前記環状部は、前記連結部に接続され、前記第1軸線に平行な第1方向に沿って延在する第1部分と、前記第1部分に接続され、前記コイルが配置された平面に直交する方向から見た場合に前記第1方向に対して傾斜して延在する第2部分と、を有し、
前記コイルが配置された平面に直交する方向から見た場合に、前記第1部分と前記第2部分との間の接続部の外縁は、湾曲している、請求項1~20のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記一対の連結部の各々は、前記第1軸線に直交する第2軸線を挟んで向かい合うように配置された一対の接続領域を有する、請求項21に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第1連結部は一対設けられ、前記一対の第1連結部は、前記第1軸線に平行な第1方向における前記第1可動部の両側に配置されており、
前記第2連結部は一対設けられ、前記一対の第2連結部は、前記第1軸線に直交する第2方向における前記第2可動部の両側に配置されており、
前記第2可動部は、前記一対の第1連結部にそれぞれ接続された一対の第1接続部と、前記一対の第2連結部にそれぞれ接続された一対の第2接続部と、を有し、
前記第1接続部の外縁は、前記第2方向に沿って直線状に延在する部分を有し、
前記第2接続部の外縁は、前記第1方向に沿って直線状に延在する部分を有し、
前記第2接続部の幅は、前記第1接続部の幅よりも広い、請求項1~22のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第2可動部は、前記第1接続部と前記第2接続部との間に設けられ、前記第1方向に対して傾斜して延在する直線状部を更に有し、
前記第2接続部の幅は、前記直線状部の幅よりも広い、請求項23に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第2可動部上の前記引き出し配線は、前記コイルの延在方向に沿って延在する部分を有する、請求項1~24のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
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